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小形圧力センサガイドブック

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小形圧力センサガイドブック
センサをめぐるトータルソリューションを横河電機は提供します。
UP55A
（調節計）
1～5V
制御停止指令
UT55A
（調節計）
ボイラー
制御弁
4～20ｍA
4～20ｍA
インバータ
小形圧力センサシリーズ
FP201/JP261
（圧力センサ）
24V DC
供給電源
FP101
（圧力センサ）
1～5V
HH
H
L
LL
制御弁
温度
センサ
異形タンク
タンク容量
真空ポンプ
レベル入力
FP201/JP261
（圧力センサ）
FP203
（圧力センサ）
目詰り検知
P R E S S U R E
S e n s o r
UT32A
（調節計）
小形圧力セ ン サ ガ イ ド ブ ッ ク
圧力センサを活かしたい！
！
小形圧力センサガイドブック
蒸気滅菌装置
P R E S S U R E
S e n s o r
異形タンクレベル制御
P R E S S U R E
S e n s o r
FP201低圧
FP101
FP203
JP261
JP262/263
JP263/Z表示器付
お問い合わせは
フィールド機器 （0422）52-6490
〒180-8750　東京都武蔵野市中町2-9-32
本 社 （0422）52-5630
Bulletin 01C11A02-01
〒180-8750　東京都武蔵野市中町2-9-32
製品仕様、取扱方法、機種選定に関するご相談は、カスタマーサポートセンターにお問い合わせください。
フィールド機器　0120-059-505
このカタログの内容は2015年7月1日現在のものです。
記載内容は、お断りなく変更することがありますのでご了承ください。
All Rights Reserved. Copyright © 1998, by Yokogawa Electric Corporation
Printed in Japan, 509(KP)
[Ed : 05/b]
http://www.yokogawa.co.jp/fld/msensor/
小形圧力センサを安全にお使いいただくために！
人体および機器を保護するために，取扱い上の注意を必ず読む必要があることを警告
しています。
1. 使用環境・使用条件について
使用環境および使用条件については，本ガイドブック仕様欄および取扱説明書を必
ずお読みいただき，個々の仕様にあった範囲でお使いください。
2. 本品は人命にかかわるような状況の下で使用される，機器あるいはシステムに用い
られることを目的として設計・製造されたものではありません。
仕様は最新の仕様書をご確認ください。
目　次
圧力単位換算定数表… ……………………………………………………… 2
用語と保護構造………………………………………………………… 3
用語の説明… ………………………………………………………………… 3
保護構造について… ………………………………………………………… 3
セレクションガイド…………………………………………………… 4
個別仕様書……………………………………………………………… 8
FP101，FP201，FP101A，FP201A
FP102，FP103，FP202，FP203
FP211，FP211A
FP112，FP113，FP212，FP213
FP112/HT，FP113/HT，FP212/HT，FP213/HT
FP211/HT，FP211A/HT
JP261
JP262，JP263
JP208
MU101
特注仕様のご案内……………………………………………………… 38
Q＆A… ………………………………………………………………… 40
テクニカルシート……………………………………………………… 42
精度用語の定義… …………………………………………………………… 42
半導体圧力センサの原理… ………………………………………………… 46
半導体圧力センサの構造… ………………………………………………… 48
回路ブロック図… …………………………………………………………… 50
特性データ… ………………………………………………………………… 51
圧力のトレーサビリティ… ………………………………………………… 53
圧力センサ接液材質の選定基準… ………………………………………… 54
アプリケーションシート……………………………………………… 57
取付け方法と注意点… ………………………………………………………
圧力センサ配線方法と注意点… ……………………………………………
真空領域での使用可能範囲… ………………………………………………
過大圧,サージ圧からの保護… ………………………………………………
高温流体の測定上の注意点… ………………………………………………
アプリケーション例… ………………………………………………………
メンテナンス…………………………………………………………… 72
校　正… …………………………………………………………………… 72
メンテナンスの注意事項… ………………………………………………… 72
サービス・保証体制…………………………………………………… 73
保証期間……………………………………………………………… 73
索　引………………………………………………………………… 74
個別仕様書
圧力の種類……………………………………………………………… 2
セレクションガイ ド
特注仕様のご案内
高精度小形圧力センサ… ……………… 8
端子箱付き高精度圧力センサ…………… …14
サニタリ圧力センサ… ………………… …18
端子箱付きサニタリ圧力センサ………… …20
高温対応形端子箱付きサニタリ圧力センサ…… …24
高温対応形サニタリ圧力センサ……………… …26
無封液サニタリ圧力センサ エキレスTM… … …28
無封液サニタリ圧力センサ エキレスTM… … …30
Q&A
微差圧センサ… ………………………… 3
…2
高精度圧力センサモジュール…………… …34
テクニカルシート
アプリケーションシート
メンテナンス／
サービス・保証
57
60
64
64
64
67
索
引
1
圧力の種類
セレクションガイド
圧力には大気圧を基準として測るゲ－ジ圧と絶対真空を基準として測る絶対圧の2種類があります。
レンジを選定する場合はご注意ください。
大気圧
（日々大気圧は変動する）
個別仕様書
正圧
（大気圧を基準として
（＋）
側の圧力）
ゲージ圧
特注仕様のご案内
約－100kPa
負圧
（大気圧を基準として
（－）
側の圧力）
連成圧
（大気圧を基準として
（－）
側～
（＋）
側をまたがる圧力）
Q&A
テクニカルシート
約100kPa abs
（日々大気圧は変動する）
絶対圧
アプリケーションシート
abs
絶対圧とは
絶対真空を基準として測る圧力です。
当社では，単位の後ろにabsという記号を
付けています。
メンテナンス／
サービス・保証
絶対真空　0Pa abs
大気圧
（日々大気圧は変動する）
●圧力単位換算定数表
SI単位
索
引
2
非SI単位
Pa
hPa
kPa
MPa
bar
kgf/cm2
1
1×10-2
1×10-3
1×10-6
1×10-5
1.01972×10-5
1×103
10
1
1×10-3
1×10-2
1.01972×10-2 9.86923×10-3
1×106
1×104
1×103
1
10
10.1972
1×105
1×103
1×102
0.1
1
9.80665×104
9.80665×102
98.0665
9.80665×10-2
1.01325×105
1.01325×103 1.01325×102
0.101325
-6
mmH2O
mmHg，Torr
PSi
0.101972
7.50062×10-3
1.45038×10-4
101.972
7.50062
1.45038×10-1
9.86923
101972
7.50062×103
1.45038×102
1.01972
0.986923
1.01972×104
7.50062×102
1.45038×10
0.980665
1
0.967841
1×104
7.35559×102
1.42233×10
1.01325
1.03323
1
1.03323×104
7.6×102
1.46959×10
1
7.35559×10-2
1.42233×10-3
13.5951
1
1.93368×10-2
7.0307×102
5.17149×10
1
9.80665
9.80665×10-3
1.33322×102
1.33322
0.133322
1.33322×10-4 1.33322×10-3 1.35951×10-3 1.31579×10-3
6.89476×103
6.89476×10
6.89476
6.89476×10-3 6.89476×10-2
9.80665×10
-4
9.86923×10-6
9.80665×10-2
9.80665×10
-5
atm
1×10
7.0307×10-2
-5
9.67841×10
6.80460×10-2
用語と保護構造
セレクションガイ ド
●用語の説明
●レンジ
●スパン
測定する範囲
測定圧力範囲の幅
例：レンジ　0〜100kPaのとき
スパンは100kPa
レンジ　－100k〜100kPaのとき スパンは200kPa
個別仕様書
●精度
P.42〜P.45参照
●最大加圧
圧力センサが破損しない最大圧力
●温度特性（ゼロ点） 1℃あたりに換算したゼロ点の誤差
（P.45参照）
●温度特性補償範囲　温度特性を補償している温度
●動作温度範囲
圧力センサが破損しない温度範囲
P.45参照
真空引に耐えられる圧力値
圧力センサを水平に取付けたときを基準として，取付けた角度により起こる誤差
特注仕様のご案内
●時定数
●真空使用圧力
●姿勢誤差
●保護構造について
IP-□ □
Q&A
第 2 特性数字
（水の侵入に対する保護等級）
第 1 特性数字
（固形物の侵入に対する保護等級）
テクニカルシート
保護特性記号
（International Protection）
内容
第 1 特性
特に保護がされていない
4
直径 1mm 以上のワイヤーや固形物が中に入らない
5
有害な影響が発生するほどの粉塵が中に入らない
（防塵形）
6
粉塵が中に入らない
（耐塵形）
第 2 特性
0
アプリケーションシート
0
内容
特に保護がされていない
鉛直から落ちてくる水滴による有害な影響がない
（防滴Ⅰ形）
2
鉛直から 15 度の範囲で落ちてくる水滴による有害な影響がない
（防滴Ⅱ形）
3
鉛直から 60 度の範囲で落ちてくる水滴による有害な影響がない
（防雨形）
4
あらゆる方向からの飛まつによる有害な影響がない
（防まつ形）
5
あらゆる方向からの噴流水による有害な影響がない
（防噴流形）
6
あらゆる方向からの強い噴流水による有害な影響がない
（耐水形）
7
一時的に一定水圧の条件に水没しても内部に浸水することがない
（防浸形）
8
継続的に水没しても内部に浸水することがない
（水中形）
メンテナンス／
サービス・保証
1
索
※保護等級を省略する場合は「X」を記載。「省略される＝無保護」ではないので注意
※防水性能の指標は“IPX”で表わされる。本来“IP”の後に続く3文字目で防塵性能の指標を表わすが，ここに“X”を
入れて防塵性能での指標ではないことを表わし，防水性能での指標としている。
引
●ねじの呼び
インチ呼び（"）
1/8
1/4
3/8
1/2
3/4
1"
1-1/4
1-1/2
2"
ねじの呼び
1分
2分
3分
4分
6分
1吋
1吋2分
1吋半
2吋
呼び方
いちぶ
にぶ
さんぶ
よんぶ
ろくぶ
いんち
いんちにぶ
いんちはん
にいんち
3
セレクションガイド
セレクションガイド
●小形高精度（装置組込み）
機種名
FP
中圧
/高圧
低圧
負圧
/連成圧
絶対圧
高温
端子箱
（屋外用/防水IP67）
先端ダイアフラム
個別仕様書
外 観
特注仕様のご案内
P8
FP101，FP101A
FP201，FP201A
正 圧
●
●
負圧/連成圧
●
絶対圧
P8
FP101，FP101A
FP201，FP201A
●
FP101，FP101A
FP201，FP201A
P8
FP102，FP103
FP202，FP203
P14
P14
FP102，FP103
FP202，FP203
●
●
●
●
●
●
●
●
●
気体
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
液体
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
被測定体
接液温度
ゲージ圧
（正圧・負圧・連成圧）
ゲージ圧
絶対圧
（正圧・負圧・連成圧）
ゲージ圧
絶対圧
（正圧・負圧・連成圧）
ゲージ圧
絶対圧
（正圧・負圧・連成圧）
絶対圧
引
10kPa（abs）
10kPa
10kPa（abs）
20kPa
20kPa（abs）
20kPa
20kPa（abs）
20kPa
20kPa（abs）
20kPa
20kPa（abs）
30kPa
30kPa
30kPa（abs）
30kPa
30kPa（abs）
30kPa
30kPa（abs）
30kPa
30kPa（abs）
50kPa
50kPa
50kPa（abs）
50kPa
50kPa（abs）
50kPa
50kPa（abs）
50kPa
50kPa（abs）
100kPa
100kPa
100kPa（abs）
100kPa
100kPa（abs）
100kPa
100kPa（abs）
100kPa
100kPa（abs）
200kPa
200kPa
200kPa（abs）
200kPa
200kPa（abs）
200kPa
200kPa（abs）
200kPa
200kPa（abs）
500kPa
500kPa
500kPa（abs）
500kPa
500kPa（abs）
500kPa
1MPa
1MPa
1MPa（abs）
1MPa
1MPa（abs）
2MPa
2MPa
2MPa（abs）
2MPa
5MPa
5MPa
5MPa（abs）
10MPa
10MPa
20MPa
35MPa
例）0〜15kPa
例）0〜1MPa
例）0〜260kPa
絶対圧
10kPa
ゲージ圧
10kPa（abs）
絶対圧
10kPa
ゲージ圧
メンテナンス／
サービス・保証
索
10kPa（abs）
500kPa（abs）
500kPa
1MPa
1MPa（abs）
1MPa
1MPa（abs）
2MPa（abs）
2MPa
2MPa（abs）
2MPa
2MPa（abs）
5MPa
5MPa（abs）
5MPa
5MPa（abs）
5MPa
5MPa（abs）
10MPa（abs）
10MPa
10MPa（abs）
10MPa
10MPa（abs）
10MPa
10MPa（abs）
20MPa
20MPa（abs）
20MPa
20MPa（abs）
20MPa
20MPa（abs）
20MPa
20MPa（abs）
35MPa
35MPa（abs）
35MPa
35MPa（abs）
35MPa
35MPa（abs）
35MPa
35MPa（abs）
正圧・負圧
連成圧対応
例）−100〜0kPa 例）0〜2MPa abs
例）−98〜＋98kPa 例）0〜98kPa abs
正圧・負圧
連成圧対応
例）0〜1MPa
例）0〜1MPa
例）0〜2MPa abs
例）0〜2MPa abs
例）−100〜0kPa
例）−100〜0kPa
例）0〜1.5MPa abs
例）0〜98kPa abs
例）−98〜＋98kPa
例）−98〜＋98kPa
500kPa（abs）
正圧・負圧
連成圧対応
正圧・負圧
連成圧対応
例）0〜1MPa
例）0〜2MPa abs
例）−100〜0kPa
例）0〜98kPa abs
例）−98〜＋98kPa
※上記表は，機種選定のため目安です。詳細レンジ仕様や動作温度仕様，接液温度仕様，精度は仕様書で必ずご確認ください。
※0％設定範囲と100％は，温度や接液部形状において，一部組合せ不可となります。仕様書でご確認ください。
4
●
10kPa
20kPa
任意値可
※一部制限が
あります
●
（1-5Vのみ）
−40〜80℃
（一部機種−10〜60℃）
高温型は“高温”仕様参照
−10〜150℃
（一部機種−10〜120℃）
絶対圧
10kPa
ゲージ圧
アプリケーションシート
ゲージ圧
（低圧※正圧のみ）
※詳細は
個別仕様参照
−10〜80℃
−40〜80℃
（一部機種−10〜60℃）
絶対圧
テクニカルシート
動作温度
測定レンジ
（端子箱1-5Vのみ）
（端子箱1-5Vのみ） （1-5Vのみ）
±0.25〜±0.5％
※一部機種を除く
精 度
ゲージ圧
1-5V
0-5V
4-20mA
2線式
ゲージ圧
Q&A
出力信号
セレクションガイ ド
●サニタリ圧力センサ
エキレスTM チタン
FP
機種名
オールステンレス
端子箱
高温オールステンレス
高温端子箱
無封液オールステンレス
無封液端子箱
個別仕様書
外 観
P18
P20
FP211/HT，FP211A/HT
FP112/HT，FP113/HT
FP212/HT，FP213/HT
P24
P26
JP261
JP262
JP263
P28
P30
正 圧
●
●
●
負圧/連成圧
●
●
●
絶対圧
●
●
被測定体
●
●
●
●
●
●
液体
●
●
●
●
●
●
スチーム
140℃30分
140℃30分
●150℃連続
●150℃連続
●150℃連続
●150℃連続
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
テクニカルシート
電圧
1-5V
出力信号
電流4-20mA
（2線式）
ケーブル
引き出し
防水
信号取出
コネクタ
防水
端子箱
Q&A
気体
特注仕様のご案内
FP211，FP211A
FP112，FP113
FP212，FP213
●
●
クランプ
●
●
ISO38（1.5S），ISO51（2S）※JISフランジ，各種インライン，バリベント他対応可
取 付
ねじ込み
●IP67
精 度
ゲージ圧
ゲージ圧
150℃連続
絶対圧
ゲージ圧
10kPa
※ 20kPa
20kPa（abs）
20kPa
20kPa（abs）
20kPa
30kPa
30kPa（abs）
30kPa
30kPa（abs）
30kPa
50kPa
50kPa（abs）
50kPa
50kPa（abs）
50kPa
100kPa（abs）
100kPa
100kPa（abs）
100kPa
200kPa（abs）
200kPa
200kPa（abs）
200kPa
500kPa
500kPa（abs）
500kPa
500kPa（abs）
500kPa
1MPa
1MPa（abs）
1MPa
1MPa（abs）
1MPa
2MPa
2MPa（abs）
2MPa
2MPa（abs）
2MPa
5MPa
5MPa（abs）
5MPa
5MPa（abs）
5MPa
10MPa
10MPa（abs）
10MPa
10MPa（abs）
10MPa
20MPa
20MPa（abs）
20MPa
20MPa（abs）
20MPa
35MPa
35MPa（abs）
35MPa
35MPa（abs）
例）0〜1MPa
例）−100〜0kPa
例）−98〜＋98kPa
例）0〜2MPa abs
例）0〜98kPa abs
例）0〜1MPa
例）−100〜0kPa
例）−98〜＋98kPa
スパン
（100%と0％の差）
は200kPa以上
35MPa
正圧
連成圧対応
正圧・負圧
連成圧対応
正圧・負圧
連成圧対応
任意のレンジは
特注対応です
引
200kPa
絶対圧
10kPa（abs）
ゲージ圧
10kPa
ゲージ圧
10kPa（abs）
索
任意値可
※一部制限が
あります
±0.35％
180℃連続
（スチームを除く）
絶対圧
●IP67
メンテナンス／
サービス・保証
※詳細は
個別仕様参照
●IP67
※ 10kPa
100kPa
測定レンジ
●IP67
±0.25％※一部レンジ除く
100℃
140℃スチーム30分
絶対圧
接液温度
●IP67
ゲージ圧
●IP67
アプリケーションシート
防 水
●ビール充填機用φ18/φ14
例）0〜2MPa abs
例）0〜98kPa abs
例）0〜500kPa
例）−0.1〜0.9MPa
※10kPa，20kPa品の負圧使用は不可
5
●高精度圧力モジュール ●MU101専用表示機
機種名
JP208
MU101
微差圧
高精度
モジュール
MU01D/Z
個別仕様書
外 観
P32
特注仕様のご案内
正 圧
●
負圧/連成圧
●（差圧）
P34
絶対圧
●
気体
被測定体
●
●
液体
●
Q&A
スチーム
電圧1-5V
出力信号
テクニカルシート
信号取出
電流4-20mA
（2線式）
ケーブル
引き出し
防水
コネクタ
防水
端子箱
RS-232C
●
D-Sub9ピン
クランプ
取 付
Rc1/4，NPT1/4Female
ねじ込み
アプリケーションシート
防 水
精 度
±1％
±0.01％※3
接液温度
−
45℃
微差圧
ゲージ圧　絶対圧
※詳細は
個別仕様参照
索
引
任意値可
※一部制限が
あります
0〜10kPa ●
30kPa
0〜130kPa ●
100kPa
0〜700kPa ●
±25Pa
0〜3MPa ●
±50Pa
±100Pa
0〜130kPa abs ●
±250Pa
0〜700kPa abs ●
±500Pa
絶対圧
測定レンジ
固定レンジ
25kPa
ゲージ圧
10kPa
正圧
メンテナンス／
サービス・保証
25Pa
100Pa
±1kPa
±2.5kPa
±12kPa
例）0〜25Pa
例）−1〜1kPa
※3）弊 社基準器に対して出荷
時：±0.02％±0.03%（絶
対圧）
6
P39
7セグメントLED　6桁表示
MU101供給電源内蔵
●
差圧
セレクションガイド
●微差圧
セレクションガイ ド
●特殊仕様例
・G3/4 先端ダイアフラム
（FP）
・JIS 各種フランジ
（エキレス，FP サニタリ）
・LED 表示付
（エキレス専用）
・大阪サニタリ他
・各種サニタリ継手対応
・各種タンクスパッド
（エキレス，FP サニタリ）
・アンプ別置形
（エキレス）
・ユニオンナット
（エキレス，FP サニタリ）
・バリベント（注 1）
（エキレス，FP サニタリ）
個別仕様書
・VCR 継手
（FP）
特注仕様のご案内
Q&A
テクニカルシート
アプリケーションシート
メンテナンス／
サービス・保証
注1）バリベントは，GEAプロセス・エンジニアリング社の登録商標です。
注2）精度や温度特性など標準仕様と異なる場合が，ございます。詳細仕様／記載のない仕様についてはお問合せください。
索
引
7
個別仕様書
セレクションガイド
HIGH ACCURATE PRESSURE SENSOR
個別仕様書
高精度小形圧力センサ
FP101
FP101A
FP201
FP201A
特注仕様のご案内
●特　長
Q&A
テクニカルシート
1〜5V DC出力，0〜5V DC出力または4〜20mA出力アンプ内蔵
±0.25％の高精度
（機種により異なります）
優れた温度特性；±0.02％ of span /℃
（機種により異なります）
シールダイアフラム構造
耐食性に優れたシールダイアフラム
（ハステロイC使用）
小形，軽量，防水構造IP66相当
RoHS適合
●形名コード表示
アプリケーションシート
例） FP101-A11-L20A
B /B1
付加仕様コード
形　名
なし : 標準
/B1 : 禁油処理（受圧部脱脂洗浄）
/B2 : 禁油・禁水処理 受圧部脱脂洗浄後
乾燥剤梱包
/V1 : 0～5V DC 出力
/TR1: ゼロ調機能付
/VT : 高温プロセス対応形
メンテナンス／
サービス・保証
FP101（1～5V DC 出力，ゲージ圧）
FP201（4～20mA DC 出力，ゲージ圧）
FP101A（1～5V DC 出力，絶対圧）
FP201A（4～20mA DC 出力，絶対圧）
測定レンジ（代表レンジ）
索
U ： –10～10kPa
V ： 0～25kPa
J ： –100～0kPa
N ： –100～100kPa
M： –100～300kPa
T ： 0～10kPa
S ： 0～20kPa
R ： 0～30kPa
K ： 0～50kPa
または 0～50kPa abs
L ： 0～100kPa　または 0～100kPa abs
A ： 0～200kPa または 0～200kPa abs
B ： 0～500kPa または 0～500kPa abs
C ： 0～1MPa
または 0～1MPa abs
D ： 0～2MPa
または 0～2MPa abs
E ： 0～5MPa
または 0～5MPa abs
1 ： 0～10MPa
2 ： 0～20MPa
3 ： 0～35MPa
引
絶対圧は K・L・A・B・C・D・E レンジ
測定レンジ V のときは，取付ねじは 3B に限定
付加仕様 V1 と，FP201/FP201A またはレンジ U，
V の組合せは不可
付加仕様 TR1 とケーブル接続形状 C の組合せは不可
スタイルコード
ケーブル端末処理
ケーブルの種類
常に 0
端末処理済み（予備はんだ付け）
ケーブル長さ
N：ケーブルなし（＊）ケーブル用コネクタが付属します
2：ケーブル 2m 付
C ： コネクタ接続ケーブル 5：ケーブル 5m 付
L ： 直接ケーブル引出し
C：ケーブル 10m 付
ケーブル長さ N はコネクタ形のみ
取付ねじ（形状）
ケーブル接続形状
11： G1/4 おねじ（O リングシール方式管用平行ねじ） （＊）O リングが付属します
12： G3/8 おねじ（O リングシール方式管用平行ねじ）
21： G1/4 おねじ（ガスケットシール方式管用平行ねじ）
22： G3/8 おねじ（ガスケットシール方式管用平行ねじ）（＊）ガスケットは
23： G1/2 おねじ（ガスケットシール方式管用平行ねじ） 付属しません
31： R1/4 おねじ（管用テーパねじ）
32： R3/8 おねじ（管用テーパねじ）
33： R1/2 おねじ（管用テーパねじ）
3B： R1 おねじ（管用テーパねじ　先端ダイアフラム形）
C1：7/16-20UNF
（フレア形）
取付ねじ 3B の時は T，S，F，G，H レンジ不可
取付ねじ C1 の時は T，S，R，F，G，H レンジ不可
8
セレクションガイ ド
●測定範囲
表1　測定範囲（高温プロセス対応形以外）
レンジ
コード
200kPa
150kPa
400kPa
800kPa
2MPa
100kPa
150kPa
150kPa
200kPa
400kPa
800kPa
2MPa
2MPa
4MPa
10MPa
20MPa
40MPa
50MPa
ゲージ圧
2.7kPa abs
負圧不可
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
