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取扱説明書 多段ドライ真空ポンプ ESR20N型 ESR80WN型
ESR-N_STD_2_J_Rev.0 取扱説明書 多段ドライ真空ポンプ ＥＳＲ２０Ｎ型 ＥＳＲ８０ＷＮ型 ＥＳＲ２００ＷＮ型 スタンダードモデル 200-220V(50/60Hz) ！注意 ポンプを使用する前に、本取扱説明書をよく読んで、内容を十分理解した上で ご使用願います。 また、本取扱説明書は必ずすぐ見れる場所に保管してください。 装置メーカの方へ： 取扱説明書は必ず、エンドユーザの実際に操作する方々へ届けてください。 ※本取扱説明書中の「◯◯◯型」の表記は、当社の機種記号です。 発行： 精密・電子事業カンパニー 精密機器事業部 株式会社 PM40U 荏原製作所 ・本書を無断で他に転載しないようお願いします。 ・本書は予告なしに変更されることがあります。 ・本書中「○○○型」の表示は当社の機種記号です。 All Rights Reserved, Copyright 株式会社 荏原製作所 (i) 環境問題への取り組みの基本姿勢 私たちは、地球環境を保護するため、自らの事業活動が及ぼす環境への負荷を低減することおよび環境 汚染の予防に継続的に取り組みます。私たちは事業活動を通して、循環型社会形成に貢献するための 技術・製品の開発に努め、これを実現するための＊トータル・ソリューションを提供します。 ※トータル・ソリューション：個々の要素技術からのアプローチだけでなく、複数のプロセス・装置・ 材料を統合した問題解決技術、または解決のための仕組み。 EBARA CORPORATION PM10U (ii) 製品の安全な使用について 本ポンプを取扱う方々は、このポンプに関する危険状態の識別方法、またその回避方法を知っていな ければいけません。 適切でない、または軽率な作業は重大な危険を引き起こします。 構造、操作方法および含まれる危険性について理解し、訓練した上で本ポンプを操作してください。 ポンプを取扱う前に必ずこの取扱説明書や、その他当社の提供する図書を読み、理解してください。 安全、操作方法、保守についてのお問い合わせは、直接当社へお尋ねください。 この取扱説明書の中で特に注意していただきたい事項には、以下の警告語をつけています。 ［危険］-----死亡あるいは重傷を負う切迫した危険に対する警告です。 ［警告］-----死亡や身体傷害につながる潜在的な危険に対する警告です。 ［注意］-----軽傷又は中程度の傷害の可能性がある危険、または機器が損傷する可 能性のある状態に対する警告です。 ［注］-----製品を安全に正しく取り扱う為の注意です EBARA CORPORATION PM10U (iii) 重要な事前注意事項 ［危険］ 吊り上げたポンプの下へ入っての作業は、絶対行なわないでください。 ポンプ吊り作業（積み降ろし等）は、有資格者以外の方は絶対行なわないでください。 ［警告］ ポンプの横幅は長手寸法に比べて小さくなっています。 ポンプを押すときや手前に引くときには、転倒に注意してください。 ［警告］ 電気配線作業は、有資格者以外の方は絶対行なわないでください。 ［警告］ 配線や保守作業は必ず漏電ブレーカ（ＥＬＢ）を切って行なってください。 作業が終了するまでは、ポンプに絶対電源を供給しないでください。 ［警告］ 可燃性及び有毒ガスを安全濃度まで希釈する場合は、排気配管に別途Ｎ2 ガスを供 給する必要があります。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないでください。 ［警告］ 配管の取外し、洗浄を行なう時は、作業の前に充分なＮ2 パージを行なってください。 可燃性物質、有毒物質、危険物質が周囲に飛散したり、人体に接触・吸収されないよう にしてください。 緊急時に避難できるような場所で作業してください。 ［警告］ ポンプをオーバーホール洗浄せずに別のプロセスに使用しないでください。 ポンプ内に残っているガス・生成物が反応して事故が起きたり多量の生成物が発生し ます。 ［警告］ ポンプ据付や配管のメンテナンス後は、リークチェックを必ず行なってください。 リークがあるとポンプから有害物質・危険物質の放出や、ポンプへの空気吸入による 異常反応がおきて非常に危険です。加圧によるリークチェックを行う場合は、N2 パージ口より 0.05MPa で加圧してリークチェックを行って下さい。 ［警告］ 製品の一部を改造したり、メーカ標準品以外の部品と交換しないでください。 EBARA CORPORATION PM10U (iv) ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないでください。 外装カバーは、運転中絶対に取外さないでください。 ［警告］ インターロックが正確に働くことを確認する為に定期的に(6 ヶ月毎)点検して下さい。 ［注意］ プロセスによって発生した生成物の廃却については御使用先の安全規準にしたがって ください。 ［注意］ リチウムバッテリーを含んだ基盤の廃却については御使用先の安全規準に したがってください。 ［警告］ 本ポンプは、混合ガスや複数のガスを導入した際の化学反応から起きる危険は想定 して設計していません。また、このような危険を保護する設備もありません。 混合ガスや複数のガスを導入する際は、注意を払ってください。 ［警告］ 耐電圧試験は実施しないで下さい。 高電圧によって、精密部品が破損する可能性があります。 ［注意］ 安全のため外装カバーを外したままポンプを運転しないでください。 EBARA CORPORATION PM10U (v) ポンプの外装カバーには次の警告ラベルが貼付されています。 1. 高温警告ラベル 2. 危険電圧警告ラベル 3. 危険物質警告ラベル 4. 充電マークラベル 5. 重量物危険ラベル 6. アイボルト高温警告ラベル 1. 高温警告ラベル WARNING 警 告 Hot Surfaces Will burn skin on contact. Allow piping and casing to cool Before servicing 高温部あり。接触すると火傷をする危険があります。 配管・ケーシングが冷えてからメンテナンスをして下さい。 C-7110-312-0001 2. 危険電圧警告ラベル WARNING 警 告 Hazardous Voltage Contact will cause injury or death by electrical shock. Disconnect line power before servicing. 危険電圧部あり。接触すると重傷または死亡の 危険があります。電源供給を止めてブレーカを切った状態で メンテナンスをして下さい。 C-7110-313-0001 3. 危険物質警告ラベル WARNING 警 告 Hazardous Materials Exposure to air may cause spontaneous fire or explosion. Inhalation or skin absorption will cause severe injury or death by poisoning. Purge thoroughly with nitrogen for at least 30 minutes before servicing. Use personal protective equipment appropriate to the materials to prevent exposure. 危険物質あり。 危険反応・人体への接触により重傷または死亡の危険があります。Ｎ２パージのみで３０分以上 空運転を行なってから、危険物質のＭＳＤＳに従ってメンテナンスをして下さい。 C-7110-314-0001 EBARA CORPORATION PM10U (vi) 4. 充電マークラベル 5. 重量物危険ラベル 危 険 Heavy Object Can cause impact injury through falling or tipping. Use appropriate, properly rigged lifting equipment and keep from under suspended pump. Raise all adjuster feet fully when moving. 重量物。落下及び転倒により重傷または死亡の危険があります。 吊り上げたポンプの下に入らないで下さい。 移動時は全アジャスタフットを上限まであげて下さい。 C-7110-316-0001 6. アイボルト高温警告ラベル WARNING 警 告 Hot Surfaces. Will Cause burn. Do not touch eyebolts during pump running for some time after stops. 高温部あり。火傷のおそれがあります。 ポンプ運転中及び停止後しばらくの間はアイボルト部に 触れないで下さい。 C-7110-317-0001 EBARA CORPORATION PM10U (vii) EBARA CORPORATION PM10U (viii) EBARA CORPORATION PM10U (ix) EBARA CORPORATION PM10U (x) EBARA CORPORATION PM10U (xi) EBARA CORPORATION PM10U (xii) EBARA CORPORATION PM10U (xiii) 保証 当社はこのポンプについて､次の保証をいたします。 新規ご購入品の保証は､運転開始後1 年､または弊社工場出荷後18 ヶ月のいずれか早い時期といたします｡ また､オーバーホール後の保証は､弊社工場出荷後6 ヶ月といたします｡ 1. 保証期間内に､正常なご使用にも拘わらず当社の設計および製作上の不備により故障､破損が発生した場合 は､故障破損箇所を無償にて修理または代替品と交換いたしますが、その他の費用の負担は免除させていた だきます｡また、その際の保証の延長はいたしません。 2. ただし､以下のいずれかに該当する場合､故障､破損の修理は有償とさせていただきます。 (1) 保証期間経過後の故障・破損 (2) 取扱説明書に記述してある内容以外の取り扱いまたは特殊な条件下での使用による故障・破損 (3) 弊社または弊社認定業者以外の手で修理､改造による故障・破損 (4) 半導体製造等のプロセス環境に起因する腐食や生成物等の影響による故障・破損 (5) 火災､天災､地変等の災害､不適切な使用環境及び不可抗力による故障・破損 3. 保証についての当社の責任は上記無償修理または代替品との交換に限られるものとし、その他の費用の負 担､損害についての責任については免除させていただきます。 EBARA CORPORATION PM10U (xiv) 目 次 環境問題への取り組みの基本姿勢.................................................................................... i 製品の安全な使用について.................................................................................................. ii 重要な事前注意事項.............................................................................................................. iii 保証 .............................................................................................................................................. xii 目 次 ..........................................................................................................................xiv 1. まえがき ................................................................................................................................1 2. はじめに................................................................................................................................1 2.1 はじめに.......................................................................................................................1 2.2 環境上へのご配慮...................................................................................................2 3. 