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取扱説明書 多段ドライ真空ポンプ ESA200W型
ESA200_STD_2_J_Rev.0 取扱説明書 多段ドライ真空ポンプ ＥＳＡ２００Ｗ型 スタンダードモデル 200V（50Hz）, 200-220V（60Hz） ！注意 ポンプを使用する前に、本取扱説明書をよく読んで、内容を十分理解した上で ご使用願います。 また、本取扱説明書は必ずすぐ見れる場所に保管してください。 装置メーカの方へ： 取扱説明書は必ず、エンドユーザの実際に操作する方々へ届けてください。 ※本取扱説明書中の「◯◯◯型」の表記は、当社の機種記号です。 発行： 精密・電子事業カンパニー 精密機器事業部 株式会社 PM40U 荏原製作所 ・本書を無断で他に転載しないようお願いします。 ・本書は予告なしに変更されることがあります。 ・本書中「○○○型」の表示は当社の機種記号です。 All Rights Reserved, Copyright 株式会社 荏原製作所 (i) 環境問題への取り組みの基本姿勢 私たちは、地球環境を保護するため、自らの事業活動が及ぼす環境への負荷を低減することおよび環境 汚染の予防に継続的に取り組みます。私たちは事業活動を通して、循環型社会形成に貢献するための 技術・製品の開発に努め、これを実現するための＊トータル・ソリューションを提供します。 ※トータル・ソリューション：個々の要素技術からのアプローチだけでなく、複数のプロセス・装置・ 材料を統合した問題解決技術、または解決のための仕組み。 EBARA CORPORATION PM M10U (ii) 製品の安全な使用について 本ポンプを取扱う方々は、このポンプに関する危険状態の識別方法、またその回避方法を知ってい なければいけません。 適切でない、または軽率な作業は重大な危険を引き起こします。 構造、操作方法および含まれる危険性について理解し、訓練した上で本ポンプを操作して下さい。 ポンプを取扱う前に必ずこの取扱説明書や、その他当社の提供する図書を読み、理解して下さい。 安全、操作方法、保守についてのお問い合わせは、直接当社へお尋ね下さい。 この取扱説明書の中で特に注意していただきたい事項には、以下の警告語をつけています。 ［危険］----- 死亡あるいは重傷を負う切迫した危険に対する警告です。 ［警告］----- 死亡や身体傷害につながる潜在的な危険に対する警告です。 ［注意］----- 軽傷又は中程度の傷害の可能性がある危険、または機器が損傷する 可能性のある状態に対する警告です。 ［注］----- 製品を安全に正しく取り扱う為の注意です。 EBARA CORPORATION PM M10U (iii) 重要な事前注意事項 ［危険］ 吊り上げたポンプの下へ入っての作業は、絶対行わないで下さい。 ポンプ吊り作業（積み降ろし等）は、有資格者以外の方は絶対行わないで下さい。 ［警告］ ポンプの横幅は長手寸法に比べて小さくなっています。 ポンプを押すときや手前に引くときには、転倒に注意して下さい。 ［警告］ 電気配線作業は、有資格者以外の方は絶対行なわないで下さい。 ［警告］ 配線や保守作業は必ず漏電ブレーカ（ELB）を切って行って下さい。 作業が終了するまでは、ポンプに絶対電源を供給しないで下さい。 ［警告］ 可燃性及び有毒ガスを安全濃度まで希釈する場合は、排気配管に別途Ｎ2 ガスを 供給する必要があります。 ［警告］ 配管の取外し、洗浄を行う時は、作業の前に充分なＮ2 パージを行って下さい。 可燃性物質、有毒物質、危険物質が周囲に飛散したり、人体に接触・吸収されないようにし て下さい。 緊急時に避難できるような場所で作業して下さい。 ［警告］ ポンプをオーバーホール洗浄せずに別のプロセスに使用しないで下さい。 ポンプ内に残っているガス・生成物が反応して事故が起きたり多量の生成物が発生します。 ［警告］ ポンプ据付や配管のメンテナンス後は、リークチェックを必ず行って下さい。 リークがあるとポンプから有害物質・危険物質の放出や、ポンプへの空気吸入に よる異常反応がおきて非常に危険です。加圧によるリークチェックを行う場合は、N2 パージ 口より 0.05MPa で加圧してリークチェックを行って下さい。 ［警告］ 製品の一部を改造したり、メーカ標準品以外の部品と交換しないで下さい。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないで下さい。 外装カバーは、運転中絶対に取外さないで下さい。 ［警告］ ポンプを吊り上げる場合は、同じ長さのスリング 4 本を用い、本体が水平になるように行っ て下さい。アイボルトスペーサを外した状態で吊り上げ作業を行うと、内部オイルの漏出や 事故の原因となります。 EBARA CORPORATION PM M10U (iv) ［警告］ インターロックが正確に働くことを確認する為に定期的に(6 ヶ月毎)点検して下さい。 ［注意］ プロセスによって発生した生成物の廃却については御使用先の安全規準にしたがってくだ さい。 ［注意］ リチウムバッテリーを含んだ基盤の廃却については御使用先の安全規準に したがってください。 ［警告］ 本ポンプは、混合ガスや複数のガスを導入した際の化学反応から起きる危険は想定 して設計していません。また、このような危険を保護する設備もありません。 混合ガスや複数のガスを導入する際は、注意を払ってください。 ［警告］ 耐電圧試験は実施しないで下さい。 高電圧によって、精密部品が破損する可能性があります。 ［注意］ 安全のため外装カバーを外したままポンプを運転しないでください。 EBARA CORPORATION PM M10U (v) ポンプの外装カバーには次の警告ラベルが貼付されています。 1. 高温警告ラベル 2. 危険電圧警告ラベル 3. 危険物質警告ラベル 4. 充電マークラベル 5. 重量物危険ラベル 1. 高温警告ラベル WARN 警 ING 告 Hot Surfaces Will burn skin on contact. Allow piping and casing to cool Before servicing 高温部あり。接触すると火傷をする危険があります。 配管・ケーシングが冷えてからメンテナンスをして下さい。 C-7110-312-0001 2. 危険電圧警告ラベル WARN 警 ING 告 Hazardous Voltage Contact will cause injury or death by electrical shock. Disconnect line power before servicing. 危険電圧部あり。接触すると重傷または死亡の 危険があります。電源供給を止めてブレーカを切った状態で メンテナンスをして下さい。 C-7110-313-0001 3. 危険物質警告ラベル W A R N I警 NG 告 Hazardous Materials Exposure to air may cause spontaneous fire or explosion. Inhalation or skin absorption will cause severe injury or death by poisoning. Purge thoroughly with nitrogen for at least 30 minutes before servicing. Use personal protective equipment appropriate to the materials to prevent exposure. 危険物質あり。 危険反応・人体への接触により重傷または死亡の危険があります。Ｎ２パージのみで３０分以上 空運転を行なってから、危険物質のＭＳＤＳに従ってメンテナンスをして下さい。 C-7110-314-0001 EBARA CORPORATION PM M10U (vi) 4. 充電マークラベル 5. 重量物危険ラベル 危 険 Heavy Object Can cause impact injury through falling or tipping. Use appropriate, properly rigged lifting equipment and keep from under suspended pump. Raise all adjuster feet fully when moving. 重量物。落下及び転倒により重傷または死亡の危険があります。 吊り上げたポンプの下に入らないで下さい。 移動時は全アジャスタフットを上限まであげて下さい。 C-7110-316-0001 EBARA CORPORATION PM M10U (vii) 保証 当社はこのポンプについて､次の保証をいたします。 新規ご購入品の保証は､運転開始後1 年､または弊社工場出荷後18 ヶ月のいずれか早い時期といたします｡ また､オーバーホール後の保証は､弊社工場出荷後6 ヶ月といたします｡ 1. 保証期間内に､正常なご使用にも拘わらず当社の設計および製作上の不備により故障､破損が発生した場合 は､故障破損箇所を無償にて修理または代替品と交換いたしますが、その他の費用の負担は免除させていた だきます｡また、その際の保証の延長はいたしません。 2. ただし､以下のいずれかに該当する場合､故障､破損の修理は有償とさせていただきます。 (1) 保証期間経過後の故障・破損 (2) 取扱説明書に記述してある内容以外の取り扱いまたは特殊な条件下での使用による故障・破損 (3) 弊社または弊社認定業者以外の手で修理､改造による故障・破損 (4) 半導体製造等のプロセス環境に起因する腐食や生成物等の影響による故障・破損 (5) 火災､天災､地変等の災害､不適切な使用環境及び不可抗力による故障・破損 3. 保証についての当社の責任は上記無償修理または代替品との交換に限られるものとし、その他の費用の負担､ 損害についての責任については免除させていただきます。 EBARA CORPORATION PM M10U (viii) 目次 環境問題への取り組みの基本姿勢---------------------------------------------------- I 製品の安全な使用について------------------------------------------------------------ II 重要な事前注意事項 ---------------------------------------------------------------- III 保証 ------------------------------------------------------------------------------VII 目次 ----------------------------------------------------------------------------- VIII 1. まえがき ------------------------------------------------------------------------- 1 2.. はじめに------------------------------------------------------------------------- 1 2.1. はじめに ----------------------------------------------------------------------- 1 2.2. 環境上へのご配慮 --------------------------------------------------------------- 2 3. 