負圧不可
負圧不可
負圧不可
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
絶対圧
×
×
×
×
×
×
×
×
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
×
×
×
繰返し寿命
0-100%
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
組み合わせ可否
先端ダイアフラム形以外
先端ダイアフラム形
ゲージ圧
絶対圧
ゲージ圧
絶対圧
○
×
○
×
×
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
×
×
○
×
×
×
○
×
○
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
×
×
×
○
×
×
×
○
×
×
×
特注仕様のご案内
−10〜10kPa
0〜25kPa
−100〜0kPa
−100〜100kPa
−100〜300kPa
0〜10kPa
0〜20kPa
0〜30kPa
0〜50kPa（abs）
0〜100kPa（abs）
0〜200kPa（abs）
0〜500kPa（abs）
0〜1MPa（abs）
0〜2MPa（abs）
0〜5MPa（abs）
0〜10MPa
0〜20MPa
0〜35MPa
真空使用圧力下限
最大加圧
個別仕様書
U
V
J
N
M
T
S
R
K
L
A
B
C
D
E
1
2
3
代表レンジ
表2　測定範囲（高温プロセス対応形）
−100〜0kPa
−100〜100kPa
−100〜300kPa
0〜50kPa（abs）
0〜100kPa（abs）
0〜200kPa（abs）
0〜500kPa（abs）
0〜1MPa（abs）
0〜2MPa（abs）
0〜5MPa（abs）
真空使用圧力下限
最大加圧
400kPa
800kPa
2MPa
200kPa
400kPa
800kPa
2MPa
2MPa
4MPa
10MPa
ゲージ圧
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
絶対圧
×
×
×
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
繰返し寿命
0-100%
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
組み合わせ可否
先端ダイアフラム形以外
先端ダイアフラム形
ゲージ圧
絶対圧
ゲージ圧
絶対圧
○
×
×
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
×
×
○
×
×
×
○
○
○
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
テクニカルシート
J
N
M
K
L
A
B
C
D
E
代表レンジ
Q&A
レンジ
コード
表3　測定レンジの指定範囲（ゲージ圧）　出荷後の変更はできません
スパン範囲
U
V
J
N
M
T
S
R
K
L
A
B
C
D
E
1
2
3
−10〜10kPa
0〜25kPa
−100〜0kPa
−100〜100kPa
−100〜300kPa
0〜10kPa
0〜20kPa
0〜30kPa
0〜50kPa
0〜100kPa
0〜200kPa
0〜500kPa
0〜1MPa
0〜2MPa
0〜5MPa
0〜10MPa
0〜20MPa
0〜35MPa
−50〜0kPa
0kPa
−110〜0kPa
−110〜0kPa
−110〜0kPa
0kPa
0kPa
0kPa
−110〜0kPa
0kPa
0kPa
0kPa
−0.11〜0MPa
−0.11〜0MPa
−0.11〜0MPa
−0.11〜0MPa
−0.11〜0MPa
−0.11〜0MPa
20.000〜44.999kPa
20.000〜29.999kPa
50.001〜110.00kPa
110.01〜249.99kPa
250.00〜999.99kPa
10.000〜17.999kPa
18.000〜29.999kPa
30.000〜44.999kPa
45.000〜50.000kPa
50.001〜110.00kPa
110.01〜249.99kPa
250.00〜999.99kPa
1.0000〜1.4000MPa
1.4001〜2.2000MPa
2.2001〜5.0000MPa
5.0001〜14.000MPa
14.001〜20.000MPa
20.001〜35.000MPa
kPa
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
×
×
×
使用可能な単位
MPa
hPa
×
○
×
○
○
○
○
○
○
○
×
○
×
○
×
○
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
×
○
×
○
×
○
×
bar
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
kPa abs
○
○
○
○
○
○
○
使用可能な単位
MPa abs
hPa abs
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
×
bar abs
○
○
○
○
○
○
○
索
ゼロ点範囲
メンテナンス／
サービス・保証
代表レンジ
アプリケーションシート
レンジ
コード
引
表4　測定レンジの指定範囲（絶対圧）　出荷後の変更はできません
レンジ
コード
代表レンジ
ゼロ点範囲
スパン範囲
K
L
A
B
C
D
E
0〜50kPa abs
0〜100kPa abs
0〜200kPa abs
0〜500kPa abs
0〜1MPa abs
0〜2MPa abs
0〜5MPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0MPa abs
0MPa abs
0MPa abs
45.000〜50.000kPa abs
50.001〜110.00kPa abs
110.01〜249.99kPa abs
250.00〜999.99kPa abs
1.0000〜1.4000MPa abs
1.4001〜2.2000MPa abs
2.2001〜5.0000MPa abs
ゼロ点＝0%出力する圧力，スパン＝100%出力する圧力 - 0%出力する圧力（圧力レンジ幅）
代表レンジ以外の測定レンジも指定できます。いずれも有効数字は最大5桁です。
測定レンジは，各測定レンジコード毎の単位で表中の「ゼロ点範囲」と「スパン範囲」を満たすように指定します。
また，代表レンジの単位以外を，表中の「使用可能な単位」から選択可能です。
使用する単位が変わると，それに対応してゼロ点範囲とスパン範囲の小数点の位置が変わります。
9
セレクションガイド
●標準仕様
表5　基本特性(高温プロセス対応形以外)
個別仕様書
特注仕様のご案内
精度（＊1）
（% of span）
コード 先端ダイアフラ
先端ダイア
ム形以外
フラム形
U
±0.5
±1
V
—
±0.6
J
±0.25
±0.3
N
±0.25
±0.3
M
±0.25
±0.3
T
±0.5
—
S
±0.35
—
R
±0.25
±0.3
K
±0.25
±0.3
L
±0.25
±0.3
A
±0.25
±0.3
B
±0.25
±0.3
C
±0.25
±0.3
D
±0.25
±0.3
E
±0.25
±0.3
1
±0.25
—
2
±0.25
—
3
±0.25
—
温度特性
（% of span/℃）
±0.1
±0.1
±0.05
±0.03
±0.03
±0.1
±0.08
±0.08
±0.08
±0.05
±0.02
±0.02
±0.02
±0.02
±0.02
±0.02
±0.02
±0.02
温度特性補償範囲（℃）
先端ダイア
先端ダイア
フラム形以外
フラム形
0〜50
0〜50
—
0〜50
−25〜75
0〜60
−25〜75
0〜75
−25〜75
0〜75
−10〜75
—
−10〜75
—
−10〜75
0〜50
−25〜75
0〜60
−25〜75
0〜60
−25〜75
0〜75
−25〜75
0〜75
−25〜75
0〜75
−25〜75
0〜75
−25〜75
0〜75
−25〜75
—
−25〜75
—
−25〜75
—
動作温度
範囲（℃）
−10〜60
−10〜60
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
姿勢誤差（約）
（Pa/90°）
先端ダイア
先端ダイア
フラム形以外
フラム形
30
400
—
400
30
400
30
400
30
400
60
—
60
—
30
400
30
400
30
400
30
400
30
400
30
400
30
400
30
400
30
—
30
—
30
—
質量（約）
（g）
先端ダイア
先端ダイア
フラム形以外
フラム形
230
410
—
410
230
410
230
410
230
410
350
—
350
—
230
410
230
410
230
410
230
410
230
410
230
410
230
410
230
410
260
—
260
—
260
—
姿勢誤差（約）
（Pa/90°）
先端ダイア
先端ダイア
フラム形以外
フラム形
300
—
300
700
300
700
300
—
300
—
300
700
300
—
300
700
300
700
300
700
300
700
質量（約）
（g）
先端ダイア
先端ダイア
フラム形以外
フラム形
350
—
350
530
350
530
350
—
350
—
350
530
350
—
350
530
350
530
350
530
350
530
（＊1）直線性，ヒステリシス，再現性を含む（出荷時）
Q&A
表6　基本特性（高温プロセス対応形）
圧力タイプ
J
N
M
K
L
A
A
B
C
D
E
ゲージ圧
ゲージ圧
ゲージ圧
ゲージ圧
ゲージ圧
ゲージ圧
絶対圧
ゲージ圧/絶対圧
ゲージ圧/絶対圧
ゲージ圧/絶対圧
ゲージ圧/絶対圧
テクニカルシート
コード
精度（＊1）
温度特性
温度特性補償範囲
（% of span） （% of span/℃） （本体）
（℃）
±0.35
±0.35
±0.35
±0.35
±0.35
±0.35
±0.35
±0.35
±0.35
±0.35
±0.35
±0.08
±0.05
±0.03
±0.08
±0.08
±0.05
±0.05
±0.03
±0.03
±0.03
±0.03
アプリケーションシート
（＊1）直線性，ヒステリシス，再現性を含む（出荷時）
メンテナンス／
サービス・保証
索
引
10
10〜75
10〜75
10〜75
10〜75
10〜75
10〜75
10〜75
10〜75
10〜75
10〜75
10〜75
動作温度範囲
（本体）
（℃）
接液温度範囲
（℃）
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜150
−10〜150
−10〜150
−10〜150
−10〜150
−10〜150
−10〜120
−10〜150
−10〜150
−10〜150
−10〜150
被測定流体
取付ねじ
構造
材質
電源電圧
出力信号
出力信号範囲
負荷抵抗
表8　出荷条件等
テクニカルシート
出荷される圧力センサの精度は，下記の条件で規格以内に調整されています。
● 周囲温度：25℃±5℃
● 供給電源電圧：24 V DC±1%
● 圧力センサの姿勢：水平
Q&A
消費電流
出力抵抗
絶縁抵抗
耐電圧
EMC適合規格
時定数
特注仕様のご案内
電源電圧変動特性（ゼロ点）
個別仕様書
耐振性
耐衝撃性
周囲湿度範囲
気体および液体（凍結しないこと）
G1/4，3/8，1/2（PF1/4，3/8，1/2），R1/4，3/8，1/2，1（PT1/4，3/8，1/2，1）
おねじまたは7/16−20UNF
JIS C0920 IP66 耐水形（コネクタ形のコネクタ部は非防水）
［接液部］
ダイアフラム：ハステロイC，ニップルコネクタ：SUS316，Oリング
（Oリングシール方式平行ねじ）
：フッ素ゴム（バイトン），封入液：シリコー
ンオイル
［その他］
ケース：アルミ合金（ポリウレタン焼付塗装）
2
高温プロセス対応形以外：100 m/s2，高温プロセス対応形：20 m/s（3方向2時間
150 Hz以下）
2
高温プロセス対応形以外：1000 m/s2，高温プロセス対応形：200 m/s（3方向3回）
5〜95% RH（結露しないこと）
FP101/FP101A：12〜30 V DC
FP201/FP201A：12〜28 V DC
（推奨24 V DC ±10％）<電源電圧と負荷抵抗>グラフ参照
±0.005% of span/V
FP101/FP101A：1〜5 V DC　4線式，/V1は0〜5 V DC
FP201/FP201A：4〜20 mA DC　2線式
定格レンジの−2.5〜105%（室温），精度保証は0〜100%
FP101/FP101A：10 kΩ以上，
FP201/FP201A：0〜600Ω（電源電圧24 V DCのとき）
グラフ参照
FP101/FP101A:5mA以下（電源電圧 24 V DCのとき）
FP101/FP101A:最大 2 Ω
20 MΩ以上／500 V DC
500 V AC／1分間，1 mA以下
EN61326
3 ms以下
セレクションガイ ド
表7　基本特性（共通）
ゲージ圧タイプの基準気圧
Dレンジ以下は 大気圧をケーブルを通して導入しており，大気圧変動による誤差はありません。
Eレンジ以上は 101.3 kPa abs基準のシールドゲージであり，大気圧変動による誤差が加わります。
例）0〜5 MPaレンジの場合での気圧変動誤差は 下記の通りです。
大気圧が101.3 kPa absより 1 kPa上がった場合…スパンの＋0.02%の誤差
大気圧が101.3 kPa absより 1 kPa下がった場合…スパンの−0.02%の誤差
アプリケーションシート
メンテナンス／
サービス・保証
電源電圧と負荷抵抗
1500
負荷抵抗
（Ω）
動作範囲
800
700
600
索
50
負荷抵抗（Ω）＝
引
12 13
24 28
電源電圧（V DC）
42
ご使用になる電源電圧（V）− 12（V）
0.02（A）
11
セレクションガイド
●外形図
単位：mm
◆ 直接ケーブル引出しの場合
20
MODEL
OUTPUT
RANGE
NO.
φ26
特注仕様のご案内
MODEL
OUTPUT
RANGE
NO.
53
φ32
ℓ
20
φ43
68
φ32
個別仕様書
ℓ
H＝35
ダイアフラム
H＝30
19
7
測定レンジ T, S
ℓ
R1（PT1）おねじ
取付ねじ R1
（先端ダイアフラム形）
測定レンジ U, V, R, J, K, L, M, N, A, B, C, D, E
53
20
3
ℓ
ℓ
φ32
φ5
Q&A
12
テクニカルシート
O リング
管用平行ねじ
（O リングシール方式）
管用平行ねじ
管用テーパねじ
（ガスケットシール方式）
フレア形
H＝30
ℓ 寸法
測定レンジ U, R, J, K, L, M, N, A, B, C, D, E
アプリケーションシート
ℓ
68
管用平行ねじ（＊1）
（O リングシール方式）
20
（ねじ G1/2 のとき 64）
φ32
管用平行ねじ
（ガスケットシール方式）
管用テーパねじ
メンテナンス／
サービス・保証
フレア形
H＝30
測定レンジ 1, 2, 3
1
G 1／（
4 PF ／4）
12
3
G 3／（
8 PF ／8）
12
1
G 1／（
4 PF ／4）
16
3
G 3／（
8 PF ／8）
18
1
G 1／（
2 PF ／2）
20
1
R 1／（
4 PT ／4）
14
3
R 3／（
8 PT ／8）
14
1
R 1／（
2 PT ／2）
19
R1（PT1）
27
7／16 -20UNF
14
（＊1）O リング仕様：JIS B2401
（４種 D，
運動用，
呼び P20）
O リング溝外径：φ24
20
40
40
20
9.5
ℓ
索
3.5
引
ゼロ点調整穴カバー
M4x0.7 バインドねじ
ゼロ調機能付（TR1）
の場合のケーブル部（＊2）
H＝30
高温プロセス対応形　測定レンジ J, K, L, M, N, A, B, C, D, E
（高温プロセス対応形の取付けねじ R1 は，ℓ部が右上図と同等となります。）
（＊2）ゼロ調整機能付（TR1）のトリマの調整には , ミニチュア・ドライバーをお使いください。
ゼロ調整が可能な範囲は , 約 ±5% of span（U, V レンジ以外），約 3%（U, V レンジ）です。
また , トリマの最大回転角は ±120°
です。120°
以上回しますと , 破損することがあります。
12
セレクションガイ ド
単位：mm
◆ コネクタ接続ケーブルの場合
MODEL
OUTPUT
RANGE
NO.
φ43
φ26
H＝35
ダイアフラム
H=30
19
R1（PT1）おねじ
7
取付ねじ R1
（先端ダイアフラム形）
測定レンジ U, V, R, J, K, L, M, N, A, B, C, D, E
測定レンジ T, S
ℓ
10
特注仕様のご案内
MODEL
OUTPUT
RANGE
NO.
65
φ32
ℓ
10
φ32
79
個別仕様書
ℓ
65
約 32
10
Q&A
MODEL
OUTPUT
RANGE
NO.
テクニカルシート
φ32
付属ケーブル形状
本体コネクタ型番：多治見製 R03-RB6F
（レセプタクル）
ケーブル側プラグ型番：多治見製 R03-P6M
ピンアサイン
（FP101/FP101A）
H=30
ピン
測定レンジ U, R, J, K, L, M, N, A, B, C, D, E
81
10
（ねじ G1/2 のとき 77）
供給電源 ＋
d
出力信号 －
b
供給電源 －
アース
e
出力信号 ＋
N.C.
c
f
アプリケーションシート
ℓ
ピン
a
MODEL
OUTPUT
RANGE
NO.
φ32
約 32
メンテナンス／
サービス・保証
付属ケーブル形状
測定レンジ 1, 2, 3
H=30
本体コネクタ型番：多治見製 R03-RB6F
ケーブル側プラグ型番：多治見製 R03-P6M
ℓ
40
52
10
ピンアサイン
（FP201/FP201A）
ピン
ピン
N.C.
N.C.
e
アース
c
－
f
N.C.
φ32
d
b
引
＋
索
a
H=30
高温プロセス対応形　測定レンジ J, K, L, M, N, A, B, C, D, E
）
（高温プロセス対応形の取付けねじ R1 は，ℓ部が右上図と同等となります。
13
セレクションガイド
HIGH ACCURATE PRESSURE SENSOR WITH TERMINAL BOX
個別仕様書
端子箱付き高精度圧力センサ
FP102
FP103
FP202
FP203
特注仕様のご案内
●特　長
Q&A
1〜5V DC，4〜20mA DC出力アンプ内蔵
±0.25％の高精度
（機種により異なります）
優れた温度特性；±0.02％ of span /℃
（機種により異なります）
耐食性に優れたシールダイアフラム
（ハステロイC使用）構造
小形，軽量，防水構造IP67
RoHS適合
テクニカルシート
●形名コード表示
アプリケーションシート
例） FP102-GA1 /B1
形　名
メンテナンス／
サービス・保証
FP102：1～5V DC 出力
FP103：1～5V DC 出力
FP202：4～20mA DC 出力
FP203：4～20mA DC 出力
付加仕様コード
端子箱配線口 G3/8
端子箱配線口 G1/2
端子箱配線口 G3/8
端子箱配線口 G1/2
なし : 標準
/B1 : 禁油処理（受圧部脱脂洗浄）
/B2 : 禁油・禁水処理
受圧部脱脂洗浄後
乾燥剤梱包
/VT : 高温プロセス対応形
圧力タイプ
測定レンジ（代表レンジ）
G : ゲージ圧
A : 絶対圧
索
U ： –10～10kPa
V ： 0～25kPa
J ： –100～0kPa
N ： –100～100kPa
M： –100～300kPa
T ： 0～10kPa
S ： 0～20kPa
R ： 0～30kPa
K ： 0～50kPa
または 0～50kPa abs
L ： 0～100kPa または 0～100kPa abs
A ： 0～200kPa または 0～200kPa abs
B ： 0～500kPa または 0～500kPa abs
C ： 0～1MPa
または 0～1MPa abs
D ： 0～2MPa
または 0～2MPa abs
E ： 0～5MPa
または 0～5MPa abs
1 ： 0～10MPa
2 ： 0～20MPa
3 ： 0～35MPa
引
絶対圧は K・L・A・B・C・D・E レンジ
測定レンジ V のときは，取付ねじは B に限定
14
取付ねじ
1：R1/4
（PT1/4）おねじ（管用テーパねじ）
（＊1）
2：G3/8（PF3/8）おねじ（O リングシール方式）
5：G1/4（PF1/4）おねじ（O リングシール方式）
（＊1）
6：G3/8（PF3/8）おねじ（ガスケットシール方式）
（＊2）
7：G1/4（PF1/4）おねじ（ガスケットシール方式）
（＊2）
8：R3/8
（PT3/8）おねじ（管用テーパねじ）
9：R1/2（PT1/2）おねじ（管用テーパねじ）
（＊2）
A：G1/2（PF1/2）おねじ（ガスケットシール方式）
B：R1（PT1）おねじ（管用テーパねじ先端ダイアフラム形）
C：7/16-20UNF（フレア形）
取付ねじ B のときは T，S レンジ不可
取付ねじ C のときは T，S，R レンジ不可
（＊1）O リングが付属します
（＊2）ガスケットは付属しません
セレクションガイ ド
●測定範囲
表1　測定範囲（高温プロセス対応形以外）
レンジ
コード
200kPa
150kPa
400kPa
800kPa
2MPa
100kPa
150kPa
150kPa
200kPa
400kPa
800kPa
2MPa
2MPa
4MPa
10MPa
20MPa
40MPa
50MPa
ゲージ圧
2.7kPa abs
負圧不可
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
負圧不可
負圧不可
負圧不可
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
絶対圧
×
×
×
×
×
×
×
×
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
×
×
×
繰返し寿命
0-100%
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
組み合わせ可否
先端ダイアフラム形以外
先端ダイアフラム形
ゲージ圧
絶対圧
ゲージ圧
絶対圧
○
×
○
×
×
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
×
×
○
×
×
×
○
×
○
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
×
×
×
○
×
×
×
○
×
×
×
特注仕様のご案内
−10〜10kPa
0〜25kPa
−100〜0kPa
−100〜100kPa
−100〜300kPa
0〜10kPa
0〜20kPa
0〜30kPa
0〜50kPa（abs）
0〜100kPa（abs）
0〜200kPa（abs）
0〜500kPa（abs）
0〜1MPa（abs）
0〜2MPa（abs）
0〜5MPa（abs）
0〜10MPa
0〜20MPa
0〜35MPa
真空使用圧力下限
最大加圧
個別仕様書
U
V
J
N
M
T
S
R
K
L
A
B
C
D
E
1
2
3
代表レンジ
表2　測定範囲（高温プロセス対応形）
−100〜0kPa
−100〜100kPa
−100〜300kPa
0〜50kPa（abs）
0〜100kPa（abs）
0〜200kPa（abs）
0〜500kPa（abs）
0〜1MPa（abs）
0〜2MPa（abs）
0〜5MPa（abs）
真空使用圧力下限
最大加圧
400kPa
800kPa
2MPa
200kPa
400kPa
800kPa
2MPa
2MPa
4MPa
10MPa
ゲージ圧
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
2.7kPa abs
絶対圧
×
×
×
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
130Pa abs
繰返し寿命
0-100%
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
組み合わせ可否
先端ダイアフラム形以外
先端ダイアフラム形
ゲージ圧
絶対圧
ゲージ圧
絶対圧
○
×
×
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
×
×
○
×
×
×
○
○
○
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
テクニカルシート
J
N
M
K
L
A
B
C
D
E
代表レンジ
Q&A
レンジ
コード
表3　測定レンジの指定範囲（ゲージ圧）　出荷後の変更はできません
スパン範囲
U
V
J
N
M
T
S
R
K
L
A
B
C
D
E
1
2
3
−10〜10kPa
0〜25kPa
−100〜0kPa
−100〜100kPa
−100〜300kPa
0〜10kPa
0〜20kPa
0〜30kPa
0〜50kPa
0〜100kPa
0〜200kPa
0〜500kPa
0〜1MPa
0〜2MPa
0〜5MPa
0〜10MPa
0〜20MPa
0〜35MPa
−50〜0kPa
0kPa
−110〜0kPa
−110〜0kPa
−110〜0kPa
0kPa
0kPa
0kPa
−110〜0kPa
0kPa
0kPa
0kPa
−0.11〜0MPa
−0.11〜0MPa
−0.11〜0MPa
−0.11〜0MPa
−0.11〜0MPa
−0.11〜0MPa
20.000〜44.999kPa
20.000〜29.999kPa
50.001〜110.00kPa
110.01〜249.99kPa
250.00〜999.99kPa
10.000〜17.999kPa
18.000〜29.999kPa
30.000〜44.999kPa
45.000〜50.000kPa
50.001〜110.00kPa
110.01〜249.99kPa
250.00〜999.99kPa
1.0000〜1.4000MPa
1.4001〜2.2000MPa