製品仕様 ..............................................................................................................................3 3.1 ポンプ概要 ..................................................................................................................3 3.1.1 ポンプ本体 ........................................................................................................3 3.1.2 N2 ガス ...............................................................................................................3 3.1.3 冷却水 ................................................................................................................3 3.1.4 排気管 ................................................................................................................3 3.2 制御システム .............................................................................................................3 3.2.1 警報 .....................................................................................................................4 3.2.2 運転状況の管理.............................................................................................4 3.3 詳細仕様 .....................................................................................................................5 表 3.1 仕 様 表 ..........................................................................................................5 ・ESR20N型外形図 ......................................................................................................6 ・ESR80WN型外形図...................................................................................................6 ・ESR80WN型外形図...................................................................................................7 ・ESR200WN型外形図 ................................................................................................7 ・ESR200WN型外形図 ................................................................................................8 ・ESR20N型性能曲線..................................................................................................9 ・ESR80WN型性能曲線 ........................................................................................... 10 ・ESR200WN型性能曲線......................................................................................... 11 図 3.4 システムフロー........................................................................................... 12 4. 据付け................................................................................................................................. 13 4.1 据付け位置.............................................................................................................. 13 4.2 配 管......................................................................................................................... 14 4.2.1 真空・排気配管 ............................................................................................ 14 4.2.2 冷却水配管.................................................................................................... 14 EBARA CORPORATION PM10U (xv) 4.2.3 N2 配管 ........................................................................................................... 15 4.2.4 ダクト排気....................................................................................................... 16 4.3.1 動力配線 ........................................................................................................ 17 4.3.2 制御信号配線............................................................................................... 18 5. オプション用電源............................................................................................................ 21 6. LCDコントローラ.............................................................................................................. 22 6.1 LCDコントローラの概略 ...................................................................................... 22 6.2 LCD表示 ................................................................................................................... 23 6.3 運転モード選択設定方法................................................................................... 27 6.3.1 ポンプ運転方式の選択............................................................................. 29 6.3.2 ディップスイッチの設定 ............................................................................. 29 6.3.3 ポンプ運転モード選択............................................................................... 30 6.3.4 通常運転スピード設定............................................................................. 30 6.3.5 省エネモード回転スピード設定.............................................................. 32 6.3.6 背圧WARNING値設定（オプション）...................................................... 32 6.4 ディップスイッチ...................................................................................................... 33 6.6 LCDコントローラからの起動／停止操作 ..................................................... 37 7. 運転 ..................................................................................................................................... 38 7.1 始動する前に.......................................................................................................... 38 7.2 運転・停止 ................................................................................................................ 40 8. 保守・点検 .................................................................................................................... 42 8.1 日常点検 .................................................................................................................. 42 8.2 真空・排気配管 ...................................................................................................... 43 8.3 潤滑油 ....................................................................................................................... 43 8.4 メンテナンス用部品 .............................................................................................. 46 8.5 メンテナンスに伴う廃棄物 ................................................................................. 47 8.6 オーバーホール ..................................................................................................... 47 9. 取外し・輸送 ..................................................................................................................... 