ULVOIL - アルバックテクノ

アルボイル　総合カタログ
真空ポンプ油
真空グリース
株式会社アルバック　アルバックテクノ株式会社
真空ポンプの最適運転に効果を発揮する　——ULVAC が厳選した真空ポンプ油／グリース
幅広い産業分野で活躍する真空機器。
その真空機器と密接な関係にあるのが真空ポンプです。
真空ポンプの中の
油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ、油拡散ポンプ、
油エゼクターポンプなどの性能を最大限に引き出すには真空ポンプ油が不可欠。
真空機器の総合メーカー ULVAC の厳選した
真空ポンプ油、真空グリース「 ULVOIL（アルボイル）
」は、
ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長にも効果があり、
運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。
2
［真空ポンプ油］
● R シリーズ… ……………… p.4 〜 7
R-4　ULVAC 純正
R-7　ULVAC 純正
R-80　ULVAC 純正
●スーパー R シリーズ… …… p.8 〜 9
R-7000　ULVAC 純正
R-7500　ULVAC 純正
R-8000　ULVAC 純正
● R-2　ULVAC 純正… …………… p.9
● D-11　ULVAC 純正………… p.10 〜 11
● D-31　ULVAC 純正………… p.10 〜 11
● B-6　ULVAC 純正… ……… p.10 〜 11
● BARRIERTA
J FLUID シリーズ… ………… p.12
J25 FLUID
J60 FLUID
J100 FLUID
J100 FLUID E
● FONBLIN
Y-LVAC シリーズ………… p.12
Y-LVAC06/6
Y-LVAC14/6
Y-LVAC25/6
［真空グリース］
● BARRIERTA
JFE 552 HV,
SUPER IS/V… ………… p.13
● FONBLIN
GREASE…… p.13
● HIGH
VACUUM
GREASE…………………… p.14
● Orelube
G1/3… ……… p.14
● Z-300　ULVAC 純正…………
・本パンフレットに記載されている会社名、商品名は商標および登録商標です。文中での記述は省略しています。
・記載事項は予告なく変更させていただくことがあります。
・記載物性値は代表値であり、保証値ではありません。
●スーパー Z-300
p.15
ULVAC 純正……………………… p.15
油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ向け
真空ポンプ油
アルボイル
Rシリーズ［石油系鉱物油］
スーパーRシリーズ［炭化水素系合成油］
高品位特性を追求した油回転真空ポンプ専用オイル
ULVAC 純正油「ULVOIL 」R シリーズ、スーパー R シリーズは、油回転真空ポンプ向けに開発された
専用オイルです。幅広い用途・目的別に取りそろえた豊富なラインナップのなかから、みなさまのお
使いのポンプに最適なオイルがお選びいただけます。そのオイル特性は、真空ポンプを知り尽くした
ULVACならではの高品位特性を追求した、ULVACが自信を持ってお勧めする専用オイルです。
4
R シリーズ / スーパー R シリーズ
度が下がり、シール特性が低減します。
油回転真空ポンプの
3大特性要素を満たす
Rシリーズ／スーパー Rシリーズ
油回転真空ポンプ油をお選びいた
だく上で下記の3 要素は絶対不可欠な
チェックポイントです。
ったりしてポンプ油の見掛け上の蒸気
「 ULVOIL 」は、起動時に動力の過負荷
圧が上昇することがあります。また物
を招かず、高温時にシール特性を損な
質（酸・アルカリなど）によって、油高
わない、ポンプに合った適度な粘度を
分子が重合したり、切断されたりして、
持つオイルです。
油の粘度が増減します。
「ULVOIL」は、
耐熱・耐酸化に優れた特性を発揮
①到達圧力を決める低蒸気圧特性
高負荷・長時間の運転によって、油
②隙間を埋めるシール特性
は酸化され、スラッジ化を起こします。
③機械部品の動きを助ける潤滑特性
同時に油を構成している高分子が機械
抗乳化特性を持ち、化学的安定性に
優れています。
用途・目的別に選べる
自慢のラインナップ