2.2001〜5.0000MPa
5.0001〜14.000MPa
14.001〜20.000MPa
20.001〜35.000MPa
kPa
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
×
×
×
使用可能な単位
MPa
hPa
×
○
×
○
○
○
○
○
○
○
×
○
×
○
×
○
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
×
○
×
○
×
○
×
bar
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
kPa abs
○
○
○
○
○
○
○
使用可能な単位
MPa abs
hPa abs
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
×
bar abs
○
○
○
○
○
○
○
索
ゼロ点範囲
メンテナンス／
サービス・保証
代表レンジ
アプリケーションシート
レンジ
コード
引
表4　測定レンジの指定範囲（絶対圧）　出荷後の変更はできません
レンジ
コード
代表レンジ
ゼロ点範囲
スパン範囲
K
L
A
B
C
D
E
0〜50kPa abs
0〜100kPa abs
0〜200kPa abs
0〜500kPa abs
0〜1MPa abs
0〜2MPa abs
0〜5MPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0MPa abs
0MPa abs
0MPa abs
45.000〜50.000kPa abs
50.001〜110.00kPa abs
110.01〜249.99kPa abs
250.00〜999.99kPa abs
1.0000〜1.4000MPa abs
1.4001〜2.2000MPa abs
2.2001〜5.0000MPa abs
ゼロ点＝0%出力する圧力，スパン＝100%出力する圧力 - 0%出力する圧力（圧力レンジ幅）
代表レンジ以外の測定レンジも指定できます。いずれも有効数字は最大5桁です。
測定レンジは，各測定レンジコード毎の単位で表中の「ゼロ点範囲」と「スパン範囲」を満たすように指定します。
また，代表レンジの単位以外を，表中の「使用可能な単位」から選択可能です。
使用する単位が変わると，それに対応してゼロ点範囲とスパン範囲の小数点の位置が変わります。
15
セレクションガイド
●標準仕様
表5　基本特性(高温プロセス対応形以外)
個別仕様書
特注仕様のご案内
精度（＊1）
（% of span）
コード 先端ダイアフラ
先端ダイア
ム形以外
フラム形
U
±0.5
±1
V
—
±0.6
J
±0.25
±0.3
N
±0.25
±0.3
M
±0.25
±0.3
T
±0.5
—
S
±0.35
—
R
±0.25
±0.3
K
±0.25
±0.3
L
±0.25
±0.3
A
±0.25
±0.3
B
±0.25
±0.3
C
±0.25
±0.3
D
±0.25
±0.3
E
±0.25
±0.3
1
±0.25
—
2
±0.25
—
3
±0.25
—
温度特性
（% of span/℃）
±0.1
±0.1
±0.05
±0.03
±0.03
±0.1
±0.08
±0.08
±0.08
±0.05
±0.02
±0.02
±0.02
±0.02
±0.02
±0.02
±0.02
±0.02
温度特性補償範囲（℃）
先端ダイア
先端ダイア
フラム形以外
フラム形
0〜50
0〜50
—
0〜50
−25〜75
0〜60
−25〜75
0〜75
−25〜75
0〜75
−10〜75
—
−10〜75
—
−10〜75
0〜50
−25〜75
0〜60
−25〜75
0〜60
−25〜75
0〜75
−25〜75
0〜75
−25〜75
0〜75
−25〜75
0〜75
−25〜75
0〜75
−25〜75
—
−25〜75
—
−25〜75
—
動作温度
範囲（℃）
−10〜60
−10〜60
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
−40〜80
姿勢誤差（約）
（Pa/90°）
先端ダイア
先端ダイア
フラム形以外
フラム形
30
400
—
400
30
400
30
400
30
400
60
—
60
—
30
400
30
400
30
400
30
400
30
400
30
400
30
400
30
400
30
—
30
—
30
—
質量（約）
（g）
先端ダイア
先端ダイア
フラム形以外
フラム形
230
410
—
410
230
410
230
410
230
410
350
—
350
—
230
410
230
410
230
410
230
410
230
410
230
410
230
410
230
410
260
—
260
—
260
—
姿勢誤差（約）
（Pa/90°）
先端ダイア
先端ダイア
フラム形以外
フラム形
300
−
300
700
300
700
300
−
300
−
300
700
300
−
質量（約）
（g）
先端ダイア
先端ダイア
フラム形以外
フラム形
450
−
450
630
450
630
450
−
450
−
450
630
450
−
（＊1）直線性，ヒステリシス，再現性を含む（出荷時）
Q&A
表6　基本特性（高温プロセス対応形）
コード
圧力タイプ
精度（＊1）
温度特性
温度特性補償範囲
（% of span） （% of span/℃） （本体）
（℃）
テクニカルシート
J
ゲージ圧
N
ゲージ圧
M
ゲージ圧
K
ゲージ圧
L
ゲージ圧
A
ゲージ圧
A
絶対圧
B，C，
ゲージ圧/絶対圧
D，E
動作温度範囲
（本体）
（℃）
接液温度範囲
（℃）
±0.35
±0.35
±0.35
±0.35
±0.35
±0.35
±0.35
±0.08
±0.05
±0.03
±0.08
±0.08
±0.05
±0.05
10〜75
10〜75
10〜75
10〜75
10〜75
10〜75
10〜75
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜150
−10〜150
−10〜150
−10〜150
−10〜150
−10〜150
−10〜120
±0.35
±0.03
10〜75
−10〜80
−10〜150
300
700
450
630
（＊1）直線性，ヒステリシス，再現性を含む（出荷時）
被測定流体
気体および液体（凍結しないこと）
取付ねじ
G1/4，3/8，1/2（PF1/4，3/8，1/2），R1/4，3/8，1/2，1（PT1/4，
3/8，1/2，1）おねじまたは7/16−20UNF
配線口
FP102/FP202：G3/8，　FP103/FP203：G1/2
構造
JIS C0920 IP67 防浸形
電源電圧と負荷抵抗
1500
負荷抵抗
アプリケーションシート
表7　基本特性（共通）
メンテナンス／
サービス・保証
［接液部］
ダイアフラム：ハステロイC，ニップルコネクタ：SUS316，O
リング（Oリングシール方式平行ねじ）：フッ素ゴム（バイトン），
材質（＊1），（＊2） 封入液：シリコーンオイル
（Ω）
［その他］
ケースおよびカバー：アルミ合金（ポリウレタン焼付塗装），ケー
ス用Oリング：NBR
耐振性
20 m/s2　（3方向2時間 150 Hz以下）
耐衝撃性
2
300 m/s（3方向3回）
周囲湿度範囲
5〜95% RH　（結露しないこと）
電源電圧
索
引
電源電圧変動特性
（ゼロ点）
FP102/FP103：12〜30 V DC
（推奨24 V DC ±10％）
FP202/FP203：12〜28 V DC
（推奨24 V DC ±10％）
〈電源電圧と負荷抵抗〉グラフ参照
±0.005% of span／V
出力信号
FP102/FP103：1〜5 V DC　4線式，
FP202/FP203：4〜20 mA DC　2線式
出力信号範囲
定格レンジの−2.5〜105%（室温），精度保証は0〜100%
負荷抵抗
FP102/FP103：10 kΩ以上
FP202/FP203：0〜600Ω（電源電圧24 V DCの時）グラフ参照
消費電流
FP102/FP103:5mA以下（電源電圧 24 V DCの時）
出力抵抗
FP102/FP103:最大 2 Ω
絶縁抵抗
20 MΩ以上／500 V DC
耐電圧
500 V AC／1分間，1 mA以下
EMC適合規格
EN61326
時定数
3 ms以下
16
動作範囲
800
700
600
50
12 13
24 28
電源電圧（V DC）
負荷抵抗（Ω）＝
42
ご使用になる電源電圧（V）− 12（V）
0.02（A）
表8　出荷条件等
出荷される圧力センサの精度は，下記の条件で規格以内に調整されています。
● 周囲温度：25℃±5℃　● 供給電源電圧：24 V DC±1%　● 圧力センサの姿勢：水平
ゲージ圧タイプの基準気圧
Dレンジ以下は 大気圧をケーブルを通して導入しており，大気圧変動による誤差は
ありません。
Eレンジ以上は 101.3 kPa abs基準のシールドゲージであり，大気圧変動による誤差
が加わります。
例）0〜5 MPaレンジの場合での気圧変動誤差は 下記の通りです。
大気圧が101.3 kPa absより 1 kPa上がった場合…スパンの＋0.02%の誤差
大気圧が101.3 kPa absより 1 kPa下がった場合…スパンの−0.02%の誤差
単位：mm
端子箱は回転できません。固定ねじを決して緩めないでください。
101
φ54
個別仕様書
48.5
48.5
ダイアフラム
H=30
19
87
φ26
φ54
ℓ
φ43
ℓ
取付ねじ(R1)
H=35
7
配線口
71
配線口
特注仕様のご案内
測定レンジ T, S
取付ねじ R1（先端ダイアフラム形）
測定レンジ U, V, R, J, K, L, M, N, A, B, C, D, E
L1
87
L2
φ54
φ54
ℓ
セレクションガイ ド
●外形図
48.5
H=30
H30
73
配線口
測定レンジ 1, 2, 3
配線口
57
Q&A
(導圧口)
48.5
取付ねじ
12
3
ℓ
ℓ
φ5
テクニカルシート
測定レンジ U, R, J, K, L, M, N, A, B, C, D, E
Oリング
管用平行ねじ
（Oリングシール方式）
114
ℓ
管用平行ねじ
（ガスケットシール方式）
管用テーパねじ
アプリケーションシート
φ54
42
配線口
G3/8
FP102/FP202
G1/2
FP103/FP203
48.5
H=30
配線口
（高温プロセス対応形の取付ねじR1は， ℓ 部が右上図と同等となります。）
L1
L2
G 1／
管用平行ねじ (*1)
4（PF 1／
4）
（Oリングシール方式） G ／
3 （PF 3／）
8
8
12
12
12
12
G 1／
4（PF 1／
4）
管用平行ねじ
3 8（PF 3／
8）
（ガスケットシール方式） G ／
G 1／2（PF 1／2）
16
16
18
18
20
24
R 1／
4（PT 1／
4）
14
14
3 ）
R 3／
8（PT ／
8
14
14
R 1／2（PT 1／2）
19
18
103
103
103
103
99
103
103
103
R 1（PT1）
27
7／
16 -20UNF
14
－
－
－
－
管用テーパねじ
フレア形
メンテナンス／
サービス・保証
高温プロセス対応形　測定レンジ J, K, L, M, N, A, B, C, D, E
フレア形
ℓ
（*1）Oリング溝外径：φ24
Oリング仕様：JIS B2401（４種D，運動用，呼びP20）
（＊1）
FP102/FP103 の端子台配列
引
ZE
（＊1）
ゼロ調整トリマ
ゼロ調整トリマ
端子台への結線
FP202/FP203 の端子台配列
FP202/FP203 の端子
FP102/FP103 の端子
SUPPLY　＋
供給電源　＋
＋
SUPPLY　－
供給電源　－
－
OUT　＋
出力信号　＋
OUT　－
配線ケーブル：シールド付で 芯線断面積
0.14～1.5（mm2）を使用のこと
RO
RO
ZE
索
マイナスドライバ ：幅 3.5
（mm）
以下を使用のこと
締め付けトルク ：0.6
（N・m）
以下
SUPPLY OUT
供給電源　＋
供給電源　－
アース
（ケース）
出力信号　－
アース
（ケース）
（＊1）トリマの調整には，ミニチュア・ドライバーをお使いください。
ゼロ調整が可能な範囲は，約±5% of span（U, Vレンジ以外），約3%（U, Vレンジ）
です。
また,トリマの最大回転角は±120°です。120°以上回しますと，破損することがあります。
他のトリマ調整は行わないでください。
17
セレクションガイド
SANITARY PRESSURE SENSOR
サニタリ圧力センサ
FP211
FP211A
個別仕様書
特注仕様のご案内
●特　長
Q&A
4〜20mA DC出力アンプ内蔵
±0.25％の高精度
（機種により異なります）
優れた温度特性；±0.02％ of span /℃
（機種により異なります）
接液部構造は，ISO51
（IDF2S）
クランプまたはISO38（IDF1.5S）クランプ取付です
小形，軽量，防水構造IP67相当
RoHS適合
テクニカルシート
●形名コード表示
アプリケーションシート
例） FP211-ASU-L20A
B /B1
付加仕様コード
なし : 標準
/B1 : 禁油処理（受圧部脱脂洗浄）
/B2 : 禁油・禁水処理
受圧部脱脂洗浄後
乾燥剤梱包
形名
メンテナンス／
サービス・保証
FP211 （ゲージ圧）
FP211A（絶対値）
測定レンジ
索
U ： –10～10kPa
J ： –100～0kPa
N ： –100～100kPa
M： –100～300kPa
T ： 0～10kPa
S ： 0～20kPa
R ： 0～30kPa
K ： 0～50kPa または 0～50kpa abs
L ： 0～100kPa または 0～100kpa abs
A ： 0～200kPa または 0～200kpa abs
B ： 0～500kPa または 0～500kpa abs
C ： 0～1MPa
または 0～1MPa abs
スタイルコード
常に B，
ただし，FP211A での適用なし
ケーブル端末処理
端末処理済み（予備はんだ付け）
引
ケーブル長さ
L20 ： ケーブル 2m 付
L50 ： ケーブル 5m 付
LC0 ： ケーブル 10m 付
取付規格
U ： ISO51（IDF2S）クランプ
W： ISO38（IDF1.5S）クランプ
サニタリ用クランプ
18
セレクションガイ ド
●測定範囲
表1　測定範囲
レンジ
コード
最大加圧
200kPa
400kPa
800kPa
2MPa
100kPa
150kPa
150kPa
200kPa
400kPa
800kPa
2MPa
2MPa
組み合わせ可否
ゲージ圧
絶対圧
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
繰返し寿命
0−100%
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
特注仕様のご案内
−10〜10kPa
−100〜0kPa
−100〜100kPa
−100〜300kPa
0〜10kPa
0〜20kPa
0〜30kPa
0〜50kPa（abs）
0〜100kPa（abs）
0〜200kPa（abs）
0〜500kPa（abs）
0〜1MPa（abs）
真空使用圧力下限
ゲージ圧
絶対圧
2.7kPa abs
×
2.7kPa abs
×
2.7kPa abs
×
2.7kPa abs
×
負圧不可
×
負圧不可
×
負圧不可
×
2.7kPa abs
130Pa abs
2.7kPa abs
130Pa abs
2.7kPa abs
130Pa abs
2.7kPa abs
130Pa abs
2.7kPa abs
130Pa abs
個別仕様書
U
J
N
M
T
S
R
K
L
A
B
C
代表レンジ
測定レンジの指定範囲は，FP112/FP113/FP212/FP213を参照してください。
●標準仕様
表2　基本特性
温度特性
（% of span/℃）
温度特性補償範囲
（本体）
（℃）
動作温度範囲
（本体）
（℃）
接液温度範囲
（＊2）
（℃）
姿勢誤差（約）
（Pa/90°）
U
J
N
M
T
S
R
K
L
A
B
C
±0.5
±0.25
±0.25
±0.25
±0.5
±0.5
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.1
±0.05
±0.03
±0.03
±0.1
±0.1
±0.08
±0.08
±0.05
±0.02
±0.02
±0.02
0〜50
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜60
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
質量（約）
（g）
ISO51
430
430
430
430
430
430
430
430
430
430
430
430
ISO38
370
370
370
370
370
370
370
370
370
370
370
370
テクニカルシート
精度（＊1）
（% of span）
Q&A
コード
（＊1）直線性，ヒステリシス，再現性を含む（出荷時）
（＊2）洗浄時，140℃で30分以内可（ただし，Uレンジは不可）
表3　基本特性
±0.005% of span／V
800
700
600
50
12 13
24 28
電源電圧（V DC）
負荷抵抗（Ω）＝
42
ご使用になる電源電圧（V）− 12（V）
0.02（A）
索
4〜20 mA DC 2線式
定格レンジの−2.5〜105%（室温），精度保証は0〜100%
0〜600Ω（電源電圧24 V DCの時）グラフ参照
20 MΩ以上／500 V DC
500 V AC／1分間，1 mA以下
EN61326
3 ms以下
（Ω）
動作範囲
メンテナンス／
サービス・保証
耐振性
耐衝撃性
周囲湿度範囲
電源電圧
電源電圧変動特性
（ゼロ点）
出力信号
出力信号範囲
負荷抵抗
絶縁抵抗
耐電圧
EMC適合規格
時定数
電源電圧と負荷抵抗
1500
負荷抵抗
材質
気体および液体（凍結しないこと）
ISO51（IDF2S）クランプ，ISO38（IDF1.5S）
クランプ
JIS C0920 IP67 防浸形
［接液部］
ダイヤフラム：SUS316L，ヘッド部：SUS316，封入液：シリコーンオイル
［その他］
ケース：SUS304，ケース用Oリング
2
20 m/s（3方向2時間
150 Hz以下）
2
300 m/s（3方向3回）
5〜95% RH（結露しないこと）
12〜28 V DC（推奨24 V DC ±10％）
グラフ参照
アプリケーションシート
被測定体
取付サイズ
構造
引
表4　出荷条件等
出荷される圧力センサの精度は，下記の条件で規格以内に調整されています。
● 周囲温度：25℃±5℃
● 供給電源電圧：24 V DC±1%
● 圧力センサの姿勢：水平
19
セレクションガイド
SANITARY PRESSURE SENSOR WITH TERMINAL BOX
個別仕様書
端子箱付きサニタリ圧力センサ
FP112
FP113
FP212
FP213
特注仕様のご案内
●特　長
Q&A
1〜5V DC，4〜20mA DC出力アンプ内蔵
±0.25％の高精度
（機種により異なります）
優れた温度特性；±0.02％ of span /℃
（機種により異なります）
接液部構造は，ISO51
（IDF2S）
クランプまたはISO38（IDF1.5S）クランプ取付です
小形，軽量，防水構造IP67
RoHS適合
テクニカルシート
●形名コード表示
アプリケーションシート
例） FP212-GA 3 /B1
形　名
メンテナンス／
サービス・保証
FP112：1～5V DC 出力
FP113：1～5V DC 出力
FP212：4～20mA DC 出力
FP213：4～20mA DC 出力
付加仕様コード
端子箱配線口 G3/8
端子箱配線口 G1/2
端子箱配線口 G3/8
端子箱配線口 G1/2
なし : 標準
/B1 : 禁油処理（受圧部脱脂洗浄）
/B2 : 禁油、禁水処理　受圧部脱脂洗浄後
乾燥剤梱包
取付規格
3：ISO51(IDF 2S）クランプ
4：ISO38（IDF 1.5S）クランプ
測定レンジ
索
U ： –10～10kPa
J ： –100～0kPa
N ： –100～100kPa
M： –100～300kPa
T ： 0～10kPa
S ： 0～20kPa
R ： 0～30kPa
K ： 0～50kPa
または 0～50kPs abs
L ： 0～100kPa または 0～100kPs abs
A ： 0～200kPa または 0～200kPs abs
B ： 0～500kPa または 0～500kPs abs
C ： 0～1MPa
または 0～1MPs abs
引
圧力タイプ
G：ゲージ圧
A：絶対圧
20
セレクションガイ ド
●測定範囲
表1　測定範囲
コード
200kPa
400kPa
800kPa
2MPa
100kPa
150kPa
150kPa
200kPa
400kPa
800kPa
2MPa
2MPa
真空使用圧力下限
ゲージ圧
絶対圧
2.7kPa abs
×
2.7kPa abs
×
2.7kPa abs
×
2.7kPa abs
×
負圧不可
×
負圧不可
×
負圧不可
×
2.7kPa abs
130Pa abs
2.7kPa abs
130Pa abs
2.7kPa abs
130Pa abs
2.7kPa abs
130Pa abs
2.7kPa abs
130Pa abs
繰返し寿命
0−100%
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
組み合わせ可否
ゲージ圧
絶対圧
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
特注仕様のご案内
−10〜10kPa
−100〜0kPa
−100〜100kPa
−100〜300kPa
0〜10kPa
0〜20kPa
0〜30kPa
0〜50kPa（abs）
0〜100kPa（abs）
0〜200kPa（abs）
0〜500kPa（abs）
0〜1MPa（abs）
最大加圧
個別仕様書
U
J
N
M
T
S
R
K
L
A
B
C
代表レンジ
表2　測定レンジの指定範囲（ゲージ圧）　出荷後の変更はできません
ゼロ点範囲
スパン範囲
U
J
N
M
T
S
R
K
L
A
B
C
−10〜10kPa
−100〜0kPa
−100〜100kPa
−100〜300kPa
0〜10kPa
0〜20kPa
0〜30kPa
0〜50kPa
0〜100kPa
0〜200kPa
0〜500kPa
0〜1MPa
−50〜0kPa
−110〜0kPa
−110〜0kPa
−110〜0kPa
0kPa
0kPa
0kPa
−110〜0kPa
0kPa
0kPa
0kPa
−0.11〜0MPa
20.000〜44.999kPa
50.001〜110.00kPa
110.01〜249.99kPa
250.00〜999.99kPa
10.000〜17.999kPa
18.000〜29.999kPa
30.000〜44.999kPa
45.000〜50.000kPa
50.001〜110.00kPa
110.01〜249.99kPa
250.00〜999.99kPa
1.0000〜1.110MPa
kPa
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
使用可能な単位
MPa
hPa
×
○
○
○
○
○
○
○
×
○
×
○
×
○
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
bar
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
kPa abs
○
○
○
○
○
使用可能な単位
MPa abs
hPa abs
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
bar abs
○
○
○
○
○
テクニカルシート
代表レンジ
Q&A
コード
表3　測定レンジの指定範囲（絶対圧）　出荷後の変更はできません
代表レンジ
ゼロ点範囲
スパン範囲
K
L
A
B
C
0〜50kPa abs
0〜100kPa abs
0〜200kPa abs
0〜500kPa abs
0〜1MPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0MPa abs
45.000〜50.000kPa abs
50.001〜110.00kPa abs
110.01〜249.99kPa abs
250.00〜999.99kPa abs
1.0000〜1.110MPa abs
アプリケーションシート
コード
ゼロ点＝0%出力する圧力，スパン＝100%出力する圧力 − 0%出力する圧力（圧力レンジ幅）
代表レンジ以外の測定レンジも指定できます。いずれも有効数字は最大5桁です。
測定レンジは，各測定レンジコード毎の単位で表中の「ゼロ点範囲」と「スパン範囲」を満たすように指定します。
また，代表レンジの単位以外を，表中の「使用可能な単位」から選択可能です。
使用する単位が変わると，それに対応してゼロ点範囲とスパン範囲の小数点の位置が変わります。
メンテナンス／
サービス・保証
索
引
21
セレクションガイド
●標準仕様
表4　基本特性
精度（＊1）
（% of span）
温度特性
（% of span/℃）
温度特性補償範囲
（本体）
（℃）
動作温度範囲
（本体）
（℃）
接液温度範囲
（＊2）
（℃）
姿勢誤差（約）
（Pa/90°）
U
J
N
M
T
S
R
K
L
A
B
C
±0.5
±0.25
±0.25
±0.25
±0.5
±0.5
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.1
±0.05
±0.03
±0.03
±0.1
±0.1
±0.08
±0.08
±0.05
±0.02
±0.02
±0.02
0〜50
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜60
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
−10〜100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
100
個別仕様書
コード
質量（約）
（g）
特注仕様のご案内
ISO51
430