製品仕様 ------------------------------------------------------------------------ 3 3.1 ポンプ概要 ---------------------------------------------------------------------- 3 3.1.1 ポンプ本体 -------------------------------------------------------------------- 3 3.1.2 N2 ガス------------------------------------------------------------------------ 3 3.1.3 冷却水------------------------------------------------------------------------ 3 3.1.4 排気管------------------------------------------------------------------------ 3 3.2 制御システム-------------------------------------------------------------------- 4 3.2.1 警報-------------------------------------------------------------------------- 4 3.2.2 運転状況の管理---------------------------------------------------------------- 4 3.3 ポンプの移動方法 ---------------------------------------------------------------- 5 3.3.1 準備-------------------------------------------------------------------------- 5 3.3.2 移動方法---------------------------------------------------------------------- 5 3.4 詳細仕様 ----------------------------------------------------------------------- 6 4. 据付け -------------------------------------------------------------------------- 9 4.1 据付け位置 --------------------------------------------------------------------- 9 4.2 配 管 ------------------------------------------------------------------------- 10 4.2.1 真空・排気配管---------------------------------------------------------------- 10 4.2.2 冷却水配管------------------------------------------------------------------- 10 4.2.3 N2 配管 ---------------------------------------------------------------------- 11 4.2.4 ダクト排気 -------------------------------------------------------------------- 12 4.3 電気配線 ---------------------------------------------------------------------- 13 4.3.1 動力配線--------------------------------------------------------------------- 13 4.3.2 制御信号配線----------------------------------------------------------------- 14 5. オプション用電源 ----------------------------------------------------------------- 17 6. LCDコントローラ ------------------------------------------------------------------ 18 EBARA CORPORATION PM M10U (ix) 6.1 LCDコントローラの概略 ----------------------------------------------------------- 18 6.2 LCD表示 ----------------------------------------------------------------------- 19 6.3 運転モード選択設定方法 --------------------------------------------------------- 23 6.3.1 ポンプ運転方式の選択 --------------------------------------------------------- 24 6.3.1 ポンプ運転方式の選択 --------------------------------------------------------- 25 6.3.2 ディップスイッチの設定 --------------------------------------------------------- 25 6.3.3 ポンプ運転モード選択 ---------------------------------------------------------- 26 6.3.4 通常回転スピード設定 ---------------------------------------------------------- 26 6.3.5 低回転スピード設定 ------------------------------------------------------------ 26 6.3.6 ポンプN2 WARNING値設定 ------------------------------------------------------ 27 6.3.7 背圧WARNING値設定（オプション） ------------------------------------------------ 27 6.4 ディップスイッチ ----------------------------------------------------------------- 28 6.5 ディップスイッチ設定画面 --------------------------------------------------------- 31 6.6 LCDコントローラからの起動／停止操作---------------------------------------------- 32 7. 運転 --------------------------------------------------------------------------- 33 7.1 始動する前に------------------------------------------------------------------- 33 7.2 運転・停止 --------------------------------------------------------------------- 35 7.2.1 ローカル(機側)運転・停止 ------------------------------------------------------- 36 7.2.2 リモート（遠隔）運転・停止 ------------------------------------------------------- 36 7.2.3 通信運転・停止---------------------------------------------------------------- 37 8. 保守・点検 ---------------------------------------------------------------------- 38 8.1 日常点検 ---------------------------------------------------------------------- 38 8.2 真空・排気配管 ----------------------------------------------------------------- 39 8.3 潤滑油 ------------------------------------------------------------------------ 39 8.4 メンテナンス用部品 -------------------------------------------------------------- 41 8.5 メンテナンスに伴う廃棄物--------------------------------------------------------- 42 8.6 オーバーホール ----------------------------------------------------------------- 43 9. 取外し・輸送 --------------------------------------------------------------------- 43 10. トラブルシューティング ------------------------------------------------------------ 46 10.1 トラブルシューティング(1):根本的なトラブル------------------------------------------ 46 10.2 トラブルシューティング(2):ワーニング ----------------------------------------------- 47 10.3 トラブルシューティング(3):アラーム ------------------------------------------------- 48 10.4 トラブルシューティング(4):オプション------------------------------------------------ 50 EBARA CORPORATION PM M10U P.1 1. まえがき このたびは、エバラ ESA200W 型真空ポンプをご採用いただきまして誠にありがとうございます。 当社では、このポンプを安心してご使用いただけるよう細心の注意をはらって製作しております。しかし、 その取扱いを誤りますと、充分な性能を発揮しないだけでなく思わぬ事故を引き起こす原因ともなりま す。 この取扱説明書は、ポンプの運転・保守などの日常の取扱いについて必要事項を説明しております。 本書により正しい取扱いをしていただき、末永くご愛用くださるようお願いいたします。 なお、この取扱説明書はいつでも必要なときに見られるよう一定の場所に大切に保管して下さい。 2. はじめに 2.1 はじめに ポンプがお手元に届きましたら、すぐに下記の点をお調べ下さい。 (1)ご注文どおりのものであることを外装カバーに貼付されている要項銘板を見てご確認下さい。 納品案内書により台数を確かめ、また付属品等がすべて揃っているかどうかご確認下さい。 (2) 輸送中に破損したり、ビス等がゆるんでいないことをご確認下さい。 ［注意］ 異常が認められたり不足品がある時は、直ちに当社へ御連絡下さい。リークがある 状態等でご使用になると、事故の原因となります。 (3) 納品後すぐに据付けを行わないような場合は、下記の条件を満たす清浄で乾燥した環境で保管 して下さい。 ・温度 ５～４０℃ ・湿度 ８０％ 以下 (4) ポンプの二段積みや横倒しはしないで下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.2 2.2 環境上へのご配慮 機器の取扱いを誤りますと環境に余分な負荷を与える事となりますので、以下の各項目に注意 を払って作業、運転、および点検し、ご使用下さい。 1. 製品が届き梱包を解いた際、不要になった梱包材料の処分は法律及び政令に従って許可を受けた 業者へ依頼して下さい。 2. 機器のメンテナンスを怠りますと人身事故や機器のトラブルの要因となるだけでなく、環境汚染の要 因にもなります。機器の定期メンテナンスを計画的に実施し効率よく運転して下さい。また、消耗 品、定期交換部品の廃棄時は機器が設定された地域で定められた法律及び政令に従って処分し て下さい。 3. 機器廃棄時は、機器が設置されている地域で定められた法律及び政令に従って処分して下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.3 3. 製品仕様 3.1 ポンプ概要 本ポンプは、信頼性･操作性を考慮して、ポンプ・各種センサ・コントロール部をコンパクトにまとめカ バーに納めた一体型システムとしてデザインされています。 