静圧・動圧軸受の最適設計と超精密位置決め装置への応用 ［PDF 1.5MB］

Optimum Designing of Hydrodtatic/Hydrodynamic Bearings and Its Application for Ultraprecise Positioning Actuator
研究キーワード
静圧・動圧軸受の最適設計と
超精密位置決め装置への応用
静圧軸受、動圧軸受、案内要素、
超精密、トライボロジー、アクチュエータ
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まつ おか
たかし
ひら やま
とも
理工学部 機械システム工学科
松岡 敬　Takashi Matsuoka
こ
理工学部 エネルギー機械工学科
平山 朋子　Tomoko Hirayama
研究シーズ概要
使用用途
応用例など
静圧軸受および動圧軸受は、二面を非接触に保ったまま摺動を可能とする機械要素として、多くの機械に用いられてい
る。当研究室では、それら軸受に関して、目的に応じた最適設計の提案が可能である。また、当研究室では、空気静圧
軸受を応用した超精密位置決めアクチュエータの開発も行っており、これまでの研究によって1nmオーダの位置決めが
可能であることを確認している。
案内・搬送装置全般に応用可能。特に空気静圧軸受を用いた超精密位置決めアクチュエータは1nmの分解能を有するピ
エゾアクチュエータの代替にもなり得るものであり、ヒステリシスやドリフトがない新しいアクチュエータとして各種
機器への適用が期待されている。
軸の振れ回りを抑制する最適設計例
静圧軸受型ガラス搬送装置の解析例
ナノモーションアクチュエータ
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