430
430
430
430
430
430
430
430
430
430
430
ISO38
370
370
370
370
370
370
370
370
370
370
370
370
（＊1）直線性，ヒステリシス，再現性を含む（出荷時）
（＊2）洗浄時，140℃で30分以内可（ただし，Uレンジは不可）
表5　基本特性
被測定流体
取付サイズ
配線口
構造
耐振性
耐衝撃性
周囲湿度範囲
テクニカルシート
電源電圧
電源電圧変動特性
（ゼロ点）
出力信号
出力信号範囲
負荷抵抗
アプリケーションシート
消費電流
出力抵抗
絶縁抵抗
耐電圧
EMC適合規格
時定数
（Ω）
動作範囲
800
700
600
50
12 13
24 28
電源電圧（V DC）
±0.005% of span／V
FP112/FP113：1〜5 V DC　4線式，FP212/FP213：4〜20 mA DC　2線式
定格レンジの−2.5〜105%（室温），精度保証は0〜100%
FP112/FP113：10 kΩ以上
FP212/FP213：0〜600Ω（電源電圧24 V DCの時）グラフ参照
FP112/FP113：5mA以下
（電源電圧 24 V DCの時）
FP112/FP113：最大 2 Ω
20 MΩ以上／500 V DC
500 V AC／1分間，1 mA以下
EN61326
3 ms以下
表6　出荷条件等
メンテナンス／
サービス・保証
出荷される圧力センサの精度は，下記の条件で規格以内に調整されています。
● 周囲温度：25℃±5℃
● 供給電源電圧：24 V DC±1%
● 圧力センサの姿勢：水平
索
引
22
電源電圧と負荷抵抗
1500
負荷抵抗
Q&A
材質
気体および液体（凍結しないこと）
ISO51（IDF2S）クランプ，ISO38（IDF1.5S）
クランプ
FP112/FP212：G3/8，　FP113/FP213：G1/2
JIS C0920 IP67 防浸形
［接液部］
ダイヤフラム：SUS316L，ヘッド部：SUS316，封入液：シリコーンオイル
［その他］
ケースおよびカバー：アルミ合金（ポリウレタン焼付塗装），ケース用Oリング：
NBR
2
20 m/s（3方向2時間
150 Hz以下）
2
300 m/s（3方向3回）
5〜95% RH（結露しないこと）
FP112/FP113：12〜30 V DC
（推奨24 V DC ±10％）
FP212/FP213：12〜28 V DC
（推奨24 V DC ±10％）グラフ参照
負荷抵抗（Ω）＝
42
ご使用になる電源電圧（V）− 12（V）
0.02（A）
FP211/FP211A
単位：mm
20
個別仕様書
φd
φ38
68
セレクションガイ ド
●外形図
シールダイアフラム
（φ32）
特注仕様のご案内
取付部形状
φd
ISO51（IDF2S）クランプ
64
ISO38（IDF1.5S）クランプ
50.5
FP112/FP113
単位：mm
Q&A
85
SUPPLY OUT
ゼロ調整トリマ（＊1）
RO
76
φd
SUPPLY　＋
供給電源　＋
SUPPLY　－
供給電源　－
OUT　＋
出力信号　＋
OUT　－
テクニカルシート
φ54
ZE
出力信号　－
アース（ケース）
端子台配列
7
取付部（導圧口）
取付部形状
φd
ISO51
（IDF2S）クランプ
64
ISO38
（IDF1.5S）クランプ
50.5
アプリケーションシート
マイナスドライバ：幅3.5（mm）以下を使用のこと
締め付けトルク ：0.6（N・m）以下
配線口
49
配線ケーブル ：シールド付で 芯線断面積
0.14～1.5（mm2）を使用のこと
端子台への結線
単位：mm
85
ゼロ調整トリマ（＊1）
RO
メンテナンス／
サービス・保証
FP212/FP213
＋
供給電源　＋
供給電源　－
引
－
索
76
φd
φ54
ZE
アース（ケース）
端子台配列
7
取付部（導圧口）
49
取付部形状
配線口
φd
ISO51
（IDF2S）クランプ
64
ISO38
（IDF1.5S）クランプ
50.5
マイナスドライバ：幅3.5（mm）以下を使用のこと
締め付けトルク ：0.6（N・m）以下
配線ケーブル ：シールド付で 芯線断面積
0.14～1.5（mm2）を使用のこと
端子台への結線
（＊1）トリマの調整には，ミニチュア・ドライバーをお使いください。
ゼロ調整が可能な範囲は，約±5％ of span（Uレンジ以外），約3％（Uレンジ）です。
また，トリマの最大回転角は±120°です。120°以上回しますと，破損することがあります。
他のトリマ調整は行わないでください。
23
セレクションガイド
SANITARY PRESSURE SENSOR WITH
TERMINAL BOX FOR HIGH TEMPERATURE
個別仕様書
特注仕様のご案内
高温対応形端子箱付き
サニタリ圧力センサ
FP112/HT
FP113/HT
FP212/HT
FP213/HT
●特　長
Q&A
コンパクトなボディーで，接液180℃連続使用（注）可能
急激なプロセス温度変化にもすばやい出力安定
サニタリクランプ方式で取付け・取外し簡単
呼び径ISO51
（IDF2S）
，ISO38
（IDF1.5S）で小形装置にも対応
RoHS適合
（注）本体温度80℃以下の場合に限ります。
●形名コード表示
テクニカルシート
例） FP212-GA 3 /HT
形　名
付加仕様コード
アプリケーションシート
FP112：1～5V DC 出力
FP113：1～5V DC 出力
FP212：4～20mA DC 出力
FP213：4～20mA DC 出力
端子箱配線口 G3/8
端子箱配線口 G1/2
端子箱配線口 G3/8
端子箱配線口 G1/2
取付規格
/HT : 高温プロセス対応形
3：ISO51（IDF 2S）クランプ
4：ISO38（IDF 1.5S）クランプ
メンテナンス／
サービス・保証
圧力タイプ
測定レンジ
G：ゲージ圧
A：絶対圧
J ： –100～0kPa
N ： –100～100kPa
M： –100～300kPa
K ： 0～50kPa
または
L ： 0～100kPa または
A ： 0～200kPa または
B ： 0～500kPa または
C ： 0～1MPa
または
0～50kPa abs
0～100kPa abs
0～200kPa abs
0～500kPa abs
0～1MPa abs
●外形図
単位：mm
索
109
φ54
（＊）結線については
FP112/FP113/FP212/FP213
を参照してください。
48.5
φd
引
36.5
取付部形状
79
24
配線口
G3/8：FP112/HT, FP212/HT
G1/2：FP113/HT, FP213/HT
ISO51（IDF2S）クランプ
φd
64
ISO38（IDF1.5S）クランプ 50.5
セレクションガイ ド
●測定範囲
表1　測定範囲
コード
代表レンジ
−100〜0kPa
−100〜100kPa
−100〜300kPa
0〜50kPa（abs）
0〜100kPa（abs）
0〜200kPa（abs）
0〜500kPa（abs）
0〜1MPa（abs）
真空使用圧力下限
繰返し寿命
0−100%
400kPa
800kPa
2MPa
200kPa
400kPa
800kPa
2MPa
2MPa
13Pa abs
13Pa abs
13Pa abs
13Pa abs
13Pa abs
13Pa abs
13Pa abs
13Pa abs
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
組み合わせ可否
ゲージ圧
○
○
○
○
○
○
○
○
絶対圧
×
×
×
○
○
○
○
○
個別仕様書
J
N
M
K
L
A
B
C
最大加圧
測定レンジの指定範囲は，FP112/FP113/FP212/FP213を参照してください。
表2　測定レンジの指定範囲（ゲージ圧）　出荷後の変更はできません
代表レンジ
ゼロ点範囲
スパン範囲
J
N
M
K
L
A
B
C
−100〜0kPa
−100〜100kPa
−100〜300kPa
0〜50kPa
0〜100kPa
0〜200kPa
0〜500kPa
0〜1MPa
−110〜0kPa
−110〜0kPa
−110〜0kPa
−110〜0kPa
0kPa
0kPa
0kPa
−0.11〜0MPa
50.001〜110.00kPa
110.01〜249.99kPa
250.00〜999.99kPa
45.000〜50.000kPa
50.001〜110.00kPa
110.01〜249.99kPa
250.00〜999.99kPa
1.0000〜1.110MPa
bar
○
○
○
○
○
○
○
○
kPa abs
○
○
○
○
○
使用可能な単位
MPa abs
hPa abs
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
bar abs
○
○
○
○
○
表3　測定レンジの指定範囲（絶対圧）　出荷後の変更はできません
コード
代表レンジ
ゼロ点範囲
スパン範囲
K
L
A
B
C
0〜50kPa abs
0〜100kPa abs
0〜200kPa abs
0〜500kPa abs
0〜1MPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0MPa abs
45.000〜50.000kPa abs
50.001〜110.00kPa abs
110.01〜249.99kPa abs
250.00〜999.99kPa abs
1.0000〜1.110MPa abs
ゼロ点＝0%出力する圧力，スパン＝100%出力する圧力 − 0%出力する圧力（圧力レンジ幅）　代表レンジ以外の測定レンジも指定できます。いずれも有効数字は最大5桁です。
測定レンジは，各測定レンジコード毎の単位で表中の「ゼロ点範囲」と「スパン範囲」を満たすように指定します。
また，代表レンジの単位以外を，表中の「使用可能な単位」から選択可能です。　使用する単位が変わると，それに対応してゼロ点範囲とスパン範囲の小数点の位置が変わります。
●標準仕様
アプリケーションシート
表4　基本特性
精度（＊1）
（% of span）
温度特性
（% of span/℃）
温度特性補償範囲
（本体）
（℃）
動作温度範囲
（本体）
（℃）
接液温度範囲
（＊2）
（℃）
姿勢誤差（約）
（Pa/90°）
J
N
M
K
L
A
B
C
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.05
±0.03
±0.03
±0.08
±0.05
±0.02
±0.02
±0.02
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜180
−10〜180
−10〜180
−10〜180
−10〜180
−10〜180
−10〜180
−10〜180
400
400
400
400
400
400
400
400
質量（約）
（g）
ISO51
560
560
560
560
560
560
560
560
ISO38
530
530
530
530
530
530
530
530
メンテナンス／
サービス・保証
コード
（＊1）直線性，ヒステリシス，再現性を含む（出荷時）　（＊2）150℃以上の水蒸気など，高温でステンレスを腐食する流体には使用できません。
表5　基本特性
電源電圧
電源電圧変動特性
（ゼロ点）
出力信号
出力信号範囲
負荷抵抗
消費電流
出力抵抗
絶縁抵抗
耐電圧
EMC適合規格
時定数
（Ω）
動作範囲
800
700
600
50
12 13
24 28
電源電圧（V DC）
±0.005% of span／V
FP112/FP113：1〜5 V DC　4線式，
FP212/FP213：4〜20 mA DC　2線式
定格レンジの-2.5〜105%（精度保証は0〜100%）
FP112/FP113：10 kΩ以上
FP212/FP213：0〜600Ω（電源電圧24 V DCの時）グラフ参照
FP112/FP113：5mA以下
（電源電圧 24 V DCの時）
FP112/FP113：最大 2 Ω
20 MΩ以上／500 V DC
500 V AC／1分間，1 mA以下
EN61326
10 ms以下
引
耐振性
耐衝撃性
周囲湿度範囲
電源電圧と負荷抵抗
1500
索
材質
気体および液体（凍結しないこと）
ISO51（IDF2S）クランプ，ISO38（IDF1.5S）
クランプ
FP112/FP212：G3/8，　FP113/FP213：G1/2
JIS C0920 IP67 防浸形
［接液部］ ダイヤフラム：SUS316L，ヘッド部：SUS316，
封入液：シリコーンオイル
［その他］ ケースおよびカバー：アルミ合金（ポリウレタン焼付塗装），
ケース用Oリング：NBR
2
20 m/s（3方向2時間
150 Hz以下）
2
200 m/s（3方向3回）
5〜95% RH（結露しないこと）
FP112/FP113：12〜30 V DC
（推奨24 V DC ±10％）
FP212/FP213：12〜28 V DC
（推奨24 V DC ±10％）グラフ参照
負荷抵抗
被測定流体
取付サイズ
配線口
構造
テクニカルシート
使用可能な単位
MPa
hPa
○
○
○
○
○
○
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
Q&A
kPa
○
○
○
○
○
○
○
○
特注仕様のご案内
コード
負荷抵抗（Ω）＝
42
ご使用になる電源電圧（V）− 12（V）
0.02（A）
表6　出荷条件等
出荷される圧力センサの精度は，下記の条件で規格以内に調整されています。
● 周囲温度：25℃±5℃
● 供給電源電圧：24 V DC±1%
● 圧力センサの姿勢：水平
25
セレクションガイド
SANITARY PRESSURE SENSOR/
SANITARY ABSOLUTE-PRESSURE SENSOR
FOR HIGH TEMPERATURE
個別仕様書
高温対応形サニタリ圧力センサ/
高温対応形サニタリ圧力センサ
（絶対圧用）
FP211/HT
FP211A/HT
特注仕様のご案内
●特　長
Q&A
4〜20mA DC出力アンプ内蔵
±0.25％の高精度
優れた温度特性；±0.02％ of span /℃
（機種により異なります）
接液部構造は，ISO51
（IDF2S）
クランプまたはISO38（IDF1.5S）クランプ取付です
小形，軽量，防水構造IP67相当
RoHS適合
テクニカルシート
●形名コード表示
例） FP211-ASU-L20A
B /HT
付加仕様コード
形名
/HT : 高温プロセス対応形
スタイルコード
アプリケーションシート
FP211（ゲージ圧）
FP211A（絶対圧）
常に B，ただし FP211A での適用なし
ケーブル端末処理
測定レンジ
メンテナンス／
サービス・保証
J ： –100～0kPa
N ： –100～100kPa
M： –100～300kPa
K ： 0～50kPa
または
L ： 0～100kPa または
A ： 0～200kPa または
B ： 0～500kPa または
C ： 0～1MPa
または
端末処理済み（予備はんだ付け）
0～50kPa abs
0～100kPa abs
0～200kPa abs
0～500kPa abs
0～1MPa abs
サニタリ用クランプ
ケーブル長さ
取付規格
L20 ：ケーブル 2m 付
L50 ：ケーブル 5m 付
LC0 ：ケーブル 10m 付
U ： ISO51（IDF2S）クランプ
W： ISO38（IDF1.5S）クランプ
●外形図
単位：mm
索
110
φd
20
φ38
引
54
取付部形状
ISO51
（IDF2S）
クランプ
シールダイアフラム
（φ32）
26
ISO38
（IDF1.5S）
クランプ
φd
64
50.5
セレクションガイ ド
●測定範囲
表1　測定範囲
レンジ
コード
代表レンジ
−100〜0kPa
−100〜100kPa
−100〜300kPa
0〜50kPa（abs）
0〜100kPa（abs）
0〜200kPa（abs）
0〜500kPa（abs）
0〜1MPa（abs）
真空使用圧力下限
繰返し寿命
0−100%
400kPa
800kPa
2MPa
200kPa
400kPa
800kPa
2MPa
2MPa
13Pa abs
13Pa abs
13Pa abs
13Pa abs
13Pa abs
13Pa abs
13Pa abs
13Pa abs
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
100万回
組み合わせ可否
ゲージ圧
○
○
○
○
○
○
○
○
絶対圧
×
×
×
○
○
○
○
○
個別仕様書
J
N
M
K
L
A
B
C
最大加圧
測定レンジの指定範囲は，FP112/FP113/FP212/FP213を参照してください。
表2　測定レンジの指定範囲（ゲージ圧）　出荷後の変更はできません
代表レンジ
ゼロ点範囲
スパン範囲
J
N
M
K
L
A
B
C
−100〜0kPa
−100〜100kPa
−100〜300kPa
0〜50kPa
0〜100kPa
0〜200kPa
0〜500kPa
0〜1MPa
−110〜0kPa
−110〜0kPa
−110〜0kPa
−110〜0kPa
0kPa
0kPa
0kPa
−0.11〜0MPa
50.001〜110.00kPa
110.01〜249.99kPa
250.00〜999.99kPa
45.000〜50.000kPa
50.001〜110.00kPa
110.01〜249.99kPa
250.00〜999.99kPa
1.0000〜1.110MPa
bar
○
○
○
○
○
○
○
○
kPa abs
○
○
○
○
○
使用可能な単位
MPa abs
hPa abs
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
bar abs
○
○
○
○
○
表3　測定レンジの指定範囲（絶対圧）　出荷後の変更はできません
コード
代表レンジ
ゼロ点範囲
スパン範囲
K
L
A
B
C
0〜50kPa abs
0〜100kPa abs
0〜200kPa abs
0〜500kPa abs
0〜1MPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0kPa abs
0MPa abs
45.000〜50.000kPa abs
50.001〜110.00kPa abs
110.01〜249.99kPa abs
250.00〜999.99kPa abs
1.0000〜1.110MPa abs
ゼロ点＝0%出力する圧力，スパン＝100%出力する圧力 − 0%出力する圧力（圧力レンジ幅）　代表レンジ以外の測定レンジも指定できます。いずれも有効数字は最大5桁です。
測定レンジは，各測定レンジコード毎の単位で表中の「ゼロ点範囲」と「スパン範囲」を満たすように指定します。
また，代表レンジの単位以外を，表中の「使用可能な単位」から選択可能です。　使用する単位が変わると，それに対応してゼロ点範囲とスパン範囲の小数点の位置が変わります。
●標準仕様
アプリケーションシート
表4　基本特性
精度（＊1）
（% of span）
温度特性
（% of span/℃）
温度特性補償範囲
（本体）
（℃）
動作温度範囲
（本体）
（℃）
接液温度範囲
（＊2）
（℃）
姿勢誤差（約）
（Pa/90°）
J
N
M
K
L
A
B
C
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.25
±0.05
±0.03
±0.03
±0.08
±0.05
±0.02
±0.02
±0.02
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜75
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜80
−10〜180
−10〜180
−10〜180
−10〜180
−10〜180
−10〜180
−10〜180
−10〜180
400
400
400
400
400
400
400
400
質量（約）
（g）
ISO51
560
560
560
560
560
560
560
560
ISO38
530
530
530
530
530
530
530
530
メンテナンス／
サービス・保証
コード
（＊1）直線性，ヒステリシス，再現性を含む（出荷時）　（＊2）150℃以上の水蒸気など，高温でステンレスを腐食する流体には使用できません。
表5　基本特性
被測定流体
取付サイズ
構造
4〜20 mA DC 2線式
定格レンジの−2.5〜105%（室温），精度保証は0〜100%
0〜600Ω（電源電圧24 V DCの時）グラフ参照
20 MΩ以上／500 V DC
500 V AC／1分間，1 mA以下
EN61326
10 ms以下
（Ω）
動作範囲
引
±0.005% of span／V
負荷抵抗
耐振性
耐衝撃性
周囲湿度範囲
電源電圧
電源電圧変動特性
（ゼロ点）
出力信号
出力信号範囲
負荷抵抗
絶縁抵抗
耐電圧
EMC適合規格
時定数
電源電圧と負荷抵抗
1500
索
材質
気体および液体（凍結しないこと）
ISO51（IDF2S）クランプ，ISO38（IDF1.5S）
クランプ
JIS C0920 IP67 防浸形
［接液部］
ダイヤフラム：SUS316L，ヘッド部：SUS316，封入液：シリコーンオイル
［その他］ケース：SUS304，ケース用Oリング
2
20 m/s（3方向2時間
150 Hz以下）
2
200 m/s（3方向3回）
5〜95% RH　（結露しないこと）
12〜28 V DC（推奨24 V DC ±10％）
グラフ参照
テクニカルシート
使用可能な単位
MPa
hPa
○
○
○
○
○
○
×
○
○
○
○
○
○
○
○
○
Q&A
kPa
○
○
○
○
○
○
○
○
特注仕様のご案内
コード
800
700
600
50
12 13
24 28
電源電圧（V DC）
負荷抵抗（Ω）＝
42
ご使用になる電源電圧（V）− 12（V）
0.02（A）
表6　出荷条件等
出荷される圧力センサの精度は，下記の条件で規格以内に調整されています。
● 周囲温度：25℃±5℃　● 供給電源電圧：24 V DC±1%　● 圧力センサの姿勢：水平
27
セレクションガイド
SANITARY PRESSURE SENSOR NON-ENCLOSED FLUID
個別仕様書
無封液サニタリ圧力センサ
エキレスTM
JP261
特注仕様のご案内
●特　長
Q&A
テクニカルシート
封液レス
シリコーンオイルやフッ素オイルなどの封入液を全く使用していない，安心構造
高耐圧
ウォーターハンマーやサージ圧に安心な，限界耐圧10倍（ゼロ調後に復帰可）
高スチーム耐久性
150°
連続使用可。充填装置などのスチーム繰り返し工程でも，高い耐久性
表示付ラインナップ
3.5桁，表示器付もラインナップ
ステンレスケース
オールステンレス構造。防水はコネクタも含め保護等級IP67。
接液材質：オールチタン
（ダイアフラムJIS60種，ヘッド部JIS 2種）
特注にて　スーパーステンレスSUS329J4Lダイアフラム
（ヘッド部SUS316L）
も可。
アプリケーションシート
●形名コード表示
例） JP261-GPH-B5 /B1
メンテナンス／
サービス・保証
形　名
付加仕様コード
JP261
B1 : 禁油処理
B2 : 禁油・禁水処理
測定圧タイプ
G：ゲージ圧
ケーブル形状
索
引
L2： ケーブル 2m
L5： ケーブル 5m
LC： ケーブル 10m
BN： 防水中間コネクタ
付属ケーブル無
B5： 防水中間コネクタ
付属ケーブル 5m
取付規格
測定レンジ
A ： 0～200kPa
B ： 0～500kPa
C ： 0～1MPa
M： －100～300kPa
N ： －100～100kPa
P ： －0.1～0.9MPa
28
3 ： ISO51(IDF 2S）クランプ
4 ： ISO38（IDF1/1.5S）クランプ
H ： φ18-M22（充填機用）
J ： φ14-M22（充填機用）
コード
レンジ
最大加圧
取付形状
H，J
耐圧
標準外
レンジ
●
質 ●
絶
耐
耐
耐
時
構
●
●標準仕様
縁 抵
電 振 衝 撃
定 20
ケーブル形状 B□の場合
42
12
ゼロ調節ツマミカバー
ケース固定ねじは決して緩めないこと。
ケーブル形状
L□の場合
φ38
φB
φ38
φ38
ダイアフラム
90ﾟ
φ13.2
φC
● 取付形状 "J" の場合
1.5
レセプタクル（メス）
112
93
ケーブル形状 B□の場合
φ38
12
φ30
φ14
M22x1.5
測定レンジ
450 kPa 未満
450 kPa 以上
2/1
B
38
38
50.8
C
10
8
プラグ
（オス）
47
25
15
面幅 22
ダイアフラム部断面寸法
ゼロ調節ツマミカバー
各部寸法
取付形状
A
50.5
ISO25（1S）
ISO38（1.5S） 50.5
64
ISO51（2S）
1
引
φ30
12
φ18
φA
ケーブル形状 B□の場合
索
ケーブル形状
L□の場合
注）コネクタ部はプラグ装着状態にて防水
+ リード線
（黒色
- リード線
（白色
電源 / 出力＋）
電源 / 出力ー）
リード線（青色 接地用）
ケーブル形状 B□ の場合
（赤色
+ リード線
- リード線
（黒色
ケーブル形状
L□の場合
ゼロ調節ツマミカバー
ケース固定ねじは決して緩めないこと。
メンテナンス／
サービス・保証
61
38.5
20
アプリケーションシート
ケース固定ねじは決して緩めないこと。
106
レセプタクル
（メス）
87
レセプタクル
（メス）
125
106
面幅 28
M22x1.5
単位：mm
● 取付形状 "3" または "4" の場合
● 取付形状 "H" の場合
テクニカルシート
●外形図
Q&A
負荷抵抗
精 度：スパンの±0.35%（注1）
（直線性，ヒステリシス，再現
電源電圧と負荷抵抗
性を含む。ただし，へルール形はクランプ締付後
1350
ゼロ調整実施。）
温度特性（ゼロ点）：±0.025% of span／℃
動作範囲
（スパン）：±0.05% of span／℃
温度特性補償範囲： −10〜80℃
700
650
動作温度範囲： 本体：−10〜80℃，接液部 −20〜150℃
（Ω） 450
何れも結露なきこと
電源電圧変動特性（ゼロ点）：±0.005% of span／ V
出 力 信 号： 4〜20 mA DC，2線式
50
被 測 定 体： チタン及びチタン合金を腐食させない気体および液体
15 16
24 28
42
最 大 加 圧： スパンの5倍
電源電圧（V DC）
限 界 耐 圧： スパンの10倍（注2）
ご使用になる電源電圧（V）− 15（V）