3.1.1 ポンプ本体 ポンプは、タイミングギヤで同期した一対の多段ロータを非接触で回転させるルーツ型真空ポンプ です。ユニット内でブースタポンプ(BP)とメインポンプ(MP)が直列につながって排気します。タイミン グギヤとベアリングは、ロータの回転するケーシングから独立した部屋に封入され、フッ素系 オ イルで潤滑されます。ポンプは潤滑油を入れた状態で出荷しています。 油の補給交換をする場合は、表 3.1 に記載された潤滑油を使用して下さい。 3.1.2 N2 ガス 軸の貫通部にはシール用の N2 ガスが供給されます。これによりポンプケーシングに潤滑油は流 入せず清浄な真空を作ることが可能です。 このパージは、レギュレータの圧力を指定値に調節することで適正量が供給されます。 また、N2 ガスは、プロセスガスによるポンプの腐食、あるいは反応副生成物の堆積を低減するた めにポンプ各部に希釈用パージガスとして供給されます。 この２種類のパージは、レギュレータの圧力を指定値に調節することで適正量が供給されます。 3.1.3 冷却水 ポンプはモータの動力により真空状態から大気圧までガスを圧縮するため、圧縮熱を発生します。 そのため、モータやケーシング下部のジャケットに冷却水を通して冷却を行います。冷却水の接続 はカプラとなっており、容易に接続・分離ができます。 3.1.4 排気管 ポンプ停止時に排気配管からポンプを通って真空チャンバへガスが逆流することを防ぐため、逆止 弁が標準で付きます。また、排気音を低減させるため、排気サイレンサが標準で内蔵または付属さ れます。 EBARA CORPORATION PM M10U P.4 3.2 制御システム 本ポンプは、漏電遮断器、モータ用電磁開閉器、および制御回路を計装ユニットとして搭載してい ます。また安全かつ高い信頼性をもって運転するために、ユーティリティとポンプ各部の状態をセン サによってモニタしています。 電源・冷却水量とモータコイルの温度・モータ回転数・モータ電流値などをセンサで確認しながらポ ンプは運転されます。 1sec 以内の瞬時停電に対して、継続運転が可能です。 3.2.1 警報 真空排気系としての信頼性のため、ポンプ保護システムはワーニングとアラームの２段階の警報を 出力します。 ワーニング信号は、ポンプが正常範囲をはずれた事を意味します。（ただし切迫した危険状態では ありません。）この状態でポンプの運転は継続されます。 ポンプの運転が機械の安全上限界になるとポンプは自動停止し、アラーム信号を出力します。 装置オペレーション途中に突然ポンプがアラームして装置オペレーションを中断させることがないよ うワーニング信号を出力しますので、1 サイクル分の処理を終了してからポンプのチェックを行なう ことが可能です。 WARNING・ALARM の設定条件について確認が必要な場合は当社へお問い合わせください。 ※弊社製従来型ポンプと本ポンプでは、警報の表示が異なっておりますのでご注意ください。 SEMI-E73 に基づき、表示を変更致しました。 警報 1 （ポンプ運転継続） 警報 2 （ポンプ停止） 従来機種 ESA200W 型 ALARM WARNING TRIP ALARM 3.2.2 運転状況の管理 センサの情報はコントローラの液晶ディスプレイに表示され、運転状況の管理・日常点検が容易に 行なえます。 各種のワーニング・アラーム信号は、液晶ディスプレイに表示され、また、リモート運転・監視のた めに個別・一括の接点出力があります。 EBARA CORPORATION PM M10U P.5 3.3 ポンプの移動方法 3.3.1 準備 ポンプを移動する前にアジャスタを 4 個共床面より十分に上げておいて下さい。 上げ方が不十分な場合床の凹凸などにアジャスタが引っかかり転倒する恐れがあります。 3.3.2 移動方法 ポンプを移動させる時は A 方向にゆっくり押して下さい。その時キャスタに足を挟まないよう注意して 下さい。また、狭い場所やコーナーに設置する場合など B 方向へ動かす必要がある時は、2 人でポン プ下部を持ち、下記の図のように交互に少しづつ押して下さい。 B A 段差や溝の上をやむを得ず移動させる場合は、ポンプ重量に耐えられる鋼板またはその類のものを敷き、 できるだけ緩やかな勾配にして必ず 2 人で行って下さい。 Steel Plate 移動中にポンプのバランスが崩れ、転倒すると思われた場合にはすぐにポンプから離れて下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.6 3.4 詳細仕様 ポンプの詳細の仕様・性能は以下に記載されている表・図を参照して下さい。 表 3.1 仕 様 表 機 名 ESA200W 型 排気速度 到達圧力 吸気口 排気口 最大電力値 (到達圧力時電力概略値) 取合 接続口径 圧力 冷却水 ユーティリティー 流量 温度 取合 圧力 窒素 （ｹﾞｰｼﾞ圧） 概略流量(標準) [希釈 N2-0 ﾓｰﾄﾞ時] 接続 ダクト 熱排気 圧力 概略流量 品名（メーカ） 潤滑油 量 概略質量 相/電圧/周波数 電源容量 電源 接続 20000 L/min 0.53 Pa NW80 NW40 3.7 kW(2P) + 4.0kW (3.2kW:50Hz,3.4kW:60Hz) Rc3/8 (カプラ付) 差 圧：Min． 0.1MPa 供給圧：Max． 0.4MPa 3.5～8 L/min Max． 30℃ 1/4” チューブ継手 （SWAGELOK） 供給圧：0.15～0.7MPa ［レギュレータ設定圧：0.09～0.12MPa］ 17～20 Pa m3/s [3.8Pam3/s] φ50 mm × Ｌ50 mm -196 Pa 0.5 m3/min BARRIERTA J100ES （NOK） 0.6L 410kg 3Phase，200-220V at 50Hz/60Hz 12.0 kVA(50Hz/60Hz) 日本航空電子工業製 制御信号 JL04HV-2E22-22PE-B D-sub 15pin ＋ D-sub 25pin * 本ポンプの設置場所周辺温度は 30℃以下として下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.7 EBARA CORPORATION PM M10U 図 3.2 性能曲線 P.8 EBARA CORPORATION PM M10U P.8 LCD コントローラ 排気口 吸気口 制御コネクタ 電源 制 御 漏電遮断器 電磁開閉器 1 電磁開閉器 2 P 圧力計 N2 ガス ｻｲﾚﾝｻ ポンプ N2 用流量計 FT1 N2 切替バルブ レギュレータ ドライバ 1 冷却水 FT2 ブースタポンプ （ＢＰ） モータ 2 メインポンプ （ＭＰ） モータ 1 逆止弁 冷却水用流量計 図 3.3 システムフロー EBARA CORPORATION PM M10U P.9 4. 据付け 据付けの際には、以下の点にご注意の上、施工下さい。 4.1 据付け位置 (1) 本ポンプは屋内形です。ポンプを設置する場所は、塵埃 ・湿気が少なく結露しない所を選んで 下さい。またポンプの取付け・取外し作業が容易な所を選んで下さい。 ［注意］ ポンプの周囲温度は、30℃以下にして下さい。密閉された室内で運転する場合は特に注意し て下さい。 ［注意］ ポンプカバーと周囲の機器との間に 50mm 以上のスペースを空けて下さい。 (2) ポンプのベースの下に、4 個のキャスタとアジャスタが付いています。移動するときは、 アジャスタを 4 個共上げて下さい。スパナでアジャスタを右へまわすとアジャスタが上がります。 図 4.1 キャスタ ［警告］ ポンプの横幅は長手寸法に比べて小さくなっています。 ポンプを押すときや手前に引くときは、転倒に注意して下さい。 ［注意］ キャスタは移動時に首をふります。指や足をはさまないよう注意して下さい。 ［注意］ ポンプの上に乗ったり物をのせないで下さい。 (3) 固定するときはナットを右へまわすと、アジャスタフットが下がり固定できます。 (4) アジャスタフットの高さを調整し、ポンプベースを水平にして下さい。水平差はベース 両端で 1mm 以内にして下さい。 ［注］ ［注］ アジャスタフットを使わないと床の振動が大きくなります 床への振動、騒音を抑制するためにレベル出しをしてください。 EBARA CORPORATION PM M10U P.10 4.2 配 管 4.2.1 真空・排気配管 吸気口・排気口に真空・排気配管を接続して下さい。 ポンプ内はわずかなクリアランスを保って回転します。そのためポンプ内部に異物が入ると運転不 能になりますので、配管の接続には次の注意が必要です。 a) 配管内の異物は完全に取り除いて下さい。 b) フランジ面にごみ・ほこりが付着しないように、またフランジ面にキズを付けないで下さい。 APC バルブに付着した生成物やウェハ破片などが入らないよう、フィルタ等の適切な防止手段 を設けて下さい。 c) ポンプに配管の荷重がかかると、芯狂いや接続部からのリークの原因となりますので、充分 な配管支持をして下さい。フランジ面を無理に位置合わせをして接続しないで下さい。 ポンプ吸気口・排気口への配管のつなぎには、フレキを挿入することをおすすめします。 真空側のフレキ管長さは真空度により変化します。フレキ管に無理な力がかからないような配 管施工をして下さい。 ［警告］ ポンプ据付後はリークチェックを必ず行って下さい。リークがあるとポンプから有害物質・危 険物質の放出や、ポンプへの空気吸入による異常反応がおきて非常に危険です。 加圧によるリークチェックを行う場合は、N2 パージ口より 0.05MPa で加圧してリークチェック を行って下さい。 [警告] 加圧リークチェックを行う場合、負荷圧力は最大 0.05MPa 以下で行って下さい。 最大負荷圧力を超えた場合は、配管接続がゆるみ、リーク原因となります。 4.2.2 冷却水配管 入口・出口を正しく接続して下さい。接続は両路開閉式のカプラがついており、カプラをはずすと 水配管は自動的に閉止します。冷却水は、表 4.1 に準ずる水を流して下さい。 表 4.1 工業用水道供給標準水質 ( 日本工業用水協会工業用水水質基準制定委員会 ) 濁度 (ppm) pH 20 6.5～8.0 アルカリ度 (CaCO3） (ppm) 75 硬度 (CaCO3) (ppm) 120 蒸発残留物 (ppm) 250 塩素イオン (ppm) 80 鉄 (ppm) 0.3 マンガン (ppm) 0.2 ［注意］ 正 誤 IN / OUT マーク プラグ ソケット スリーブ 図 4.2 カプラ 本ポンプは、冷却水量が減っても、５分間は運転を EBARA CORPORATION PM M10U P.11 続けます。水配管の耐熱温度は、使用圧力においても７０℃以上のものを選定して下さい。 ［注意］ 複数のポンプを使用する場合は、水配管は各ポンプに並列に接続して下さい。 機種や配管によって各ポンプの冷却水のながれやすさが異なります。 全てのポンプに適正な流量が流れるように配管して下さい。 ［注意］ 冷却水の流れを逆にすると、実際と異なる流量が表示されます。 さらにポンプに冷却が正常に行われずトラブルの原因となります。 ［注意］ 湿気の多い場所でポンプ停止中に冷却水を流したままにすると、ポンプ冷却部で結露が生 じて電装品に不具合を与えることがあります。停止中の目安としてポンプ給水配管表面に 水滴がついている場合は、ポンプ内部でも結露する可能性がありますので冷却水を流さな いで下さい。 4.2.3 N2 配管 N2 パージ口のチューブ継手にチューブを接続して下さい。チューブは直角に切断し、端面のバリ を取り除いたものを継手本体内の肩にしっかり当てて下さい。継手本体をしっかり固定して、ナット を手締めの状態から 1+1/4 回転しめこんで下さい。２回目以降、フェルールがすでにくい込んでい るチューブを取付けるときは、最初にしめこんだ状態（通常手じめから約 1/4 回転）から軽く増し締 め下さい。 本体 フロント フェルール バック フェルール ナット １＋1/4回転 図 4.2 チューブ継手アセンブリ ［警告］ 有毒ガスや可燃性ガスを取扱うプロセスによっては、使用する N2 ガス中の不純物が安全 上影響を与えることがあります。 使用される N２ガスは工業用窒素（純度９９．９９９％以上）以上の純度の N２ガスを使用くだ さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.12 4.2.4 ダクト排気 換気のためポンプカバー上のダクト引口よりカバー内部を吸引し、熱排気して下さい。換気を行なわ ないとカバー内の温度が上昇し、ワーニングの発生やトラブルの原因となります。 