「 ULVOIL 」R シリーズ／スーパー R
的に分断されて、油の粘度が低下しま
石油系鉱物油を原料とした「 R シリ
シリーズは、熱負荷・機械的負荷・物
す。
「 ULVOIL 」は、耐熱・耐酸化に対
ーズ」
、炭化水素系合成油を原料とし
質との化学反応などに対して、優れた
しても安定した特性を発揮します。
た「スーパー R シリーズ」は、油回転
安定化を示す油回転真空ポンプ向け
専用オイルです。
真空ポンプの用途とその使用条件の
抗乳化特性・
多様化に応えるための真空ポンプ用
化学的安定性に富む
ポンプに合わせた適正な粘度
純正油です。
ポンプが吸引する物質（水分・溶剤
使用温度が上がるとポンプ油の粘
など）でポンプ油が乳化したり、薄ま
「 ULVOIL 」R シリーズ／スーパー R シリーズ特性一覧
石油系鉱物油
種類
項目
到達圧力 (Pa)
動粘度
外観色
40℃ （㎜2/s ）
性　状
100℃（㎜2/s ）
炭化水素系合成油
スーパー
スーパー
スーパー
試験法
R-4
R-7
R-80
R-7000
R-7500
R-8000
＜ 4×10 − 1
＜ 4×10 − 1
＜7
＜ 7×10 − 1
＜ 7×10 − 1
＜ 7×10 − 1
淡黄色透明
淡黄色透明
淡褐色透明
淡褐色透明
褐色透明
淡褐色透明
視覚判定
47
69
57
68
68
78
JIS K 2283
ULVAC社内評価法
7
9
8
10
10
12
JIS K 2283
112
102
110
110
115
140
JIS K 2283
（％）
＜ 0.01
＜ 0.01
＜ 0.01
＜ 0.01
＜ 0.01
＜ 0.01
JIS K 2275
酸価 （ mg KOH/g ）
＜ 0.05
＜ 0.05
＜ 1.9
＜ 0.1
＜ 0.1
＜ 0.1
JIS K 2501
粘度指数
水分
3
0.86
0.88
0.88
0.91
0.91
0.91
JIS K 2249
引火点
（℃）
200以上
250以上
200以上
230
230
230
JIS K 2265
流動点
（℃）
− 12.5
− 12.5
− 37.5
− 20以下
− 20以下
− 20以下
JIS K 2269
低粘度
汎用ポンプ油
高粘度指数
長寿命
ダスト分離剤
高粘度指数
高温高負荷用
汎用ポンプ油
配合油
ルーツポンプ 中・大型ポンプ 食品・包装用
活性ガス排気
ダスト＋ガス
高温・高負荷
エッチング
排気
運転ポンプ
LPCVD
アッシャー
4.0
4.0
密度　15℃
（ g/cm ）
特　長
低温起動用
主な用途
容　器
小型ポンプ
（L）
大型ポンプ
200　20　2.0 200　20　2.2 200　20　2.0
4.0
——
——
——
5
R シリーズ / スーパー R シリーズ
●製品別にみる特性比較●
耐フッ酸性
フッ酸添加・攪拌後の動粘度変化率
試験油
ULVOIL
ULVOIL
ULVOIL
R-7
スーパー R-7000
スーパー R-7500
定性評価
良
優
優
動粘度減少率（％）
27
1.1
1.3
72.6
72.8
68.5
53.0
72.0
67.6
試験前動粘度
（ mm2/s ）
試験後動粘度
（ mm2/s ）
（注）試験油 150g に 47％フッ酸 4.5g を加え、70℃で 6h、150rpm の攪拌後、ヘキサンにて油分を抽出し、
水洗・脱水後動粘度を測定する法。
耐熱酸化安定性
回転ボンベ式酸化安定度試験（ RBOT ）　JIS K 2514注
試験油
ULVOIL
他社
ULVOIL
他社炭化
R-7
石油系油
スーパー R-8000
水素系合成油
定性評価
優
可
優
良
継続時間注
423
39
360
172
（注）試験油50gと蒸留水5mlを銅触媒コイルの入った試験容器に入れ、0.63MPaの酸素雰囲気にて密閉する。
これを150℃の恒温槽の中で100rpm で回転させ、酸素圧力が最高圧力から0.175MPa だけ降下するま
での時間（ min ）を評価値とする法。
抗乳化性試験　JIS K 2520注
試験油
ULVOIL
ULVOIL
他社炭化
R-7
スーパー R-7000
水素系合成油
定性評価
優
優
優
試験結果
40-40-0-（ 5 ）
40-40-0-（ 5 ）
40-40-0-（ 5 ）
（注）試験油40mlと蒸留水40mlを試験容器に入れ、54℃に加熱して、所定の攪拌板にて700rpmで攪拌する。
生成乳化層を「油層（ ml ）
−水層（ ml ）
