材料、デバイス、プロセスの 3

報道関係者各位、
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http://www.ggcomm.com/KEI/4225-PMU/index2.htm
きくち
ゆうこう
コンタクト：菊地裕光
（マーケティング）
ケースレーインスツルメンツ株式会社
電話 03-5733-7555
[email protected]
ケースレーの ‘超速’I-V（電流‐電圧）モジュールにより、
材料、デバイス、プロセスの 3 つの必須特性評価を
１つの測定器に集約
2010 年２月 18 日―先進電子計測器、システムの世界的リーダである Keithley
Instruments, Inc. (NYSE:KEI)は、本日、 4200-SCS 型 半導体特性評価システムの既存
の多様な測定オプションに、最新の機能として 4225-PMU 型 ‘超速’I-V モジ
ュールを発表しました。4200-SCS 型は、これまで半導体業界における広範な電
圧・電流レンジ、立上り/立下り/パルス時間の要求に適時対応して参りました。
今回、この環境に、強力な超高速の電圧波形発生および同時電流/電圧測定の機
能を統合したことで、4200-SCS 型による材料、デバイス、そしてプロセスの 3
つの評価の能力が劇的に拡充されました。大切なポイントは、4225-PMU 型によ
って、超速の I-V 印加測定を DC 測定のように簡単に行えるようにしたことです。
広範囲のプログラム可能な印加と測定レンジ（60 ナノ秒パルスからの超高速電
圧出力と同期された測定）、パルス幅、そして立上り時間の卓越した性能により、
ナノメータ CMOS からフラッシュメモリなどまで、各種試験アプリケーション
に変革をもたらします。詳しくは、 http://keithley.acrobat.com/p77402742/.
デバイス、材料、プロセスを十分に評価するのに３つの別個の試験装置が必要だった従
来のソリューションとは違い、4225-PMU 型の広いダイナミックレンジにより、1 台の
計測装置で、材料、デバイス、プロセスのすべての特性が評価可能になりました。研究
開発では、3 つの測定タイプ：精密 DC I-V（4200-SMU）、AC インピーダンス（4210CVU 型 C-V モジュール）、そして‘超速’I-V（4225-PMU 型）のすべてを扱える柔軟
性に富んだ従来にない測定システムを構成できます。
ひとつのモジュールに 2 チャンネルの統合された印加測定を搭載
各 4225-PMU モジュールは統合された印加と測定を 2 チャンネル搭載し、4200-SCS 型
本体の 9 個のスロットの中の 1 スロットを占有するだけです。各シャーシには最大 4 モ
ジュールを搭載できるので、最大 8 個の同期された超高速印加測定チャンネルを装備で
きます。各チャンネルは高速電圧出力（60 ナノ秒から DC までのパルス幅を 10 ナノ秒
ステップで提供）に電流および電圧を同時に測定する機能を備えています。高速電圧パ
ルス発生とともに、14 ビットアナログ‐デジタルコンバータ(ADC)で最高 200Ｍサンプ
ル/秒(MS/s)のサンプルレートで同時電流電圧測定を行います。チャンネル当り 2 個の
ADC を使っているので、１モジュールでは 4 個使用していることになります。2 つの電
圧印加レンジ（±10V または±40V＠1MΩ）が選択可能で、電流については 4 つの測定
レンジ（800mA、200mA、10mA、100μA）を備えています。
新しいハードで印加測定の柔軟性を拡大
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各 4225-PMU 型には、オプションである 4225-RPM リモートアンプ/スイッチを各チャ
ンネルに接続すると、新たにより低い４つの電流レンジ（100μA、10μA、1μA、
100nA）を追加できます。また、測定ケーブルの容量効果を下げるとともに、本体に搭
載されている 4225-PMU 型、4210-CVU 型と他の SMU を自動切換えする機能をサポー
トしています。尚、4220-PGU 型パルス発生モジュールは、電圧印加だけの機能で済む
場合には 4225-PMU の代替として使うこともできます。
材料、デバイス、プロセスの広範な評価アプリケーション
4225-PMU と 4225-RPM を一緒に使うことで、ほかの 1 台の測定器ではなし得なかった