ダクト排気は、表 3.1 の仕様を満たすように排気してください。また、ダクト配管は、使用するガス によって腐食しないものを使用してください。 ポンプには、ガス漏れ検知器は付属されていません。ダクトのポートにガス漏れ検知器を取 付け、インターロックを設けることを推奨します。ガス漏れ検知器は NRTL 認証取得したも のと同等品を使用してください。 ガスリークが発生した際は、ただちにガスの導入を中止してください。 ［注意］ 有毒ガスや可燃性ガスを扱うプロセスでは、安全上必ずダクト排気を行って下さい。 ダクト排気はポンプのプロセスガス排気と集合させないで下さい。 ［注意］ 有毒ガスや可燃性ガスを扱うプロセスではない場合においても、ダクト排気はポンプの排気 配管と接続しないで下さい。ポンプ排気音によるポンプユニット内での共鳴現象を生じ、異常 な音を発生させることがあります。 ［注意］ 安全のため外装カバーを外したままポンプを運転しないでください。 EBARA CORPORATION PM M10U P.13 4.3 電気配線 ［警告］ 配線作業及びコネクタ接続が終了するまでは、ポンプに絶対電源を供給しないで下さい。さ らに必ずブレーカスイッチを切って作業して下さい。 ［警告］ 電気配線作業は、有資格者以外の方は絶対行わないで下さい。 ［注意］ ポンプパッケージ内からほかの器具に電源を供給しないで下さい。 制御部の誤操作やポンプ故障の原因となります。 4.3.1 動力配線 ［注意］ 配線材料及びサイズは、ポンプの消費電力と周囲温度を元に使用状態にあった正しいもの を使用してください。 ［注意］ 接地（アース）配線は必ず行なってください。 商用電源（3Phase，200-220V at 50Hz/60Hz）を電源コネクタに配線してください。 ピン接続は、図 4．3， 表 4．2， 4．3 を参照してください。 表 4．2 電源レセプタクルピンアサイン D A C B No. A B C D 相 R S T GND 図 4．3 電源レセプタクル(接続側から見る) 表 4．3 電源レセプタクル仕様 ポンプ型式 ESA200W 型 レセプタクル型式 レセプタクルメーカ 適合プラグ型式 適合電線サイズ 電源容量 kVA JL04HV-2E22-22PE-B 日本航空電子工業 株式会社 JL04V-6A22-22SE-EB AWG #8 12.0 EBARA CORPORATION PM M10U P.14 4.3.2 制御信号配線 遠隔操作又は監視を行なう場合は、制御コネクタに配線して下さい。 ピン接続は、表 4.4 , 4.5, 4.6, 4.7, 図 4.4 , 4.5 を参照して下さい。 表 4.4 制御信号レセプタクル仕様（全機種共通） コネクタ No. コネクタ型式（ポンプ側） CN-Z D-sub 15 pin メス（SEMI E73 準拠） CN-Y D-sub 25 pin メス Screw lock size : M2.6 8 1 15 9 Contact pin surface : Au 図 4.4 制御信号レセプタクル CN-Z（接続側から見る） ピン No. 1 表 4.5 制御信号レセプタクルピンアサイン (CN-Z) （SEMI E73 準拠） 信号名称 入力/出力 信号種類 MP 起動制御 (+) 入力 運転時 : 閉, オルタネート 2 BP 起動制御 (+) 入力 運転時 : 閉, オルタネート 3 MP 運転／停止ステータス (+) 出力 運転時 : 閉, オルタネート 4 BP 運転／停止ステータス (+) 出力 運転時 : 閉, オルタネート 5 WARNING ステータス (+) 出力 WARNING 時 : 開, オルタネート 6 ALARM ステータス (+) 出力 ALARM 時 : 開, オルタネート 7 リモートステータス (+) 出力 リモート時 : 閉 8 9 MP 起動制御 (-) 10 BP 起動制御 (-) 11 MP 運転／停止ステータス (-) 12 BP 運転／停止ステータス (-) 13 WARNING ステータス (-) 14 ALARM ステータス (-) 15 リモートステータス (-) EBARA CORPORATION PM M10U P.15 13 25 Screw lock size : M2.6 1 14 Contact pin surface : Au 図 4.5 制御信号レセプタクル CN-Y（接続側から見る） 表 4.6 制御信号レセプタクルピンアサイン (CN-Y) 信号名称 入力/出力 ピン No. 信号種類 1 リセット (+) 入力 リセット動作 : 閉 2 低回転モード制御 (+) 入力 低回転時：閉, オルタネート 3 予備 (+) 入力 4 PUMP N2 VALVE 制御 (+)※1 入力 5 予備 (+) 入力 6 EMO ステータス (+) 出力 非常停止時 : 開, オルタネート 7 PUMP N2 WARNING ステータス (+) 出力 異常時 : 閉, オルタネート ※2 8 予備 (+) 出力 9 低回転モードステータス (+) 出力 低回転時：閉, オルタネート 10 背圧 WARNING ステータス(+)※1 出力 異常時 : 閉, オルタネート ※2 11 予備 (+) 出力 12 予備 (+) 出力 13 − 14 リセット (-) 15 低回転モード制御 (-) 16 予備 (-) 17 PUMP N2 VALVE 制御 (-)※1 18 予備 (-) 19 EMO ステータス (-) 20 PUMP N2 WARNING ステータス (-) 21 予備 (-) 22 低回転モードステータス (-) 23 背圧 WARNING ステータス(-)※1 24 予備 (-) 25 予備 (-) 制御時 ： 閉、オルタネート ※1 はオプション対応です。 ※2 は DIP SW 切換により b 接点へ変更可能です。 EBARA CORPORATION PM M10U P.16 表 4.7 CN-Z＆CN-Y 入出力電気仕様 ドライポンプ 12VDC 装置 1kΩ 入力 10mA Min. オープンコレクタ ドライポンプ ドライコンタクト 装置 4VDC～27VDC 100mA Max. オープンコレクタ 出力 4VDC～27VDC ＥＭＯ 100mA Max. ドライコンタクト ［注意］ 空ピン部には、結線しないで下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.17 ［注意］ 入力信号には、ポンプ側で DC12V を印加しています。装置側で電圧を印加しないで下さい。 出力信号は、オープンコレクタ出力です。装置側で DC4V から DC27V の電源を印加して使用し て下さい。 ［注意］ 各信号の極性（SIG./COM.）を正しく配線して下さい。 ［注意］ 出力信号を使ってリレー等の誘導負荷を駆動するときは、サージ逆起電流を消費するためのダ イオード（100V.1A クラス）を入れて下さい。 5. オプション用電源 この電源は以下のオプション用電源として使用します。（その他の用途には使用できません。） 集中監視のアダプター インターフェイス盤 N2 電磁弁 ［危険］ ポンプに電源が供給され漏電ブレーカ(ELB)が ON の時、オプション用電源には常時電圧が 印加されています。 ［警告］ オプション用電源は他の目的には使用しないで下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.18 6. LCD コントローラ 6.1 LCD コントローラの概略 状態表示 LED（ｵﾚﾝｼﾞ） LCD（液晶ディスプレイ） 状態表示 LED（緑） ブザー 状態表示 LED（赤） 押しボタンスイッチ ［押しボタンスイッチ］ ［状態表示LED］ START MPとBPが起動します STOP MPとBPが停止します △ ▽ LCD表示の切り替え RESET WARNING及びALARMがリセットされます BZ．OFF WARNING／ALARM時にブザーを消します PRG． ポンプ運転状況画面の切り替え及び、表示画面（階層）の移動 ENTER ディップスイッチの選択及び、表示画面（階層）の移動 B．P．RUN BPの稼働中 M．P．RUN MPの稼働中 LOCAL ローカルモード WARNING WARNING状態 ALARM ALARM状態 図 6.1 LCDコントローラ EBARA CORPORATION PM M10U P.19 6.2 LCD 表示 ポンプの運転状況はLCDコントローラの液晶ディスプレイに表示されます。 表示内容については 表6.1を参照して下さい。 表6.1 LCDコントローラ運転状態表示 No． 表示項目 表示内容 １ ＢＰ：＃＃．＃＃ Ａ 電流値 ＭＰ：＃＃．＃＃ Ａ ２ ３ ４ コントロールモード ＣＯＮＴＲＯＬ：ＬＯＣＡＬ ポンプ運転モード ＭＯＤＥ：ＮＯＲＭＡＬ アラーム履歴 ＡＬＡＲＭ／ＷＡＲＮＩＮＧ （過去の履歴表示） ＨＩＳＴＯＲＹ？ ポンプユニットNo． ＵＮＩＴ ＮＯ． ￥￥￥￥￥￥￥￥ ５ ポンプ機種・ 電源電圧クラス ６ 運転積算時間 ＰＵＭＰ ＴＹＰＥ ＠＠＠＠ ＠＠＠＠＠＠ ＯＰＥ．ＴＩＭＥ ＃＃＃＃ ｈ ７ 背圧（オプション） ＢＡＣＫ ＰＲＥＳＳＵＲＥ ＃＃．＃ ｋＰａ ８ ポンプN2流量 ＰＵＭＰ Ｎ２ ＦＬＯＷ ＃＃．＃ Ｐａｍ３／ｓ ９ 冷却水流量 ＷＡＴＥＲ ＦＬＯＷ ＃＃．＃ Ｌ／ｍｉｎ 10 ポンプ回転数 ＢＰ ＳＰＥＥＤ ＃．＃ ｋ ｍｉｎ－１ 11 WARNING／ALARM表示 ＄＄＄＄＄： ＄＄＄＄＄＄＄ ％ ＄＄＄＄＄＄＄＄＄＄＄＄＄＄ EBARA CORPORATION PM M10U P.20 ［注］ １ コントロールモードには “LOCAL”（ローカル運転）、 “REMOTE”（リモート運転）、“COM”（通信運転） があります。 ２ “％” は、現在のWARNING／ALARM発生数を表示します。 ３ WARNING／ALARM表示の上段の “＄＄＄＄＄” は、WARNING／ALARMの区別と その発生箇所を表示します。また、下段の“＄＄＄＄＄” は WARNING／ALARMの内容を 表示します。 ４ 運転積算時間は工場出荷後の運転積算を表示します。 ５ 1分間以上何も操作しない時は、電流の表示に戻ります。 なお、WARNING／ALARM発生中は、WARNING／ALARM内容に戻ります。 ６ 現在発生しているWARNING／ALARMは、表示選択スイッチですべて表示されます。 ７ ポンプ機種・電源電圧クラスの上段の“＠＠＠＠”は電源電圧クラスを表示します。 また、下段の“＠＠＠＠”はポンプ機種を表示します。 ポンプ運転状態表示でのキー操作については 図6.2 を参照して下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.21 BP：##．## A MP：##．## A ▽ 電流値 △ ALARM/WARNING 表示 ALARM/WARNING が発生した場合、通常表示画面の一番上に表示される 画面右上隅に表示される数字は発生した ALARM/WARNING の数 ALARM：MP MOTOR TEMP H．HIGH ▽ △ コントロールモード： LOCAL , REMOTE , COM ポンプ運転モード： NORMAL , S．ENERGY CONTROL：LOCAL MODE：NORMAL ▽ △ ENTER PRG. PUMP RUNNING HISTORY？ ▽ ポンプ運転履歴 ▽ PRG. ENTER PRG. ENTER 001MP STOP 051231 23:59:59 MP START/STOP HISTORY △ 001BP STOP 051231 23:59:59 WARNING：BP MOTOR TEMP．HIGH △ アラーム履歴 PRG. ▽ ▽ ▽ 002 51 020901 00 #### 12：25：26 アラーム履歴詳細表示内容 アラーム第 2 コード アナログ値 背圧（Option） 002 51 020901 △ 00 #### 12：25：26 ポンプ N2 流量 △ 発生日時 冷却水流量 ※アラームコードについては表 6.2 を参照して下さい。 △ MP ｹｰｼﾝｸﾞ温度 PUMP CASING ### ℃ ▽ ENTER 履歴 No． （若い番号ほど新しい履歴） △ WATER FLOW ##．# L/min ▽ ENTER キーを押している間、表示 △ アラーム第 1 コード 運転積算時間 PUMP N2 FLOW ##．# Pam3/s ▽ ポンプ機種 電源電圧クラス △ BACK PRESSURE ##．