−乳化層（ ml ）」の数式で観察する法。
6
油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ向け
R シリーズ
R シリーズ［石油系鉱物油］
R-4、R-7、R-80
真空ポンプ油
アルボイル
R シリーズは、汎用性の高いエコノミ
ータイプのオイルです。主に、幅広く
利用されている小・中・大型油回転真
空ポンプ向けに開発されたものです。
R シリーズの使用上の注意
極端な高負荷でのポンプの使用には、
十分ご注意ください。発生熱や吸引ガ
スによって化学変化を引き起こす原因
となりますので、ポンプ適正に合った
オイルをお選びください。
よりハイエンドな潤滑性・防錆効果・
密度などをご希望の場合は、さらに高
品位を追求したスーパー R シリーズの
ご使用をお勧めします。
●テクニカルデータ●
粘度特性
R シリーズの動粘度−温度特性
蒸気圧
R シリーズの蒸気圧−温度特性
1,000
1,000
500
500
300
300
200
3
1.3×103 1.3×10
200
100
1.3×102
100
1.3×102
動粘度︵ ︶
蒸気圧︵ ︶
Pa
R-4
R-4
1.3
1.3
Pa
1.3×10-1
2030
R-4
20
mm2/s
R-4
10
9
8
mm2/s7
10
6 9
R-7
R-7
1.3×10-1
40
動粘度︵ ︶
蒸気圧︵ ︶
1.3×10
1.3×10
50
4050
30
R-7
5 8
R-7
7
4 6
1.3×10-2
3
1.3×10-2 1.3×10-3
5
4
2 3
1.3×10-3
50
100
150
200
300
-10 0
温度（℃）
50
100
150
20
40
60
200
300
80
-10 0
20
40
60
全酸価特性
高負荷・長時間運転による油の全酸価の変化
従来油
1
mg KOH/g
g/100mL 1
0
200
400
600
800
1,000
1.3×104 Pa 運転時間（PKS-070）(h)
1,200
200
400
600
100
120
140
160
10
従来油
10
800
1,000
1.3×104 Pa 運転時間（PKS-070）(h)
1,200
1
mg KOH/g
10-1
R-7
R-7
0
80
100
g/100mL 1
10-1
R-7
160
全酸価︵ ︶
スラッジ発生量︵ ︶
全酸価︵ ︶
スラッジ発生量︵ ︶
従来油
140
スラッジ発生量
高負荷・長時間運転によるスラッジ発生量
10
10
120
温度（℃）
温度（℃）
100
100
温度（℃）
2
0
200
400
600
800
1,000
1,200
0
1.3×104 Pa 運転時間（PKS-070）(h)
7
油回転真空ポンプ向け
スーパー R シリーズ［炭化水素系合成油］
R-7000、R-7500、
R-8000
真空ポンプ油
アルボイル
スーパー R シリーズは、半導体プロ
セス用に新たに開発された芳香環を有
する炭化水素系合成真空ポンプ油で
す。特に、耐熱性・耐酸化性・耐薬品
性などに優れた効果を発揮します。
スーパー Rシリーズの主な特性
て、NOx、O2、O3、ハロゲン系化
を均一に分散させる能力に優れてお
合物等の排気ガスに強く、鉱物油の
り、オイル交換の回数が従来のオイ
十数倍の寿命があり、特殊ガスを排
ルに比べて大幅に減少されます。
する合成炭化水素であるため、オーバ
気する油回転真空ポンプの作動油と
３．オイルフィルターを使用した場合
ーホール時のオイル交換および廃油の
して最適です。
スーパー R シリーズは、芳香環を有
は、目詰まりが極めて少ないために
２．半導体製造プロセスにおいては、
フィルターの交換頻度が激減しま
等に処理できます。
非常に硬い微粉末が腐食性（活性）
す。さらに、配管・ポンプの系内に
●スーパー R-7500の特性
ガスと一緒にポンプ内に混入します
異物が堆積しにくくオーバーホール
１．石油（鉱物油）系のポンプ油に比べ
が、スーパー R シリーズは、それら
も容易です。
処理が従来の石油（鉱物）系オイルと同
●テクニカルデータ●
耐フッ酸性
耐ダスト性
耐フッ酸性−フッ酸添加・攪拌後の粘度の減少率
耐ダスト性−コロイダルシリカを加えた時の静粘度の変化
R-7
R-7
スーパーR-7000
スーパーR-7500
0
10
20
動粘度の減少率（％）
30
40
無添加
1％添加
5％添加
他社 無添加