真空使用圧力： 制限なし
負荷抵抗（Ω）＝
0.02（A）
繰 返 し 寿 命： 100万回（レンジ内）
電 源 電 圧： 15〜28 V DC
（推奨 24 V DC ± 10%）
（右上図参照） （注1） 出荷される圧力センサの精度は，下記の条件下で規格以内
に調整されています。
負 荷 抵 抗： 0〜450Ω
（電源電圧 24 V DCのとき）
（右上図参照）
● 周囲温度
：25℃±5℃
取 付 形 状： φ18-M22 またはφ14-M22おねじ取付
● 供給電源電圧
：24 V DC±1％
（負荷抵抗：250〜350Ω）
ISO51（IDF2S）
または ISO25（IDF1S）／ISO38
● 圧力センサの姿勢：水平
（IDF1.5S）サニタリクランプ取付
材 質：接液部/純チタン（JIS2種）及びチタン合金（JIS60種） （注2） 最大加圧を超え，限界耐圧までの圧力が加わった場合，再
校正が必要となります。
Oリング（φ18-M22のみ）：EPDM
又，通常のサニタリクランプは耐圧が1MPaですが，1MPa
接液部材質は，使用するプロセスの特性を十分考
をこえる圧力がかかる可能性がある場合は，必要な耐圧性
慮して選定ください。間違った材質選定によって，
を持ったクランプをご使用ください。
漏洩したプロセス流体が人体や設備に甚大な影響
特注仕様のご案内
0〜200kPa
1MPa
2MPa
0〜500kPa
2.5MPa
5MPa
0〜1MPa
5MPa
10MPa
−100〜300kPa
2MPa
4MPa
−100〜100kPa
1MPa
2MPa
−0.1〜0.9MPa
5MPa
10MPa
※スパン200kPa以上で
上記レンジ以外の中
レンジの レンジの
X
間レンジは特注対応
5倍
10倍
詳細は営業窓口にご
相談ください
個別仕様書
標準レンジ
A
B
C
M
N
P
を与えたり，破損した部品がプロセス流体に混入
する可能性があります。
特に塩酸，硫酸，硫化水素，次亜塩素酸ナトリウ
ム，150℃以上の高温水蒸気など腐食性の強いプ
ロセス流体については十分ご注意ください。
製品の接液部構造について，少しでもご不明な点
は必ずお問合せください。
ケース：SUS304　ボディ：SUS304
ケース用Oリング：NBR
量：ISO51（IDF2S）
… 約 690 g
ISO25（IDF1S）／ISO38
（IDF1.5S）…約 560 g
φ18-M22 ･･･ 約 390 g　φ14-M22 ･･･ 約 310 g
抗：20 MΩ／125 V DC
圧：125 V DC／1分間
2
性： 20 m/s（3方向2時間
150 Hz以下）
2
性： 300 m/s（3方向3回）
数： 10 ms以下
造： JIS C0920 IP67 防浸形
ゼロ調整は，ケース上部ネジ蓋を外すことで可能。
セレクションガイ ド
●測定範囲
電源 / 出力＋）
電源 / 出力ー）
リード線（被覆なし 接地用）
ケーブル形状 L□の場合
29
セレクションガイド
SANITARY PRESSURE SENSOR NON-ENCLOSED FLUID
個別仕様書
無封液サニタリ圧力センサ
エキレスTM
JP262
JP263
特注仕様のご案内
●特　長
Q&A
テクニカルシート
封液レス
シリコーンオイルやフッ素オイルなどの封入液を全く使用していない，安心構造
高耐圧
ウォーターハンマーやサージ圧に安心な，限界耐圧10倍（ゼロ調後に復帰可）
高スチーム耐久性
150°
連続使用可。充填装置などのスチーム繰り返し工程でも，高い耐久性
表示付ラインナップ
3.5桁，表示器付もラインナップ
屋外設置もOKな防水端子箱
設置しやすい防水端子箱。保護等級IP67，屋外設置もOK
接液材質：オールチタン
（ダイアフラムJIS60種，ヘッド部JIS 2種）
特注にて　スーパーステンレスSUS329J4Lダイアフラム
（ヘッド部SUS316L）
も可。
アプリケーションシート
●形名コード表示
例） JP263-GC4 /B1
メンテナンス／
サービス・保証
形　名
付加仕様コード
JP262：端子箱配線口 G3/8
JP263：端子箱配線口 G1/2
B1 : 禁油処理
B2 : 禁油・禁水処理
取付規格
索
3：ISO51(IDF 2S）クランプ
4：ISO38（IDF 1/1.5S）クランプ
引
30
測定圧タイプ
測定レンジ
G：ゲージ圧
A ： 0～200kPa
B ： 0～500kPa
C ： 0～1MPa
M： －100～300kPa
N ： －100～100kPa
P ： －0.1～0.9MPa
標準レンジ
1
スパン調整トリマ ゼロ調整トリマ
内周側 ※使用禁止
外周側
各部寸法
φ54
φA
ダイアフラム部断面寸法 2/1
48.5
φB
φ38
ダイアフラム
B
38
ISO38（1.5S）
ISO51（2S）
50.5
64
38
50.8
測定レンジ
C
450 kPa 未満
450 kPa 以上
10
8
マイナスドライバ ：幅 3.5（mm）以下
を使用のこと
締め付けトルク ：0.6（N・m）以下
84
配線口
JP262 : G3/8
JP263 : G1/2
A
50.5
引
1.5
取付形状
ISO25（1S）
索
90ﾟ
φ13.2
φC
72
＋
－
供給電源　＋
供給電源　－
アース
（ケース）
メンテナンス／
サービス・保証
42
アプリケーションシート
端子箱は回転できません。固定ねじを決して緩めないでください。
テクニカルシート
単位：mm
Q&A
負荷抵抗
●外形図
特注仕様のご案内
標準外
レンジ
0.02（A）
個別仕様書
する可能性があります。
特に塩酸，硫酸，硫化水素，次亜塩素酸ナトリウ
ム，150℃以上の高温水蒸気など腐食性の強いプ
コード
レンジ
最大加圧
耐圧
ロセス流体については十分ご注意ください。
A
0〜200kPa
1MPa
2MPa
製品の接液部構造について，少しでもご不明な点
B
0〜500kPa
2.5MPa
5MPa
は必ずお問合せください。
ボディ：SUS304
C
0〜1MPa
5MPa
10MPa
ケースおよびカバー：アルミ合金
M
−100〜300kPa
2MPa
4MPa
（ポリウレタン焼付塗装）
ケース用Oリング：NBR
N
−100〜100kPa
1MPa
2MPa
質 量： ISO51（IDF2S）…約 690 g
P
−0.1〜0.9MPa
5MPa
10MPa
ISO38
（IDF1.5S）
／ISO25（IDF1S）
…約 560 g
※スパン200kPa以上で
絶 縁 抵 抗： 20 MΩ／125 V DC
上記レンジ以外の中
耐 電 圧： 125 V DC／1分間
レンジの
レンジの
2
X
間レンジは特注対応
150 Hz以下）
耐 振 性： 20 m/s（3方向2時間
5倍
10倍
2
詳細は営業窓口にご
耐 衝 撃 性： 300 m/s（3方向3回）
相談ください
時 定 数： 10 ms以下
構 造： JIS C0920 IP67 防浸形
（注1）
出荷される圧力センサの精度は，下記の条件下で規格以内
●標準仕様
に調整されています。
● 周囲温度
精 度：スパンの±0.35%（注1）
（直線性，ヒステリシス，再現
：25℃±5℃
● 供給電源電圧
性を含む。ただし，クランプ締付後ゼロ調整実施。） ：24 V DC±1％
（負荷抵抗：250〜350Ω）
温度特性（ゼロ点）：±0.025% of span／℃
● 圧力センサの姿勢：水平
（スパン）：±0.05% of span／℃
（注2）
最大加圧を超え，限界耐圧までの圧力が加わった場合，再
温度特性補償範囲：−10〜80℃
校正が必要となります。
動作温度範囲：本体 −10〜80℃，接液部 −20〜150℃
又，通常のサニタリクランプは耐圧が1MPaですが，1MPa
何れも結露なきこと
をこえる圧力がかかる可能性がある場合は，必要な耐圧性
電源電圧変動特性（ゼロ点）：±0.005% of span／ V
を持ったクランプをご使用ください。
出 力 信 号： 4〜20 mA DC，2線式
被 測 定 体： チタン及びチタン合金を腐食させない気体および液体
電源電圧と負荷抵抗
最 大 加 圧： スパンの5倍
1350
（注2）
限 界 耐 圧： スパンの10倍
真空使用圧力：制限なし
動作範囲
繰 返 し 寿 命： 100万回（レンジ内）
電 源 電 圧： 15〜28 V DC（推奨 24 V DC ± 10%）
（下図参照）
700
負 荷 抵 抗： 0〜450Ω（電源電圧 24 V DCのとき）
（下図参照）
650
取 付 形 状： ISO51（IDF2S）または ISO25（IDF1S）／
（Ω） 450
ISO38（IDF1.5S）
サニタリクランプ取付
材 質： 接液部／純チタン
（JIS2種）
及びチタン合金
（JIS60種）
50
接液部材質は，使用するプロセスの特性を十分考
15 16
24 28
42
慮して選定ください。間違った材質選定によって，
電源電圧（V DC）
漏洩したプロセス流体が人体や設備に甚大な影響
ご使用になる電源電圧（V）− 15（V）
を与えたり，破損した部品がプロセス流体に混入
負荷抵抗（Ω）＝
セレクションガイ ド
●測定範囲
配線ケーブル：シールド付で
芯線断面積
0.14～1.5（mm2）
を使用のこと
端子台への結線
31
セレクションガイド
VERY LOW DIFFERENTIAL
PRESSURE SENSOR
微差圧センサ
JP208
個別仕様書
特注仕様のご案内
●特　長
Q&A
微小圧
（レンジ0〜25Pa）
の測定が可能
耐圧69kPa
ローコスト
±1％の高精度
4〜20mA DC出力，アンプ内蔵
RoHS適合
テクニカルシート
●形名コード表示
アプリケーションシート
例） JP208-DAC
メンテナンス／
サービス・保証
形　名
圧力導入孔
JP208
外径 3/16
（φ4.8mm）
筍形ホース継ぎ手
（真鍮）
測定圧タイプ
D：差圧
測定レンジ
索
A ： 0～25Pa
B ： 0～50Pa
C ： 0～100Pa
D ： 0～250Pa
E ： 0～500Pa
F ： 0～1kPa
G ： 0～2.5kPa
H ： 0～5kPa
J ： 0～12kPa
K ： 0～25kPa
L ： ±25Pa
M： ±50Pa
N ： ±100Pa
P ： ±250Pa
Q ： ±500Pa
R ： ±1kPa
S ： ±2.5kPa
T ： ±12kPa
引
32
●標準仕様
コード
最大加圧
レンジ
差圧
静圧
0〜25Pa
B
0〜50Pa
C
0〜100Pa
D
0〜250Pa
E
0〜500Pa
±13.8kPa
F
0〜1kPa
±34.6kPa
±3.8kPa
±6.9kPa
0〜2.5kPa
H
0〜5kPa
J
0〜12kPa
K
0〜25kPa
L
±25Pa
±50Pa
±69kPa
69kPa
±3.8kPa
N
±100Pa
P
±250Pa
Q
±500Pa
±13.8kPa
R
±1kPa
±34.6kPa
S
±2.5kPa
T
±12kPa
特注仕様のご案内
G
個別仕様書
A
M
出 力 信 号：4〜20mA DC
プロセス接続方式： 真鍮チューブ継ぎ手
（外径3/16（φ4.8mm））×2（High，Low）
被 測 定 体： ダストを含まない非腐食，非導電性の乾燥気体
精 度： スパンの±1％以下※（直線性，ヒステリシス，再
現性を含む）
温 度 特 性： ±0.06％ of span /℃
温度特性補償範囲： －18〜65℃
応 答 性： 100ms以下（63％応答）
動作温度範囲： －18〜79℃
最 大 加 圧： 左表参照※
電 源 電 圧： 推奨24V DC（負荷抵抗750Ω）
最小動作電圧：9V DC，
最大動作電圧：30V DC
電源電圧変動特性： 0.02mA/V以下
ケ ー ス 材 質： 難燃性グラスファイバー入ポリエステル
調 整 機 能： ケース上部よりゼロ・スパン調整可能
外 形 寸 法： 約70（幅）×61（高さ）×128.6（奥行）mm
ケース固定穴中心ピッチ　116×42.2mm
質 量： 約300g
※
セレクションガイ ド
●測定範囲
±6.9kPa
Q&A
※本器出荷時は，下記条件で調整されています。
周囲温度：25℃±5℃
供給電源：24V DC±1％（負荷抵抗250Ω）
姿勢：垂直（導圧管が水平になる方向）
±69kPa
テクニカルシート
※最大加圧の定義は，ゼロ点のシフトが0.5％FS未満である圧力です。
1050
負荷抵抗
750
アプリケーションシート
（Ω）
動作範囲
9
24
電源電圧（V DC）
30
●外形図
70
46
42.2
20
3.3
メンテナンス／
サービス・保証
単位：mm
61
128.6
φ4.8
116
引
30
索
+
4
18.4
-
8
9.8
6-32 UNC
8
33
セレクションガイド
HIGH ACCURATE PRESSUREMEASURING MODULE
高精度圧力センサモジュール
MU101
個別仕様書
特注仕様のご案内
※専用表示器につきましては，P.39 をご覧ください。
●特　長
Q&A
テクニカルシート
直線性，ヒステリシス，再現性　±0.01％FSの高精度
出力　EIA RS-232-Cに準拠　コンピュータへのインターフェイスが容易
シリコン振動式圧力センサ
（シリコンレゾナントセンサ）を搭載
低消費電流
（10mA以下）
温度特性±0.0008％ of span /℃Typical，長期安定性抜群
小形軽量
シールダイアフラム構造
（ハステロイC使用）
●形名コード表示
アプリケーションシート
例） MU101-GM1P
メンテナンス／
サービス・保証
出　力
形　名
導圧口（呼び径）
MU101
P：Rc1/4（PT1/4）めねじ
N：1/4NPT めねじ
1：RS-232-C
測定レンジ
索
L ： 0～10kPa
M： 0～130kPa または 0～130kPa abs
H ： 0～700kPa または 0～700kPa abs
A ： 0～3MPa
絶対圧は M・H レンジのみ
圧力タイプ
引
G：ゲージ圧
A：絶対圧
※専用組み合せ表示器もご用意しております。
詳しくは，P39　MU01D/Zをご参照ください。
34
コード
●標準仕様
レンジPa
最大加圧
分解能Pa
0〜10k
200kPa
0.8
0〜130k（abs）
520kPa
2
H
0〜700k（abs）
1.4MPa
30
A
0〜3M
4.5MPa
60
（注）絶対圧レンジは，M，Hの2種類です。
※分解能は，時定数2秒（工場出荷時）の時
特注仕様のご案内
Q&A
テクニカルシート
アプリケーションシート
メンテナンス／
サービス・保証
※本器出荷時は，下記条件で調整されています。
周囲温度：25℃±5℃　供給電源：24V DC±1％
姿勢：水平
時定数：2 sec
個別仕様書
L
M
出 力 方 式：EIA RS-232C に準拠
通信同期方式：半二重伝送
ボ ー レ ー ト：1200bps
通信ポートコネクタ：D-SUB9ピンコネクタ
ハンドシェーク：制御なし
精 度：±0.02％FS
（M，H，Aレンジ）
±0.03％FS（Lレンジおよび絶対圧レンジ）
再現性+直線性+ヒステリシス：±0.01％FS
（M，H，Aレンジ）
±0.02％FS（Lレンジ）
（注）
当社出荷時の精度は，国家基準器，当社基準器，
製造基準器の間のトレーサビリティ誤差を加
えた精度です。
温度特性（ゼロ点）[％ of span／℃]：
10kPaレンジ以外は
±0.015（5〜45℃間の40℃幅）
｛±0.0008　Typical｝
10kPaレンジは
±0.03（5〜45℃間の40℃幅）
｛±0.0015　Typical｝
温度特性補償範囲：5〜45℃
被 測 定 体：気体または液体
動作温度範囲：－5〜55℃
真空使用圧力：ゲージ圧モデル2.7kPa abs以上，
絶対圧モデル0.013kPa abs以上
電 源 電 圧：6〜24VDC
消 費 電 流：10mA以下
入力コネクタポート：Rc1/4（PT1/4）めねじ または1/4NPT
材 質：ダイアフラム：ハステロイＣ，入力コネクタ：
SUS316，ケース：鋼板
質 量：約600g（10kPaレンジおよび絶対圧レンジは約
640g）
姿 勢 誤 差：140 Pa/90°
2
耐 振 性：20m/s（3方向2時間150Hz以下）
，
2
耐 衝 撃 性：100m/s（3方向3回）
通信コマンド：ゼロ調整
：ダンピング時定数の設定（0.2〜4sec）
：エラー出力要求
：圧力測定データの要求
：温度出力データの要求（±1℃ Typical値）
セレクションガイ ド
●測定範囲
索
引
35
セレクションガイド
●外形図
単位：mm
Rc1/4 または 1/4NPT
導圧口
19
84
（10）
個別仕様書
66
通信用コネクタ
58
D-SUB 9ピン オス
#4-40 インチねじ
特注仕様のご案内
ゼロ調トリマ
40
電源用ターミナル
Q&A
固定用ねじ穴 M3（3 ヶ所）
固定ねじ突出し5 mm以下
本体をねじ固定する場合，M３ねじを使用し
絶対に本体底面から5 mmより大きく本体内
へ突出させないでください。
テクニカルシート
アプリケーションシート
メンテナンス／
サービス・保証
索
引
36
34
39
単線 0.2-4 mm2 ，
撚線 0.2-2.5 mm2
Public Sub IEEEtoDEC()
'IEEE754浮動小数点フォーマットから十進へ変換する
'サブルーチンです
Dim S As Integer
Dim F1U As Integer
Dim F1L As Integer
Dim EXPNO As Integer
Dim F2 As Double
Dim F3 As Double
Dim F4 As Double
Dim SUBNO As Double
If (F(0) And &H80) = 0 Then S = 1 Else S =－1
F1U = F(0) And &H7F
F1L = (F(1) And &H80) / &H80
EXPNO = (F1U*2) + F1L－127
F2 = (F(1) And &H7F) + 128
F3 = F(2)
F4 = F(3)
SUBNO = F2*65536 + F3*256 + F4
'十進化した値を変数RXMntrに格納します
RXMntr = S*SUBNO*(2^(EXPNO－23))
End Sub
個別仕様書
特注仕様のご案内
Q&A
アプリケーションシート
注1）V isualBasic6.0のマイクロソフト社のサポートは終了してお
ります。
注2）
デ
ータ取得ソフトは大森電機工業株式会社にてサンプル提供，
及び，販売させていただいております。
下記連絡先にお問い合わせ下さい。
TEL ：045-591-5431
URL：http://www.oomori.co.jp/index.html
テクニカルシート
メンテナンス／
サービス・保証
索
引
'Form1にCommand1ボタンとLabel1を配置してください
'プロジェクトメニューからコンポーネントを選択し"Microsoft
'Comm Control6.0"を追加して，Form1に配置してください
Option Explicit
Dim TX As String
Dim RX As String
Dim F(4) As Byte
Dim i As Integer
Dim RXMntr As String
Private Sub Form_Load()
'バイナリー圧力データ取得コマンドセット
TX = Chr$(0) & Chr$(0) & Chr$(18) & Chr$(4) &
Chr$(128) & Chr$(32) & Chr$(17) & Chr$(0) & Chr$(199)
'MSComm1のセッティング
'受信イベントを14バイト受信で発生させます
MSComm1.RThreshold = 14
'送信イベントを発生させません
MSComm1.SThreshold = 0
'バイナリとして取得
MSComm1.InputMode = comInputModeBinary
'ボレート，パリティ，データ長，ストップビットの設定
MSComm1.Settings = "1200,n,8,1"
'ポートの設定（Com1を使用した例）
MSComm1.CommPort = 1
End Sub
Private Sub Command1_Click()
'ポートをオープンします
MSComm1.PortOpen = True
'受信バッファをクリアします
MSComm1.InBufferCount = 0
'送信バッファにコマンドをおくります
MSComm1.Output = TX
End Sub
Private Sub MSComm1_OnComm()
'受信が成功した場合，データを解析／表示します
'受信データが不正な場合，メッセージを表示します
If MSComm1.CommEvent = comEvReceive Then
'受信データをバイト単位で取り出します
RX = MSComm1.Input
'文字列を切り出しF(0)〜F(3)に格納していきます
For i = 0 To 3
F(i) = AscB(MidB(RX, i + 10, 1))
Next i
'IEEE754のサブルーチンを呼び出します
Call IEEEtoDEC
'Label1表示します（小数以下は３桁としました)
Label1.Caption = Format(RXMntr, "0.000")
Else
'受信バッファが
Label1.Caption ="受信データが不正です"
End If
'ポートを閉じます
MSComm1.PortOpen = False
End Sub
セレクションガイ ド
MU101 用通信サンプルコード VisualBasic6.0 版
37
特注仕様のご案内
■適用機種： JP263
単位：mm
110
Zero
adjustment
95
39
特注仕様のご案内
153
φ70
φ78
個別仕様書
Indicator
LED3.5"
137
12
24
セレクションガイド
1）
LED赤色発光形表示機付
Ground
terminal
φ38
54
6
φB
各種寸法
B
取付部形状
A
ISO25(1S) 50.5 38
ISO38(1.5S) 50.5 38
ISO51(2S)
64 50.8
φA
Q&A
ダイアフラム
■G3/4　先端ダイアグラム
■VCR
適用機種： FP202，FP203，MU101
VCR面シール継手にします。
アプリケーションシート
単位：mm
単位：mm
73
約123
86.4
20
20
11
48.5
SS-4-VCR-3-4MTW
TAG
メンテナンス／
サービス・保証
SS-4-VCR-1
ø32
ø34
ø54
2
ø18
テクニカルシート
2）
取付けねじタイプ特注
ダイアフラム
（SUS316L）
G3/4
（SUS316）
配線口　G1/2
シール部寸法
O-リング：JS-P28
H35
FP203
9/16-18UNF
（VCR1/4 オス）
28
84
単位：mm
（10）
索
66
引
通信用コネクタ
58
D-SUB　9ピン　オス
#4-40　インチねじ
19
ゼロ調トリマ
電源用ターミナル
40
単線　0.2-4mm2 ，撚線　0.2-2.5mm2
固定用ねじ穴M3（3ヶ所）
固定ねじ突出し5 mm以下
本体をねじ固定する場合，M３ねじを使用し
絶対に本体底面から5 mmより大きく本体内
へ突出させないでください。
34
39
MU101
38
セレクションガイ ド
3）
レンジ特注
■空電変換器用のレンジ（20k〜100kPa）
適用機種： FP201，FP202，FP203
レンジ：
20k〜100kPa
個別仕様書
■エキレスシリーズ
適用機種： JP261，JP262，JP263
スパン： 200kPa以上　2MPa以下
表 示： 7セグメントLED　6桁表示
表 示 精 度： ±1 digit（表示桁数に対して）
＜外形寸法＞
単位：mm
9
143
アプリケーションシート
48
96
テクニカルシート
動作温度範囲： 0 〜 45℃（結露無きこと）
機 能： 圧力値表示（7 セグメント LED　6 桁）
表示桁数変更
センサ応答時定数変更
（0.5，2，8 秒の切換が可能）
MU101 ワンプッシュゼロ点調節
Q&A
センサ環境温度表示（分解能 0.1℃）
相対値表示
センサエラー表示
センサ（MU101）用供給電源（24V DC）内蔵
通 信： EIA-RS-232C
（外部機器へ） ボーレート 1200bps，4800bps，9600bps，19200bps
可変 , データ更新周期 1 秒以上
出力ポート D-SUB9 ピンオス（パソコンなどとの
接続は，クロスケーブルを使用してください。）
通信内容，表示値（圧力），温度値，ゼロ点調節，
時定数変更
質 量： 約 450g
電 源： 100 〜 120V DC
センサ供給電源： 24V DC±10%
特注仕様のご案内
4）
MU101専用表示器
（MU01D/Z）
パネル固定金具取付部
20
メンテナンス／
サービス・保証
12
＜パネルカット寸法＞
44 +0.6
0
91.5 +0.8
0
索
引
＜端子配置
（背面部）
＞
端子番号
1
2 3 4 5 6 7 8
A ポート
9
B ポート
D-SUB9 ピン
（オス）
上位コンピュータ通信用
D-SUB9 ピン
（オス）
MU101 接続用
（クロスケーブル）
ロータリ DIP スイッチ
ボーレート変更用
（上位コンピュータに対して）
用　途
1
端子台固定用ねじ
2
100V AC
（N）
供給電源
3
100V AC
（L）
供給電源
4
GND
（接地）
5
5V DC
（＋）
6
5V DC
（－）
7
MU101 供給電源 24V DC
（－）
8
MU101 供給電源 24V DC
（＋）
9
端子台固定用ねじ
39
Q&A
セレクションガイド
■弊社公式サイトでは、お客様からのお問い合せ実績を基に最新のQ&A情報を公開し、随時更新しています。こちら
も併せてご利用ください。
http://www.yokogawa.co.jp/fld/qa/fld-qa-01jp.htm　（2010年5月現在）
製品
個別仕様書
Q.1
注文時，圧力レンジコードはどう選択すればいいですか？
A.1
特注仕様のご案内
各機種の
「●測定範囲」
の頁，
「測定レンジの指定範囲」表に従って，ご希望の測定範囲に合致したレンジコー
ドを決めます。次に，
「測定範囲」表に従って，そのレンジコードの制約条件を確認し，お使いになるプロセス
の条件が制約条件の範囲内にあることを確認します。
〔例〕
FP101で，圧力測定範囲が−10〜980kPa，プロセスにかかる最大圧力が1.5MPaの場合
FP101の表３から，ゼロ点が−10kPaで，スパンが980−
（−10）
＝990kPaを満たすのは，
「Ｍ」
レンジ。
表１から，Ｍレンジの最大加圧は2MPaなので，1.5MPaを上回っている。
よって，選択するレンジコードは，
「Ｍ」
となります。注文時に測定範囲とレンジコードをご指定下さい。