48 10. トラブルシューティング ............................................................................................... 50 10.1 トラブルシューティング(1):根本的なトラブル ............................................ 50 10.2 トラブルシューティング(2):WARNING ........................................................... 51 10.3 トラブルシューティング(3):ALARM ................................................................ 52 10.4 トラブルシューティング(4):オプション ........................................................... 53 EBARA CORPORATION PM10U P.1 1. まえがき このたびは、エバラ ESR シリーズ型真空ポンプをご採用いただきまして誠にありがとうございます。 当社では、このポンプを安心してご使用いただけるよう細心の注意をはらって製作しております。 しかし、その取扱いを誤りますと、充分な性能を発揮しないだけでなく思わぬ事故を引き起こす原因 ともなります。 この取扱説明書は、ポンプの運転・保守などの日常の取扱いについて必要事項を説明しております。 本書により正しい取扱いをしていただき、末永くご愛用くださるようお願いいたします。 なお、この取扱説明書はいつでも必要なときに見られるよう一定の場所に大切に保管してください。 2. はじめに 2.1 はじめに ポンプがお手元に届きましたら、すぐに下記の点をお調べください。 (1) ご注文どおりのものであることを外装カバーに貼付されている要項銘板を見てご確認ください。 納品案内書により台数を確かめ、また付属品等がすべて揃っているかどうかご確認ください。 (2) 輸送中に破損したり、ビス等がゆるんでいないことをご確認ください。 ［注意］ 異常が認められたり不足品がある時は、直ちに当社へ御連絡ください。リークがある状態等 でご使用になると、事故の原因となります。 (3) 納品後すぐに据付けを行わないような場合は、下記の条件を満たす清浄で乾燥した環境で保管し てください。 ・温度 ５～４０℃ ・湿度 ８０％ 以下 (4) ポンプの二段積みや横倒しはしないでください。 EBARA CORPORATION PM10U (2) 2.2 環境上へのご配慮 機器の取扱いを誤りますと環境に余分な負荷を与える事となりますので、以下の各項目に注意を払 って作業、運転、および点検し、ご使用ください。 1. 製品が届き梱包を解いた際、不要になった梱包材料の処分は法律及び政令に従って許可を受け た業者へ依頼してください。 2. 機器のメンテナンスを怠りますと人身事故や機器のトラブルの要因となるだけでなく、環境汚染の 要因にもなります。機器の定期メンテナンスを計画的に実施し効率よく運転してください。 また、消耗品、定期交換部品の廃棄時は機器が設定された地域で定められた法律及び政令に従 って処分してください。 3. 機器廃棄時は、機器が設置されている地域で定められた法律及び政令に従って処分してくださ い。 EBARA CORPORATION PM10U P.3 3. 製品仕様 3.1 ポンプ概要 ESR シリーズドライポンプは、信頼性･操作性を考慮して、ポンプ・各種センサ・コントロール部をコンパ クトにまとめカバーに納めた一体型システムとしてデザインされています。 3.1.1 ポンプ本体 ポンプは、タイミングギヤで同期した一対の多段ロータを非接触で回転させるルーツ型真空ポンプで す。ユニット内でブースタポンプ(BP)とメインポンプ(MP)が直列につながって排気します。タイミング ギヤとベアリングは、ロータの回転するケーシングから独立した部屋に封入され、フッ素系オイルと グリースで潤滑されます。ポンプは潤滑油を入れた状態で出荷しています。 油の補給交換をする場合は、表 3.1 に記載された潤滑油を使用してください。 3.1.2 N2 ガス 軸の貫通部にはシール用の N2 ガスが供給されます。これにより腐食性ガス等の軸受部への進入を 防ぎます。（ESR20N は腐食性ガスを使用しない L/L プロセス等の用途ではシール N2 も O にすること が可能です） また、N2 ガスは、プロセスガスによるポンプの腐食、あるいは反応副生成物の堆積を低減するために ポンプ各部に希釈用パージガスとして供給されます。腐食や反応副生成物の発生しないプロセスの場 合は、N2 切替バルブで希釈 N2 をとめることにより、N2 ガスの節約ができます。 この２種類のパージは、レギュレータの圧力を指定値に調節することで適正量が供給されます。 3.1.3 冷却水 ポンプはモータの動力により真空状態から大気圧までガスを圧縮するため、圧縮熱を発生します。 そのため、冷却水によりモータの冷却を行います。 冷却水の接続はカプラとなっており、容易に接続・分離ができます。 3.1.4 排気管 ポンプ停止時に排気配管からポンプを通って真空チャンバへガスが逆流することを防ぐため、逆止弁 が標準で付きます。 3.2 制御システム 本ポンプは、漏電遮断器、モータ用電磁開閉器、および制御回路を計装ユニットとして搭載しています。 また安全かつ高い信頼性をもって運転するために、ユーティリティとポンプ各部の状態をセンサによっ てモニタしています。 電源・冷却水量・N2 ガス流量・ケーシングとモータコイルの温度・モータ電力値などをセンサで確認しな がらポンプは運転されます。 1sec 以内の瞬時停電に対して、継続運転が可能です。 EBARA CORPORATION PM10U (4) 3.2.1 警報 真空排気系としての信頼性のため、ポンプ保護システムは WARNING と ALARM の２段階の警報を出 力します。 WARNING 信号は、ポンプが正常範囲をはずれた事を意味します。（ただし切迫した危険状態ではあり ません。）この状態でポンプの運転は継続されます。 ポンプの運転が機械の安全上限界になるとポンプは自動停止し、ALARM 信号を出力します。 装置オペレーション途中に突然ポンプが停止して装置オペレーションを中断させることがないよう WARNING 信号を出力しますので、１サイクル分の処理を終了してからポンプのチェックを行なうことが 可能です。 WARNING・ALARM の設定条件について確認が必要な場合は当社へお問い合わせください。 ※ 弊社製従来型ポンプと ESR では、警報の表示が異なっておりますのでご注意ください。 SEMI-F-73 に基づき、表示を変更致しました。 警報 1 （ポンプ運転継続） 警報 2 （ポンプ停止） 従来機種 ESR 型シリーズ ALARM WARNING TRIP ALARM 3.2.2 運転状況の管理 センサの情報はコントローラの液晶ディスプレイに表示され、運転状況の管理・日常点検が容易に行 なえます。 各種の WARNING・ALARM 信号は、液晶ディスプレイに表示され、また、リモート運転・監視のために 個別・一括の接点出力があります。 EBARA CORPORATION PM10U P.5 3.3 詳細仕様 ポンプの詳細の仕様・性能は以下に記載されている表・図を参照してください。 表 3.1 仕 様 表 機 名 排気速度 到達圧力 吸気口 排気口 到達圧力時電力概略値 （最大電力値） 取合 接続口径 圧力 冷却水 ユーティリティー 流量 温度 取合 圧力 窒素 （ｹﾞｰｼﾞ圧） 概略流量（標準） [N2-0 ﾓｰﾄﾞ時] 接続 ダクト 熱排気 圧力 ※1 概略流量 品名（メーカ） 潤滑油 量 概略質量 相/電圧/周波数 電源容量 電源 接続 制御信号 通信 ELB 容量 ESR20N 型 ESR80WN 型 ESR200WN 型 1300 - 2000 L/min 2.0 Pa（2000 L/min） 2.7 Pa（1300 L/min） NW40 NW40 0.7 kW (2.5 kW) 4000 - 8500 L/min 10000 - 20000 L/min 0.2 Pa 0.13 Pa NW50 NW100 NW40 NW40 1.0 kW 1.1 kW (4.5 kW) (5.0 kW) Ｒc 3/8 （カプラ付） 差圧：Ｍin． 0.1MPa 供給圧：Max． 0.4MPa 2～8 L/min Max． 30℃ 1/4” チューブ継手 （SWAGELOK 相当） 供給圧：0.1～0.7MPa ［レギュレータ設定圧：0.04～0.07MPa］ 19～22 Pa m3/s 19～22 Pa m3/s 3 [ 0 Pa m /s] [3.4 Pa m3/s] φ50 mm × Ｌ50 mm -196 Pa 0.5 m3/min BARRIERTA J100ES （NOK） 50cc 300cc 300cc 90 kg 180 kg 250 kg 3 Phase, 200-220V (50/60Hz) 4.0 kVA 7.0 kVA 8.0 kVA 日本航空電子工業製 JL04V-2E20-4PE-B JL04HV-2E22-22PE-B D-sub 15pin ＋ D-sub 25pin RS-232C D-sub 9pin X 2 15A 30A ※注 1 本ポンプの設置場所周辺温度は３０℃以下としてください。 EBARA CORPORATION PM10U (6) ・ESR20N 型外形図 EBARA CORPORATION PM10U P.7 ・ESR80WN 型外形図 EBARA CORPORATION PM10U (8) ・ESR200WN 型外形図 EBARA CORPORATION PM10U P.9 図 3.1 ESR20N 型 性能曲線 ・ESR20N 型性能曲線 EBARA CORPORATION PM10U (10) 図 3.2 ESR80WN 型 性能曲線 ・ESR80WN 型性能曲線 EBARA CORPORATION PM10U P.11 図 3.3 ESR20WN 型 性能曲線 ・ESR200WN 型性能曲線 EBARA CORPORATION PM10U (12) LCD コントローラ 吸気口 制御コネクタ 電源 制 御 漏電遮断器 電磁開閉器 1 電磁開閉器 2 P 圧力計 N2 ガス ﾎﾟﾝﾌﾟ N2 用流量計 FT1 N2 切替バルブ レギュレータ ドライバ 2 ブースタポンプ （ＢＰ） 冷却水 モータ 2 排気口 ドライバ 1 FT2 メインポンプ （ＭＰ） モータ 1 逆止弁 冷却水用流量計 図 3.4 システムフロー EBARA CORPORATION PM10U P.13 4. 据付け 据付けの際には、以下の点にご注意の上、施工ください。 4.1 据付け位置 (1) 本ポンプは屋内形です。ポンプを設置する場所は、塵埃 ・湿気が少なく結露しない所を選んでくだ さい。またポンプの取付け・取外し作業が容易な所を選んでください。 ［注意］ ポンプの周囲温度は、30℃以下にしてください。密閉された室内で運転する場合は特に 注 意してください。 ［注意］ ポンプカバーと周囲の機器との間に 50mm 以上のスペースを空けてください。 (2) ESR20(N)の場合 ポンプのベースの下に、4 個のキャスタとアジャスタが 付いています。移動するときは、アジャスタを４個共上 げてください。 スパナでアジャスタを左へまわすとアジャスタが上がり 図 4.1 キャスタ（ESR20N 型) ます。 キャスタ ３）ESR80W(N)/ESR200W(N)の場合 ポンプのベースの下に、キャスタとアジャスタフットが 一体になったものが 4 個付いています。移動するとき は、アジャスタフットを 4 個共上げてください。 ナットを左へまわすとアジャスタフットが上がります。 約 15mm アジャスタフット 図 4.2 キャスタ（ESR80WN 型/ESR200WN 型） ［警告］ ポンプの横幅は長手寸法に比べて小さくなっています。 ポンプを押すときや手前に引くときは、転倒に注意してください。 ［注意］ キャスタは移動時に首をふります。指や足をはさまないよう注意してください。 ［注意］ ポンプの上に乗ったり物をのせないでください。 (3) 固定するときはアジャスタを右へまわすと、アジャスタが下がり固定できます。 (4) アジャスタの高さを調整し、ポンプベースを水平にしてください。水平差はベース両端で 1mm 以内 にしてください。 ［注］ ポンプが水平でない場合、軸受への潤滑油の供給量不足を引き起こす可能性があります。 ［注］ 床への振動、騒音を抑制するためにレベル出しをしてください。 EBARA CORPORATION PM10U (14) 4.2 配 管 4.2.1 真空・排気配管 吸気口・排気口に真空・排気配管を接続してください。 ポンプ内はわずかなクリアランスを保って回転します。そのためポンプ内部に異物が入ると運転不能 になりますので、配管の接続には次の注意が必要です。 a) 配管内の異物は完全に取り除いてください。 b) フランジ面にごみ・ほこりが付着しないように、またフランジ面にキズを付けないでください。 APC バルブに付着した生成物やウェハ破片などが入らないよう、フィルタ等の適切な防止 手 段を設けてください。 c) ポンプに配管の荷重がかかると、芯狂いや接続部からのリークの原因となりますので、充分 な配管支持をしてください。フランジ面を無理に位置合わせをして接続しないでください。 