石油系鉱物油 1％添加
ゲル化
5％添加
スーパー
R-7500
無添加
1％添加
5％添加
0
1
2
3
4
25℃静粘度の減少（PaS）
8
5
スーパー R シリーズ
スーパー R-7500油の使用例
試　験　条　件
試験装置名‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥減圧 CVD 装置
プロセスガス‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥SiH2Cl2、NH3
テスト油‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥ULVOIL　スーパー R-7500
使用油回転真空ポンプ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥㈱アルバック製 D-330K 型オイルフィルター無
稼動日数‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥43日　運転時間24時間／日（ 3交代勤務）
油性状の経時変化
試　験　結　果
●耐活性ガス性
●増粘防止効果
102
動粘度︵ ︶
全酸価︵ ︶
mg KOH/g
40℃
mm2/s
102
101
記号
0
10
20
試　験　結　果
30
40
日数
50
60
0
10
20
30
日数
40
Fe
0
12
13
13
13
プロセスガス
A社
SiH2Cl2
B社
SiH2Cl2＋NH3
C社
SiH2Cl2＋NH3
60
油の金属汚染量
●油中の金属汚染量の経時変化
稼働時間
（日）
0（新油）
21
28
36
43
50
テスト場所
Pb
0
0
0
0
0
＊ CVD プロセスガスの反応生成物による汚染
Cu
0
0
0
0
0
Cr
0
0
0
0
0
金　属　元　素（重量：ppm ）
Al
Ni
Sn
Si
0
0
0
0
0
0
0
3,942＊
0
0
0
6,071＊
12
0
0
8,915＊
12
0
0
11,880＊
B
0
0
0
0
0
Na
0
0
0
0
0
小型油回転真空ポンプ向け
R-2
P
0
0
0
0
0
R-2
小型油回転真空ポンプ「 GHD シリーズ」の専用オイルです。
●特性一覧
性　状
アルボイル
到達圧力
（ Pa ）
外観色
40℃
（ mm2/s ）
100℃ （ mm2/s ）
粘度指数
酸価
（ mgKOH/g ）
密度　15℃ （ g/cm3 ）
引火点
（℃）
流動点
（℃）
特　長
主な用途
容　器
（L）
動粘度
真空ポンプ油
＜ 6.7×10 −1
淡黄色透明
17.3
3.9
100以上
0.10以下
0.82
200以上
− 50.0
低粘度　低温起動用
小型ポンプ
20　4.0　1.0
9
油拡散ポンプ、油拡散エゼクターポンプ向け
D シリーズ［炭化水素合成油・シリコーン系］
真空ポンプ油
アルボイル
D-11、D-31
B-6［炭化水素系合成油］
コストパフォーマンスを追求した拡散ポンプ専用オイル
ULVAC 純正油「ULVOIL 」D シリーズは油拡散ポンプ向け、B-6は油拡散エゼクターポンプ向けに、
それぞれ開発された専用オイルです。ポンプの用途・目的別に取りそろえたラインナップのなかから、
最適なオイルをお選びいただけます。そのオイル特性は、真空ポンプを始め真空総合メーカー
ULVACならではのコストパフォーマンスを追求した、ULVACが自信を持ってお勧めするオイルです。
10
D シリーズ /B-50K
は、ULVAC の純正だからこそ安心し
拡散ポンプ油の基本特性
てご利用いただける拡散ポンプの専
3 要素の条件をクリアする
「ULVOIL」
用オイルのオリジナルブランドです。
１．到達圧力を決める低蒸気圧特性
D シリーズ、B-6 の特長
２．少ない熱量で蒸発し易い低蒸発
油拡散ポンプ油は、低蒸気特性と
潜熱
熱安定性が求められていることから、
３．蒸発〜凝縮の運転サイクルに耐
合成油が多用されています。
「ULVOIL」
える良好な耐熱・耐酸化安定性
「 ULVOIL 」は、拡散ポンプ油の選
D シリーズ（D-11、D-31）の場合も合
定条件として、上記の3 要素を十分に
成油が原料となっています。炭化水
素系の D-11は、汎用性を高めたオイ
クリアした専用オイルです。
ルです。また、シリコン系の D-31は、
耐熱安定性に優れた特長を持ってい
拡散ポンプの機能アップに