広範なアプリケーションに対応するのに必要な全ての手段が提供されます。いくつかの
アプリケーションを挙げます。
•
一般的な超高速 I-V 測定：パルス I-V には、デバイスの自己加熱を避けるためにDC
信号ではなく幅の狭いパルスやデューティサイクルの小さなパルスを使うアプリケ
ーションも含めて、多様な試験が含まれます。
•
CMOS デバイス特性評価：4225-PMU/4225-RPMの高速電圧印加と高感度電流測定は、
CMOSデバイスの特性評価に最適です。たとえば、high-κデバイスやSOI(Silicon-onInsulator)のような先進のCMOS技術の評価に利用できます。
•
不揮発性メモリデバイス試験：4200システムのKTEIソフトウェアは、フラッシュや
相変化メモリ(PCM)デバイスの試験に必要なツールキットを提供しています。研究
開発やプロセス検証での個別のメモリセルや小規模のアレイの試験に最適です。
•
化合物半導体デバイスや材料の評価： 4225-PMU型は、GaN (gallium nitride)、GaAs
(gallium arsenide)や他の化合物半導体のような III-V族材料の評価に便利です。増幅
器の利得やデバイスの直線性を調べるために、パルスオフセット電圧を設定しゼロ
ではない値から測定することもできます。
•
NBTI/PBTI 信頼性試験：オプションの 4200-BTI-A型 ‘超速’ BTI パッケージは、
現状での最高速かつ最高感度の測定でもって、既知のBTI 試験手法のすべてを実現
し得るハードウェアとソフトウェアを統合しています。また、ACS(Automated
Characterization Suite)ソフトウェアを使うと、ウェーハレベルやカセットレベルでの
自動化が可能で、使いやすいGUIベースのNBTI/PBTI 試験ライブラリが提供されま
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す。
4 種のプログラマブルスイープ（オプション）
4225-PMU 型は、リニア、パルス、任意波形および セグメント ARB®（特許出願中）
の 4 種類のスイープを発生できます。セグメント ARB モードは最大 2048 のユーザ定義
のラインセグメントにより、波形の生成、保存、発生が簡単に行え、波形発生の柔軟性
が飛躍的に高まります。
高性能ケーブル接続
複数タイプの測定のための高性能ケーブルキット（オプション）によって 4200-SCS 型
をプローバのマニピュレータに接続すると、DC I-V、C-V、超高速 I-V 試験の３つの構
成間での切換えが簡単になり、再配線の必要がなくなり信号が従来になく忠実に伝えら
れます。
価格と納期
価格：4225-PMU 型： 2,375,000 円、 4225-RPM 型： 375,000 円、4220-PGU 型 (電圧印加
のみ)：1,625,000 円、4200-BTI-A 型：3,625,000 円
納期：2010 年 5 月
詳細情報
詳細は http://keithley.acrobat.com/p77402742/ へアクセスするか、以下にご連絡ください。
電話
03-5733-7555
ファックス
03-5733-7556
Ｅメール
[email protected]
ホームページ
www.keithley.jp
住所
〒105-0022 東京都港区海岸 1-11-1
ニューピア竹芝ノースタワー13F.
ケースレーインスツルメンツ(株)
ケースレーインスツルメンツについて
ケースレーインスツルメンツは、電子計測用の高度な機器およびシステムを設計、開発、
製造、販売する会社です。その製品は、エレクトロニクスメーカにおいて必要となる、
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高性能の製造試験、プロセスモニタ、製品の研究開発などの専門的なニーズに対応した
もので、直流（DC）またはパルスの電気信号の発生、測定、接続、制御、通信に使用す
る、約 500 種類の製品を扱っています。システムの一部または独立したソリューション
のいずれとしても使える、計測器やパーソナルコンピュータ（PC）のプラグインボード
から総合的なシステムソリューションまで、幅広い製品を提供しています。製造や製品
の研究開発に取り組むエンジニア、技術者、科学者などがケースレーのお客様です。
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