ポンプ吸気口・排気口への配管のつなぎには、フレキを挿入することをおすすめします。 真空側のフレキ管長さは真空度により変化します。フレキ管に無理な力がかからないような 配管施工をしてください。 ［警告］ ポンプ据付後はリークチェックを必ず行ってください。リークがあるとポンプから有害物質・ 危 険物質の放出や、ポンプへの空気吸入による異常反応がおきて非常に危険です。 加圧によるリークチェックを行う場合は、N2 パージ口より 0.05MPa で加圧してリークチェック を行って下さい。 ［注意］ 排気配管が塩ビ等 音を透過しやすい材質の場合、ポンプ排気音が透過し大きな騒音が 発生することがあります。この様な場合は、サイレンサ（オプション）を取付けて下さい。 4.2.2 冷却水配管 入口・出口を正しく接続してください。接続は両路開閉式のカプラがついており、カプラをはずすと 水配管は自動的に閉止します。冷却水は、表 4.1 に準ずる水を流してください。 表 4.1 工業用水道供給標準水質 ( 日本工業用水協会工業用水水質基準制定委員会 ) 20 （ｐｐｍ） 濁度 6.5～8.0 ｐＨ 75 （ｐｐｍ） アルカリ度（ＣａＣＯ3） 120 （ｐｐｍ） 硬度（ＣａＣＯ3） 250 （ｐｐｍ） 蒸発残留物 80 （ｐｐｍ） 塩素イオン 0.3 （ｐｐｍ） 鉄 0.2 （ｐｐｍ） マンガン EBARA CORPORATION PM10U P.15 ［注意］ 本ポンプは、冷却水量が減っても、ポンプ各部の温度が安全限界になるまで運転を続けます。 水配管の耐熱温度は、使用圧力においても７０℃以上のものを選定してください。 ［注意］ 複数のポンプを使用する場合は、水配管は各ポンプに並列に接続してください。 機種や配管によって各ポンプの冷却水のながれやすさが異なります。 全てのポンプに適正な流量が流れるように配管してください。 ［注意］ 冷却水の流れを逆にすると、実際と異なる流量が表示されます。 さらにポンプに冷却が正常に行われずトラブルの原因となります。 ［注意］ 湿気の多い場所でポンプ停止中に冷却水を流したままにすると、ポンプ冷却水で結露が 生 じて電装品に不具合を与えることがあります。停止中の目安としてポンプ給水配管表面に水 滴がついている場合は、ポンプ内部でも結露する可能性がありますので冷却水を流さないで ください。 4.2.3 N2 配管 N2 パージ口のチューブ継手にチューブを接続してください。チューブは直角に切断し、端面のバリを取 り除いたものを継手本体内の肩にしっかり当ててください。継手本体をしっかり固定して、ナットを手締 めの状態から 1+1/4 回転しめこんでください。２回目以降、フェルールがすでにくい込んでいるチューブ を取付けるときは、最初にしめこんだ状態（通常手じめから約 1/4 回転）から軽く増し締めください。 本体 フロント フェルール バック フェルール ナット １＋1/4回転 図 4.3 チューブ継手アセンブリ ［警告］ 有毒ガスや可燃性ガスを取扱うプロセスによっては、使用する N2 ガス中の不純物が 安全上影響を与えることがあります。 使用される N２ガスは工業用窒素（純度９９．９９９％以上）以上の純度の N２ガスを 使用ください。 EBARA CORPORATION PM10U (16) 4.2.4 ダクト排気 換気のためポンプカバー上のダクト引口よりカバー内部を吸引し、熱排気してください。換気を行なわ ないとカバー内の温度が上昇し、WARNING の発生やトラブルの原因となります。 ダクト排気は、表 3.1 の仕様を満たすように排気してください。また、ダクト配管は、使用するガスによっ て腐食しないものを使用してください。 ポンプには、ガス漏れ検知器は付属されていません。ダクトのポートにガス漏れ検知器を取付け、イン ターロックを設けることを推奨します。ガス漏れ検知器は NRTL 認証取得したものと同等品を使用してく ださい。 ガスリークが発生した際は、ただちにガスの導入を中止してください。 ［注意］ 有毒ガスや可燃性ガスを扱うプロセスでは、安全上必ずダクト排気を行ってください。 ダクト排気はポンプのプロセスガス排気と集合させないでください。 ［注意］ 有毒ガスや可燃性ガスを扱うプロセスではない場合においても、ダクト排気はポンプの排気 配管と接続しないでください。ポンプ排気音によるポンプユニット内での共鳴現象を生じ、 異常な音を発生させることがあります。 ［注意］ 安全のため外装カバーを外したままポンプを運転しないでください。 EBARA CORPORATION PM10U P.17 4.3 電気配線 ［警告］ 配線作業及びコネクタ接続が終了するまでは、ポンプに絶対電源を供給しないでください。 さらに必ず漏電ブレーカ（ELB）を切って作業してください。 ［警告］ 電気配線作業は、有資格者以外の方は絶対行わないでください。 ［注意］ ポンプパッケージ内からほかの器具に電源を供給しないでください。 制御部の誤操作やポンプ故障の原因となります。 4.3.1 動力配線 ［注意］ 配線材料及びサイズは、ポンプの消費電力と周囲温度を元に使用状態にあった正しいもの を使用してください。 ［注意］ 接地（アース）配線は必ず行なってください。 商用電源（3Phase、200-220V at 50/60Hz）を電源コネクタに配線してください。 ピン接続は、図 4.4, 表 4.2, 4.3 を参照してください。 図 4.4 電源レセプタクル(接続側から見る) Ｄ A Ｃ Ｂ 表 4.2 電源レセプタクルピンアサイン No. 相 A R B S C T D GND 表 4.3 電源レセプタクル仕様 ポンプ型式 レセプタクル型式 レセプタクルメーカ 適合プラグ(直型)型式 適合電線サイズ(参考) 電源容量 kVA ESR20N 型 ESR80WN 型 ESR200WN 型 JL04V-2E20-4PE-B JL04HV-2E22-22PE-B 日本航空電子工業 株式会社 JL04V-6A20-4SE-EB JL04V-6A22-22SE-EB UL1015 AWG #14 UL1015 AWG #10 4.0 7.0 8.0 EBARA CORPORATION PM10U (18) 4.3.2 制御信号配線 遠隔操作又は監視を行なう場合は、制御コネクタに配線してください。 ピン接続は、表 4.4 , 4.5, 4.6, 4.7, 図 4.5 , 4.6 を参照してください。 表 4.4 制御信号レセプタクル仕様（全機種共通） コネクタ No. コネクタ型式（ポンプ側） CN-Z D-sub 15 pin メス(SEMI-F-73-0299 準拠) CN-Y D-sub 25 pin メス Screw lock size : M2.6 8 1 15 9 Contact pin surface : Au 図 4.5 制御信号レセプタクル CN-Z（接続側から見る） 表 4.5 制御信号レセプタクルピンアサイン (CN-Z)：SEMI-E73 準拠 信号名称 入力/出力 信号種類 ピン No. 1 MP 起動制御 (+) 入力 運転時 : 閉, オルタネート 2 BP 起動制御 (+) 入力 運転時 : 閉, オルタネート 3 MP 運転／停止ステータス (+) 出力 運転時 : 閉, オルタネート 4 BP 運転／停止ステータス (+) 出力 運転時 : 閉, オルタネート 5 WARNING ステータス (+) 出力 WARNING 時 : 開, オルタネート 6 ALARM ステータス (+) 出力 ALARM 時 : 開, オルタネート 7 リモートステータス (+) 出力 リモート時 : 閉 8 − 9 MP 起動制御 (-) 10 BP 起動制御 (-) 11 MP 運転／停止ステータス (-) 12 BP 運転／停止ステータス (-) 13 WARNING ステータス (-) 14 ALARM ステータス (-) 15 リモートステータス (-) EBARA CORPORATION PM10U P.19 13 Screw lock size : M2.6 1 25 14 Contact pin surface : Au 図 4.6 制御信号レセプタクル CN-Y（接続側から見る） 表 4.6 制御信号レセプタクルピンアサイン (CN-Y) 信号名称 入力/出力 信号種類 ピン No. 1 リセット (+) 入力 リセット動作 : 閉 2 省エネモード制御 (+) 入力 制御時 : 開, オルタネート 3 予備 (+) 入力 4 PUMP N2 VALVE 制御 (+) ※1 入力 制御時 : 開, オルタネート 5 EXHAUST N2 VALVE 制御 (+) ※1 入力 制御時 : 開, オルタネート 6 EMO ステータス (+) 出力 非常停止時 : 開, オルタネート 7 PUMP N2 WARNING ステータス (+) 出力 異常時 : 閉, オルタネート ※2 8 EXHAUST N2 WARNING ステータス (+) ※1 出力 異常時 : 閉, オルタネート ※2 9 省エネモードステータス (+) 出力 異常時 : 閉, オルタネート ※2 10 予備 (+) 出力 11 予備 (+) 出力 12 予備 (+) 出力 13 − 14 リセット (-) 15 省エネモード制御 (-) 16 予備 (-) 17 PUMP N2 VALVE 制御 (-) ※1 18 EXHAUST N2 VALVE 制御 (-) ※1 19 EMO ステータス (-) 20 PUMP N2 WARNING ステータス (-) 21 EXHAUST N2 WARNING ステータス (-) ※1 22 省エネモードステータス (-) 23 予備 (-) 24 予備 (-) 25 予備 (-) ※ 1 はオプション対応です。 ※ 2 はＤＩＰ ＳＷ切換により ｂ接点へ変更可能です。（6.4 項ディップスイッチ 参照） EBARA CORPORATION PM10U (20) 表 4.7 CN-Z＆CN-Y 入出力電気仕様 ドライポンプ 12VDC 装置 1kΩ 入力 10mA Min. オープンコレクタ ドライポンプ ドライコンタクト 装置 4VDC～27VDC 100mA Max. オープンコレクタ 出力 4VDC～27VDC ＥＭＯ 100mA Max. ドライコンタクト EBARA CORPORATION PM10U P.21 ［注意］ 空ピン部には、結線しないでください。 ［注意］ 入力信号には、ポンプ側で DC12V を印加しています。装置側で電圧を印加しないでください。 出力信号は、オープンコレクタ出力です。装置側で DC4V から DC27V の電源を印加して使用 してください。 ［注意］ 各信号の極性（＋/－）を正しく配線してください。 ［注意］ 出力信号を使ってリレー等の誘導負荷を駆動するときは、サージ逆起電力を消費するため のダイオード（100V.1A クラス）を入れてください。 5. オプション用電源 この電源は、弊社が供給する ESR 型シリーズ用のオプション専用電源として使用します。 （その他の用途には使用できません。） 集中監視用アダプター インターフェイス盤 N2 電磁弁 [危険] ポンプに電源が供給され漏電ブレーカ(ELB)が ON の時、オプション用電源には常時電圧が印 加されています。 [警告] オプション用電源は他の目的には使用しないでください。 EBARA CORPORATION PM10U (22) 6. LCD コントローラ 6.1 LCD コントローラの概略 状態表示 LED（ｵﾚﾝｼﾞ） LCD（液晶ディスプレイ） 状態表示 LED（緑） ブザー 状態表示 LED（赤） 押しボタンスイッチ ［押しボタンスイッチ］ ［状態表示LED］ START MPとBPが起動します STOP MPとBPが停止します △ ▽ LCD表示の切り替え RESET WARNING及びALARMがリセットされます BZ．OFF WARNING／ALARM時にブザーを消します PRG． ポンプ運転状況画面の切り替え及び、表示画面（階層）の移動 ENTER ディップスイッチの選択及び、表示画面（階層）の移動 B．P．RUN BPの稼働中 M．P．RUN MPの稼働中 LOCAL ローカルモード WARNING WARNING状態 ALARM ALARM状態 図 6.1 LCDコントローラ EBARA CORPORATION PM10U P.23 6.2 LCD 表示 ポンプの運転状況はLCDコントローラの液晶ディスプレイに表示されます。 表示内容については 表6.1を参照してください。 表6.1 LCDコントローラ運転状態表示 No． 表示項目 表示内容 １ ＢＰ：＃＃．＃＃ ｋＷ 電力値 ＭＰ：＃＃．＃＃ ｋＷ ２ ３ ４ ５ コントロールモード ＣＯＮＴＲＯＬ：ＬＯＣＡＬ ポンプ運転モード ＭＯＤＥ：ＮＯＲＭＡＬ アラーム履歴 ＡＬＡＲＭ／ＷＡＲＮＩＮＧ （過去の履歴表示） ＨＩＳＴＯＲＹ？ ポンプ機種 ＊＊＊＊＊＊ ポンプユニットNo． ＆＆＆＆＆＆＆＆ 運転積算時間 ＯＰＥ．ＴＩＭＥ ＃＃＃＃ ｈ ６ 背圧（オプション） ＢＡＣＫ ＰＲＥＳＳＵＲＥ ＃＃．＃ ｋＰａ ７ ポンプN2流量 ＰＵＭＰ Ｎ２ ＦＬＯＷ ＃＃．＃ Ｐａｍ３／ｓ ８ 冷却水流量 ＷＡＴＥＲ ＦＬＯＷ ＃＃．＃ Ｌ／ｍｉｎ ９ ケーシング温度 ＣＡＳＩＮＧ ＴＥＭＰ． ＃＃＃ ℃ 10 ポンプ回転数 ＢＰ： ＃．＃ ｋ ｍｉｎ－１ ＭＰ： ＃．＃ ｋ ｍｉｎ－１ 11 WARNING／ALARM表示 ＄＄＄＄＄： ＄＄＄＄＄＄＄ ％ ＄＄＄＄＄＄＄＄＄＄＄＄＄＄ ［注］ １ コントロールモードには “LOCAL”（ローカル運転）、 “REMOTE”（リモート運転）、“COM”（通信運転） があります。 ２ ポンプ運転モードには “NORMAL”（通常運転）と “S．ENERGY”（省エネ運転）があります。 ３ “％” は、現在のWARNING／ALARM発生数を表示します。 ４ WARNING／ALARM表示の上段の “＄＄＄＄＄” は、WARNING／ALARMの区別と その発生箇所を表示します。また、下段の“＄＄＄＄＄” は WARNING／ALARMの内容を 表示します。 ５ 運転積算時間は工場出荷後の運転積算を表示します。 EBARA CORPORATION PM10U (24) ６ 1分間以上何も操作しない時は、電力及びポンプ回転数の表示に戻ります。 なお、WARNING／ALARM発生中は、WARNING／ALARM内容に戻ります。 ７ 現在発生しているWARNING／ALARMは、表示選択スイッチですべて表示されます。 ポンプ運転状態表示でのキー操作については 図6.2 を参照してください。 EBARA CORPORATION PM10U P.25 BP：##．##kW MP：##．##kW 電力値 ▽ △ ALARM：CASING TEMP．HIGH 1 ALARM/WARNING 表示 ALARM/WARNING が発生した場合、通常表示画面の一番上に表示される 画面右上隅に表示される数字は発生した ALARM/WARNING の数 ▽ △ CONTROL：LOCAL MODE：NORMAL コントロールモード： LOCAL , REMOTE , COM ポンプ運転モード ： NORMAL（通常運転） , S.ENERGY（省エネ運転） ▽ △ ALARM/WARNING HISTORY？ ENTER ALARM：CASING TEMP．HIGH アラーム履歴 （過去の履歴表示） ▽ △ ****** &&&&&&&& ENTER ENTER キーを押している間、表示 ▽ △ WARNING：BP MOTOR TEMP．HIGH ポンプ機種 ユニット No． 001 06 00 #### 020901 12：23：21 ENTER 002 51 00 #### 020901 12：25：26 ENTER キーを押している間、表示 ▽ ▽ △ アラーム履歴詳細表示内容 OPE．TIME #### h 運転積算時間 アラーム第 1 コード ▽ △ BACK PRESSURE ##．# kPa 背圧（Option） アラーム第 2 コード 履歴 No． （若い番号ほど新しい履歴） アナログ値 ▽ △ PUMP N2 FLOW ##．# Pam3/s 002 51 00 #### 020901 12：25：26 ポンプ N2 流量 ▽ △ WATER FLOW ##．# L/min 冷却水流量 発生日時 ▽ △ CASING TEMP． ### ℃ ※アラームコードについては表 6.2 を参照してください。 ケーシング温度 ▽ △ BP： #．# k min-1 MP： #．# k min-1 ▽ ポンプ回転数 図 6.2 ポンプ運転状態表示でのキー操作 EBARA CORPORATION PM10U (26) 表6.2 アラームコード一覧表 コード ALARM名 コード 第1コード 第2コード WARNING名 第1コード 第2コード MPケーシング温度 50 01 ポンプN2 0モード異常 ※ 14 00 BPケーシング温度 50 02 ポンプN2 18 00 MPモータ温度 51 00 MPケーシング温度 05 01 BPモータ温度 52 00 BPケーシング温度 05 02 BP過負荷1(サーマル) 54 00 BPモータ温度 23 00 MP過負荷1(サーマル) 55 00 MPモータ温度 24 00 BP過負荷2 67 00 背圧上昇 (△) 21 01 MP過負荷2 68 00 背圧センサ断線 (△) 21 02 BP脱調 69 00 盤内温度上昇 13 00 MP脱調 70 00 MPドライバケース温度 25 01 電源異常 64 00 BPドライバケース温度 25 02 BPドライバ保護作動(OC) 66 01 MPドライバ内温度 25 03 BPドライバ保護作動(OV) 66 02 BPドライバ内温度 25 04 BPドライバ保護作動(OH1) 66 04 内部通信エラー(MPドライバ) 26 01 BPドライバ保護作動(OH2) 66 05 内部通信エラー(BPドライバ) 26 02 BPドライバ保護作動(CPF) 66 06 内部通信エラー(IO) 26 03 BPドライバ保護作動(UV) 66 07 冷却水減少 00 01 BPドライバ保護作動(STA) 66 08 冷却水ValveError (△) 27 01 BPドライバ保護作動(DRE) 66 09 ポンプN2ValveError (△) 27 02 排気N2ValveError (△) 27 03 MPドライバ保護動作(OC) 65 01 MPドライバ保護動作(OV) 65 02 MPドライバ保護動作(OH1) 65 04 ※ ESR20N型のみ MPドライバ保護動作(OH2) 65 05 △はオプション対応です。 MPドライバ保護動作(CPF) 65 06 MPドライバ保護動作(UV) 65 07 MPドライバ保護動作(STA) 65 08 MPドライバ保護動作(DRE) 65 09 漏水 (△) 53 00 背圧上昇 (△) 63 00 非常停止(EMO) (△) 71 00 73 00 冷却水減少 EBARA CORPORATION PM10U P.27 6.3 運転モード選択設定方法 LCDコントローラの通常表示はポンプの状態表示画面になっておりますので ＰＲＧ．キーを3秒以上押すことにより運転モード設定画面に切り替わります。 もう一度1秒以上押すと状態表示画面に戻ります。 運転モード選択の表示内容については、表6.3を参照してください。 表 6.3 運転モード選択の表示内容一覧 項目 ポンプ運転方式の選択 表示 内容 ＳＥＴ ローカル/リモート/通信運転 ＣＯＮＴＲＯＬ ＭＯＤＥ？ の切替を行います。 ＳＥＴ ディップスイッチの設定を行い ＤＩＰ ＳＷ？ ます。（ 6.4 参照 ） ＳＥＴ 通常運転と省エネ運転の切替 ＲＵＮＮＩＮＧ ＭＯＤＥ？ を行います。 ＳＥＴ 通常運転モードでのポンプ ＲＡＴＥＤ ＳＰＥＥＤ？ 回転数を設定します。 ＳＥＴ 省エネ運転モードでのポンプ Ｓ．ＥＮＥＲＧＹ ＳＰＥＥＤ？ 回転数を設定します。 背圧WARNING値設定 ＳＥＴ ＡＬＡＲＭ ＳＰ 背 圧 WARNING 値 の 設 定 を （オプション） ＢＡＣＫ ＰＲＥＳ．？ 行います。 ディップスイッチの設定 ポンプ運転モード選択 通常回転スピード設定 省エネモード 回転スピード設定 設定画面でのキー入力操作は次の通りです。 START ：無効 STOP ：ポンプを停止します。 RESET ：WARNING/ALARMをリセットします。 BZ.OFF ：ディップスイッチの番号が切り替わります。 △ ：ディップスイッチをONに設定します。運転モード選択画面の表示が切り替わります。 ▽ ：ディップスイッチをOFFに設定します。運転モード選択画面の表示が切り替わります。 ENTER ：選択した設定が確定されます。 運転モード選択の設定方法については、図 6.3 を参照してください。 EBARA CORPORATION PM10U (28) BP： ##．# kW MP： ##．# kW ・状態表示画面 状態表示画面が選択されている際に ＰＲＧ． キーを 3 秒以上押す ＰＲＧ． キーを３秒以上押すと運転モ ード設定画面を表示します。 SET CONTROL MODE？ ▽ ・ポンプ運転方式の選択 △ ※設定を変更したいモード表示 画面で SET DIP SW？ ・ディップスイッチの設定 ENTER キーを押 すことにより設定変更画面に 切替わります。 ▽ △ SET RUNNING MODE？ ▽ △ SET RATED SPEED？ ▽ ・通常回転スピード設定 △ SET S．ENERGY ＳPEED？ ▽ ・ポンプ運転モード選択 ・省エネモード回転スピード設定 △ SET ALARM SP BACK PRES．？ ・背圧 WARNING 値設定 ▽ 図 6.3 運転モード選択設定方法 EBARA CORPORATION PM10U P.29 6.3.1 ポンプ運転方式の選択 LOCAL MODE が設定されている場合の表示例 ＰＲＧ． SET CONTROL MODE？ ENTER REMOTE MODE？ COM MODE？ ENTER 設定完了 ENTER 設定完了 ＰＲＧ． REMOTE MODE ： リモート運転（外部信号により起動／停止） LOCAL MODE ： ローカル運転（LCD コントローラにより起動／停止） COM MODE ： 通信運転（RS232C ポートより起動/停止） ※現在設定されていない MODE が表示されますので、設定が必要ない場合は ＰＲＧ． キーを押し てください。前の画面に戻ります。 6.3.2 ディップスイッチの設定 ＰＲＧ． SET DIP SW？ ENTER SET DIP SW A？ ▽ A1 ON ﾛ ﾛ ﾛ OFF ﾛ ﾛﾛ ﾛﾛ ＰＲＧ． △ SET DIP SW B？ ＰＲＧ． ENTER SET DIP SW A？ 設定完了 ENTER B1 ON OFF ﾛﾛﾛﾛﾛﾛﾛﾛ ＰＲＧ． SET DIP SW B？ △，▽キーでディップスイッチの ON，OFF を設定 BZ．OFF キーで 1～8 の選択を切替 ※ ディップスイッチの詳細については 6.4 を参照してください。 EBARA CORPORATION PM10U (30) 6.3.3 ポンプ運転モード選択 NORMAL MODE が設定されている場合の表示例 ＰＲＧ． SET RUNNING MODE？ S. ENERGY MODE？ ENTER ENTER 設定完了 S.ENERGY MODE ： 省エネ運転 NORMAL MODE ： 通常運転 ※現在設定されていない MODE が表示されますので、設定が必要な場合は ＰＲＧ． キーを押し てください。前の画面に戻ります。 6.3.4 通常運転スピード設定 （1） 通常回転スピード設定 （ＭＰ、ＢＰ個別設定） SET NORMAL SPEED？ ENTER ＰＲＧ． ＰＲＧ． SET ROTATION SPEED？ ENTER SET MP NORMAL SPEED？ ENTER NORMAL SPEED MP #．# kmin-1 ENTER △，▽キーで回転数設定 ▽ △ 設定完了 SET BP NORMAL SPEED？ NORMAL SPEED BP #．# kmin-1 ENTER △，▽キーで回転数設定 ＰＲＧ． △ ENTER ▽ ※ESR20Nの場合BPの設定はありません。 ▽ キーで設定値を変更 △ ： 設定値を 0.1 kmin-1 増加させます。 ▽ ： 設定値を 0.1 kmin-1 減少させます。 設定値上限 MP ： 6.0 kmin-1 ， BP ： 6.0 kmin-1 設定値下限 MP ： 4.0 kmin-1 ， BP ： 3.0 kmin-1 EBARA CORPORATION PM10U P.31 機種 ＥＳＲ20Ｎ型 ＥＳＲ80WＮ型 ＥＳＲ200WＮ型 表 6.4 回転数と排気速度の対応 回転数（ｒｐｍ） 排気速度（Ｌ/min） ブースタポンプ メインポンプ ― 4000 1300 ― 4600 1500 ― 5000 1650 ― 5500 1800 ― 6000 2000 3000 4000 4000 3700 4500 5000 4400 4900 6000 5000 5400 7000 6000 6000 8500 3000 4000 10000 3600 4400 12000 4500 5000 15000 5400 5600 18000 6000 6000 20000 （2） 通常回転スピード設定 （排気速度設定） SET NORMAL SPEED？ ENTER ＰＲＧ． SET ROTATION SPEED？ ▽ ＰＲＧ． △ SET PUMPING SPEED？ ENTER ＰＲＧ． *1 SET SPEED ##### L/min ▽ 設定完了 △ *2 SET SPEED ##### L/min ＰＲＧ． ENTER ENTER 設定完了 SET PUMPING SPEED ： 排気速度を選択する事で、MP、BP の回転数が設定されます。 表 6.5 機種別排気速度 ポンプ機種 *1 ESR20N型 1300 L/min ESR80WN型 4000 L/min ESR200WN型 10000 L/min *2 2000 L/min 8500 L/min 20000 L/min EBARA CORPORATION PM10U (32) 6.3.5 省エネモード回転スピード設定 ＰＲＧ． SET S．ENERGY ＳPEED? ENTER SET MP S．ENERGY ＳPEED? ENTER S．ENERGY ＳPEED MP #．# kmin-1 ENTER 設定完了 △，▽キーで回転数設定 △ ▽ SET BP S．ENERGY ＳPEED? ENTER S．ENERGY ＳPEED BP #．# kmin-1 ENTER 設定完了 △，▽キーで回転数設定 ＰＲＧ． ※ESR20Nの場合BPの設定はありません。 △ ▽ キーで設定値を変更 △ ： 設定値を 0.1 kmin-1 増加させます。 ▽ ： 設定値を 0.1 kmin-1 減少させます。 設定値上限 MP，BP 共 ：通常回転数の設定値以下 設定値下限 MP ： 1.0 kmin-1 ， BP ： 1.0 kmin-1 6.3.6 背圧 WARNING 値設定（オプション） ＰＲＧ． SET ALARM SP BACK PRES．? ENTER BACK PRES．SP # # ．# kPa ENTER 設定完了 △，▽キーでWARNING値設定 △ ▽ キーで設定値を変更 △ ： 設定値を 0.5 kPa 増加させます。 ▽ ： 設定値を 0.5 kPa 減少させます。 設定値上限 ： 30.0 kPa 設定値下限 ： 5.0 kPa 出荷時の設定値 ： 20.0 kPa WARNING リセット値 ： 設定値 –2.0 kPa EBARA CORPORATION PM10U P.33 6.4 ディップスイッチ ディップスイッチを切り替えることで表 6.6 , 6.7 , 6.8 の運転モードを選択できます。 No. １ ２ ３ ４ ５ ６ ７ ８ 内 容 通信データ長 冷却水、N2 の監視 ブザー リモート切替え 外部起動/停止信号 ポンプ N2 モード ※1 希釈 N2 モード ※2 リモート時のＢＰ運転 表 6.6 ディップスイッチＡ設定 ＯＦＦ ＯＮ ７ビット ８ビット 常時 運転中のみ 使用しない 使用 信号呼応 ポンプ停止 オルタネート(レベル)信号 モメンタリ(パルス)信号(△) 標準モード ポンプ N2-0 モード 標準モード 希釈 N2-0 モード 自動運転 外部運転信号入力 ※1 ESR20N 型に使用 初期値 ON OFF ON OFF OFF OFF OFF OFF (△)：オプション対応 ※2 ESR80WN 型/ESR200WN 型に使用 No. １ ２ ３ ４ ５ ６ ７ ８ 内 容 --------冷却水バルブ制御※ ポンプ N2 バルブ制御※ 排気 N2 バルブ制御※ リモートインタフェイス 欠相検知 LCD 画面初期化 表 6.7 ディップスイッチＢ設定 ＯＦＦ ＯＮ ----------------無 有 無 有 無 有 オプション 標準 標準 カウントダウン中のみ 初期化する 初期化しない 初期値 --------OFF OFF OFF ON OFF OFF ※ オプション対応となります。 No. １ ２ ３ ４ ５ ６ ７ ８ 内 容 PUMPN2 WARNIG 出力 EXT WARNIG 出力 ------------------------- 表 6.8 ディップスイッチ C 設定 ＯＦＦ ＯＮ NORMAL OPEN NORMAL CLOSE NORMAL OPEN NORMAL CLOSE ------------------------------------------------- 初期値 OFF OFF ------------------------- 〈A-No.1〉：RS232C 通信ポートによる運転状況の監視では、通信データ長を 7 ビットと 8 ビットに選択 できます。 〈A-No.2〉：冷却水・N2 の監視は、“常時監視”と“運転中のみ監視”を選択できます。 冷却水は“運転中のみ監視”でもポンプ冷却の為、停止後 15 分間は監視を継続します。 N2 パージはポンプの反応副生成物堆積や腐食を軽減する為に、停止中も継続することを 推奨致します。 EBARA CORPORATION PM10U (34) 〈A-No.3〉：アラーム・トリップ発生時の警報(ブザー)は、使用の有無を選択できます。 〈A-No.4〉：ディップスイッチをローカルからリモートに切り替える際に、“外部起動信号に応じてポンプ 起動・停止”(信号呼応)と“外部信号に関わらずポンプ停止”(ポンプ停止)を選択できます。 ［注］ ブザー使用(ディップスイッチ A-No.3)とリモート/ローカル(ユーザー設定モード)は、いつ でも切り替え可能です。ディップスイッチ A-No.3(ブザー)以外のディップスイッチの切り替 えを行うと、電源投入時と同様に LCD コントローラには 10 秒のカウントダウンを表示しま す。 〈A-No.5〉：外部起動/停止は“オルタネート信号(起動信号の ON/OFF)”と“モメンタリ信号(ON 信号と OFF 信号の 2 種のパルス信号)”を選択できます。 ［注］ オプションのモメンタリに対応したインターフェイス盤を使用した場合のみモメンタリ信号 が選択可能となります。 〈A-No.6〉：ポンプ N2 ガス使用の有／無を選択できます。反応副生成物がポンプ内部に発生しないプロ セス、あるいは腐食性ガスのないプロセスの場合は、ディップスイッチ A-No.6 を ON にし、ポン プ N2 バルブを閉じることで N2：0 Pa m3/s にて運転が可能です。 ポンプ N2 切替バルブとディップスイッチ A-No.6 は必ず組合わせて使用してください。 ［注］ ポンプ N2 切替バルブはポンプ正面（操作盤面）より向かって右側側面に 2 個あります。 〈A-No.7〉：希釈 N2 ガス使用の有/無を選択できます。反応副生成物がポンプ内部に発生しないプロセ ス、あるいは腐食性ガスのないプロセスの場合は、ディップスイッチ A-No.7 を ON にし、N2 切替バルブを閉じると、N2 消費量を節約できます。 N2 切替バルブとディップスイッチ A-No.7 は、必ず組み合わせて使用してください。 [注] N2 切替バルブは、ポンプ正面(操作盤面)より向かって右側側面に 2 個あります。 [注] バルブを操作してから流量が安定するまで十数秒かかります。 〈A-No.8〉：リモート(遠隔操作)選択時におけるブースタポンプ(BP)の運転は、“自動運転”と“外部信号 に応じて起動・停止”を選択できます。 〈B-No.3〉：ポンプ冷却水入口にバルブを取付けることにより、ポンプへの冷却水の供給を制御するこ とができます。但し、オプション対応となります。 〈B-No.4〉：ポンプユニット内部Ｎ２配管にバルブを取付けることにより、ポンプへのＮ２供給を 制御することができます。但し、オプション対応となります。 〈B-No.5〉：ポンプユニット以降の排ガス希釈Ｎ２配管（希釈Ｎ２ユニット等）にバルブを取付けることに より、排ガス希釈Ｎ２の供給を制御することができます。但し、オプション対応となります。 EBARA CORPORATION PM10U P.35 〈B-No.6〉：ＥＳＲ型用専用インターフェイス盤の使用／未使用を選択できます。 ・使用（オプション）：設定ＯＦＦ（ＥＳＲ型用専用インターフェイス盤使用時） ・未使用（標準）：設定ＯＮ（ＥＳＲ型用専用インターフェイス盤未使用時） [注] 設定 OFF にした場合 ＥＳＲ型専用インターフェイス盤からの信号は出力されますが、 ポンプ直面の制御信号コネクタ（ＣＮ－Ｚ、ＣＮ－Ｙ）からは信号出力しません。 〈B-No.7〉：電源の欠相検知方法を選択できます。 〈B-No.8〉：運転状態表示は通常 60 秒で電力値表示に戻りますが、現在選択されている 運転状態表示のまま、表示を固定する／しないを選択できます。 〈C-No.1〉：PUMP N２ WARNING 出力の種類を NORMAL OPEN もしくは NORMAL CLOSE のどちらか 選択できます。 〈C-No.2〉：EXT N2 WARNING 出力の種類を NORMAL OPEN もしくは NORMAL CLOSE のどちらか選 択できます。 ［注意］ ディップスイッチの設定において、選択項目のない No.については初期設定のままにして下さ い。切替えるとポンプトラブルの原因になる可能性があります。 EBARA CORPORATION PM10U (36) 6.5 ディップスイッチ設定画面 状態表示 LED（ｵﾚﾝｼﾞ） LCD （ 液 晶 デ ィ ス プ レ イ） 状態表示 LED（緑） ブザー 状態表示 LED（赤） 押しボタンスイッチ 図 6.4 LCD コントローラ 設定画面でのキー入力操作は次の通りです。 START ： 無効 STOP ： ポンプを停止します。 RESET ： WARNING/ALARM をリセットします。 BZ . OFF ： ディップスイッチ番号が切り替わります。 △ ： ディップスイッチ ON に設定します。 ▽ ： ディップスイッチ OFF に設定します。 ENTER ： 表示画面（階層）の移動、または設定内容の表示 ディップスイッチＢ ディップスイッチＡ A＊ ON OFF B＊ ON OFF “＊”は設定中のディップスイッチ番号を表示します。 図 6.5 ディップスイッチ [注意] ポンプ運転中は、ディップスイッチ A-No.3 (ブザー) 以外のディップスイッチは、切り替えがで きません。 [注意] ディップスイッチ A-No.3 (ブザー) 以外のディップスイッチの切り替えを行なうと、電源投入時 と同様に LCD コントローラには 10 秒のカウントダウンを表示します。 [注意] ディップスイッチ設定中に WARNING/ALARM が発生すると、設定は自動的に中止され、 WARNING/ALARM 表示画面に切り替わります。この時変更した設定は有効になりません。 EBARA CORPORATION PM10U P.37 ［注］ 出荷時の各ディップスイッチは以下の通りに設定されています。 通信データ長 ： 8 ビット 冷却水、N2 監視 ： 常時監視 ブザー ： 使用 リモート切り替え時 ： 信号呼応 外部起動／停止信号 ： オルタネート信号 ポンプ N2 ： 標準モード 希釈 N2 ： 標準モード リモート時の BP 運転 ： 自動運転 6.6 LCD コントローラからの起動／停止操作 LCD コントローラは最大 2 個まで接続することが可能です。但し、どちらか一方のコントローラのみでし か START/STOP の操作ができません。（もう一方のコントローラでは、ポンプの状態表示を確認するこ とができます。） 「LOCAL」の LED が点灯してる側のコントローラが START/STOP の操作が優先されます。 1 個のみ接続されている場合は、そのコントローラで START/STOP 操作が可能です。 1 個接続 START/STOP 操作 可能 2 個接続 「LOCAL」の LED が点灯 している側が可能 ※ 2 個接続して操作したいコントローラを選択したい場合は、操作が不要のコントローラをポンプから いったん取り外して、再度取付けてください。 EBARA CORPORATION PM10U (38) 7. 運転 7.1 始動する前に (1) 冷却水を流し、配管接続部からの水漏れがないか点検してください。 [注意] 冷却水が充分に供給されないと、温度上昇でロータ接触などのトラブルが発生します。 [注] 冷却水流量調整バルブは、ポンプユニット内にはついておりません。 (2) N2 ガスを流してください。 ポンプに付属しているレギュレータが、閉じていることを確認（圧力調整つまみを左方向いっぱい に回転）します。元バルブを開いて配管接続部から N2 ガス漏れがないか点検してください。 圧力調整つまみをゆっくり右に回し、圧力（ゲージ圧）をまず 0.05 MPa にセットしてください。 セット後、つまみの赤いストッパを押し込んでロックしてください。 [警告] N2 パージ口はポンプ内部の腐食、反応副生成物を低減するための N2 ガス供給用です。 可燃性及び有毒ガスを安全濃度まで希釈する場合は、排気配管に別途 N2 ガスを供給 する必要があります。 [注意] 急激に圧力調整つまみをまわすと、レギュレータの圧力計指示針が振り切れ、正確な指 示が出来なくなります。 [注意] N2 ガスが充分に供給されないと、オイルバックやポンプ内部の腐食・生成物付着等の トラブルが発生します。 ESR20N 型の場合 ディップスイッチ A-No.6 のポンプ N2 モードの設定に応じてポンプ N2 バルブを操作してください。 スイッチ OFF ： バルブ開 ON ： バルブ閉 [注] 通常は、ポンプ N2 バルブを開けて使用してください。反応副生成物がポンプ内部に発生し ないプロセス、あるいは腐食性ガスのないプロセスの場合は、ディップスイッチ A-No.6 を ON にし、ポンプ N2 バルブを閉じてください。N2：0 Pa m3/s にて運転が可能です。 ポンプ N2 切替バルブとディップスイッチ A-No.6 は必ず組合わせて使用してください。 [注意] N2：0 Pa m3/s で運転する場合は、必ずポンプ N2 バルブを閉めてください。 バルブを閉めないとポンプ内部及び吸気側へ潤滑油が逆流する場合があります。 [注] ポンプ N2 切替バルブはポンプ正面（操作盤面）より向かって右側側面に 2 個あります。 EBARA CORPORATION PM10U P.39 ESR80WN 型/ESR200WN 型の場合 ディップスイッチ A-No.7 の希釈 N2 モードの設定に応じて希釈 N2 切替えバルブを操作してください。 スイッチ OFF ： バルブ開 ON ： バルブ閉 [注] 通常は、希釈 N2 バルブを開けて使用してください。反応副生成物がポンプ内部に発生しな いプロセス、或いは腐食性のないプロセスの場合にはバルブを閉めることで、N2 ガス消費 量を少なくできます。 [注] N2 切替バルブは、ポンプ正面(操作盤面)より向かって右側側面にあります。 [注] バルブを操作してから流量が安定するまで十数秒かかります。 (3) ポンプに電源を供給してください。 (4) 漏電ブレーカ(ELB)を ON にすると、LCD コントローラが 10 秒のカウントダウンを表示します。 [注] ELB 投入後 10 秒間は、計器のウォーミングアップのためポンプは運転できません。 (5) LCD コントローラの"WATER FLOW"表示にて冷却水量が 2L/min 以上あることを確認してください。 (6) LCD コントローラの"PUMP N2 FLOW"表示にてポンプ N2 量が 18～22Pam3/s の範囲になるようレ ギュレータを再調整し、圧力計が 0.04～0.07MPa であることを確認してください。 圧力セット後、レギュレータのつまみの赤いストッパを押し込んでロックしてください。 この状態で軸シール N2 量は 4.6～6Pa m3/s 流れます。 LCD コントローラに表示されている流量は、軸シール N2 量＆希釈 N2 量の合計を表します。 (7) WARNING／ALARM 表示が LCD コントローラに出ている場合、または表示以外にも異常な症状が 現われた場合は、10.「トラブルシューティング」に従い処置してください。 WARNING／ALARM は発生原因が消えても、リセット信号が入るまでは保持されます。LCD コントロ ーラの「RESET」ボタンを押すか、もしくは制御信号コネクタから外部リセット信号を入れてください。 ディップスイッチにてブザー使用モードの時は、「BZ . OFF」ボタンを押してアラーム発生中でもブザ ーを停止することができます。 (8) ポンプの排気配管にバルブがある場合は、ポンプ運転前にバルブを開いてください。 [注意] バルブを閉じたまま運転するとポンプは排気配管を加圧し、トラブルの原因になります。 EBARA CORPORATION PM10U (40) 7.2 運転・停止 リモート／ローカル／通信とブザー使用は、LCD コントローラでいつでも切り替えできます。 使用条件に合わせて切り替えてください。（6.3 運転モード選択設定方法参照） [警告] 運転中と停止後しばらくの間はポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないでください。 外装カバーは、運転中絶対に取り外さないでください。 [注意] 反応副生成物がポンプ内部に発生したり、あるいは腐食性のあるガスを扱うプロセスの 場 合、プロセスガスを止めて 30 分以上経過してからポンプを停止してください。 [注意] ポンプ停止後もプロセスガスが真空配管および内部に残っています。 N2 パージをポンプ停止後から 1 時間以上行ってください。 ポンプ停止期間が短期の場合は N2 パージを止めないでください。 [注意] ポンプは、停止後も大変熱くなっています。冷却水はポンプ停止後 1 時間程度流してください。 [注] プロセスガスの排気はポンプ立ち上げ後、30 分以上経過してから行ってください。 ただし、4 時間程度でポンプケーシング温度が安定しますので、それ以後の排気開始をおすす めします。 ディップスイッチ A-No.4 を ON にすると、ローカルからリモートへ切り替える際にポンプは外部信号に 関わらず停止します。 7.2.1 ローカル(機側)運転・停止 a) 運転 コントローラの「START」ボタンを押してください。 メインポンプ(MP)が起動し、コントローラの「M.P.RUN」ランプが点灯します。MP 回転スピードが 3000min-1 到達後ブースタポンプ（BP）が起動し、コントローラの「B.P.RUN」ランプが点灯します。 ポンプ運転中は、ディスプレイに電力値が表示されます。 その他のポンプ状態表示については、表 6.1 を参照ください。 ［注］ WARNING／ALARM 発生時はポンプは始動しません。「START」ボタンを押すとディスプレイに "STARTFAIL"表示が出ます。 b) 停止 EBARA CORPORATION PM10U P.41 コントローラの「STOP」ボタンを押してください。ポンプが停止します。 「RUN」ランプが消え、ディスプレイの電力値が 0.0kW と表示されます。 7.2.2 リモート（遠隔）運転・停止 a) 運転 制御コネクタから MP 外部起動信号を入れてください。MP が起動します。 DIP SW A-8 が OFF の場合 ： MP 回転スピードが 3000min-1 到達後、BP が自動的に起動 されます。 DIP SW A-8 が ON の場合 ： MP 回転スピードが 3000min-1 到達後、BP 外部起動信号を 入れてください。BP が起動します。 ポンプ運転中は、ディスプレイに電力値が表示されます。その他のポンプ状態表示については、 表 6.1 を参照ください。 ［注］ WARNING／ALARM 発生時はポンプは始動しません。起動信号を入力するとディスプレイに "STARTFAIL"表示が出ます。 b) 停止 MP 外部起動信号を切ってください。ポンプが停止します。 7.2.2 通信運転・停止 a) 運転 通信コネクタからメインポンプ（MP）起動コマンドを入れてください。MP が起動します。 DIP SW A-8 が OFF の場合 ： MP 回転スピードが 3000min-1 到達後、BP が自動的に起動 します。 DIP SW A-8 が ON の場合 ： MP 回転スピードが 3000min-1 到達後、BP 起動コマンドを入 れてください。BP が起動します。 ポンプ運転中は、ディスプレイに電力値が表示されます。その他のポンプ状態表示については、 表 6.1 を参照ください。 ［注］ WARNING／ALARM 発生時はポンプは始動しません。「START」ボタンを押すとディスプレイ に"STARTFAIL"表示が出ます。 b) 停止 通信により MP 停止コマンドを入力してください。ポンプが停止します。 ※詳細は、通信仕様書を参照願います。 EBARA CORPORATION PM10U (42) 8. 保守・点検 8.1 日常点検 定期的にコントローラ又はリモート出力に WARNING 表示が出ていないか確認してください。 WARNING/ALARM 表示が出ている場合は、10.「トラブルシューティング」に従い処置してください。 また、潤滑油量が油面計の下側ラインより低くなっている場合は、潤滑油の補給が必要になります。 その場合には、8 . 3「潤滑油」に従い処置してください。 ［警告］ 保守作業前にポンプへの電源供給を止めてください。必ず漏電ブレーカ（ ELB ）を切って 作業してください。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないでください。 外装カバーは、運転中絶対に取外さないでください。 WARNING/ALARM は発生原因が消えても、リセット信号が入るまでは保持されます。 処置後は、コントローラの「RESET」ボタンを押すか、もしくは制御信号コネクタからリセット信号を入力 して WARNING/ALARM をリセットしてください。 ［注意］ WARNING 発生でポンプは停止しませんが、そのままの状態で運転を続けると、ポンプは ALARM 又は重大な故障を発生します。１サイクルの装置オペレーションが終わった時点で 10.「トラブルシューティング」に従いポンプのチェックを行ってください。 ［注意］ リモート運転で ALARM が発生した場合、外部起動信号を切ってから保守作業を行ってくだ さい。 オルタネートの外部起動信号が入力されたままですとリセットと同時にポンプがス タートします。 LCD コントローラの表示以外にも異常な症状が現われた場合は、10.「トラブルシューティング」に従い 処置してください。 ブザー使用モードの時は「 BZ . OFF」ボタンを押すことで、WARNING 発生中でもブザーを停止できま す。 EBARA CORPORATION PM10U P.43 8.2 真空・排気配管 ［警告］ 可燃性物質、有毒物質、危険物質が周囲に飛散したり、人体に接触・吸収されないよう 対策を講じてから作業をしてください。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないでください。 外装カバーは、運転中絶対に取外さないでください。 ［警告］ 配管のメンテナンス後は、リークチェックを必ず行ってください。加圧によるリークチェックを 行う場合は、N2 パージ口より 0.05MPa で加圧してリークチェックを行って下さい。 ポンプの真空・排気配管などをメンテナンスする場合は、下記の点に注意してください。 (1) 配管の取外し、洗浄を行う際は作業の前に充分な N2 パージを行ってください。 (2) 排ガス処理装置がある場合は、N2 パージを止めた後に排ガス処理装置の入口弁を閉めてから配 管を外してください。 (3) 電源の供給は必ず止めてください。 (4) 配管を洗浄後は、完全に乾燥させてから取付けてください。 8.3 潤滑油 日常の点検で油量が油面計の下限ラインより下側にある場合、潤滑油の補給が必要となります。 以下の通り処置してください。 (1) ポンプの運転を停止し、ポンプ側面外装カバーを外してください。(図 8.1 参照) 図 8.1 側面外装カバー取り外し方 EBARA CORPORATION PM10U (44) (2) ポンプ内部の圧力が大気圧に戻るまで待った後、給油口のプラグをはずしてください (図 8.2 参照)。 (3) 油面計の窓から油面レベルを確認し、上側ラインと下側ラインの間にくるよう潤滑油を給油してくだ さい(図 8.2, 8.3, 8.4 参照)。 (4) プラグに付いている O-リングに付着物や破損がないか注意の後、給油口を閉めてください。 (5) 潤滑油の補給を行った後には、必ずリークチェックを行ってください。 給油口 給油口 油面計 油面計 油ドレン口（油室） 油ドレン口（油室） 図 8.2 給油口、油面計およびドレン口の位置 EBARA CORPORATION PM10U P.45 上側ライン 上側ライン 下側ライン 下側ライン 図 8.3 BP 油面計 図 8.4 MP 油面計 [注意] 潤滑油は、表 3.1 仕様表に記載されているものを必ずご使用ください。 [注意] 添付の製品安全データシート(MSDS)に基き、産業廃棄物業者によって廃油を処置してください。 [注意] 潤滑油を上側ラインを超えて入れた場合には、潤滑油が排気側に漏れ出す場合があります。潤滑 油を補給する場合は、上側ラインを超えない様に注意してください。 [注意] 潤滑油が下側ラインより低い場合、重大な故障が発生することがあります。発見した場合にはすみ やかに潤滑油を補給してください。 EBARA CORPORATION PM10U (46) 8.4 メンテナンス用部品 次にあげる部品はご使用先でのメンテナンスの際に必要な部品です。 表 8.1 メンテナンス用部品リスト 1. 標準消耗部品 部品名 潤滑油(添加剤入り) 型式 パーツ No. BARRIERTA J100ES C-0402-000-0111 型式 パーツ No. 2. 安全な運転に必要な部品 部品名 O リング （バイトンＡ） NW40 C-1210-352-0001 G55 （排気逆止弁用） C-1210-089-0201 型式 パーツ No. 3. 迅速なメンテナンス作業のための推奨部品 部品名 排気逆止弁 32X80L C-2244-031-0001 4. その他予備推奨部品 部品名 型式 パーツ No. BP 油面計 ----- C-3216-006-0011 MP 油面計 ----- C-3216-005-0001 冷却水流量センサ ポンプ N2 流量センサ （ESR20N 型） ポンプ N2 流量センサ （ESR80WN 型/ESR200WN 型） 10 L/min C-5138-061-0001 ３ C-5138-062-0001 ３ C-5138-062-0111 84.4 Pa m /s 84.4 Pa m /s 熱電対ポルト T タイプ，M8 C-1019-121-0001 N2 レギュレータ R31-200-C121 C-2250-101-0001 モータドライバー（ESR20N 型） MP 用 C-5152-096-0001 BP 用 C-5152-098-0001 MP 用 C-5152-096-0001 BP 用 C-5152-097-0001 MP 用 C-5152-096-0001 モータドライバー（ESR80WN 型） モータドライバー（ESR200WN 型） 制御基板 操作盤用 ----- EBARA CORPORATION PM10U P.47 次の警告ラベルは、ポンプ外装カバーに貼付されています。 変色や剥がれたりして読みにくくなった場合はご使用先にて再度、貼付ください。 表 8.2 ラベル ［危険］ ［警告］ ［警告］ ［警告］ ［警告］ ［注意］ ラベル名 重量物危険ラベル 危険電圧警告ラベル 高温警告ラベル 危険物質警告ラベル アイボルト高温警告ラベル 充電マークラベル パーツ No. C-7110-316-0001 C-7110-313-0001 C-7110-312-0001 C-7110-314-0001 C-7110-317-0001 C-7110-315-0001 8.5 メンテナンスに伴う廃棄物 表 8.4 は、標準的な保守作業で排出される廃棄物です。ポンプが設置されている地域で定められた法律 及び政令に従って処分してください。 表 8.4 主な廃却物 廃却物 潤滑油 使用箇所 ポンプ内部 8.3 参照 注記 Appendix1 MSDS 参照. CPU ボード. リチウム電池 (通常のメンテナンスでは取り Appendix3 MSDS 参照. 外しません) O-リング 真空上ライン接続部 一般産業廃棄物 8.6 オーバーホール オーバーホール作業は適切な教育を受けた方が行ってください。 オーバーホールに関するお問い合わせは、当社営業所もしくはサービスセンターへお尋ねください。 EBARA CORPORATION PM10U (48) 9. 取外し・輸送 ［警告］ ヒ素、水銀等毒性の強いガスを使用された場合は、ポンプを返送される前に必ず当社に ご連絡ください。 ［注意］ ポンプの輸送や分解洗浄作業の安全のために、使用ガスは必ず記入してください。 使用したポンプを取外し、輸送する場合は下記の手順に従ってください。 (1) ポンプを停止し、ポンプ内を N2 ガスで充分置換してください。 (2) ポンプへの電源供給を止めて動力配線、信号配線をはずしてください。 (3) N2 用レギュレータを全閉にしてから N2 配管をはずして、N2 パージ口をシールなどで密閉してくだ さい。 (4) 冷却水配管をはずしてください。カプラ中心のポペットを押して水抜きを行ってください。 (5) 真空・排気配管をはずして、ポンプ吸気口、排気口を閉止フランジなどで完全に密閉してください。 ディファレンシャルポート等、プロセスガスが流出する所は全てプラグなどで密閉してください。 ［注］ ディファレンシャルポートはオプション対応です。 (6) LCD コントローラは、制御盤前面パネルに取付け、テープで固定してください。 (7) ポンプ本体をビニールシート等で密閉してください。 (8) ポンプの積み降ろしの際には、付属のアイボルトを使用してください。アイボルトは完全にしめこん で座面を密着させてください。吊り角度(ワイヤとワイヤのつくる角度)が 60°以内になるようにワイ ヤ長さを選んでください。（図 9.1 参照） ［危険］ 吊り上げたポンプの下へ入っての作業は、絶対行わないでください。 ［警告］ 吊り作業は有資格者以外の方は絶対行わないでください。 ポンプを吊るワイヤロープやクレーンは、ポンプ重量に合わせ適正なものを選んで 使用してください。 荷重がかたよらないように、吊り角度の振分けを均等にして吊り上げてください。 EBARA CORPORATION PM10U P.49 60°以内 LCD ｺﾝﾄﾛｰﾗ 図 9.1 ポンプ吊り上げ (9) オプションでインターフェイスボックス等が付いている場合は、ワイヤがぶつからないよう注意してく ださい。 (10) 輸送の時には、アジャスタフットを下げ固定してください。あて布のほかに固定用ワイヤの荷重を 分散する部材を外装カバーとワイヤの間にはさんでください。 EBARA CORPORATION PM10U (50) 10. トラブルシューティング 10.1 トラブルシューティング(1):根本的なトラブル 異常症状 チェック項目 処置 ELB が投入できない コネクタへの配線ミス 配線をチェックしてください （漏電・短絡が検知される） 内部配線のショート ポンプ交換/分解整備が必要です。 ディスプレイに何も表示が出ない ELB が投入されていない ELB を投入してください ディスプレイの表示がおかしい LCD のコネクタが接続されていない コネクタを接続してください 計装品の故障 計装品の交換が必要です START ボタンを押しても 運転モードがリモートまたは、通信になっ 運転モードをローカルにしてください ポンプ(MP)が始動しない ている 起動条件が満足されていない 起動条件を整えてください （ディスプレイに STARTFAIL が表示される） 計装品の故障 計装品の交換が必要です 外部起動信号を入れても 運転モードがローカルまたは、通信になっ 運転モードをリモートにしてください ポンプ(MP)が始動しない ている 起動条件が満足されていない 起動条件を整えてください （ディスプレイに STARTFAIL が表示される） 計装品の故障 計装品の交換が必要です 異音がする アジャスタフットが降りていない アジャスタフットを 4 ヶ所共使用してください 振動が激しい 外装カバーに接触物がある 接触物を取り除いてください 外装カバーの取付ビスのゆるみ 取付ビスを締めてください ポンプ部品の損傷 ポンプ交換/分解整備が必要です 真空度が上がらない ELB を投入後、もしくはディップスイッ 吸気側配管に生成物が堆積 配管を洗浄してください N2 パージの圧力設定値が高い パージ圧力を適正値にセットしてください 吸気側配管のリーク 配管を点検してください ポンプに生成物が堆積 ポンプ交換/分解整備が必要です なし ポンプに電気ノイズ対策が必要です チ の 設 定 を 変 更 し た 後 、 LCD に **MEMORY ERROR**が表示される ［警告］ 配線や保守作業は必ず漏電ブレーカ（ ELB ）を切って行ってください。 作業が終了するまでは、ポンプに絶対電源を供給しないでください。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないでください。 外装カバーは、運転中絶対に取外さないでください。 ［警告］ ポンプ据付や配管のメンテナンス後は、リークチェックを必ず行ってください。リークがあると ポンプから有害物質・危険物質の放出や、ポンプへの空気吸入による異常反応がおきて 非常に危険です。加圧によるリークチェックを行う場合は、N2 パージ口より 0.05MPa で加圧 してリークチェックを行って下さい。 EBARA CORPORATION PM10U P.51 10.2 トラブルシューティング(2):WARNING ディスプレイ表示 ＷＡＲＮ：ＷＡＴＥＲ ＦＬＯＷ ＬＯＷ ＷＡＲＮ：ＰＵＭＰ ＦＬＯＷ ＬＯＷ 現象 冷却水流量の低下 Ｎ２ ＷＡＲＮ：ＣＡＳＩＮＧ ＴＥＭＰ ＨＩＧＨ ポンプＮ２流量の低下 ケーシング温度上昇 チェック項目 冷却水のカプラが外れている 処置 カプラを接続してください 給水圧力の不足 充分な圧力をかけてください ユーティリティのバルブが閉じている バルブを開けてください 冷却水配管の詰まり 洗浄/交換が必要です 冷却水配管からの漏水 継手の締め直しが必要です 計装品の故障 計装品の交換が必要です 冷却水入口、出口逆接続（流量表示 0L/min） 冷却水入口、出口を正しく接続してください Ｎ２の継手が接続されていない 継手を接続してください 一次側圧力の不足 充分な圧力をかけてください レギュレータの圧力設定値が低い 設定値を上げてください Ｎ２配管の詰まり N2 配管の交換が必要です Ｎ２配管からのリーク 継手の締め直しが必要です 計装品の故障 計装品の交換が必要です ダクト排気の不足 充分なダクト排気を行ってください ポンプ背圧の上昇 排気配管をチェックしてください ガス負荷の増大 流入ガス量を減らしてください 生成物によるガス温上昇 ポンプ交換/分解整備が必要です 冷却水量低下によるガス温上昇 冷却水量を増やしてください ＷＡＲＮ：ＭＰ ＭＯＴＯＲ ＴＥＭＰ ＨＩＧＨ メインポンプ（ＭＰ）の モータコイル温度上昇 冷却水量低下によるコイル温度上昇 ポンプを充分に冷却後再起動してください ＷＡＲＮ：ＭＰ ＤＲＩＶＥＲ ＴＥＭＰ ＨＩＧＨ ＃＃＃＃＃ メインポンプ（ＭＰ）ドラ イバの温度上昇 ダクト排気の不足 充分なダクト排気を行ってください 冷却水量の低下 冷却水量を増やしてください ＷＡＲＮ： ＃＃ ＣＯＭＭ．ＥＲＲＯＲ 通信の不成立 計装品の接続不良 計装品の接続を確認してください 計装品の故障 計装品の交換が必要です ＷＡＲＮ：ＰＵＭＰ ＴＥＭＰ ＨＩＧＨ ポンプユニット内の 温度上昇 ダクト排気の不足 充分なダクト排気を行ってください 冷却水量の低下 冷却水量を増やしてください N2 バルブ開 Ｎ2_0 モード設定で N2 バルブが開いている N2 バルブを閉じる ＷＡＲＮ：PUMP Ｎ2 VALVE ERROR ＢＯＸ ※上の処置を行った後、リセットを行ってください。WARNING の原因が残っていると、リセットを行って も 再び WARNING 表示が出ます。 ［警告］ 配線や保守作業は必ず漏電ブレーカ（ ELB ）を切って行ってください。 作業が終了するまでは、ポンプに絶対電源を供給しないでください。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないでください。外装カバーは、運転中絶対に取外さないでください。 ［警告］ ポンプ据付や配管のメンテナンス後は、リークチェックを必ず行ってください。リークがある とポンプから有害物質・危険物質の放出や、ポンプへの空気吸入による異常反応がおきて 非常に危険です。加圧によるリークチェックを行う場合は、N2 パージ口より 0.05MPa で加圧 してリークチェックを行って下さい。 EBARA CORPORATION PM10U (52) 10.3 トラブルシューティング(3):ALARM ディスプレイ表示 ＡＬＡＲＭ：ＷＡＴＥＲ ＦＬＯＷ ＬＯＷ ＡＬＡＲＭ：ＣＡＳＩＮＧ ＴＥＭＰ Ｈ．ＨＩＧＨ 現象 冷却水流量の低下 ケーシング温度上昇 チェック項目 冷却水のカプラが外れている 処置 カプラを接続してください 給水圧力の不足 十分な圧力をかけてください ユーティリティのバルブが閉じている バルブを開けてください 冷却水配管の詰まり 洗浄/交換が必要です 冷却水配管からの漏水 継手の締め直しが必要です 計装品の故障 計装品の交換が必要です 冷却水入口、出口逆接続（流量表示 0L/min） 冷却水入口、出口を正しく接続してください ダクト排気の不足 充分なダクト排気を行ってください ポンプ背圧の上昇 排気配管をチェックしてください ガス負荷の増大 流入ガス量を減らしてください 冷却水量低下によるガス温上昇 ポンプを充分に冷却後、再起動してください 生成物によるガス温上昇 ポンプ交換/分解整備が必要です ＡＬＡＲＭ：ＭＰ ＭＯＴＯＲ ＴＥＭＰ Ｈ．ＨＩＧＨ メインポンプ（ＭＰ）の モータコイル温度上昇 冷却水量低下によるコイル温上昇 ポンプを充分に冷却後、再起動してください モータの異常 ポンプ交換/分解整備が必要です ＡＬＡＲＭ：ＭＰ ＯＶＥＲＬＯＡＤ メインポンプ（ＭＰ）の モータ電流値上昇 ポンプ背圧の上昇 排気配管をチェックしてください ガス負荷の増大 流入ガス量を減らしてください ＡＬＡＲＭ：ＭＰ ＳＴＥＰ ＯＵＴ ＭＯＴＯＲ ＡＬＡＲＭ： ＭＰ ＤＲＩＶＥＲ ＭＯＴＯＲ ＃＃＃ メインポンプ（ＭＰ）の モータ脱調 再起動できない メインポンプ（ＭＰ）の モータドライバ 保護回路作動 再起動できない ＡＬＡＲＭ： ＰＨＡＳＥ ＥＲＲＯＲ 電源の欠相 ＡＬＡＲＭ：ＳＴＡＲＴＦＡＩＬ ＡＬＡＲＭ／ＷＡＲＮ ＥＸＩＳＴ 起動失敗 ロータ接触（生成物によるガス温上昇） ポンプ交換/分解整備が必要です ロータ接触（異物の噛み込み） ポンプ交換/分解整備が必要です 電圧異常（欠相） 欠相作動不良 計装品の故障 計装品の交換が必要です ポンプ背圧の上昇 排気配管をチェックしてください ガス負荷の増大 流入ガス量を減らしてください ロータ接触（生成物によるガス温上昇） ポンプ交換/分解整備が必要です ロータ接触（異物の噛み込み） ポンプ交換/分解整備が必要です 計装品の故障 計装品の交換が必要です ダクト排気の不足 充分なダクト排気を行ってください ポンプ背圧の上昇 排気配管をチェックしてください ガス負荷の増大 流入ガス量を減らしてください ロータ接触（生成物によるガス温上昇） ポンプ交換/分解整備が必要です ロータ接触（異物の噛み込み） ポンプ交換/分解整備が必要です 冷却水量の低下 ポンプを充分に冷却後、再起動してください モータドライバの故障 モータドライバの交換が必要です 計装品の故障 計装品の交換が必要です 電源の接続ミス 電源をチェックしてください ALARM/WARNING 発生 ALARM/WARNING をリセットしてください 計装品の故障 計装品の交換が必要です ※上の処置を行った後、リセットを行ってください。ALARM 原因が残っている場合は、リセットを行っても 再び ALARM 表示が出ます。 ※リモート運転時は、外部起動信号を切ってから上の処置を行ってください。 オルタネートの外部起動信号が入力されたままだとリセットと同時にポンプがスタートします。 ［警告］ 配線や保守作業は必ず漏電ブレーカ（ ELB ）を切って行ってください。 作業が終了するまでは、ポンプに絶対電源を供給しないでください。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないでください。外装カバーは、運転中絶対に取外さないでください。 ［警告］ ポンプ据付や配管のメンテナンス後は、リークチェックを必ず行ってください。リークがあるとポンプ から有害物質・危険物質の放出や、ポンプへの空気吸入による異常反応がおきて非常に危険で す。加圧によるリークチェックを行う場合は、N2 パージ口より 0.05MPa で加圧してリークチェックを 行って下さい。 EBARA CORPORATION PM10U P.53 10.4 トラブルシューティング(4):オプション ＡＬＡＲＭ： ＷＡＴＥＲ ＬＥＡＫＡＧＥ 漏水 ＡＬＡＲＭ： ＢＡＣＫ ＰＲＥＳＳ． 背圧上昇 ＨＩＧＨ ＷＡＲＮ： ＰＲＥＳＳ． ＨＩＧＨ * *. * ＡＬＡＲＭ： ＥＭＥＲＧＥＮＣＹ 背圧上昇 非常停止 冷却水配管継手のゆるみ 継手の締め直しが必要です 計装品の故障 計装品の交換が必要です 排気バルブの閉止 排気配管をチェックしてください 計装品の故障 計装品の交換が必要です 排気バルブの閉止 排気配管をチェックしてください 計装品の故障 計装品の交換が必要です 非常停止ボタンによるポンプの停止 運転可能な状態を確認し、非常停止ボタンを 回してロックを解除してください ＳＴＯＰ ※上の処置を行った後、リセットを行ってください。ＡＬＡＲＭ原因が残っている場合は、リセットを行って も再びＡＬＡＲＭ表示が出ます。 ※リモート運転時は、外部起動信号を切ってから上の処置を行ってください。 オルタネートの外部起動信号が入力されたままだとリセットと同時にポンプがスタートします。 ［警告］ 配線や保守作業は必ず漏電ブレーカ（ ELB ）を切って行ってください。 作業が終了するまでは、ポンプに絶対電源を供給しないでください。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないでください。外装カバーは、運転中絶対に取外さないでください。 ［警告］ ポンプ据付や配管のメンテナンス後は、リークチェックを必ず行ってください。リークがあると ポンプから有害物質・危険物質の放出や、ポンプへの空気吸入による異常反応がおきて 非常に危険です。加圧によるリークチェックを行う場合は、N2 パージ口より 0.05MPa で加圧 してリークチェックを行って下さい。 EBARA CORPORATION PM10U