アプリケーション例

超純水用
ゴア® フィルター
LCDメーカー、
新規DI水供給システムの初期設備投資
およびコスト低減に貢献
結果
• 使用されるフィルター本数を 218 本から102 本へ削減
• ハウジングサイズの小型化
•フィルター圧力損失を 35％低減
120m3/hr 供給ライン
背景
LCD 製造メーカーが、最新 DI 水供給プラントの導入を検討して
いました。従来、前工程の TFTプロセスとカラーフィルタープロ
セスには UF モジュールが、後工程のモジュールアセンブリには
MFカートリッジが使われていました。コスト削減を計るために、
メーカーはカラーフィルターとモジュールアセンブリ用の DI 水
供給ラインに 0.1µm 孔径のカートリッジフィルターを選択しま
した。
フィルター 80 本
従来の 0.1µmPES 製
30インチフィルターを40 本収納する
ハウジング 2 基
差圧 8kPa
フィルター 44 本
ゴア®フィルター 0.1µm DI
30インチフィルターを22 本収納する
ハウジング 2 基
差圧 5kPa
160m3/hr 供給ライン
•システム流量 560m3/hr：
120m3/hr のラインと160m3/hr のラインそれぞれ 2 系統
• 粒子数仕様：0.1µm 径以上で50 個 /ml 以下
当初提案されたシステムは 10インチ当り0.94L/min/kPa の
流量特性を持つ 30インチ 0.1µm 孔径ポリエーテルスルフォン
（PES）フィルターを使用するもので、流量と粒子数の仕様を満
足するには、各 120m3/hrラインに 40 本のフィルターを収納
するハウジング 2 基、各 160m3/hrラインに 69 本のフィルター
を収納するハウジング 2 基が必要になりました。
解決策
10インチ当り2.8L/min/kPa の流量特性を持つゴア®フィル
ター 0.1µm DI が、DI 水供給システムのファイナルフィルター
として選定されました。高流量ゴア®フィルターを使用すると、
DI 水供給システムは当初提案された従来のフィルターを使用す
るシステムよりも小型化されました。各 120m3/hr 供給ライン
に 22 本の 30インチフィルターを収納するハウジング 2 基、各
160m3/hr 供給ラインに 29 本の 30インチフィルターを収納す
るハウジング 2 基を使用します。
フィルター 138 本
従来の 0.1µmPES 製
30インチフィルターを69 本収納する
ハウジング 2 基
差圧 8kPa
メリット
• 設備投資コスト40％低減
•ランニングコスト20％低減
フィルター 58 本
ゴア®フィルター 0.1µm DI
30インチフィルターを29 本収納する
ハウジング 2 基
差圧 5kPa
超純水用—アプリケーション例
ゴア フィルター
®
Gore 社は 1958 年に設立され、ゴアテックス ®ファブリクス、
大動脈病変部の治療に使用する人工血管、宇宙探査用の電気
ケーブルなど、優れたテクノロジーによって創造性に富んだ製
品を生み出してきました。Gore 社の製品はコンシューマー製
品、工業製品、医療機器の市場でその信頼性と卓越した製品力
によって、新たな業界標準を創り出しています。Gore 社は、
2,000 億円以上の年間売上高を持ち、世界 30カ国以上の製
造、セールス拠点に約 9,000 名の従業員が従事するグローバ
ル企業です。
これまで30 年以上にわたってGore 社は耐薬品性に優れ、極
めて高純度で信頼性の高い PTFE を使用したフィルターメディ
アのテクノロジーをリードしてきました。このゴア®マイクロフィ
ルトレーションメディアは半導体、エレクトロニクス製造プロセ
スのもっとも重要なアプリケーション向けのカートリッジフィル
ターに使用され、先端プロセスの生産性向上、品質維持に貢献
しています。
お問い合わせ
フィルターの選定、技術サポート、取付ガイドなどの詳細につい
ては、日本ゴア株式会社インダストリアル プロダクツまでお問い
合わせください。
ゴア®フィルターは Gore 社のグローバル販売拠点でも取り扱っ
ております。
China
Gore Industrial Products Trade (Shanghai) Co., Ltd.
43F United Plaza • 1468 Nanjing Road West
Shanghai 200040 • CHINA
Telephone: +86.21.6247.1999 • Fax: +86.21.6247.9199
South Korea
W. L. Gore & Associates (Korea), Ltd.
12F Chong Kun Dang Building • 368, Chungjungro – 3 Ka
Sudaemoon-Ku • Seoul 120-756 • KOREA
Telephone: +82.2.393.3411 • Fax: +82.2.393.1285
France
W. L. Gore & Associates, SARL
Bercy International • 20, place des vins de France • 75603
PARIS CEDEX 12 • FRANCE
Telephone: +33.1.56.95.65 65 • Fax: +33.1.56.95.64 02
Taiwan
W. L. Gore & Associates (Far East), Ltd. (Taiwan Branch)
4F, No. 136 Sec. 3 • Nanking East Road • Taipei 104 • Taiwan • REPUBLIC
OF CHINA
Telephone: +886.2.8771.7799 • Fax: +886.2.8771.7766
Germany
W. L. Gore & Associates, GmbH
Wernher-Von-Braun-Strasse 18 • 85640 Putzbrunn • GERMANY
Telephone: +49.89.4612.0 • Fax: +49-89-4612-2300
United Kingdom
W. L. Gore & Associates, Ltd.
Kirkton South Road • Kirkton Campus • Livingston • West Lothian EH54 7BT •
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Telephone: +44.1506.460123 • Fax: +44.1506.462270
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W. L. Gore & Associati, S.r.l.
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Telephone: +65.6.733.2882 • Fax: +65.6.836.8228
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Toll free: +1.800.542.3146 (US)
日本ゴア株式会社は
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GORE ® Filters — Redefining Filtration Performance
JQA-0885
GORE®、ゴア®は、W. L. Gore & Associates の登録商標です。
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2011年4月作成　000K01