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アルミニウム合金製真空チャンバーの製作実習

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アルミニウム合金製真空チャンバーの製作実習
アルミニウム合金製真空チャンバーの製作実習
東北大学電気通信研究所
研究基盤技術センター
佐藤圭祐
工作部
1.はじめに
本工作部では研究室からの依頼により、様々な
実験装置・器具の製作を行っている。1つの依頼
につき1人の職員が完成まで担当しているため、
各職員は旋盤やフライス盤の操作や溶接作業な
ど、製作工程の全てに精通している必要がある。
そこで溶接技術や工作技術の向上を目的として、
本工作部で製作してきた代表的な装置の一つで
あるアルミニウム合金製真空チャンバーを題材
に製作実習を行った。アルミニウム合金は表面の
ガス吸着量が多く、真空引きした時にそのガスが
放出されて真空度が上がりにくくなることから、
図 1 真空チャンバー設計図
2.1 切削加工
以前は真空材料として適さないものと考えられ
通常、アルミニウム合金は表面に厚く多孔質な
ていた。しかし、表面に適切な処理を施すことに
酸化膜が形成され、ガスが多量に吸着する。その
よりガス吸着量を非常に低減できることが分か
ため真空材料として用いる際は表面処理が必要
り[1]、現在、アルミニウム合金製真空チャンバ
となる。例えばその処理の一つに、旋盤での切削
ーは多くの分野で利用されている。本稿では、ア
加 工 の 際 に エ タ ノ ー ル を 切 削 液 に 用 い る EL
ルミニウム合金製真空チャンバーの製作実習を
(Ethanol Lathing)加工がある。エタノールには、
通してどのような技術向上が見られたかについ
脱脂・脱水効果や、冷却作用により酸化膜形成を
て紹介する。
抑制する効果がある。そのため、清浄で、薄く緻
密な酸化膜が表面に形成され、ガス吸着量を大き
2.製作
図 1 に今回製作した真空チャンバーの設計図
く低減させることができる。この節では、旋盤で
の EL 加工や、ラジアルボール盤、フライス盤に
を示す。製作作業は基本的に切削加工→溶接→リ
よる切削加工の様子を説明する。
ークテストという工程で行っている。万一、リー
2.1.1 旋盤
クが見つかった場合の修理は、リーク箇所近辺の
真空チャンバー胴体部分のパイプを、 旋盤
溶接ビードを切削して取り除き、そこを再び溶接
(HAMATSU HAT-20-B-800G)で切削加工している
し、リークテストをするという手順で行った。リ
様子を図 2 に示す。ここで加工しているパイプは
ークが無いことが確認できれば完成となる。この
板材をロール曲げしてから溶接して製作したも
章では製作内容の紹介を、切削加工、溶接、リー
のであり、その溶接については 2.2.1 で取り上げ
クテストと修理、の工程毎に説明する。
る。図 2 にあるように点滴器具を用いてエタノー
ルを切削箇所に滴下して EL 加工を施した。パイ
図 3 にあるようにパイプを割り出し盤に固定し、
プをチャックに固定する際は、締め付けによる変
ドリルで下穴をあけた後にボーリングヘッドを
形を防ぐため、パイプの内側に丁度合うサイズの
使って切削加工し、ポートが入る大きさまで穴を
円板を入れた。また、内面を加工する際は振動を
拡大した。この時も、加工の際に切削箇所にエタ
抑えるためパイプの周りにゴムバンドを巻いた。
ノールを滴下した。
こうすることで、より表面積が少ない平坦な面が
2.1.3 フライス盤
得られ、表面に吸着するガスの量が減少し、チャ
図 4 にフライス盤(MAKINO KSAP)を使用して
ンバー内の真空度がより高くなる。内面と外面の
チャンバーの天板を切削加工している様子を示
切削加工の条件だが、荒削りはハイスの剣バイト
す。ここでは、ポートが入る穴の周りに溶接開先
を用いて回転速度 100rpm で直径 0.5mm ずつ行い、
を加工している。まず、ポート穴の中心とサーキ
最後の仕上げの切削はダイヤモンドの剣バイト
ュラーテーブルの中心が一致するように板を固
を使用して回転速度 70rpm で直径 0.02mm 削った。
定した。そしてサーキュラーテーブルを回転させ、
エンドミルで穴の周りを切削して開先溝を形成
円板
ゴムバンド
点滴器具
した。ここでも切削箇所にエタノールを滴下して
加工を行った。
図 2 旋盤による胴体用パイプの切削の様子
2.1.2 ラジアルボール盤
ラジアルボール盤(MORI-SEIKI YR3-115)によ
る胴体パイプのボーリング加工の様子を図 3 に
示す。このパイプは 2.1.1 で説明した旋盤で加工
したパイプ2つを溶接して製作したものである。
図 4 フライス盤による天板の開先加工の様子
2.2 溶接
溶接は清浄度が高い TIG 溶接を採用し交流電
流で行った。溶接機はダイヘンの AE-300 を使用
した。また、溶接機は稼働する際に部屋の埃を舞
い上げるので、設置場所を隣の部屋にし、溶接ト
ーチのケーブルだけを溶接室に引き入れておい
た。そして、溶接室の湿度を 50%以下に保つよ
う管理しておいた。また、円周溶接する際は回転
