ALSの使い方事例

レベルセンサの事例
フィールドアプリケーションエンジニア 林幸信
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水準器とは：
• いろいろな産業にて、
状況、場面にて使われ
ています。
• 皆さんも使ったことがあ
るかと思います。
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レベルセンサALSの特徴と仕様
特徴
•
•
•
•
ワイヤレス
ウエハライク形状
真空互換性
水平と垂直方向
仕様
水平
• 精度：0.03度
• 分解能：0.002度
垂直
• 精度：0.05度
• 分解能：0.01度
詳細仕様は弊社のホームページをご参
照ください。
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どのような状況で使用するのか？No.1
• ウエハのズレが問題
例えばフォトリソ工程のコータ
＆デベのPRAロボット。
①ガイドは磨耗して溝が出来、
②そこにウエハのエッジが
引っかかり、
③リフトピンに置く、受け渡し
の動作にて位置がランダムに
ずれる。
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どのような状況で使用するのか？No.2
• プロセスに問題
例えば、LPCVDの面内均
一性が悪く、N2ガスの流
れが問題。真空中のボー
トが旋回する時のイン
ナーチューブの傾斜を測
りたい。。。
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どのような状況で使用するのか？No.3
• 調整が非常に困難
真空中での傾斜レベルが
重要なイオン注入装置だ
が、大気中では静電
チャック出来ないし、真空
中では目視確認が非常
に難しい。。。
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どのような装置で使用されているのか？
• スパッタリング（PVD）
• ALD
• コータ＆デベ
• ドライエッチング
• 拡散（LPCVD）
• ＥＰＩ
• EFEM
• イオン注入
• メッキ
など
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製造元
• アプライドマテリアルズ、
東京エレクトロン、ASM、
LAM(Novellus)、 SEN、 日
新イオン機器、ニコン、ス
クリーン、 Sokudo, 日立
ハイテク、日立国際、アド
バンテスト、キャノンアネ
ルバ、ナノメトリクス、KLA、
ダイヘンなど
何がメリットなのか？
• チャンバーを大気開放
しなくて良い。
• 誰でも簡単に使える
• 再現性がとても良い
• データを残せる
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•
•
•
•
製品の品質向上
時間短縮
人件費削減
管理に使える
様々なプロセス装置における代表的な事例
• 受け渡し
• 旋回軸
• 真空中
• プロセス条件
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ドライエッチング
PVD
メッキ
ＥＰＩ
フォトリソのコータデベ
ALD
RTP
イオン注入
LPCVD
受け渡しの事例：ドライエッチング
昇降
チャンバーの真空中にお
けるリフトピンが接触、磨
耗してウエハがずれる、
パーティクルが発生する、
シリンダー交換が必要に
なる。
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良好な状態
平行性が悪い
受け渡しの事例：スパッタリング(PVD)
ウエハのズレがプロセスの
品質に影響します。ですか
ら再現性よくウエハをチャン
バーに配置する為に
LCF(Local Center Finder、位
置補正機能)を活用している。
しかしリフトピンのレベル調
整が必要。
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LCF
受け渡しの事例：メッキ成膜
1.ﾛﾎﾞｯﾄｱｰﾑ上
• ウエハを引っくり返して、
ある角度に傾けて、下か
らプロセスする。ウエハ
がずれないように搬送す
るにはレベル調整が必要。
• プロセス傾斜は傾向管理
すると面内均一性が向上
する可能性を持つ
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ｾﾙｽﾃｰｼｮﾝ
2.ｾﾙｽﾃｰｼｮﾝ上
搬送部
EFEM
3.ﾌﾟﾛｾｽ傾斜
旋回軸測定の事例：ＥＰＩ
• ＥＰＩのサセプターは360
度旋回する。そのレベ
ルがリフトピンに対して
水平でないと、ウエハ
に傷を付けることとなり、
品質不良となる。
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回転する
サセプター
旋回軸調整の事例：コータ＆デベのスピナー
ノッチを奥側にして配置。チャックさ
せます。
• スピナーが傾斜した状
態では、レジスト塗布の
均一性が悪くなります。
• ALSがあれば、旋回軸
調整も簡単です。右に
簡単な手順を示します。
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取り付けボルトを外して、シムス
ペーサを挿入します。
泡の反対側
の底面に、
0.18mmのシ
ムを挿入。
真空中における測定事例：ALD
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
大気中
• 大気中と真空中のペデス
トルの水平度は異なりま
す。それは差圧がチャン
バーの歪みを起こしてい
るからです。
• チャンバーリッドとペデス
トルの平行性をＡＬＳにて
調整する必要があります。
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ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌ
真空中
+Y
-X
+X
+Y
+Y
-X
+X
+Y
真空中の測定事例：RTP
• クランプリングがヒー
ター上のウエハと平行
でないと、パーティクル
を起こす不具合を生み
ます。
• 真空中のレベル確認が
必要です。
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投資効果
• 時間短縮
– 誰でも簡単に使えるので、作業時間が短縮されます。
• 稼働率向上
– トラブルシューティングが効果的なので、MTBA、MTBFが延びます。
• 品質改善
– プロセスの面内均一性を向上させ、機差、個人差を減らします。
– ウエハ上の傷を減らし、落下、クラック、ひびなどを予防出来ます。
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評価デモと注意点
準備するもの
• ALSセット
• パソコン
• 空のカセット
• ダミーウエハ
• クリーンスーツ
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注意する事
• 貸し出しは基本2週間
• 温度環境（70度まで）
• ケミカルな条件
• 厚みの問題
• 重さの問題
• ブルートゥース通信
納品後のトレーニングと注意点
納品物
• 製品（ALSウエハ、受信
機、充電器、ケーブル、
ケース）
• 日本語マニュアル
• 訪問して使い方および
注意点を説明する。
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注意点
• 誰でも簡単に使えるよ
うシンプルな資料、手
順書を作成する。（ト
レーニングを受けてい
る人だけが使用するの
ではない）
カスタマーサポート
•
•
•
•
•
電話
メール
現地訪問
製品の交換
製品の修理・校正
•
修理・校正はアメリカのミネソタ州にある弊社工
場に送付して行います。
–
•
•
電話：林（はやし）幸信 携帯電話
（08039740253）
メール：[email protected]
–
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•
•
(日本語対応可能）
保障期間：納品後12ヶ月
サービスの保障期間：納品後3ヶ月
日本国内における訪問によるサービスは無料。
–
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CyberOptics Corporation (本社)
5900 Golden Hills Drive
Minneapolis, MN 55416
Telephone: 763‐542‐5000
Fax: 763‐542‐5100
スケジュール調整が必要。
Thank You!
Ferris Chen
Allyn Jackson
Director of Sales
Account Manager & Sr. FAE
[email protected]
[email protected]
Mobile(TW): +886.912.543323
Mobile(US): +1.763.222.4494
+1(503) 373‐8463
Yukinobu Hayashi
Hank Liu
Suhee Lee
Field Application Engineer
Field Application Engineer
Field Application Engineer
[email protected]
[email protected]
[email protected]
+81(0)80‐3974‐0253
Direct : +65.8478.0225 (Sg)
Direct : +86‐139.1037.8405 (Cn)
Direct : +886‐922520779 (TW)
+82 10.7428.1553
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