ます。
効力を発揮する「ULVOIL」
油拡散エゼクターポンプ用の B-6
拡散ポンプのヒーター熱容量は使
は、炭化水素系合成油を原料として
用オイルの蒸発潜熱と密接な関係に
おり、シリコン系合成油に比べ、価格
あります。過多な熱量は突沸などの異
と省エネの面で大変優れているのが
常現象を招きかねません。一方、過
大きな特長です。
少熱量の場合は、蒸発量が少なく所
定排気量にいたりません。
「 ULVOIL 」
「 ULVOIL 」D シリーズ／ B-6特性一覧
用　途
油拡散ポンプ油
合成油の種類
炭化水素系
ULVOIL 型番号
到達圧力
(Pa)
油拡散エゼクターポンプ油
シリコン系
D-11
D-31
7×10 − 5
3×10 − 8
蒸気圧
−5
炭化水素系
試験法
B-6
−8
2.7×10 − 2＊
ULVAC 社内評価法
−5
——
——
20℃
(Pa)
7.3×10
40℃
(Pa)
1.7×10 − 3
2.1×10 − 6
1.4×10 − 4
100℃
(Pa)
1.5×10 − 1
1.1×10 − 3
3.3×10 − 1
——
0.5 (100℃ J/g)
0.4 (100℃ J/g)
2.18 (25℃ J/g)
JIS K 2249
7.1×104
1.2×105
——
——
366
548
330〜340
——
0.91
1.09
0.89
JIS K 2249
32
170
22
JIS K 2283
比熱
蒸発潜熱
(J/kg)
平均分子量
密度
動粘度
酸価
(25℃　g/cm3)
(mm2/s)
( 測定温度　℃ )
(mg KOH/g)
2.1×10
1.2×10
(40)
(25)
(40)
＜ 0.1
——
0.00
JIS K 2501
引火点
(℃ )
221
240
200
JIS K 2265
流動点
(℃ )
− 25以下
− 15以下
− 57以下
JIS K 2269
外観色
(25℃ )
淡黄色透明
無色透明
無色透明
視覚判定
汎用油
耐熱安定性
エゼクターポンプ用
——
PFL、F、ULK
U、ULK
PBL
——
18　1.0
0.5
18
特長
ULVAC ポンプ・シリーズ型式
容器
(L)
——
＊水冷バッフル併用時の到達圧力です。
11
油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ、ドライポンプ向け
バリエルタ
BARRIERTA J FLUID
シリーズ
フッ素系
真空ポンプ油
［フッ素系合成油］
特　長
●耐熱性、低温性に優れ、非常に広
い温度範囲で使用可能です。
●強酸、強アルカリ等の腐食性薬品、
ガスに対して強い耐性があります。
●耐酸化性に優れています。
●ほとんどのゴム、プラスチックに
対して影響を及ぼしません。
●不燃性です。
●低蒸気圧です。
●オイルの再生が可能です。
用　途
半導体製造装置、真空ポンプ油、作
動油、熱媒体油、絶縁油
製品特性
試験項目
試験方法
試験条件
J25F
外観
——
——
無色透明
基油
——
——
フッ素油
比重
JIS K2249
20℃
1.88
引火点
JIS K2265 （℃）
——
なし
25
粘度
JIS K2283
（ mm2/s ） 40℃
100℃
5
粘度指数 JIS K2283
——
85
流動点
JIS K2269
（℃）
——
− 60
銅板腐食 JIS K2513
100℃×3H
1a
クヌーセン・エフュージョン法（ Pa ） 20℃
2×10 − 3
蒸気圧
使用温度範囲 （℃）
——
− 55〜140
BARRIERTA
J60F
J100F
無色透明 無色透明
フッ素油 フッ素油
1.89
1.89
なし
なし
60
95
9
13
130
130
− 55
− 45
1a
1a
−4
1×10
6×10 − 6
− 50〜160 − 40〜180
J100F E
無色透明
フッ素油
1.89
なし
95
13
130
− 45
1a
9×10 − 5
− 40〜180
油回転真空ポンプ、メカニカルブースターポンプ、ドライポンプ向け
フォンブリン
FOMBLIN Y-LVAC シリーズ
［フッ素系合成油］
特　長
●耐酸化性：不燃性。純酸素中でも安定しています。
●耐薬品性：ほとんどの化学薬品に安定しています。
●耐 熱 性：空気中では300℃まで安定しています。
●不 活 性：金属、ゴム、樹脂への影響が少ないです。
●劣化分解残渣：固体劣化物を生成しません。