# kPa 00 #### 12：23：21 ENTER キーを押している間、表示 △ OPE．TIME #### h ▽ ▽ WARNING：BP MOTOR ユニット No． TEMP．HIGH PUMP TYPE @@@@ @@@@@@ 001 06 020901 ALARM：MP MOTOR TEMP H．HIGH △ UNIT No. \\\\\\\\ ▽ ENTER ENTER ALARM/WARNING HISTORY？ △ BP SPEED #．# k min-1 ポンプ回転数 図 6.2 ポンプ運転状態表示でのキー操作 EBARA CORPORATION PM M10U P.22 ALARM名 MPモータ温度 BPモータ温度 BP過負荷1(サーマル) MP過負荷(サーマル) BP脱調 MP電流=0 電源異常 BPドライバ保護作動(OC) BPドライバ保護作動(OV) BPドライバ保護作動(OH1) BPドライバ保護作動(OH2) BPドライバ保護作動(CPF) BPドライバ保護作動(UV) BPドライバ保護作動(STA) BPドライバ保護作動(DRE) 漏水 (△) 背圧上昇 (△) 非常停止(EMO) (△) 冷却水減少 BP過負荷2 外部インターロック BP過電流 (△) 表6.2 アラームコード一覧表 コード 第1コード 第2コード WARNING名 51 00 ポンプN2 52 00 BPモータ温度 54 00 MPモータ温度 55 00 背圧上昇 (△) 69 00 背圧センサ断線 (△) 60 00 盤内温度上昇 64 00 BPドライバケース温度 66 01 BPドライバ内温度 66 02 内部通信エラー(BPドライバ) 66 04 内部通信エラー(IO) 66 05 冷却水減少 66 06 BP過電流 66 07 ※△はオプション対応です。 66 08 66 09 53 00 63 00 71 00 73 00 67 00 74 00 81 03 コード 第1コード 第2コード 18 00 23 00 24 00 21 01 21 02 13 00 25 02 25 04 26 02 26 03 00 01 31 14 EBARA CORPORATION PM M10U P.23 6.3 運転モード選択設定方法 LCDコントローラの通常表示はポンプの状態表示画面になっておりますので ＰＲＧ．キーを3秒以上押すことにより運転モード設定画面に切り替わります。 もう一度1秒以上押すと状態表示画面に戻ります。 運転モード選択の表示内容については、表6.3を参照して下さい。 表 6.3 運転モード選択の表示内容一覧 項目 ポンプ運転方式の選択 ディップスイッチの設定 ポンプ運転モード設定 BP通常回転スピード設定 ＢＰ低回転スピード設定 ポンプN2WARNING値設定 背圧WARNING値設定 （オプション） 表示 内容 ＳＥＴ ローカル/リモート/通信運転の ＣＯＮＴＲＯＬ ＭＯＤＥ？ 切替を行います。 ＳＥＴ ディップスイッチの設定を行いま ＤＩＰ ＳＷ？ す。（ 6.4 参照 ） ＳＥＴ 通常運転モードと省エネ運転モ ＲＵＮＮＩＮＧ ＭＯＤＥ？ ードの切替を行います。 ＳＥＴ ＢＰ 通常運転時のBP回転数を設定 ＮＯＲＭＡＬ ＳＰＥＥＤ？ します。 ＳＥＴ ＢＰ 低回転運転時のBP回転数を設 ＬＯＷ ＳＰＥＥＤ？ 定します。 ＳＥＴ ＰＯＩＮＴ ポンプＮ２WARNING値の設定を Ｎ２ ＦＬＯＷ ＬＯＷ？ 行います。 ＳＥＴ ＰＯＩＮＴ 背圧WARNING値の設定を行い ＢＡＣＫ ＰＲＥＳＳＵＥＲ？ ます。 設定画面でのキー入力操作は次の通りです。 START ：無効 STOP ：ポンプを停止します。 RESET ：WARNING/ALARMをリセットします。 BZ.OFF ：ディップスイッチの番号が切り替わります。 △ ：ディップスイッチをONに設定します。運転モード選択画面の表示が切り替わります。 ▽ ：ディップスイッチをOFFに設定します。運転モード選択画面の表示が切り替わります。 ENTER ：選択した設定が確定されます。 運転モード選択の設定方法については、図 6.3 を参照して下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.24 BP： ##．# A MP： ##．# A ・状態表示画面 状態表示画面が選択されている際に ＰＲＧ． キーを 3 秒以上押す ＰＲＧ． キーを３秒以上押すと運転モ ード設定画面を表示します。 SET CONTROL MODE？ ▽ ・ポンプ運転方式の選択 △ ※設定を変更したいモード表示 画面で SET DIP SW？ ・ディップスイッチの設定 ENTER キーを押 すことにより設定変更画面に 切替わります。 ▽ △ SET RUNNING MODE？ ▽ △ SET BP NORMAL SPEED？ ▽ ・BP 低回転スピード設定 △ SET POINT N2 FLOW LOW？ ▽ ・BP 通常回転スピード設定 △ SET BP LOW SPEED？ ▽ ・ポンプ運転モード選択 ・ポンプ N2WARNING 値設定 △ ＳＥＴ ＰＯＩＮＴ ＢＡＣＫ ＰＲＥＳＳＵＥＲ？ ・背圧 WARNING 値設定 ▽ 図 6.3 運転モード選択設定方法 EBARA CORPORATION PM M10U P.25 6.3.1 ポンプ運転方式の選択 LOCAL MODE が設定されている場合の表示例 ＰＲＧ． SET CONTROL MODE？ ENTER REMOTE MODE？ COM MODE？ ENTER 設定完了 ENTER 設定完了 ＰＲＧ． REMOTE MODE ： リモート運転（外部信号により起動／停止） LOCAL MODE ： ローカル運転（LCD コントローラにより起動／停止） COM MODE ： 通信運転（RS232C ポートより起動/停止） ※現在設定されていない MODE が表示されますので、設定が必要ない場合は ＰＲＧ． キーを押 して下さい。前の画面に戻ります。 6.3.2 ディップスイッチの設定 ENTER キーを押している間 DipSW 設定 設定内容を表示 ＰＲＧ． SET DIP SW？ ENTER SET DIP SW A？ ▽ A1 ON ﾛ ﾛ OFF ﾛ ﾛﾛﾛﾛﾛ △ SET DIP SW C？ ＰＲＧ． ENTER ＰＲＧ． ENTER C1 ON OFF ﾛﾛﾛﾛﾛﾛﾛﾛ ENTER A1:DATA LENGTH 8BIT 設定完了 ENTER C1:PUMP N2 WARN OUTPUT N.OPEN △，▽キーでディップスイッチの ON，OFF を設定 BZ．OFF キーで 1～8 の選択を切替 ※ ディップスイッチの詳細については 6.4 を参照して下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.26 6.3.3 ポンプ運転モード選択 ＰＲＧ． SET RUNNING MODE？ S.ENERGY MODE？ ENTER NORMAL MODE？ ENTER 設定完了 ENTER 設定完了 ＰＲＧ． S.ENERGY MODE ： 省エネ運転 NORMAL MODE ： 定格運転 ※現在設定されていない MODE が表示されますので、設定が不要な場合は ＰＲＧ． キーを押 して下さい。前の画面に戻ります。 6.3.4 通常回転スピード設定 SET BP NORMAL SPEED？ BP NORMAL SPEED #．# kmin-1 ENTER ＰＲＧ． ENTER 設定完了 △，▽キーで回転数設定 ▽ キーで設定値を変更 △ ： 設定値を 0.1 kmin-1 増加させます。 ▽ ： 設定値を 0.1 kmin-1 減少させます。 △ 設定値上下限 機種 ESA200W 型 6.3.5 初期値 5.0 kmin-1 上限値 5.0 kmin-1 下限値 3.0 kmin-1 低回転スピード設定 SET BP LOW SPEED？ ENTER ＰＲＧ． BP LOW SPEED #．# kmin-1 ENTER 設定完了 △，▽キーで回転数設定 ▽ キーで設定値を変更 △ ： 設定値を 0.1 kmin-1 増加させます。 ▽ ： 設定値を 0.1 kmin-1 減少させます。 △ 設定値上下限 機種 ESA200W 型 初期値 3.0 kmin-1 上限値 5.0 kmin-1 下限値 1.0 kmin-1 EBARA CORPORATION PM M10U P.27 6.3.6 ポンプ N2 WARNING 値設定 ＰＲＧ． SET POINT N2 FLOW LOW? ENTER N2 FLOW LOW # # ．# Pam3/s ENTER 設定完了 △，▽キーでWARNING値設定 △ ▽ キーで設定値を変更 △ ： 設定値を 0.1 Pam3/s 増加させます。 ▽ ： 設定値を 0.1 Pam3/s 減少させます。 設定値上限 ： 81.0 Pam3/s 設定値下限 ： 2.0 Pam3/s 出荷時の設定値 ： 10.1 Pam3/s WARNING リセット値 ： 設定値 +1.0 Pam3/s 6.3.7 背圧 WARNING 値設定（オプション） ＰＲＧ． SET POINT BACK PRESSURE? ENTER BACK PRESSURE # # ．# kPa ENTER 設定完了 △，▽キーでWARNING値設定 △ ▽ キーで設定値を変更 △ ： 設定値を 0.5 kPa 増加させます。 ▽ ： 設定値を 0.5 kPa 減少させます。 設定値上限 ： 20.0 kPa 設定値下限 ： 5.0 kPa 出荷時の設定値 ： 10.0 kPa WARNING リセット値 ： 設定値 –2.0 kPa EBARA CORPORATION PM M10U P.28 6.4 ディップスイッチ ディップスイッチを切り替えることで表 6.4 , 6.5, 6.6 の運転モードを選択できます。 表 6.4 ディップスイッチＡ設定 No. １ ２ ３ ４ ５ ６ ７ ８ 内 容 通信データ長 冷却水、N2 の監視 ブザー リモート切替え 外部起動/停止信号※ ----希釈 N2 0 モード リモート時のＢＰ運転 No. １ ２ ３ ４ ５ ６ ７ ８ 内 容 --------------------リモートインタフェイス 欠相検知 LCD 画面初期化 No. １ ２ ３ ４ ５ ６ ７ ８ 内 容 PumpN2 Warning 出力 ----背圧 Warning 出力※ --------------------- ＯＦＦ ７ビット 常時 使用しない 信号呼応 オルタネート(レベル)信号 ----標準 自動運転 ＯＮ ８ビット 運転中のみ 使用 ポンプ停止 モメンタリ(パルス)信号※ ----0 モード 外部運転信号入力 初期設定 ON OFF ON OFF OFF OFF OFF OFF ＯＮ --------------------標準 カウントダウン中のみ 初期化しない 初期設定 OFF OFF OFF OFF OFF ON OFF OFF ＯＮ Normal Close ----Normal Close --------------------- 初期設定 OFF OFF OFF OFF OFF OFF OFF OFF 表 6.5 ディップスイッチＢ設定 ＯＦＦ --------------------オプション 標準 初期化する 表 6.6 ディップスイッチ C 設定 ＯＦＦ Normal Open ----Normal Open --------------------- ※ オプション対応となります。 〈A-No.1〉：RS232C 通信ポートによる運転状況の監視では、通信データ長を 7 ビットと 8 ビットに選択 できます。 〈A-No.2〉：冷却水・N2 の監視は、“常時監視”と“運転中のみ監視”を選択できます。 冷却水は“運転中のみ監視”でもポンプ冷却の為、停止後 15 分間は監視を継続します。 N2 パージはポンプの反応副生成物堆積や腐食を軽減する為に、停止中も継続することを 推奨致します。 〈A-No.3〉：アラーム・トリップ発生時の警報(ブザー)は、使用の有無を選択できます。 EBARA CORPORATION PM M10U P.29 〈A-No.4〉：ディップスイッチをローカルからリモートに切り替える際に、“外部起動信号に応じてポンプ 起動・停止”(信号呼応)と“外部信号に関わらずポンプ停止”(ポンプ停止)を選択できます。 ［注］ ブザー使用(ディップスイッチ A-No.3)とリモート/ローカル(ユーザー設定モード)は、いつ でも切り替え可能です。ディップスイッチ A-No.3(ブザー)以外のディップスイッチの切り替 えを行うと、電源投入時と同様に LCD コントローラには 10 秒のカウントダウンを表示し ます。 