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精密トライボ部品・精密金型用 低温 PVD コーティング

開発秘話：デバイス配線微細化と PVD成膜技術の競争

PVD (Physical Vapor Deposition)

切削工具用超高硬度 TiSiN系コーティング材料の開発

1,33 MB , PDF-File

成果事例集 - 山口県産業技術センター

成果事例集平成23年2月4日現在(9.6MBytes)

酸化チタンの光触媒作用を用いた光カソード防食

page512～608（2.09MB）

Ⅲ．研究開発成果について - 新エネルギー・産業技術総合開発機構
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