台を使用し材料が自動で動くようにした。この回
転台は本工作部で製作したものであり、スクロー
図 3 ラジアルボール盤による胴体パイプの
ルチャックがモーターによって回転する構造に
ボーリング加工の様子
なっている。チャックはアースと繋がれていて、
モーターには電流が流れないように絶縁を施し
てある。また、備えつけの操作盤により回転速度
の調節が可能である。溶接中は、溶け具合を見て
回転台の速度や溶接電流値を変える必要がある
が、アルミニウム合金溶接では溶加棒の挿入が不
可欠であり、両手で作業をすることから1人では
不可能である。そこで、補助作業者に回転速度や
溶接電流値を口頭で指定して、自分の代わりに調
節してもらうことにした。またアルミニウム合金
(a)
溶接の場合、油や水分といった不純物を巻きこん
で溶かすと、ガスが発生しリークの原因であるブ
ローホールが生じやすくなる。そこで不純物を取
り除くために、材料や作業台、電極、溶加棒をエ
タノールでふき取っておいた。また、作業中はク
リーンウェアを着用し、材料やトーチや作業台を
触る時は布手袋を付けて素手で触らないように
した。以上の条件のもとで溶接を行ったが、この
節ではその内の2つの例を紹介していく。
2.2.1 ロール曲げした板材の溶接
ロール曲げした厚さ 10mm の板材の端同士を
溶接して胴体用のパイプを2つ製作した。図 5
にそのパイプと溶接部の開先の様子を示す。この
開先はロール曲げの前にフライス盤で加工して
形成した。また、溶接の前に溶接部近辺の表面を
ビューカッターで削っておいた。溶接部の端には
エンドタブを仮溶接しておき、溶接はそのエンド
タブごと行った。こうすることで、パイプの端に
熱が集中し溶け落ちるのを防ぐことができる。そ
して溶接は内側と外側から 2 回行ったが、どちら
も深く溶かし込むことで板厚の中心に空洞がで
きないようにした。この時の電極の径は 4.0mm、
溶加棒の径は 4.0mm、電流値は内側からの溶接で
は 240A~260A、外側からは 230A~240A の範囲
で行った。
(b)
図 5 溶接した胴体用パイプ(a)と溶接部の開先(b)
2.2.2 胴体パイプと天板の溶接
図 6 に回転台を使用して胴体パイプと天板を
溶接した様子を示す。この工程では胴体パイプが
天板で塞がれるため、パイプの内側から溶接をす
ることができない。そのため外側から溶接を行っ
たが、その場合は内側表面に酸化膜が形成するの
を抑えるためのシールドガスが必要となる。そこ
で図 6 に示すように、全てのポートをアルミホイ
ルで封止し、チャンバーの中に Ar ガスを注入し
ながら溶接を行った。溶接中は材料の温度が上が
っていくため、基本的に溶接電流値は徐々に減少
し、回転速度は徐々に上がっていく。しかし今回
は材料が大きく、熱が拡散したために、溶接電流
値、回転速度ともに開始時からあまり変化しなか
った。また、溶接する距離が長かったため長さ
1m の溶加棒 1 本では間に合わず、3 回に分けて
溶接した。その際、溶接ビード同士の間に隙間が
生じないように 50mm ほど重なるようにして溶
接した。この時の電極の径は 4.0mm、溶加棒の径
は 4.0mm、電流値は 260A 前後で行った。
溶接ビード
Ar ガスを注入
するホース
図 8 完成したアルミニウム合金製真空チャンバー
回転台
図6
胴体パイプと天板の溶接ビードの様子
2.3 リークテストと修理
リークテストは真空法で行った。まず、テスト
3.まとめ
この実習を通して、真空溶接技術を習得するこ
とができた。また機械工作においても、特に清浄
度が要求される EL 加工を始め、様々な加工技術
する容器をリークディテクタ(ANELVA ASM-
(材料の固定、刃物の選定、加工条件等々)を習
110-TURBO-CL)に取り付け、内部を真空にした。
得することができた。さらに、リークディテクタ
そして溶接ビードに He ガスを吹きかけ、リーク
を使用しリークを的確に見つける技術も習得す
ディテクタがリーク穴から侵入してきた He ガス
ることができた。この経験は今後、様々な実験装
を感知することでリーク個所を特定した。胴体パ
置や器具の製作においても活用できるものと考
イプ側面にポートを溶接しリークテストしたと
えている。
ころ、数箇所のリークが見つかった。そこでリー
ク箇所近辺の溶接ビードをビューカッターで削
り、溶接して修理した(図 7)。しかし、再度リ
謝辞
今回の製作実習に取り組むに当たり、本工作部
ークテストしたところ数箇所のリークが見つか
の職員の皆様にはご理解とご協力をいただきま
ったので、再び溶接修理した。すると今度はリー
した。特に、渡辺博志技術補佐員には製作工程全
クを止めることができた。全ての部品を溶接して、
般に渡って熱心な技術指導をいただきました。
リークテストでリークが無いことを確認して真
心よりお礼申し上げます。
空チャンバーが完成した(図 8)。
参考文献
[1]下山田博,修士論文“超高真空用アルミニウム
合金の表面処理に関する研究”
再溶接した箇所
図 7 リーク箇所の修理の様子
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