●そ の 他：無毒性、潤滑性、電気絶縁性に優れています。
用　途
真空ポンプ油、真空シール材、作動油、熱媒体、各種潤滑剤。
製品特性
性　質
動粘度（ 20℃）
品質規格
蒸気圧（ 20℃）
ライト
蒸発損失
（ 22時間149℃） （ 100℃） フラクション
mg KOH/g
w/w% 損失
Pa
w/w%
酸　価
単　位
cSt
測定方法
ASTM D445
MAN29/1
Y-LVAC25/6
270±20
≦ 0.05
Y-LVAC14/6
140±20
≦ 0.05
Y-LVAC06/6
62±6
≦ 0.05
※ 120℃
注1）記載される蒸気圧はクヌーセンエフュージョン（Knudsen-Effusion ）法により測定されるため、20℃における実測ではありませんが、到達圧力に影響も及ぼすと思わ
れる低沸成分はライトフラクションの欄に濃度として規定してあります。
注2 ）その他の特性／密度（ 20℃）
：1.87〜1.92g/mL、表面張力（ 20℃）
：18〜22dyne/cm、比熱（ 38℃）
：1.01J/g・℃、蒸発潜熱（ 200℃、1.3×103Pa ）
：21〜42J/g
アルバック製ポンプの
使用例
12
諸特性の実測例（ロータリーベーンポンプによる）
オイル
バックミグ
ポンプ内
消費量
レイション率
油温
μg/cm2sec min℃・max℃
Pa
cm3/h
MAN29/27
ASTM D972 MAN PF29/2 MAN29/31
MAN29/29 MAN29/29 MAN29/29
MAN29/31
−4
≦ 2.7×10
63
−2
≦ 0.01
≦ 4×10
0.7
12
≦5
≦ 2.7×10 − 1
70
≦ 2.7×10 − 4
57
−1
≦
0.03
≦
6.7×10
0.6
12
≦5
≦ 2.7×10 − 1
64
≦ 5.3×10 − 4
53
≦ 0.03
≦ 6.7×10 − 1
0.4
12
≦ 5※
−1
≦ 9.3×10
60
到達圧力
用　途
油回転真空ポンプ
メカニカルブースター
ドライポンプ
06/6
●
●
Y-LVAC
14/6
●
●
25/6
●
●
J25F
●
●
BARRIERTA
J60F
J100F
●
●
●
●
J100F E
●
●
真空機器向け
バリエルタ
BARRIERTA JFE 552 HV,
SUPER IS/V
フッ素系
グリース
［フッ素系合成油］
特　長
●− 35〜260℃の温度範囲で使用可能です。
●蒸気圧が非常に低く、高真空下でも油分の蒸発が少ない。
●耐熱性に優れています。
●ほとんどの薬品、溶剤、燃料に溶解・反応しません。
●ほとんどのゴム、プラスチックに対して悪影響を及ぼしません。
用　途
クリーンルーム／スパッタリング装置／真空治具装置／電子顕微鏡／真空ポ
ンプ／真空蒸着機／連続真空メッキ装置／その他高温条件下における転がり
軸受、オイルシール、O リング等
製品特性
試 験 項 目
試験方法
試験条件
——
——
——
——
——
20℃
25℃　60W
——
100℃ ×24H
99℃ ×22H
100℃ ×24H
99℃ ×100H
− 30℃起動
定常
×10000
20℃
——
——
基油
増ちょう剤
比重
ちょう度
滴点
銅板腐食
蒸発量
離油度
酸化安定度
低温トルク
JIS
JIS
JIS
JIS
JIS
JIS
JIS
Dm・N 値
蒸気圧（基油）
外観
使用温度範囲
——
クヌーセン・エフュージョン法（ Pa ）
目視
（℃）
K2220.7
K2220.8
K2220.9
K2220.10
K2220.11
K2220.12
K2220.18
（℃）
（ wt％）
（ wt％）
（ MPa ）
（ N-cm ）
BARRIERTA
JFE 552 HV
SUPER IS/V
フッ素油
PTFE
約1.95
2号
なし
合格
0.03
2.0
0.01
98
88
30
5×10 − 14
白色
− 35〜260
フッ素油
PTFE
約1.95
2号
なし
合格
0.1
5.1
0.01
88
69
30
5×10 − 14
白色
− 35〜260
真空機器向け
フォンブリン
FOMBLIN GREASE［フッ素系グリース］
FOMBLIN GREASE は、化学的に極めて安定で、不活性な FOMBLIN を基
油に、PTFE（四フッ化エチレン樹脂）を増ちょう剤にそれぞれ使用して作
られたグリースです。
特　長
●耐エネルギー線
代　表
特性値
基　油 増ちょう剤
No.