〈A-No.5〉：外部起動/停止は“オルタネート信号(起動信号の ON/OFF)”と“モメンタリ信号(ON 信号と OFF 信号の 2 種のパルス信号)”を選択できます。 ［注］ オプションのモメンタリに対応したインターフェイス盤を使用した場合のみモメンタリ信号 が選択可能となります。 〈A-No.8〉：リモート(遠隔操作)選択時におけるブースタポンプ(BP)の運転は、“自動運転”と“外部信号 に応じて起動・停止”を選択できます。 〈B-No.6〉：ＥＳＡ用専用インターフェイス盤の使用／未使用を選択できます。 ・使用（オプション）：設定ＯＦＦ（ＥＳＡ用専用インターフェイス盤使用時） ・未使用（標準）：設定ＯＮ（ＥＳＡ用専用インターフェイス盤未使用時） 〈B-No.7〉：電源の欠相検知方法を選択できます。 〈B-No.8〉：運転状態表示は通常 60 秒で電流値表示に戻りますが、現在選択されている 運転状態表示のまま、表示を固定する／しないを選択できます。 〈C-No.1〉：Pump N2 Warning 出力の Normal Open／Normal Close を選択できます。 〈C-No.3〉：背圧 Warning 出力の Normal Open／Normal Close を選択できます。 EBARA CORPORATION PM M10U P.30 DIP SW 詳細内容表示一覧 No. １ 内 容 通信データ長 ２ 冷却水、N2 の監視 ３ ブザー ４ リモート切替え ５ 外部起動/停止信号※ ６ ７ ８ ----希釈 N2 0 モード リモート時のＢＰ運転 No. １ ２ ３ ４ ５ ６ 内 容 --------------------リモートインタフェイス ７ 欠相検知 ８ LCD 画面初期化 No. １ 内 容 PumpN2 Warning 出力 ２ ３ ----背圧 Warning 出力 ４ ５ ６ ７ ８ --------------------- ディップスイッチＡ ＯＦＦ A1:DATA LENGTH 7BIT A2:WATER&N2 WATCHING ALWAYS A3:BUZZER INACTIVE A4:REM. ACTION CONCORD A5:REM. SIGNAL ALTERNATE A6:NO ASSIGNED A7:INACTIVE A8:BP REM. MODE AUTO ＯＮ A1:DATA LENGTH 8BIT A2:WATER&N2 ONLY RUNNING A3:BUZZER ACTIVE A4:REM. ACTION STOP A5:REM. SIGNAL MOMENTARY ※ A6:NO ASSIGNED A7:ACTIVE A8:BP REM. MODE EXTERNAL INPUT ディップスイッチＢ ＯＦＦ B1:NO ASSIGNED B2:NO ASSIGNED B3:NO ASSIGNED B4:NO ASSIGNED B5:NO ASSIGNED B6:REMOTE I/O OPTION B7:PHASE ERROR STANDARD B8:LCD DISPLAY INITIALIZING ＯＮ B1:NO ASSIGNED B2:NO ASSIGNED B3:NO ASSIGNED B4:NO ASSIGNED B5:NO ASSIGNED B6:REMOTE I/O STANDARD B7:PHASE ERROR COUNTDOWN ONLY B8:LCD DISPLAY UN-INITIALIZING ディップスイッチ C ＯＦＦ C1:PUMP N2 WARN OUTPUT N.OPEN C2:NO ASSIGNED C3:BACK PRES. OUTPUT N.OPEN C4:NO ASSIGNED C5:NO ASSIGNED C6:NO ASSIGNED C7:NO ASSIGNED C8:NO ASSIGNED ＯＮ C1:PUMP N2 WARN OUTPUT N.CLOSE C2:NO ASSIGNED C3:BACK PRES. OUTPUT N.CLOSE C4:NO ASSIGNED C5:NO ASSIGNED C6:NO ASSIGNED C7:NO ASSIGNED C8:NO ASSIGNED ※オプション対応 EBARA CORPORATION PM M10U P.31 6.5 ディップスイッチ設定画面 状態表示 LED（ｵﾚﾝｼﾞ） LCD（液晶ディスプレイ） 状態表示 LED（緑） ブザー 状態表示 LED（赤） 押しボタンスイッチ 図 6.4 LCD コントローラ 設定画面でのキー入力操作は次の通りです。 START ： 無効 STOP ： ポンプを停止します。 RESET ： WARNING/ALARM をリセットします。 BZ . OFF ： ディップスイッチ番号が切り替わります。 △ ： ディップスイッチ ON に設定します。 ▽ ： ディップスイッチ OFF に設定します。 ENTER ： 表示画面（階層）の移動、または設定内容の表示 ディップスイッチＢ ディップスイッチＡ A＊ ON OFF B＊ ON OFF “＊”は設定中のディップスイッチ番号を表示します。 図 6.5 ディップスイッチ [注意] ポンプ運転中は、ディップスイッチ A-No.3 (ブザー) 以外のディップスイッチは、切り替えがで きません。 [注意] ディップスイッチ A-No.3 (ブザー) 以外のディップスイッチの切り替えを行なうと、電源投入時 と同様に LCD コントローラには 10 秒のカウントダウンを表示します。 [注意] ディップスイッチ設定中に WARNING/ALARM が発生すると、設定は自動的に中止され、 WARNING/ALARM 表示画面に切り替わります。この時変更した設定は有効になりません。 出荷時の各ディップスイッチ設定については、表 4.4～4.6 を参照して下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.32 6.6 LCD コントローラからの起動／停止操作 LCD コントローラは最大 2 個まで接続することが可能です。但し、どちらか一方のコントローラのみでし か START/STOP の操作ができません。（もう一方のコントローラでは、ポンプの状態表示を確認するこ とができます。） 「LOCAL」の LED が点灯してる側のコントローラが START/STOP の操作が優先されます。 1 個のみ接続されている場合は、そのコントローラで START/STOP 操作が可能です。 1 個接続 START/STOP 操作 可能 2 個接続 「LOCAL」の LED が点灯 している側が可能 ※ 2 個接続して操作したいコントローラを選択したい場合は、操作が不要のコントローラをポンプから いったん取り外して、再度取付けて下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.33 7. 運転 7.1 始動する前に (1) 冷却水を流し、配管接続部からの水漏れがないか点検して下さい。 [注意] 冷却水が充分に供給されないと、温度上昇でロータ接触などのトラブルが発生します。 [注] 冷却水流量調整バルブは、ポンプユニット内にはついておりません。 (2) N2 ガスを流して下さい。 ポンプに付属しているレギュレータが、閉じていることを確認（圧力調整つまみを左方向いっぱい に回転）します。元バルブを開いて配管接続部から N2 ガス漏れがないか点検して下さい。 圧力調整つまみをゆっくり右に回し、圧力（ゲージ圧）をまず 0.1MPa にセットして下さい。 セット後、つまみの赤いストッパを押し込んでロックして下さい。 [警告] N2 パージ口はポンプ内部の腐食、反応副生成物を低減するための N2 ガス供給用です。 可燃性及び有毒ガスを安全濃度まで希釈する場合は、排気配管に別途 N2 ガスを供給 する必要があります。 [注意] 急激に圧力調整つまみをまわすと、レギュレータの圧力計指示針が振り切れ、正確な指 示が出来なくなります。 [注意] N2 ガスが充分に供給されないと、オイルバックやポンプ内部の腐食・生成物付着等の トラブルが発生します。 ディップスイッチ A-No.7 の希釈 N2 モードの設定に応じて希釈 N2 切替えバルブを操作してください。 スイッチ OFF ： バルブ開 ON ： バルブ閉 [注] 通常は、希釈 N2 バルブを開けて使用してください。反応副生成物がポンプ内部に発生しな いプロセス、或いは腐食性のないプロセスの場合にはバルブを閉めることで、N2 ガス消費 量を少なくできます。 [注] N2 切替バルブは、ポンプ正面(操作盤面)より向かって右側側面にあります。 [注] バルブを操作してから流量が安定するまで十数秒かかります。 (3) ポンプに電源を供給して下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.34 (4) ブレーカ(ELB)を ON にすると、LCD コントローラが 10 秒のカウントダウンを表示します。 [注] ブレーカ投入後 10 秒間は、計器のウォーミングアップのためポンプは運転できません。 (5) LCD コントローラの"WATER FLOW"表示にて冷却水量が 6L/min 以上あることを確認して下さい。 (6) LCD コントローラの"PUMP N2 FLOW"表示にてポンプ N2 量が 7.5～10.5 [ESA200W-H 型 78～ 82] Pam3/s の範囲になるようレギュレータを再調整し、圧力計が 0.09～0.12MPa であることを確認 して下さい。 圧力セット後、レギュレータのつまみの赤いストッパを押し込んでロックして下さい。 (7) WARNING／ALARM 表示が LCD コントローラに出ている場合、または表示以外にも異常な症状 が現われた場合は、10.「トラブルシューティング」に従い処置して下さい。 WARNING／ALARM は発生原因が消えても、リセット信号が入るまでは保持されます。LCD コント ローラの「RESET」ボタンを押すか、もしくは制御信号コネクタから外部リセット信号を入れて下さい。 ディップスイッチにてブザー使用モードの時は、「BZ . OFF」ボタンを押してアラーム発生中でもブザ ーを停止することができます。 (8) ポンプの排気配管にバルブがある場合は、ポンプ運転前にバルブを開いて下さい。 [注意] バルブを閉じたまま運転するとポンプは排気配管を加圧し、トラブルの原因になります。 EBARA CORPORATION PM M10U P.35 7.2 運転・停止 リモート／ローカル／通信とブザー使用は、LCD コントローラでいつでも切り替えできます。 使用条件に合わせて切り替えて下さい。（6.3 運転モード選択設定方法参照） [警告] 運転中と停止後しばらくの間はポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないで下さい。 外装カバーは、運転中絶対に取り外さないで下さい。 [注意] 反応副生成物がポンプ内部に発生したり、あるいは腐食性のあるガスを扱うプロセスの 場 合、プロセスガスを止めて 30 分以上経過してからポンプを停止して下さい。 [注意] ポンプ停止後もプロセスガスが真空配管および内部に残っています。 N2 パージをポンプ停止後から 1 時間以上行って下さい。 ポンプ停止期間が短期の場合は N2 パージを止めないで下さい。 [注意] ポンプは、停止後も大変熱くなっています。冷却水はポンプ停止後 1 時間程度流して下さい。 [注] プロセスガスの排気はポンプ立ち上げ後、30 分以上経過してから行って下さい。 ただし、4 時間程度でポンプケーシング温度が安定しますので、それ以後の排気開始をおすす めします。 ディップスイッチ A-No.4 を ON にすると、ローカルからリモートへ切り替える際にポンプは外部信号に 関わらず停止します。 EBARA CORPORATION PM M10U P.36 7.2.1 ローカル(機側)運転・停止 a) 運転 コントローラの「START」ボタンを押して下さい。 メインポンプ(MP)が起動し、コントローラの「M.P.RUN」ランプが点灯します。 その後ブースタポンプ（BP）が起動し、コントローラの「B.P.RUN」ランプが点灯します。 ポンプ運転中は、ディスプレイに電流値が表示されます。 その他のポンプ状態表示については、表 6.1 を参照下さい。 ［注］ WARNING／ALARM 発生時はポンプは始動しません。「START」ボタンを押すとディスプレイに "STARTFAIL"表示が出ます。 