Q&A
テクニカルシート
アプリケーションシート
メンテナンス／
サービス・保証
索
Q.2
接液材質は，カタログに記載されている他にどのような特殊材質が可能ですか？
A.2
カタログ記載の材質（SUS316，SUS316L，ハステロイC）の他に，特注にてチタン，フッ素樹脂などの実績が
あります。営業窓口にご相談下さい。
Q.3
封入液は，カタログに記載されている他にどのようなものが可能ですか？
A.3
カタログ記載の封入液
（シリコンオイル）
の他に，ダイフロイル等の実績があります。
サニタリ用途でシリコンオイル以外をご希望の場合は，封入液を使用しないエキレスシリーズをご検討くださ
い。エキレスシリーズは封入液を使用しないため，封入液がプロセスに漏れ出すリスクがありません。また，
封入液を使用しないため，どのような高真空プロセスにさらされても故障のリスクがありません。
Q.4
サニタリ規格で，IDFとISOはどのような関係ですか。
A.4
IDF
（IDF Standard14）
規格は，1960年国際酪農連盟によって規定されたサニタリ配管に関する国際規格です。
この規格はISOに提出され，1976年にはISOへの移行が決定されました。
（ISO 2852）
規格に移行しております。
現在では，正式にISO
IDFからISO規格への移行では，呼び寸法の呼称がインチから，ミリに変更された
ISO規格
IDF規格
のみで，実寸法等に変更はありません。
ISO 38
IDF 1.5S
しかしながら，関係者の間では，長年愛用されたIDF規格による呼称が未だに多く
ISO 51
IDF 2S
使用されるため，当社カタログ上では，IDF表記，またはISO，IDF併記で記載して
ISO 76.1
IDF 3S
おります。
ISO 101.6
IDF 4S
ご参考に，IDF規格の配管寸法の呼称とISO規格の呼称の対応例を示します。
Q.5
接液部の表面処理は，カタログに記載されている他にどのようなものが可能ですか？
A.5
サニタリ仕様の製品については，バフ研磨処理，不動態化処理，電解研磨処理等の特注実績があります。
いずれも証明書の発行が可能です。営業窓口にご相談ください。
Q.6
各種証明書の発行は可能ですか？
A.6
接液材質ミルシート，トレーサビリティ証明書，校正証明書，封入液証明書，各種表面処理証明書など，い
ずれも特注にて承ります。営業窓口にご相談ください。
Q.7
小形圧力センサに防爆仕様のものはありますか？また，特注で対応できるものはありますか？
A.7
防爆仕様のものはありません。特注でも対応できません。
引
Q.8 「高圧ガス法認定」
を受けていますか。
A.8
高圧ガス法認定は，受けておりません。
Q.9 「禁油」
，「禁水」とは何ですか。
A.9
40
例えば，純水測定などで油分が残留していると，油分により純水が汚染されます。わずかな油分も許されない
工程では，禁油処理をした圧力センサを用います。
また，わずかな水分の混入が測定媒体と接触することにより，有害な物質になったり，圧力センサの材質を
腐食させたりすることがあります。このような場合，禁水処理をした圧力センサを用います。
Q.10「禁油」，「禁水」とは，油や水を測定してはいけないということですか。
A.10 禁油・禁水とは，接液部に油や水が付着，残留しないように製作されたものです。油や水の圧力も測定する
ことができます。
Q.12 ゲージ圧センサの場合，どこから大気圧を導入していますか。
Q.13 真空使用圧力以上に真空に引いてしまった場合，壊れますか。
Q.14 高温対応仕様は，180℃までOKとありますが，180℃のスチームでもOKですか。
設置
Q.15 ノイズの影響を受けている可能性がある場合は，どのようにしたらよいですか。
１．アース接続方法及びアイソレータの使用を検討してください。
P.60〜P.63参照
２．ノイズフィルタを入れてください。
一例を示します。
Q.16 脈動がある圧力の測定は，どのようにしたらよいですか。
圧力センサ
メンテナンス／
サービス・保証
A.15
470µH
L
L
A.16 アプリケーションシート，
「過大圧，サージ圧からの保護」
を参照して下さい。
C
索
C
アプリケーションシート
A.14 スチームは150℃以下でご使用ください。
圧力下の水（液体）は180℃でもご使用できますが，スチーム（気体）になると約150℃以上でステンレスを腐食
することがありますのでご注意ください。
テクニカルシート
A.13 最悪の場合，破損のおそれがあります。
ご使用開始当初は，破損にはいたらず，多少の出力誤差の発生でおさまる場合もありますが，長時間この状
態を繰り返すと，破損にいたる可能性が高くなります。仕様範囲を超えてのご使用は避けてください。
Q&A
A.12 ケーブル付の圧力センサは，ケーブル端末から大気圧を導入しています。同様に，端子箱付も，お客様が準
備されるケーブル端末から大気圧を導入します。ケーブル選定の際には，中空チューブ入ケーブルをお使い
いただくなど，ケーブル端末から端子箱内部まで大気が導入できるよう，ご配慮ください。
また，MU101，JP208はケースから大気が導入できるようになっています。MU101は，密閉ケースに入れてし
まうと正確な圧が測れなくなります。
特注仕様のご案内
A.11 一般的に耐熱性に優れているガスケット材として，フッ素ゴム
（250℃）
，シリコンゴム
（200℃）
があります。た
だし，フッ素ゴムは，アセトンなどケトン基を有する流体には向いていません。また，シリコンゴムは，水蒸
気には向いていませんのでご注意ください。
個別仕様書
Q.11 接液温度180℃に耐えられるガスケットの材質には，どのようなものがありますか。
セレクションガイ ド
0.01µF
引
Q.17 結露の予防方法はありますか。
A.17 例1： 空調で除湿する。
例2： 冷配管より導圧管にてセンサを30cm以上離して，センサ本体温度と周囲温度との差を5℃以内にする。
特注にて
「結露予防形」
の対応をしています。営業窓口にご相談下さい。
30 cm以上
導圧管
冷配管
41
テクニカルシート
セレクションガイド
本項（テクニカルシート）には
圧力センサの選択及びご使用にあたり，知っておかなければならない注意事項が記載されています。よくお読み
ください。
精度用語の定義
個別仕様書
■ 概　要
特注仕様のご案内
ここでは圧力センサの正確さを表す基準を「精度」と呼びます。これは各種特性の不確かさの総称ですが，当社
の小形圧力センサの仕様では「精度」＝「確度」として表現しており，温度特性その他の特性と個別に表わしてお
ります。
実際のご使用環境での性能は，それらの総合精度になります。
特に温度変化が大きい場合には，温度特性の占める割合が大きくなります。
機種選定の際には，「精度」とともに「温度特性」
が重要なポイントとなります。
Q&A
2
総合精度＝ （リニアリティ）2＋（ゼロオフセット）
＋
（スパン）2＋
（再現性）2＋
（ヒステリシス）2＋
2
2
2
（ゼロ点温度特性）＋（スパン温度特性）＋
（電源電圧変動特性）＋
（長期安定性）2．．．．．．
テクニカルシート
＜総合精度の計算例＞
圧力センサタイプと条件
1．レンジ：
0〜500kPa
2．使用時周囲温度： 60℃
3．使用時電源電圧： 12V
4．出荷時温度：
25℃
5．出荷時電源電圧： 24V
アプリケーションシート
●当社圧力センサFP101の例
FP101仕様
精　度：
±0.25%
温度特性：
±0.02% of span /℃
電源電圧変動特性：±0.005% of span /V
メンテナンス／
サービス・保証
2
｛±0.02×（60－25）｝2＋｛±0.005×（24－12）｝2＝0.75%
FP101総合精度＝ （±0.25）＋
精度
温度特性
電源電圧変動特性
使用時周囲温度と
出荷時温度の差
使用時電源電圧と
出荷時電源電圧の差
（精度の定義は次ページを参照してください。）
索
引
●他社圧力センサの例
他社仕様
精　度：
温度特性：
±0.5%
±0.05% of span /℃
電源電圧変動特性：±0.02% of span /V
2
2
2
｛±0.05×（60－25）｝＋｛±0.02×（24－12）｝＝1.84%
他社総合精度＝ （±0.5）＋
精度
42
温度特性
電源電圧変動特性
使用時周囲温度と
出荷時温度の差
使用時電源電圧と
出荷時電源電圧の差
セレクションガイ ド
■ 精　度
個別仕様書
JIS規格での確度と同意語であり，規定された状態において動作する機器の誤差の限界値を示します。
当社の小形圧力センサでは，精度＝最大誤差を表示しており，リニアリティ（直線性）
，ヒステリシス，再現性
を含んだ表示です。
2
2
2
当社の精度＝ （リニアリティ）
＋
（再現性）
＋
（ヒステリシス）
特注仕様のご案内
メーカによっては，リニアリティ（直線性）のみの表示や，理想値を示している場合もあり，ヒステリシス誤差
や再現性誤差が加わる実際の動作では，表示性能と実際の性能が一致しない場合がありますので，よくご確認
されることをお勧めいたします。
また，ヒステリシスや再現性の定義においても，誤解を招く表現も見受けられますので，十分ご注意ください。
圧力減少曲線
Q&A
出力
ヒステリシス
（HYSTERESIS）
再現性
（REPEATABILITY）
圧力増加曲線
テクニカルシート
精度（複合誤差：
COMBINED ERROR）
基準直線（REFERENCE LINE）
50％
100％（FS）
圧力
アプリケーションシート
■リニアリティ（直線性）
理想直線
（LINEARITY BEST STRAIGHT LINE）
メンテナンス／
サービス・保証
出力
出力曲線を一次近似した直線を，理想直線と言いま
す。
理想直線から出力曲線，または理想曲線から基準直
線までの最大誤差を，リニアリティ誤差と言います。
出力曲線
基準直線
この他に，ターミナルベース法，ゼロベース法など
のリニアリティ定義もあります。
リニアリティ誤差
リニアリティ誤差
ゼロベース法
0％出力と100％出力とを
結ぶ直線
0％
50％
100％（FS）
100％（FS）
引
ターミナルベース法
圧力
索
50％
リニアリティ誤差
0％出力を一致させ
出力との偏差が最小となる直線
0％
50％
100％（FS）
43
セレクションガイド
■ヒステリシス
個別仕様書
圧力センサの場合，同じ入力を与えても入力の上昇時の出力値と，入力の下降時の出力値が異なります。この
圧力上昇時の出力と圧力下降時の出力の差がヒステリシス誤差です。半導体圧力センサの特徴の一つとして，
このヒステリシス誤差が非常に小さいという点があります。
正常な圧力センサは，圧力が0の状態の出力と，圧力を入力してから圧力が0に戻ったときの出力が同じになり，
特注仕様のご案内
図1のように出力値の軌道がル－プ状に閉じます。
しかし，メーカによっては図 2 のようにループが閉じずに 0％に戻らない誤差をヒステリシスと呼んでいる場
合があります。ループが閉じていれば，その入力範囲内で上昇，下降を繰り返しても，誤差はループ内ですが，
ループが閉じていない場合，もう一度上昇，下降を行うと，図 2 点線軌道のように誤差がどんどん大きくなり
ますのでご注意ください。
入力の下降
出力
出力
Q&A
入力の上昇
テクニカルシート
0
ループが閉じる
入力
入力
ループが閉じない
図1
図2
圧力の出力値がル－プ状に閉じた状態で，同じ入力を与えたときの入力上昇時の出力と，入力下降時の出力の
差の最大値がヒステリシスです。
出力
アプリケーションシート
ヒステリシス
0
入力
図3
メンテナンス／
サービス・保証
■再現性
同一の圧力センサを，同一方法同一環境で，時間を置いて測定した場合の差異を示します。当社の圧力センサ
は再現性が非常に優れているのが特徴です。
出力
索
引
再現性
実測下降
校正曲線
再現性
実測上昇
校正曲線
入力
44
セレクションガイ ド
■温度特性
個別仕様書
周囲温度の変化に対する影響を温度特性として示します。
＜ゼロ点温度特性＞
基準温度から任意の温度に変化した時の入力0%の出力の偏差を，1℃当たりに換算した表示です。±XX％/℃
と表します。当社の温度特性は，スパンの±XX%/℃（±XX% of span /℃）で表わします。温度による誤差は出
特注仕様のご案内
荷時の温度（25℃±5℃）を基準に計算します。
＜スパン温度特性＞
基準温度から任意の温度に変化した時のスパン
（入力100%の出力から入力0%の出力を引いた値）
の偏差を，1℃
当たりに換算した表示です。
Q&A
ΔSpan
出力
0％
入力
テクニカルシート
ΔZero
100％
アプリケーションシート
■電源電圧変動特性の影響
電源電圧が変化した際の出力変動を1Vあたりに換算した値を示します。
±XX％/Vと表わします。当社の電源電圧変動特性は，スパンの±XX%/V
（±XX% of span /V）
と表わします。
当社の小形圧力センサは電源安定化回路を内蔵しており，電源電圧変動特性の影響は非常に小さくなっております。
メンテナンス／
サービス・保証
■時定数
時定数は，応答の速さを表わす場合に使い，ステップ入力に対する出力応答
（ステップ応答）
を言います。
索
引
k
このステップ応答は，下記指数関数で表わされます。
t
y
ステップ入力
時　間
k ＝目標値（出力）
t ＝時間
e ＝自然対数＝2.71828
100%
63%
時間（t）
T
－－
T
y＝k（1－e　）
T＝時定数
t＝T とするとステップ応答は
－1
y＝k（1－e　）
＝0.632k
ステップ応答
45
セレクションガイド
■対象製品：FPシリーズ
半導体圧力センサの原理
■拡散形半導体圧力センサ
個別仕様書
単結晶シリコン基板上に拡散ピエゾ抵抗体を形成します。
シリコン基板はダイアフラムになっており，圧力が加わるとダイアフラムが変形します。ダイアフラム変形で
発生した表面応力によるピエゾ抵抗体の抵抗値変化を検出して出力します。
特注仕様のご案内
半導体ピエゾ抵抗ゲージ
ダイアフラム
ピエゾ抵抗ゲージ
シリコン基板
SUPPLY
ガラス台座
Q&A
陽極接合
OUTPUT
半導体圧力センサの構造
テクニカルシート
センサ原理
アプリケーションシート
半導体圧力センサは，ガラス台座に陽極接合されています。陽極接合は，接着剤や銀ろう付け等のようにヒス
テリシスの原因となるものを介在させずに，直接ガラスに含まれるNaイオンを介して原子レベルで結合します。
良質の脆性材である単結晶シリコンとガラスを陽極接合することによって，極めてヒステリシスおよび再現性
誤差の少ないセンサの構造が実現できます。
メンテナンス／
サービス・保証
■対象製品：エキレスシリーズ
接液部の高耐食高張力合金基板に薄板部を作り、ダイ
歪ゲージ（直接形成）
索
引
アフラムとして接液面の裏面に、分子レベルで直接歪
ゲージを形成します。
汎用の無封液圧力センサでは、接着剤を用いて歪ゲー
ジを接着するものが多い中、直接分子レベルで強固に
歪ゲージを形成することにより、長期的に出力を安定
ダイアフラム
高耐食高張力合金
させます。
歪ゲージからの電気信号は、抵抗値変化となり半導体
式圧力センサと同様にブリッジ回路にて検出され、増
幅回路やV/I変換回路によって、二線式4-20mAの統一
信号で出力します。
封液形の圧力センサとは異なり、接液面からセンサ素
子の間に一切の封入液が無いので、万が一のセンサ故
障の場合も、封入液が漏出することがありません。
46
■シリコンレゾナント（単結晶シリコン振動式）圧力センサ
個別仕様書
当社が最新の半導体マイクロマシニング技術を駆使して，超高精度，長期安定性を目的に開発した，高性能の
圧力センサです。特徴は
● 圧力感度が高く，高分解能である。
● 温度安定性が極めて良い。
特注仕様のご案内
● 単結晶シリコンの振動周波数は，弾性係数などの半永久的に変化しない機械的特性のみに依存するので，経
年変化がほとんどない。
● センサにかかる圧力を直接周波数に変換して出力するので，ディジタル処理に適しインテリジェント化し易
い。
磁界
振動端子
セレクションガイ ド
■対象製品：MUシリーズ（当社差圧圧力伝送器 EJAシリーズ，EJXシリーズ，デジタルマノメータMT210シリーズ）
Q&A
シェル
検出端子
真空室
ダイアフラム
テクニカルシート
振動子
圧力
起電力
i
磁界
H
e
周波数出力
振動子の断面図
メンテナンス／
サービス・保証
振動子励振原理
アプリケーションシート
励振電流
シリコン振動式圧力センサの構造
単結晶シリコン基板上に，やはり単結晶シリコンのミクロンサイズのH形の梁を，半導体マイクロマシニング
技術で真空のシェルの内部に形成します（右上の断面参照）
。シリコン基板は，左上の図のように中央部が薄板
のダイアフラム構造になっています。（前述の拡散形半導体圧力センサと同様）。このシリコンダイアフラムに
索
圧力がかかると，表面に応力が発生し梁の張力が変化し固有振動数が変化します。
（ギターの弦の張力を変え
ると音色が変わるのと同じ原理です。）
励振原理は永久磁石を振動子の近傍に配置して，振動子の梁と直行する方向に磁界を作り，上図のようにH形
引
梁の一方に励振電流を与えて電磁力にて励振し，H形梁のもう一方の誘導起電力の周波数を検出します。励振
電流は，駆動回路によってH形梁が固有振動数で振動するように制御されており，梁の機械的特性（梁の形状お
よび機械的物性値）の変化，すなわち張力の変化のみが検出されます。
（梁の形状や縦弾性係数などの機械的物
性値は半永久的に変化しないため）
47
セレクションガイド
半導体圧力センサの構造
■FP101，FP101A，FP201，FP201A 高精度圧力センサシリーズ
個別仕様書
名　称
特注仕様のご案内
ニップル（SUS316）
⑤
センサチップ
（単結晶シリコン）
②
O リング（フッ素系）
⑥
ガラス台座
③
シールダイアフラム（ハステロイC） ⑦
アンプ
④
封入オイル（シリコーンオイル）
ケース（耐食アルミ）
①
①
② ③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
名　称
⑧
接液部は耐腐食ステンレスのSUS316，シールダイアフラムはさらに耐食性の高いハステロイCを用い，セン
サダイアフラム（シリコン）を流体腐食から守る，二重ダイアフラム構造です。
（注）
Q&A
注）強酸，強アルカリ，有機溶剤の一部に使用できない流体があります。事前にご確認ください。
テクニカルシート
■FP102，FP103，FP202，FP203 端子箱シリーズ
アプリケーションシート
名　称
①
メンテナンス／
サービス・保証
②
③ ④
名　称
①
ニップル
（SUS316）
②
シールダイアフラム
（ハステロイC） ④
③
⑤
⑤
端子台
ケース
（耐食アルミ）
タグNo.シール
（ご指定）
センサ部の構造は，上記のFP101，FP101A，FP201，FP201Aと同様です。
（二重ダイアフラム構造です。
）
■FP211/HT，FP112/HT，FP113/HT，FP212/HT，FP213/HT
索
引
名　称
①②
48
④ ⑤
①
③
⑥
④
⑤
①
シールダイアフラム
（SUS316L）
②
フェルール
（SUS316）
③
フェルール
（SUS316）
④
センサチップ
⑤
アンプ
⑥
放熱フィン
セレクションガイ ド
■FP211，FP211A，FP112，FP113，FP212，FP213 サニタリシリーズ
単位：mm
φd
個別仕様書
φd
特注仕様のご案内
取付部形状
φd
ISO51（IDF2S）クランプ
64
ISO38（IDF1.5S）クランプ
50.5
Q&A
内部の構造は，FPシリーズと同様です。
FP211，FP211Aはステンレスケースとなります。
■エキレスシリーズVJP261，JP262，JP263
⑤
⑥
③
①
テクニカルシート
④
名　称
センサチップチタン合金（JIS60 種） ④
放熱フィン
（SUS304）
②
ヘッド部：純チタン
（JIS2 種） ⑤
ケース
（耐食アルミ）
③
防湿材料
（フッ素系）
端子台
⑥
メンテナンス／
サービス・保証
②
アプリケーションシート
名　称
①
■MU101 高精度圧力センサモジュール
（シリコンレゾナントセンサ）
索
引
名　称
①
②③
④⑤
⑥⑦
⑧
⑩
⑨
名　称
①
シールダイアフラム（ハステロイC） ⑥
センサチップ（シリコンレゾナント）
②
ゼロ調スイッチ
（ロータリー） ⑦
ガラス台座
③
封入オイル
（シリコーンオイル） ⑧
励振＆CPU　回路
④
永久磁石
⑨
RS-232-Cコネクタ
（D-Sub 9ピン）
⑤
内器ボディ
（SUS316）
⑩
電源コネクタ
49
セレクションガイド
回路ブロック図
■電圧出力タイプ
＋V
＋V
電源＋
電源＋
温度補償
温度補償
温度補償
温度補償
個別仕様書
定電圧回路
定電圧回路
基準電圧
基準電圧
スパンスパン
出力＋出力＋
1-5V 1-5V
特注仕様のご案内
センサ
センサ
ゼロ ゼロ
出力ー出力ー
接地
電源ー
電源ー
Q&A
筐体
■電流出力タイプ
＋V
定電圧回路
定電圧回路
基準電圧
基準電圧
温度補償
＋
4-20mA
4-20mA
ゼロ ゼロ
電源制御回路
アプリケーションシート
センサ
センサ
ー
メンテナンス／
サービス・保証
筐体
■高精度モジュール
EPROM
センサパラメータ
EPROM
設定パラメータ
索
温度センサ
・信号処理
・レンジ設定
・自己診断
・通信制御
インターフェース ドライバ
引
CPU
励振回路
レゾナントセンサ
f
外部ゼロ調節
圧力
50
＋
スパン
スパン
電流制御回路
温度補償
温度補償
温度補償
テクニカルシート
＋V
電源
6～24V
RS-232C
ー
接地
セレクションガイ ド
特性データ
これまでYOKOGAWAが自社開発し，工業計測器市場で培ってきた技術を惜しみなく投入し，高性能・高信頼
性を実現しています。
個別仕様書
特にMUシリーズは心臓部のセンサに，YOKOGAWAが世界で初めて開発し，工業計測器市場で高い評価をい
ただいておりますSiレゾナントセンサを採用。基準器としてお使いいただける高精度と高信頼性を実現すると
共に，これまでにない小形，軽量を実現いたしました。
特注仕様のご案内
■小形圧力センサ（FPシリーズ）
●リニアリティ（直線性）
たとえ素特性に優れているSi半導体センサでも，これを生かす各種の技術が無ければ，その優れた特性を最大
0.5
0.0
リニアリティ（FP）
50
Q&A
ノンリニア
（%）
限に生かすことはできません。YOKOGAWAはPAセンサの開発で培われた様々な要素技術を使用。また，構造
解析によって優れた入出力の直線性，再現性を実現しています。
100
テクニカルシート
-0.5
入力（%）
FP201（0～100kPa）
●温度特性
アプリケーションシート
メンテナンス／
サービス・保証
●電源電圧変動特性
全シリーズに電源安定化回路を内蔵し，広範囲の電源電圧に対応可能です。
索
引
51
セレクションガイド
●締め付けトルクの影響
受圧部をはじめ，センサ周辺部にアイソレート構造を採用することにより，締め付けによるゼロ点変動がほと
んどありません。（ニップルタイプ）
個別仕様書
特注仕様のご案内
●温度サイクル
高信頼性設計によって厳しい環境下でもバツグンの安定性を誇ります。
Q&A
テクニカルシート
●長期安定性
アプリケーションシート
メンテナンス／
サービス・保証
●圧力繰り返し入力
索
引
52
セレクションガイ ド
■高精度圧力センサモジュール（MUシリーズ）
センサツールとして理想的なシリコンレゾナントセンサとこれまでYOKOGAWAが培ってきた各種の技術を高
次元で熟成し，国内，国外で最高レベルの精度特性，温度安定性，長期安定性を実現しました。
ゼロ点温度特性
入出力特性
ゼロ変化量
（％）
0.01
0.00
-0.01
0
25
50
75
100
0.02
0.01
0
特注仕様のご案内
誤差
（％）
0.02
-0.02
個別仕様書
●精度特性，温度特性
-0.01
-0.02
0
10
20
30
40
50
温度（℃）
入力（％）
高精度と合わせて優れた信頼性も実現。小形，軽量とあいまって2次標準圧力計などへ応用する機器組み込み
用として，またその他のセンサ，コントローラと組み合わせた測定システム用とし使用可能な圧力センサモ
ジュールです。
Q&A
温度サイクル　1 サイクル：-20→23→70℃
0.02
テクニカルシート
ゼロ変化量（％）
●温度サイクル
0.01
0
-0.01
-0.02
1
2
3
4
5
サイクル数
6
7
8
9
アプリケーションシート
圧力のトレーサビリティ
メンテナンス／
サービス・保証
圧力のトレーサビリティの体系を下図に示します。
圧力の国家標準は，独立行政法人産業技術総合研究所であり，照合用標準器は，国家標準に対して定期的に校
正されています。
照合用標準器には，空気式重錘形圧力計を用いています。重錘形圧力計の圧力値は，ピストンの有効断面積と
重錘の質量を精密に測定し，使用場所の重力加速度，温度，浮力，気体密度の補正を行って算出しています。
圧力センサは空気式重錘形圧力計で校正された作業用計測器により値付けされています。
索
照合用標準器
重錘形圧力計
引
国家標準
産業技術総合研究所
国家標準
国土地理院
基準分銅
重力加速度
校正用標準器
作業用計測器
製品・圧力測定器
校正体系図
53
セレクションガイド
圧力センサ接液材質の選定基準
１．はじめに
個別仕様書
圧力センサの接液材質は測定流体の種類、条件によってもっとも適したものを選定する必要があります。
ここに記載した内容は、そうした接液材料の選定時の参考資料として作成したものですが、時として測定流体
中の不純物による変質、温度、流体の濃縮、付着などによる主成分の性質変化などが起こる場合があります。
この場合は典型的なデータより腐食速度が早まることもあります。
特注仕様のご案内
また、耐食性を重視すると、より高価な材質を選定することにもなります。
実際の接液材質の選定においては、ここでのデータは目安として頂き、測定流体条件や対策費用と効果を十分
に検討したうえで、最適な材質を選定してください。
２．圧力センサに求められる耐食性
Q&A
圧力センサに求められる耐食性
圧力センサは次の様な耐食性を考える必要があります。
１）周囲環境に対する耐食性
２）測定流体に対する耐食性
テクニカルシート
圧力センサに生じる腐食の形態
圧力センサに生じる腐食を分類すると次のような腐食形態に分類され、それぞれに注意が必要です。
アプリケーションシート
化学的腐食
＊全面腐食……ダイアフラム材料の選定基準を次に示します。
＊局部腐食……孔食（異物の付着などによる局部腐食発生）
隙間腐食（小さいすき間の中は腐食しやすい）
等があります。
電気化学的腐食
電気化学的腐食は金属間での電位差により発生します。異種金属の組み合わせでは注意が必要です。
メンテナンス／
サービス・保証
３．接液材質選定表
記号
記号の内容
索
引