−
g/cm3
mm/10
22時間W%
ASTM
ASTM
ASTM
D891
D217
D2595
使用温度
蒸気圧
範囲目安
20℃／ 100℃
℃
Pa
−
−
●耐熱性
規格
−
−
VAC2
PFPE
PTFE
2
白
2.1
280
0.3
− 20/250 6.4×10 − 11／5.6×10 − 6
●低発塵性
VAC3
PFPE
PTFE
3
白
2.1
240
0.3
− 20/250 6.4×10 − 11 ／ 5.6×10 − 6
GRM60
PFPE
PTFE
2
白
2
275
0.3
− 60/240
●低蒸気圧
ZNF
PFPE
PTFE
3
白
2
235
0.2
− 60/220 3.9×10 − 10 ／1.5×10 − 6
ASTM
D217
−
ちょう度 蒸発損失
25℃
20℃ （ 60回混和） 204℃
密度
●潤滑性
●耐薬品性
−
色
単位
●不燃性
−
NLGI
−
−
13
真空機器向け
高真空用グリース
HIGH VACUUM
GREASE
高真空用グリース［グリース］
HIGH VACUUM GREASE
高度に精製された高粘度のジメチルシ
合には− 40℃〜180℃の温度範囲で使
リコーンオイルをベースに、微粉末のシ
用してください。短時間であれば 210℃
リカを増ちょう剤とした淡灰色半透明の
まで使用できます。更に減圧状態では
硬いグリース状の製品です。潤滑性、シ
260℃まで使用できます。
ール性、耐水性、耐薬品性、耐熱性、耐
ストップコックグリースやバルブシー
寒性、耐酸化性などに優れています。
ルと同じ用途に使用されますが、ちょう
また揮発分を少なくしてありますの
代表特性
外観
淡灰色
ちょう度　未混和
210
度が低く、硬めの、しっかりとしたシー
60回混和
245
で、高真空の潤滑シール剤として使用さ
ル性が必要な場合に使用してください。
比重（ 25℃）
1.0
れます。
特に高真空装置、圧力装置のシール
離油度（％、200℃ /24hrs ）
0.5
高真空用グリースを連続使用する場
剤として優れた性能を示します。
加熱減量（％、200℃ /24hrs ）
1.0
真空機器向け
オア・ルーブ
Orelube G1/3［グリース］
Orelube
万能機械用
グリース
金属表面をコーティングし、スムーズ
な潤滑を実現します。
使用（ちょう度）範囲の広さ：ちょう
度（ NLGI ）No.1〜3までのベアリング
に使用できます。
オア・ルーブ G1/3 グリースは高純
真空装置の潤滑油として：ベアリング、
度に精製されたパラフィンオイルをベ
スライド部、シール材として使用でき
ースに、合成モリブデン等を添加した
ます。
グリースです。
特に、G1/3 グリースは高荷重によ
る摩擦熱や温度によるグリースの垂れ
流れがありません。
また、金属面に馴染みもよく、ちょ
う度 No.1〜3まで使用できるロングラ
イフの万能機械用グリースです。
用　途
ベアリング（ボール、ローラー、ニード
ル）／カム／スライド面・シール剤
特　性
熱安定性：高温、摩擦熱によってグリ
ースは流れ出しません。
極圧性のある油膜：極圧添加剤により
14
性　状　ASTM（米国材料試験協会）
NLGI
混和ちょう度（ Worked, 60 strokes ）
増ちょう剤
色相
外観
滴点
適用温度範囲
原料鉱油の動粘度（ cSt ）
No.2（ No.1〜3使用可能）
270
非石鹸基（有機クレー）
黄金色
バター状
なし
− 23℃〜180℃
@40℃　113
@100℃　12.1
酸化安定度試験（[email protected]℃ ,psi loss） 3
