CHEMRAZ® 513 EXTENSIS® SEALS

123
限りなく無限なサイズ適応性
シールソリューション
Extensis®（イクステンシス）シールはFPD (フラット・
パネル・ディスプレイ)製造における高度な要求に柔軟に
対応します。基盤の大型化が更に加速しても、グリーン,
ツィード独自の製造技術により、実績ある、信頼性に富
んだ解決策を提供します。
e x t e n s i s ® s e a l s
CHEMRAZ® 513 EXTENSIS® SEALS
スリットバルブドアのサイズに合わせてカスタム設計さ
/
れ、長方形に成型されたExtensisシールは、容易に大型
p r o d u c t
(第5世代以降）FPDスリットバルブドアシールに対応し、
特にNF3プラズマ洗浄を用いるPECVD (プラズマ化学気相
成長法)プロセスに適しています。長方形に成型された形
状が、コーナー部のねじれによる応力を低減し、圧縮と
装着性を最適化し、シール品質および耐用年数の向上を
実現します。
d a t a
特徴と利点
• 独自の製造技術により、お客様のニーズに対応する無
限の長さを実現
• PECVDプロセスツールにおいて12ヶ月に及ぶ標準耐用
年数が、少なくとも50パーセントの経費を削減し、装
置の停止時間を短縮
• 溝設計に対応する長方形の形状がコーナー部応力を低
減し、シール表面を均一に封止することによりシール
品質を向上
• 独自のDovetail®横断面設計がねじれを防止し、装着を
容易にすることにより、シール性を最適化
用途
• FPDスリットバルブドア
• エッチングおよびPECVDプロセス
• 第5世代以降の基盤サイズ
お問合せ先
グリーン，ツィードアンドカンパニージャパン株式会社
セミコンダクターグループ
東京本社
Tel: +81 (0) 3.3454.3501 Fax: +81 (0) 3.3454.1040
大阪営業所 Tel: +81 (0) 6.6397.8565 Fax: +81 (0) 6.6397.8575
九州営業所 Tel: +81 (0) 96.232.9561 Fax: +81 (0) 96.232.9562
www.gtsemi.com
このデータシートは、当該製品に関する経験と知識に基づくものであり、
性能の保証、或いは製品に適用される保証に変更もしくは影響を与えるも
のではありません。
ご使用にあたっては、不適合により障害や損傷が起こる可能性がある用途
を含め、貴社の用途iに適合することを確認するための適合性試験を実施さ
れることを推奨します。また、定期的な点検・交換を必ず行って下さい。
グリーン，ツィードでは、技術担当者他いつでもお客様のご相談にお応え
致します。
Patent Pending © 2008, Greene, Tweed all rights reserved
All trademarks are property of their respective owners.
06/08-GT DS-JP-SC-054
• Chemraz® 513は、耐プラズマ性を有するコンパウンド
として実績があり、NF3プラズマ洗浄を用いるCVDツー
ル用途に普及