推奨材料、濃度、温度欄に示した範囲で使用可能
△
使用条件に制限あり、あるいは使用期間が短い可能性あり
×
使用不可
－
データなし
孔食を起こす恐れがある
C
NaCl2
40
120
×
×
×


×
×
×



亜硫酸
亜硝酸ナトリウム
NaNO2
40
120
×
×
×



×




亜硫酸ガス（ドライ）
(CH3･CHO)
100 120






×
△



亜硫酸ガス（湿ガス）
アセトン
(CH3･CO･CH3)
100 100









△

亜硫酸ナトリウム
アニリン
(C6H5･NH3)
100 120



×

(25℃)
△
×
(25℃)
△
△
△

安息香酸
100 100
×
×
×

×
×
×
×
△
△
△
アンモニアガス（無水）
54
100 100
×
×
×

－
－
×
－
－
－
H2SO3
10
100
△
△


(70℃)
△
×
×
×

△

SO2
－
100
×
×
×

－
－
×

－
△
－
－
アミドスルホン酸
亜塩素酸ナトリウム
亜ヒ酸
FEP CTFE PFA
C
ア
アセトアルデヒド
SUS
304L
ニッケル
濃度 温度 SUS SUS
（％）（℃） 316L 316
モネル
化学式
チタン
流体名
タンタル
FEP CTFE PFA
ハステロイ
SUS
304L
ニッケル
モネル
チタン
濃度 温度 SUS SUS
（％）（℃） 316L 316
タンタル
化学式
ハステロイ
流体名
－
SO2
－
20
△
×