蒸発量（ 22hrs.@178℃ ,%wt.loss ）
3
銅板腐食試験（ 24hrs.@100℃）
1a
水洗耐水度試験（％　wt.loss @79.4℃）
3.1
四球式摩耗試験（ 1200rpm, 40kg, 75℃ ,
0.49
1hr scar diameter, mm）
四球式耐荷重性能試験（ Weld load, kg ）
200
（load wear index,kg） 35
チムケン式耐荷重性能試験（ OK load, lbs ）
30
離油度試験（ 24hrs.@25℃ ,％ .loss ）
2.3
ASTM D-217
ASTM D-2265
ASTM D-445
ASTM
ASTM
ASTM
ASTM
ASTM
D-942
D-2595
D-130
D-1264
D-2266
ASTM D-2596
ASTM D-2509
ASTM D-1742
真空機器向け
Z-300/ スーパー Z300
Z-300［フッ素系グリース］
スーパー Z-300［フッ素系グリース］
真空機器向け
グリース
アルボイル
究極の潤滑性を追求した
特殊な真空環境で使用する専用グリース
Z シリーズは、フッ素系合成油を基油とし、真空という特殊な環境においても良好な潤滑特性を発揮させるために、
PTFE（増ちょう剤）を添加した高真空用フッ素グリースです。真空環境の汚染を最小限に抑えるばかりでなく、潤滑特性も
最大限に引き出すため、ベース油に低蒸気圧油を採用するなど、高性能の固体潤滑剤を厳選し、配合しています。
取扱上のご注意
Z シリーズの潤滑特性をフルに発
揮するためには、他物質の混入を非
常に嫌います。ご使用の際、次の点
に注意してご使用ください。
１．使用部分は清浄に保ってくださ
い。
２．充填に使用する器具も清浄なも
のを使用してください。
３．ゴミなどがグリース容器内に混
入しないように清潔に保管してく
ださい。
性　状
試　験　項　目
試験法
Z-300
スーパー Z-300
目視
白色、粘ちょう状
白色、粘ちょう状
JIS K 2220.7
299
300
JIS K 2220.11
8.6
10.6
1.97
1.97
JIS K 2220.23
150
47
355
68.8
13.8
209
JIS K 2269
− 70
外観
ちょう度
離油度
60W
（ 200℃ ×24h ）
（%）
3
密度
（ g/cm ）
基油動粘度
粘度指数
（ mm2/s ）
40℃
100℃
流動点
20℃
（℃）
（ Pa ）
蒸気圧（基油）
100℃
（ Pa ）
VAP-9000評価
※
クヌーセン・エフュージョン法
VAP-9000評価
※
クヌーセン・エフュージョン法
2.8×10
−7
3.9×10 − 10
4.3×10
−5
1.3×10 − 6
− 70
6.4×10 − 10
−
1.8×10 − 6
−
＊使用温度範囲は -70〜250℃です（上限は使用限界温度）
※ アルバック理工株式会社の VAP-9000にて評価しています。
15
アルバックテクノ株式会社
www.ulvac-techno.co.jp
株式会社アルバック
VOC（揮発性有機化合
物）成分フリーのインキ
を使用して印刷しました
アロマフリー型大豆イ
PRINTED WITH
ンキを使用しています
SOY INK
TM
●［編集・製版・刷版の環境配慮］
本カタログはCTP（Computer to Plate）化し、製版
工程でのポリエステル・アセテートフィルムの使用
を全廃しました。これい伴い、フィルム現像時のア
ルカリ性現像液・酸性定着液も不要となりました。
TJ0200-06/12064000AP