b) 停止 コントローラの「STOP」ボタンを押して下さい。ポンプが停止します。 「RUN」ランプが消え、ディスプレイの電流値が 0.0 A と表示されます。 7.2.2 リモート（遠隔）運転・停止 a) 運転 制御コネクタから MP 外部起動信号を入れて下さい。MP が起動します。 ポンプ運転中は、ディスプレイに電流値が表示されます。その他のポンプ状態表示については、 表 6.1 を参照下さい。 ［注］ WARNING／ALARM 発生時はポンプは始動しません。起動信号を入力するとディスプレイに "STARTFAIL"表示が出ます。 b) 停止 MP 外部起動信号を切って下さい。ポンプが停止します。 EBARA CORPORATION PM M10U P.37 7.2.3 通信運転・停止 a) 運転 通信コネクタから MP 外部起動信号を入れて下さい。MP が起動します。 ポンプ運転中は、ディスプレイに電流値が表示されます。その他のポンプ状態表示については、 表 6.1 を参照下さい。 ［注］ WARNING／ALARM 発生時はポンプは始動しません。起動信号を入力するとディスプレイに "STARTFAIL"表示が出ます。 b) 停止 MP 外部起動信号を切って下さい。ポンプが停止します。 ※詳細は、別途通信仕様書を参照願います。 EBARA CORPORATION PM M10U P.38 8. 保守・点検 8.1 日常点検 定期的にコントローラ又はリモート出力にワーニング表示が出ていないか確認して下さい。 No. １ 2 3 4 5 6 表 8.1 日常点検チェック項目 項目 確認方法 モータ電力 LCD N2 ガス量 LCD 振動／異音 ----冷却水量 LCD ポンプケーシング温度 LCD 潤滑油量及び色 目視 確認周期(推奨) 1 週間に 1 回 1 ヶ月に 1 回 ワーニング/アラーム表示が出ている場合は、10.「トラブルシューティング」に従い処置して下さい。 また、潤滑油量が油面計の下側ラインより低くなっている場合は、潤滑油の補給が必要になります。 その場合には、8.3「潤滑油」に従い処置してください。 ［警告］ 保守作業前にポンプへの電源供給を止めて下さい。必ず漏電ブレーカ（ ELB ）を切って作 業して下さい。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないで下さい。 外装カバーは、運転中絶対に取外さないで下さい。 ワーニング/アラームは発生原因が消えても、リセット信号が入るまでは保持されます。 処置後は、コントローラの「RESET」ボタンを押すか、もしくは制御信号コネクタからリセット信号を入 力してワーニングをリセットして下さい。 ［注意］ ワーニング発生でポンプは停止しませんが、そのままの状態で運転を続けると、ポンプはア ラーム又は重大な故障を発生します。1 サイクルの装置オペレーションが終わった時点で 10. 「トラブルシューティング」に従いポンプのチェックを行って下さい。 ［注意］ リモート運転でアラームした場合、外部起動信号を切ってから保守作業を行って下さい。オ ルタネートの外部起動信号が入力されたままですとリセットと同時にポンプがスタートします。 LCD コントローラの表示以外にも異常な症状が現われた場合は、10.「トラブルシューティング」に従 い処置して下さい。 ブザー使用モードの時は「 BZ . OFF」ボタンを押すことで、ワーニング発生中でもブザーを停止で きます。 EBARA CORPORATION PM M10U P.39 8.2 真空・排気配管 ［警告］ 可燃性物質、有毒物質、危険物質が周囲に飛散したり、人体に接触・吸収されないよう対策 を講じてから作業をして下さい。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないで下さい。 外装カバーは、運転中絶対に取外さないで下さい。 ［警告］ 配管のメンテナンス後は、リークチェックを必ず行って下さい。加圧によるリークチェック を行う場合は、N2 パージ口より 0.05MPa で加圧してリークチェックを行って下さい。 ポンプの真空・排気配管などをメンテナンスする場合は、下記の点に注意して下さい。 (1) 配管の取外し、洗浄を行う際は作業の前に充分な N2 パージを行って下さい。 (2) 排ガス処理装置がある場合は、N2 パージを止めた後に排ガス処理装置の入口弁を閉めて から配管を外して下さい。 (3) 電源の供給は必ず止めて下さい。 (4) 配管を洗浄後は、完全に乾燥させてから取付けて下さい。 8.3 潤滑油 日常の点検で油量が油面計の下限ラインより下側にある場合、潤滑油の補給が必要となります。 以下の通り処置して下さい。 (1) ポンプの運転を停止し、ポンプ側面外装カバーを外して下さい。(図 8.1 参照) 図 8.1 側面外装カバー取り外し方 EBARA CORPORATION PM M10U P.40 (2) ポンプ内部の圧力が大気圧に戻るまで待った後、給油口のプラグをはずして下さい(図 8.2 参 照)。 (3) 油面計の窓から油面レベルを確認し、上側ラインまでくるよう潤滑油を給油して下さい(図 8.2,8.3 参照)。 (4) プラグに付いている O-リングに付着物や破損がないか注意の後、給油口を閉めて下さい。 (5) 中間室の油ドレン口の下に廃油受け用の容器(ビニール袋等)を設け、ドレンプラグをはずして 下さい(図 8.2 参照)。 (6) 廃油が抜けましたら、ドレンプラグに付いている O-リングに付着物や破損がないか注意の後、 ドレン口を閉めて下さい。 (7) 潤滑油交換を行った後には、必ずリークチェックを行って下さい。 給油口 給油口 油面計 油面計 給油口 油面計 油面計 油ドレン口 （油室） 油ドレン口 （油室） 油ドレン口 （中間室） 油ドレン口 （中間室） 油ドレン口 （油室） 給油口 油ドレン口 （中間室） 油面計 油ドレン口 （油室） 油ドレン口 （油室） 油ドレン口 （中間室） 油ドレン口 （中間室） 図 8.2 給油口、油面計およびドレン口の位置 EBARA CORPORATION PM M10U P.41 図 8.3 ［注意］ 油面計 潤滑油は、表 3.1 仕様表に記載されているものを必ずご使用下さい。 ［注意］ 添付の製品安全データシート(MSDS)に基き、産業廃棄物業者によって廃油を処置して下さい。 8.4 メンテナンス用部品 EBARA CORPORATION PM M10U P.42 次にあげる部品はご使用先でのメンテナンスの際に必要な部品です。 表 8.1 メンテナンス用部品リスト 1. 標準消耗部品 部品名 型式 パーツNo. BARRIERTA J100ES 潤滑油 C-0402-000-0111 2. 安全な運転に必要な部品 部品名 型式 パーツNo. NW40（バイトンA） Oリング C-1210-352-0001 G55 (排気逆止弁用/バイトンA) C-1210-089-0201 3. 迅速なメンテナンス作業のための推奨部品 部品名 型式 排気逆止弁 4. その他 32×80L パーツNo. C-2244-031-0001 予備推奨部品 部品名 型式 冷却水流量センサ 10 L/min. ３ パーツNo. C-5137-008-0001 ポンプN2流量センサ 84.4 Pa m /s C-5138-062-0111 N2レギュレータ R31-200-C121 C-2250-101-0001 次の警告ラベルは、ポンプ外装カバーに貼付されています。変色や剥がれたりして読みにくくなった場合は ご使用先にて再度、貼付下さい。 表 8.2 ラベル ラベル名 8.5 パーツNo. [危険] 重量物危険ラベル C-7110-316-0001 [警告] 危険電圧警告ラベル C-7110-313-0001 [警告] 高温警告ラベル C-7110-312-0001 [警告] 危険物質警告ラベル C-7110-314-0001 [注意] 充電マークラベル C-7110-315-0001 メンテナンスに伴う廃棄物 表 8.4 は、標準的な保守作業で排出される廃棄物です。ポンプが設置されている地域で定められた法律 EBARA CORPORATION PM M10U P.43 及び政令に従って処分してください。 表 8.4 主な廃却物 廃却物 使用箇所 ポンプ内部 潤滑油 8.4 参照 注記 Appendix1MSDS 参照. CPU ボード. リチウム電池 (通常のメンテナンスでは取り Appendix3 MSDS 参照. 外しません) O-リング 真空上ライン接続部 一般産業廃棄物 8.6 オーバーホール 分解点検・オーバーホールは荏原フィールドテックまたは当社にて行ないます。 オーバーホールに関するお問い合わせは、当社営業所もしくはサービスセンターへお尋ねください。 オーバーホールは1 年毎に実施することを推奨します。 9. 取外し・輸送 ［警告］ ヒ素、水銀等毒性の強いガスを使用された場合は、ポンプを返送される前に必ず当社にご EBARA CORPORATION PM M10U P.44 連絡下さい。 ［注意］ ポンプの輸送や分解洗浄作業の安全のために、使用ガスは必ず記入して下さい。 使用したポンプを取外し、輸送する場合は下記の手順に従って下さい。 (1) ポンプを停止し、ポンプ内を N2 ガスで充分置換して下さい。 (2) ポンプへの電源供給を止めて動力配線、信号配線をはずして下さい。 (3) N2 用レギュレータを全閉にしてから N2 配管をはずして、N2 パージ口をシールなどで密閉して 下さい。 (4) 冷却水配管をはずして下さい。カプラ中心のポペットを押して水抜きを行って下さい。 (5) 真空・排気配管をはずして、ポンプ吸気口、排気口を閉止フランジなどで完全に密閉して下さい。 ディファレンシャルポート等、プロセスガスが流出する所は全てプラグなどで密閉して下さい。 (6) コントローラは、操作パネル面を下向きにしてテープで外装カバーに固定して下さい。 (7) ポンプ本体をビニールシート等で密閉して下さい。 (8) ポンプの積み降ろしの際には、付属のアイボルトを使用して下さい。アイボルトは完全にしめこ んで座面を密着させて下さい。吊り角度(ワイヤとワイヤのつくる角度)が 60°以内になるように ワイヤ長さを選んで下さい。 ［危険］ 吊り上げたポンプの下へ入っての作業は、絶対行わないで下さい。 ［警告］ 吊り作業は有資格者以外の方は絶対行わないで下さい。 ポンプを吊るワイヤロープやクレーンは、ポンプ重量に合わせ適正なものを選んで使用し て下さい。 荷重がかたよらないように、吊り角度の振分けを均等にして本体が水平になるように吊り 上げて下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.45 (9) オプションでインターフェイスボックス等が付いている場合は、ワイヤがぶつからないよう注意し て下さい。 (10) 輸送の時には、アジャスタフットを下げ固定して下さい。あて布のほかに固定用ワイヤの荷重が 分散するように、部材を外装カバーとワイヤの間にはさんで下さい。 図 9.1 ポンプ吊り上げ 60°以内 EBARA CORPORATION PM M10U P.46 10. トラブルシューティング 10.1 トラブルシューティング(1):根本的なトラブル 異常症状 チェック項目 処置 ELBが投入できない コネクタへの配線ミス 配線をチェックして下さい (漏電・短絡が検知される) 内部配線のショート ポンプ交換/分解整備が必要です 電源表示LEDが点灯しない 電源がポンプに来ていない 電源をチェックして下さい 電源コネクタが接続されていない コネクタを接続して下さい ELBが投入されていない ELBを投入して下さい ディスプレイに何も表示が出ない ELBが投入されていない ELBを投入して下さい ディスプレイの表示がおかしい 計装品の故障 計装品の交換が必要です STARTボタンを押しても 運転モードがリモートになっている コントローラでローカル設定に変更して下さい ポンプ(MP)が始動しない 起動条件が満足されていない 起動条件を整えて下さい (ディスプレイにSTARTFAILが表示される) LCDコントローラが2個接続されており､他方 操作可能なコントローラのコネクタを1度ぬい のコントローラが操作可能になっている て下さい 計装品の故障 計装品の交換が必要です 外部起動信号を入れても 運転モードがローカルになっている コントローラでリモート設定に変更して下さい ポンプ(MP)が始動しない 運転モードがオルタネートになっている 運転信号をオルタネートで入力して下さい (ポンプが一瞬しか回らない) ディップスイッチをモメンタリにして下さい 計装品の故障 計装品の交換が必要です リモート運転でBP運転信号が入っていない 運転信号を入れて下さい 計装品の故障 計装品の交換が必要です 異音がする キャスタのアジャスタフットが降りていない アジャスタフットを4ケ所共使用して下さい 振動が激しい 外装カバーに接触物がある 接触物を取り除いて下さい 外装カバーの取付ビスのゆるみ 取付ビスを締めて下さい ポンプ部品の損傷 ポンプ交換/分解整備が必要です ブースタポンプ(BP)が始動しない 真空度が上がらない ELBを投入後、もしくはディップス 吸気側配管に生成物が堆積 配管を洗浄して下さい Ｎ２パージの圧力設定値が高い パージ圧力を適正値にセットして下さい 吸気側配管のリーク 配管を点検して下さい ポンプに生成物が堆積 ポンプ交換/分解整備が必要です なし ポンプに電気ノイズ対策が必要です イッチの設定を変更した後、LCDに **MEMORY ERROR** が表示される ［警告］ 配線や保守作業は必ず漏電ブレーカ（ ELB ）を切って行って下さい。 作業が終了するまでは、ポンプに絶対電源を供給しないで下さい。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないで下さい。 外装カバーは、運転中絶対に取外さないで下さい。 ［警告］ ポンプ据付や配管のメンテナンス後は、リークチェックを必ず行って下さい。リークがあるとポ ンプから有害物質・危険物質の放出や、ポンプへの空気吸入による異常反応がおきて非常 に危険です。加圧によるリークチェックを行う場合は、N2 パージ口より 0.05MPa で加圧して リークチェックを行って下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.47 10.2 トラブルシューティング(2):ワーニング ディスプレイ表示 ＷＡＲＮ：ＷＡＴＥＲ ＦＬＯＷ ＬＯＷ 現象 冷却水流量の低下 ＷＡＲＮ：ＰＵＭＰ Ｎ２ ＦＬＯＷ ＬＯＷ ポンプＮ２流量の低下 チェック項目 冷却水のカプラが外れている 処置 カプラを接続してください 給水圧力の不足 充分な圧力をかけてください ユーティリティのバルブが閉じている バルブを開けてください 冷却水配管の詰まり 洗浄/交換が必要です 冷却水配管からの漏水 継手の締め直しが必要です 計装品の故障 計装品の交換が必要です 冷却水入口、出口逆接続（流量表示 0L/min） 冷却水入口、出口を正しく接続してください Ｎ２の継手が接続されていない 継手を接続してください 一次側圧力の不足 充分な圧力をかけてください レギュレータの圧力設定値が低い 設定値を上げてください Ｎ２配管の詰まり N2 配管の交換が必要です Ｎ２配管からのリーク 継手の締め直しが必要です 計装品の故障 計装品の交換が必要です ＷＡＲＮ：MOTOR ＴＥＭＰ ＨＩＧＨ モータコイル温度上昇 冷却水流量低下によるコイル温度上昇 ポンプを十分冷却後再起動してくだい。 ＷＡＲＮ：ＣＡＳＩＮＧ ＴＥＭＰ ＨＩＧＨ ケーシング温度上昇 ダクト排気の不足 充分なダクト排気を行ってください ＷＡＲＮ：ＢＰ ＯＩＬ ＬＥＶＥＬ ＬＯＷ ＷＡＲＮ：MＰ ＯＩＬ ＬＥＶＥＬ ＬＯＷ ＷＡＲＮ： CURRENT HIＧＨ ポンプ背圧の上昇 排気配管をチェックしてください ガス負荷の増大 流入ガス量を減らしてください 生成物によるガス温上昇 ポンプ交換/分解整備が必要です 冷却水量低下によるガス温上昇 冷却水量を増やしてください ＢＰの潤滑油量低下 潤滑油量の不足（図 8.1, 8.2 を参照してギヤ側 およびモータ側の両方のオイルレベルを確認） 潤滑油の補給が必要です ＭＰの潤滑油量低下 シールＮ２量の不足 シールＮ２のＷＡＲＮＩＮＧをチェックしてください 電流値上昇 ＷＡＲＮ： ＃＃ ＣＯＭＭ．ＥＲＲＯＲ 通信の不成立 ＷＡＲＮ：ＰＵＭＰ ＢＯＸ ＴＥＭＰ ＨＩＧＨ ＷＡＲＮ：PUMP Ｎ2 VALVE ERROR ポンプの傾き ポンプの傾きを補正してください 計装品の故障 計装品の交換が必要です ポンプの背圧上昇 排気配管をチェックしてください ガス負荷の上昇 ガス負荷を下げてください ロータ接触(生成物によるガス温上昇) ポンプ交換/分解整備が必要です ロータ接触(異物の噛み込み) ポンプ交換/分解整備が必要です ロータ接触(水量低下によるガス温上昇) 冷却水量を増やしてください ロータ接触(ギヤ、ベアリングの破損) ポンプ交換/分解整備が必要です 計装品の故障 計装品の交換が必要です 電圧異常(欠相) 逆相/欠相作動不良 計装品の接続不良 計装品の接続を確認してください 計装品の故障 計装品の交換が必要です ポンプユニット内の 温度上昇 ダクト排気の不足 充分なダクト排気を行ってください 冷却水量の低下 冷却水量を増やしてください N2 バルブ開 Ｎ2_0 モード設定で N2 バルブが開いている N2 バルブを閉じる ※ 上の処置を行った後、リセットを行って下さい。ワーニング原因が残っていると、リセットを行っても再び ワーニング表示が出ます。 ［警告］ 配線や保守作業は必ず漏電ブレーカ（ ELB ）を切って行って下さい。 作業が終了するまでは、ポンプに絶対電源を供給しないで下さい。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないで下さい。外装カバーは、運転中絶対に取外さないで下さ い。 ［警告］ ポンプ据付や配管のメンテナンス後は、リークチェックを必ず行って下さい。リークがあると ポンプから有害物質・危険物質の放出や、ポンプへの空気吸入による異常反応がおきて非 常に危険です。加圧によるリークチェックを行う場合は、N2 パージ口より 0.05MPa で加圧し てリークチェックを行って下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.48 10.3 トラブルシューティング(3):アラーム ディスプレイ表示 ＡＬＡＲＭ：ＢＰ ＭＯＴＯＲ ＴＥＭＰ Ｈ.ＨＩＧＨ 現象 ブースタポンプ(BP)の モータコイル温度上昇 ＡＬＡＲＭ：ＭＰ ＭＯＴＯＲ ＴＥＭＰ Ｈ.ＨＩＧＨ ＡＬＡＲＭ：ＢＰ ＭＯＴＯＲ ＯＶＥＲＬＯＡＤ 1 メインポンプ(MP)の モータコイル温度上昇 ブースタポンプ(BP)の モータ電流値上昇 ＡＬＡＲＭ：ＭＰ ＭＯＴＯＲ ＯＶＥＲＬＯＡＤ 1 ＡＬＡＲＭ：ＢＰ ＭＯＴＯＲ ＯＶＥＲＬＯＡＤ 2 ＡＬＡＲＭ：ＢＰ ＭＯＴＯＲ ＳＴＥＰ ＯＵＴ ＡＬＡＲＭ： ＢＰ ＤＲＩＶＥＲ ＃＃＃ ＡＬＡＲＭ：ＭＰ ＭＯＴＯＲ ＮＯ ＣＵＲＲＥＮＴ ＡＬＡＲＭ： ＰＨＡＳＥ ＥＲＲＯＲ ＡＬＡＲＭ：ＳＴＡＲＴＦＡＩＬ ＷＡＲＮＩＮＧ／ＡＬＡＲＭ ＥＸＩＳＴ チェック項目 冷却水量低下によるコイル温度上昇 モータの異常 ポンプ背圧の上昇 ロータ接触(生成物によるガス温上昇) ロータ接触(異物の噛み込み) メインポンプ(MP)の 電圧異常(欠相) モータ電流値上昇 計装品の故障 ブースタポンプ(BP)の ＭＰ性能低下 モータ過負荷 ポンプ背圧の上昇 ロータ接触(生成物によるガス温上昇) ロータ接触(異物の噛み込み) 計装品の故障 ブースタポンプ(BP)の ロータ接触(生成物によるガス温上昇) モータ脱調 ロータ接触(異物の噛み込み) 計装品の故障 ブースタポンプ(BP)の ダクト排気の不足 ﾓｰﾀﾄﾞﾗｲﾊﾞ保護回路作動 冷却水量低下によるポンプ温度上昇 モータドライバの故障 メインポンプ(MP)の 計装品の故障 電流値0 電源の逆相欠相 計装品の故障 電源の接続ミス 起動失敗 ワーニング・アラーム発生 計装品の故障 ＡＬＡＲＭ ＯＣＣＵＲＲＥＤ！！ 10 分 間 に 5 回 ALARM 発 ディスプレイに表示されるアラーム 生 内容確認 ＡＬＡＲＭ：ＷＡＴＥＲ ＦＬＯＷ ＬＯＷ 冷却水流量の低下 の継続 ＡＬＡＲＭ：ＢＰ ＣＵＲＲＥＮＴ Ｈ.ＨＩＧＨ ブースタポンプ(BP)の 電流値上昇 ＣＯＮＴＩＮＵＯＵＳ 冷却水のカプラが外れている 給水圧力の不足 ユーティリティのバルブが閉じている 冷却水配管の詰まり 冷却水配管からの漏水 計装品の故障 冷却水入口、出口逆接続(流量表示OL/min) ロータ接触 ＭＰ性能低下 計装品の故障 処置 ポンプを充分に冷却後、再起動して下さい ポンプ交換/分解整備が必要です 排気配管、サイレンサをチェックして下さい ポンプ交換/分解整備が必要です ポンプ交換/分解整備が必要です 逆相/欠相作動不良 計装品の交換が必要です 排気配管、サイレンサをチェックして下さい ポンプ交換/分解整備が必要です ポンプ交換/分解整備が必要です 計装品の交換が必要です ポンプ交換/分解整備が必要です ポンプ交換/分解整備が必要です 計装品の交換が必要です 充分なダクト排気を行って下さい ポンプを充分に冷却後、再起動して下さい モータドライバの交換が必要です 計装品の交換が必要です 計装品の交換が必要です 電源をチェックして下さい ワーニング・アラームをリセットして下さい 計装品の交換が必要です アラーム内容確認の上、上記処置を実施後 ELBを一度切り、再起動して下さい。 カプラを接続して下さい 充分な圧力をかけて下さい バルブを開けて下さい 洗浄/交換が必要です 継手の締め直しが必要です 計装品の交換が必要です 冷却水入口、出口を正しく接続して下さい ポンプ交換/分解整備が必要です 排気配管、サイレンサをチェックして下さい 計装品の交換が必要です ※ 上の処置を行った後、リセットを行って下さい。アラーム原因が残っている場合は、リセットを行っても 再びアラーム表示が出ます。 ※ リモート運転時は、外部起動信号を切ってから上の処置を行って下さい。 オルタネートの外部起動信号が入力されたままだとリセットと同時にポンプがスタートします。 ［警告］ 配線や保守作業は必ず漏電ブレーカ（ ELB ）を切って行って下さい。 作業が終了するまでは、ポンプに絶対電源を供給しないで下さい。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないで下さい。外装カバーは、運転中絶対に取外さないで下さ い。 ［警告］ ポンプ据付や配管のメンテナンス後は、リークチェックを必ず行って下さい。 リークがある EBARA CORPORATION PM M10U P.49 とポンプから有害物質・危険物質の放出や、ポンプへの空気吸入による異常反応がおきて 非常に危険です。加圧によるリークチェックを行う場合は、N2 パージ口より 0.05MPa で加圧 してリークチェックを行って下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U P.50 10.4 トラブルシューティング(4):オプション ディスプレイ表示 現象 チェック項目 処置 ＡＬＡＲＭ： ＷＡＴＥＲ ＬＥＡＫＡＧＥ 漏水 冷却水配管継手のゆるみ 計装品の故障 継手の締め直しが必要です 計装品の交換が必要です ＡＬＡＲＭ： ＢＡＣＫ ＰＲＥＳＳ． ＨＩＧＨ 背圧上昇 排気バルブの閉止 計装品の故障 排気配管をチェックして下さい 計装品の交換が必要です ＷＡＲＮ：ＢＡＣＫ ＰＲＥＳＳ． ＨＩＧＨ ＊＊.＊ 背圧上昇 排気バルブの閉止 計装品の故障 排気配管をチェックして下さい 計装品の交換が必要です ＷＡＲＮ：ＢＡＣＫ ＰＲＥＳＳ ＷＩＲＥ ＢＲＯＫＥ 背圧断線 計装品の故障 計装品の交換が必要です ＡＬＡＲＭ： ＥＭＥＲＧＥＮＣＹ ＳＴＯＰ 非常停止 非常停止ボタンによるポンプの停止 運転可能な状態を確認し、非常停止 ボタンを回してロックを解除して下さい ※ 上の処置を行った後、リセットを行って下さい。アラーム原因が残っている場合は、リセットを行っても 再びアラーム表示が出ます。 ※ リモート運転時は、外部起動信号を切ってから上の処置を行って下さい。 オルタネートの外部起動信号が入力されたままだとリセットと同時にポンプがスタートします。 ［警告］ 配線や保守作業は必ず漏電ブレーカ（ ELB ）を切って行って下さい。 作業が終了するまでは、ポンプに絶対電源を供給しないで下さい。 ［警告］ 運転中と停止後しばらくの間は、ポンプおよび排気管は高温になります。 人体や可燃物を接触させないで下さい。外装カバーは、運転中絶対に取外さない で下さい。 ［警告］ ポンプ据付や配管のメンテナンス後は、リークチェックを必ず行って下さい。リークがあると ポンプから有害物質・危険物質の放出や、ポンプへの空気吸入による異常反応がおきて 非常に危険です。加圧によるリークチェックを行う場合は、N2 パージ口より 0.05MPa で加 圧してリークチェックを行って下さい。 EBARA CORPORATION PM M10U