－
－
×
－
－
△
Na2SO3
30
120
△
△


(70℃)
△
×
×
×



(C6H5COOH)
70
100
△
△



×
×
×

△

100 250

△


×
×
△

△
△
△
NH3
イ
飲料水
サ
H2O
－
100











酢酸
ZnCl2
70
120
×
×
(60℃)
△

×
×
×

△
△
酢酸鉛
△
(30℃)
△
×
×

△
－
酢酸ナトリウム
×
×

30
100
×
×



×
×
×



50
120
×
×
×


×
×
×

－

40
120
×
×
×





シ
60
120
×
×
×


×
×
×
－
×
－
次亜塩素酸
×
×


(60℃)
△

×




次亜塩素酸カルシウム
×
×
×

×
×
×
×



次亜塩素酸ナトリウム




×




NaClO
×
塩化アンモニウム
NH4Cl
Kel
塩化カルシウム
CaCl2
塩化第２水銀
HgCl2
塩化錫
SnCl2
100 120
80
塩化第二錫
SnCl4
100 120
塩化鉄
FeCl2
100 100
塩化第二鉄
FeCl3
30
100
塩化第一銅
CuCl
50
100
塩化第二銅
CuCl3
50
100
塩化ナトリウム
NaCl
30
120
塩化ニッケル
NiCl2
20
120
BaCl2
30
100
塩化マグネシウム
MgCl2
40
100
塩化リチウム
LiCl
塩酸
HCl
100 120
×
×
×

(25℃)
△
×
×
×
－
－
－
100 120






×


△

25
×
×
×

－
－
×




100 120
×
×


－
－
×
－



HClO
100 120
×
×
(25℃)
△

×
×
×
×

－

Ca(ClO)2
100 120
×
×

×
×
×
×

－

SbCl3
25
120
100 120
×
×
×
×


×
×
×

－






×
×



シアン化水素
HCN
100 100
△
－
×

－

×
×

－

×




シアン化銅
CuCN
10




－
×
×
×

－

×
×
×

×
×
×
×



シアン化ナトリウム
NaCN
100 120
×



×
×
△
－
－
－
×
×



×
×
(25℃)
△



臭化水素酸
HBrO
50
100
×
×
×

×
×
×
×
－
－
－
×
(25℃)
△



×
(70℃)
△

△

臭化ナトリウム
NaBr
100 120
×
×
×


×
×
×
－
－
－
×




×


△

しゅう酸
C2H2O4
100 120
×
×
×



×
×

－

×



×
×




重クロム酸カリウム
Ka2Cr2O7
60
120





×
×
×


－
×




×

△
－

重クロム酸ナトリウム
Na2Cr2O7
100
25
×
×
－

－
－
×
－
－
－
－
50
100
×
×
×
×
30
100
×
×
×

×
×
×
×



重炭酸アンモニウム
100
20
×
×
×

×
×
×
×



重炭酸カリウム
(NH4)HCO3
KHCO3
120
×
×
－


×
×
×
－
－
－
100 120

－



×
×
×

△

△
×
20
×
×
△

×

×




重炭酸ナトリウム
NaHCO3
30
120



×


×


－
20
×
×
×

×
－
－

－
－
－
重弗化アンモニウム
(NH4)HF2
50
25
×
×
×
×
×
×
×
×
－
－
－

△
－
－
×
－
×
－
重硫化ナトリウム
100 120
△
×



×
×
－
－
－
－

×
×
－
×
－
－
－
重硫酸カルシウム
100 100
×
×
×

－
×
×
×
－
－
－

×


△

重硫酸ソーダ
100 120
×
×
×


－
×
－
－
－
－
10
100


(35℃)
△


×

×



60
(50℃)
100 △
－
×


×
(50℃)
△
×



98
30


×

×
×

×

△
△
30
100
×
×
×
NaClO3
40
100
×
×
×
(25℃) (25℃)
△
△
×
(25℃)
△
NaHS
オ
－
100
×
×

×
×
×

△

硝酸
HNO3
カ
×
×
－

－
×
×
×

△

硝酸アルミニウム
Al(NO3)3
100 120
×
×
×
－

×
×
×
－
－
－
×
×
－

－
×
×
×

△

硝酸アンモニウム
NH4NO3
100 120

△
×

×
×
－
×
－
－
－
50
120
×
×
(25℃)

△
×
×
×
×



硝酸カリウム
KNO3
80
120
×
×
×


×
－
×

－

10
20
×
×

－
×
－
×
×
－

－
硝酸カルシウム
Ca(NO3)3
10
120
×
×
×


×
－
×
－
－
－
100
25
×
×
×
－
×
×
×
×
－
－
－
硝酸第２鉄
Fe(NO3)3
10
20
×
×
×

－
×
－
×
－
－
－
－
－

－
×
×
×
－
－
－
硝酸銅
CuNO3
50
100

△
×
(50℃)
△
－
×
－
×



×
×
×
－
－
－
硝酸ナトリウム
NaNO3
40
100
×




－
(25℃)


－

硝酸ニッケル
Ni(NO3)3
10
100
×
×
－

(25℃)
△
×
－
×
－
－
－
硝酸マグネシウム
Mg(NO3)
100 100
×
×
×
－
－
×
－
×

－


50
KMnO4
100 100 (50℃)
△
10
100

－
(50℃) (50℃) (50℃)
△
△
△
キ
80
100
×
×



×
×
×
△
△
△
×
ス
ク
50
120

△


×
×
×
×
－
－
－
水酸化アルミニウム
Al(OH)
100 100
×
×
－
－

×
×
×

－
100 120











水酸化アンモニウム
NH4OH
100 100





×
×
×

△

50
120
×
×
×


×
×
×



50
180
×
×
×

×

×

△
△
△
100 120
×
×
×


×
×
×
－
－
－
80
180
×
×
×
×
×

×

－
－
－
NaCrO4
80
120

－




△




水酸化カルシウム
50
100





×
×

－
－
－
C2H3ClO2
80
120
×
×

△
×
×
×
－
×
－
水酸化ナトリウム
40
100
(60℃)

△
△
×


×




×
×

－
－
×
－
－
－
－
70
100
×
×
×
×
×

×

－
－
－
50
100





×
×

△
△

10
100
×
×
×



×


△
△
100 100

－



×
×


△
△
80
100
×
×

－
－
－
×
×
－
－
－
50
クロム酸
クロム酸ナトリウム
クロル酢酸
クロロヒドレードアルミニウム
クロロ硫酸
クロロフォルム
水酸化カリウム
H2CrO4
100 100
HSO4Cl
×
×
100 120
×
×
×

×
×
×
×
△
×
△
80
×
×
×



×


×

50
（苛性ソーダ）
水酸化バリウム
水酸化マグネシウム
CHCl3
100 120
×
×
×
×


×


×

Na2SiO3
100 120

△




×


△
△
石炭酸（フェノール）
珪弗化亜鉛
ZnSiF4
100 120
×
×

－
－
×
×
×
－
－
－
タ
珪弗化水素酸
H2SiF4
35
100
－
－
下水
×
×
×
×
×
×
×
△
×
△
炭酸アンモニウム

△









炭酸カリウム
×
×
×


×
×
×
－
－
－
×
コ
五塩化アンチモン
Ca(OH)2
NaOH
Ba(OH)2
Mg(OH)2
セ
ケ
珪酸ナトリウム
KOH
炭酸カルシウム
100 100
炭酸水素アンモニウム
C4H4O
100




－
×
×
×

－

K2CO3
100 100
×
×




×


△

CaCO3
100 100
×
×
×


×
×
×

－

×



×
×
×
－
－
－
(NH4)2CO3
NH4HCO3
50
100
×
炭酸水素カリウム
KHCO3
30
100

－
×


×
×
×
－
－
－
炭酸ナトリウム
NaCO3
100 100
×
×




×

－

－
55
引
C4H4O7
C3H8O3
索
クエン酸
グリセリン
メンテナンス／
サービス・保証
120
100 120
HClO4
アプリケーションシート
－
－
Ca(ClO3)2
HCOOH
×
×
×
塩素酸カルシウム
K2S2O8
×
×

塩素酸ナトリウム
(NH4)2S2O8
×
×

△
ギ酸

－

×
過硫酸カリウム

－

×
過硫酸アンモニウム

－

60
過マンガン酸カリウム
×
×
×
(100)
H2O2
×
×

Cl2
過酸化水素


×
塩素ガス（Wet）
過塩素酸


×
×
×
Cl2
王水


テクニカルシート
塩素ガス（ドライ）
100 100
×


Q&A
塩化バリウム
×
×
△
－
10
三塩化アンチモン
×


特注仕様のご案内
120
AlCl3
塩化カリウム
Pb(CH3COO)2
(30℃)
△
塩化アルミニウム
120
120
個別仕様書

50
98
CH3COOH
エ
塩化亜鉛
FEP CTFE PFA
C
セレクションガイ ド
C
SUS
304L
ニッケル
濃度 温度 SUS SUS
（％）（℃） 316L 316
モネル
化学式
チタン
流体名
タンタル
FEP CTFE PFA
ハステロイ
SUS
304L
ニッケル
モネル
チタン
濃度 温度 SUS SUS
（％）（℃） 316L 316
タンタル
化学式
ハステロイ
流体名
C
炭酸バリウム
BaCO3
100 100
×
×
－


×
×
×



MgCO3
10
×
×
×
－
×
×
×
×

－

チ
チオ硫酸ナトリウム
個別仕様書
NaS2O3
100 100
C2HCl3
100 100

△


－
×




×
×




×

ト
トリクロルエチレン
×
×
×
×
リ
×
×
－

－
×
×
×
－
－
硫化水素（湿）
H 2S
－
25
×
×
(25℃)
△



×
×



硫化第２鉄
Fe2S
100
75
×
×

－
－
×
×
×
－
－
－
硫化銅
CuS
100 100
－
硫化アンモニウム
硫化ナトリウム
(NH4)2S
100 220
ニクロム酸カリウム
100 100
特注仕様のご案内
二酸化硫黄
SO2
×
×
×
×
△
×
×
－

－
×
×
100 250
×
×
－

－
×
50
×
×
－

－
×
×
×
×
乳酸
CH3CH(OH)COOH
100 150
尿素（アンモニアなし）
CH4N2O
100 100
×
×
×
Na2S7O3
100 100

×
×
－
－

×
×
×

△

50
120
×
×


－
×
×
×

△

100
25
△
－



×
×

－
－
－
54
以下
35
×
×


×
－
×
×



×



30
100
×
×
(50℃)
△

×
×
×
×



×



70
100
×
×
×

×
×
×
×



100
60
△
－
△

×
×
×
×



90
120
×
×

×
×
×


△
50
120

△



×
×
×



100 120
×
×


－
×
×
×
－
－
－
100 100
×
×
×

△
△
×
×
－
－
－
20
100
△
×
△


×
×
×
－

－

－
×
×
×

△
△

×
×
×

－
△
×
×

－


－


×
－
－
△
－
－


(75℃)
△
△
×

×
120
－
×
－
×
10

×
硫化バリウム
硫酸亜鉛
BaS
H2SO4
ZnSO4
ハ
ハイポ
－
×
硫酸
100
100 120
Na2S
ニ
二塩化エタン
FEP CTFE PFA
C
炭酸マグネシウム
100
SUS
304L
ニッケル
濃度 温度 SUS SUS
（％）（℃） 316L 316
モネル
化学式
チタン
流体名
タンタル
FEP CTFE PFA
ハステロイ
SUS
304L
ニッケル
モネル
チタン
濃度 温度 SUS SUS
（％）（℃） 316L 316
タンタル
化学式
ハステロイ
セレクションガイド
流体名
×


硫酸アルミニウム
Al2(SO4)3
硫酸アルミニウムカリウム
KAl(SO4)2

ヒ
×
×
ヒ酸
100 100
×
×
×

×
×
×
×

－

ヒドロ亜硫化ナトリウム
100 100
×
×
－

－
×
×
×
－
－
－
100 120
－
×
－

－
×
×
×
－
－
－
100 120
×
×
－


×
×
×
－
－
－
硫酸カリウム
K2SO4
100 100

△




×
×

△

100 100
×
×
－

－
×
×
×
－
－
－
硫酸カルシウム
CaSO4
10
120


－

(50℃)
△
×
×
×
－
－
－
硫酸 クロム
CrSO4
100 100
×
×
×
－
－
×
×
×



100 100
×
×
－

×
×
×
×
－

－
30
×
×


－
×
×
×
－

－
硫酸アンモニウム
Q&A
ヒドロオキシ酢酸
C2H4O3
氷酢酸
フ
テクニカルシート
フェノール（石炭酸）
10
100
×
×


×

×
×

△

硫酸第１鉄
FeSO4
80
100
×
×


(25℃)
△
×
×
×

△

硫酸第２鉄
Fe(SO4)3
硫酸第２銅
CuSO4
100 280
×
×


(25℃)
△
×
×

△
△
△
フェリシアン化カリウム（赤血塩）
K4[Fe(CN)4]
30
25
×
×
×

－
×
×
×
－
－
－
フェロシアン化カリウム（黄血塩）
K4[Fe(CN)6]
100 120
×
×
－


×
×
×
－
－
アプリケーションシート
×
×


×
×
×
×
－

－
10
120

△
△

－
×
×
×



－
100 100

－
(75℃)
△

－
－
×
×
－
－
－
10
25
×
×
×

×
×
×
×



100 100
×
×
×
－
×
×
×
×



10
100
×
×
－

－
×
×
×



40
120

△

－


×




100 100
△
－
△

－

×




弗化アルミニウム
AlF3
20
100
×
×
×
×
×
×
×
×

－

弗化アンモニウム
NH4F
100 100
×
×
×
×
×
×
×
×
△
－
△
弗化クロム
CrFx3
100 120
×
×
－
－
－
×
×
×
－
－
－
弗化ほう素酸
HBF4
20
25

－
－
×
×

×

－
－
－
HF
20
25
×
×
×
×
×
×
×
×



弗化銅
CuBF
100 100
×
×
×
×
×
×
×
×

－

弗化ナトリウム
NaBF
100 100
×
×
×
×
×
×
×
×
－
－
－
NiSO4
硫酸バリウム
BaSO4
燐酸
HBSiF6
20
25
フルオロ硫酸
HBSO4F
30
25
×
－
メンテナンス／
サービス・保証
ベンゼン
MgSO4
80
150
×
×


×
×
×
×



100
20
×
×


×
×
×
×



H3PO4
×
×
×
×
×
×
×
－
－
－
燐酸アンモニウム
(NH4)3PO4
100 100




×
×
×
×

△

－
－
－
－
－
－
－
－
－
△
燐酸ナトリウム
Na2HPO4
100 100




×
×
×
×



ヘ
ベンゼンスルホン酸
Na2SO4
硫酸ニッケル
硫酸マグネシウム
フルオロ珪酸
50
100 120
硫酸ナトリウム
フッ酸
(NH4)2SO4
その他
C6H6
100 100
×
×



×
×
×

×

原油
－




×




C6H6SO3
100 120
×
×
×

－
×
×
×

－

ガソリン
△
△




×




LPG（液化石油ガス）
△
△




×




×



×
×
×

△

石炭ガス
△
－




×




ホ
△
ほう酸
B2O3
80
120
ほう砂
Na2B4O5(OH)4･3H2O
50
100




×

×

－
－
－
コークス炉ガス
△
－




×




20
120


×



×

－
×
－
タール
△
－




×




100 120

－
×


×
×
×
－
－
－
プロピレン
△
△




×




△




×




ホルムアルデヒド
CH2O
×
ミ
索
みょうばん
ナフサ
引
10
120
×
×
(50℃)


×
×
×
×
－
－
－
蒸気

－




×




100
50
×
×
△

(25℃)
×
×
×
×
－
－
－
フィルム乳剤
×
×




×




石膏スラリー
△
－




×




100 120
×
×
×
－
－

×
－
－
－
－
海水
×




×




△




－




KAl(SO4)2･12H2O
メ
メタン酸ナトリウム
NaHCOx
モ
モノクロル酢酸
食用油
C2H3ClO2
100 210
×
×
(75℃)
△

×
×
×
×
－
－
－
ヨ
ヨウ素
56
I2
△
100 210
×
×


×
×
×
×
－
－
－
235
△
△
牛乳

－




－




ビール

－




－




アプリケーションシート
セレクションガイ ド
【取付け方法と注意点】
小形圧力センサシリーズは厳しい環境のもとにおいても動作するように設計されておりますが，安全に，精度
よく，長期にわたって使用いただくため下記の点にご注意ください。
個別仕様書
このような場所には取付けないでください。
DO NOT!
特注仕様のご案内
高温，
低温
（凍結）
の所
Q&A
腐食性ガスが噴出している所
爆発性ガスが噴出している所
テクニカルシート
直接雨のかかる所
（端子箱形以外）
水没する所
配線端末から水が侵入するおそれがある所
アプリケーションシート
振動，
衝撃の激しい所
メンテナンス／
サービス・保証
ノイズの激しい所
電磁弁の配線，
動力線，
センサ配線，
無線機
（トランシーバ，
携帯電話）
等
とは離れて設置してください。
索
動力ポンプ，
突出圧，
圧力変動の激しい所
引
落雷のおそれのある所
57
セレクションガイド
■正しい取付け方法
●小形圧力センサシリーズの取付け部
個別仕様書
管用テーパねじ
テーパねじ
特注仕様のご案内
シールテープ
R（PT）1/4
R（PT）3/8
R（PT）1/2
R（PT）1
Q&A
管用平行ねじ
（O リングシール方式）
トルク注意
サニタリクランプ
平行ねじ
テクニカルシート
O リング
G（PF）1/4
G（PF）3/8
G（PF）1/2
ガスケット
サニタリクランプ
アプリケーションシート
管用平行ねじ
（ガスケットシール方式）
ガスケット寸法
単位：mm
メンテナンス／
サービス・保証
G(PF)1/4
内：φ6.3　外：φ11.3
G(PF)3/8
内：φ6.3　外：φ14
ガスケット
UNF フレア
索
引
こんな取付け方はしないでください。
DO NOT!
ケース部分を持
ってねじこまな
いでください。
58
●小形圧力センサシリーズの取付け部
こんな取付け方はしないでください。
FP
規格
仕様性能は水平状態にて
ケース部分を持
ってねじこまな
いでください。
特注仕様のご案内
調整されています。
個別仕様書
DO NOT!
出荷時調整姿勢
セレクションガイ ド
■取付け姿勢
強すぎるトルク
の禁止
高圧液体測定時の注意
Q&A
測定媒体が液体の場合，特に
高圧測定を行う場合は取付ね
じ部分にエアー（気泡）を残さ
斜めに工具を当
てないでください。
テクニカルシート
ないようにしてください。例
えば，図のように下向きに取
付けるとエアー（気泡）が残り
にくくなります。
アプリケーションシート
メンテナンス／
サービス・保証
索
引
59
セレクションガイド
【圧力センサ配線方法と注意点】
■ ケーブル付2線式の結線方法
ケーブルの絶縁体
（ポリエチレン）の色別
赤　色：＋
（プラス）
黒　色：－
（マイナス）
個別仕様書
対象機種：FP201，FP201A，FP211，FP211A，JP261
以下の点にご注意ください。
特注仕様のご案内
Q&A
①必要に応じてケーブル端末処理をしてください。
②リード線に圧着端子を付ける場合は，リード線先端予備はんだ部を切断してください。
また，圧着端子の
「種類」
および
「呼び」
は，端子ねじとリード線径にあったものを選んでください。
③4芯ケーブルの赤・黒2芯を使用しておりますので，白・緑はカットして使用してください。
④必要に応じて，端子台をご用意ください。
⑤結線する際は，電源をOFFしてください。
⑥装置側がアースに落ちていない場合はシールド線を接地してください。〈図A-1参照〉装置側きょう体や測定流体がアースに落ちてい
る場合は，圧力センサのシールド線は切断して接続しないで下さい。〈図A-2参照〉シールド線の一方が圧力センサのボディに接続さ
れているため，2点アースとなってしまうためです。また，この場合信号線も絶縁するため，絶縁形ディストリビュータを使用するか，
アイソレータを使用することをおすすめします。図A-3にアイソレータによる一点アースの原理を示します。
⑦ 極性を確認し結線してください。
⑧ 受信計が電圧入力の場合，抵抗器の抵抗値は受信計の入力定格値に合わせたものをお選びください。
（結線図は，受信計の入力定格値が1〜5V DCの場合を示します。受信計の入力定格値が4〜20mAの場合は，抵抗器は不要です。）
テクニカルシート
発振器側と受信器側でそれぞれアースをとると，電位差により廻り込み電流がながれ測定誤差が生ずることがあります。
この対策として，下図のように信号ラインにアイソレータを挿入することにより信号が絶縁され測定誤差を防ぐと同時にシステムの
安定化がはかれます。
2 線式圧力センサと受信計の組み合わせ
＋ －
アプリケーションシート
4～20mADC
2 線式圧力センサと受信計の組み合わせ
受信計
（1～5VDC 入力形）
＋ －
スイッチ
250Ω抵抗器
赤
（＋）
黒
（－）
スイッチ
4～20mADC
（＋）
供給電源
（－）
端子台
受信計
（1～5VDC 入力形）
（＋）
供給電源
（－）
250Ω抵抗器
端子台
アース
赤（＋）
黒（－）
メンテナンス／
サービス・保証
装置側
圧力センサ
図 A-1　装置側が接地されていない場合
シールド線切断
装置側
圧力センサ
図 A-2　装置側が接地されている場合
廻り込みによるトラブル防止対策
索
フィールド
計器室
引
発信器
受信器
E1
E1 と E2 との電位差
により電流が流れる
アイソレータ
フィールド
（横河製 MH1，VJH1 など）
計器室
●●●●
●●●
発信器
E1
受信器
E2
アイソレータを挿入することにより
アースに流れる電流を防ぎ問題を解決
図 A-3
60
E2
セレクションガイ ド
■ケーブル付4線式の結線方法
ケーブルの絶縁体
（ポリエチレン）の色別
赤　色：供給電源＋（プラス）
黒　色：供給電源－（マイナス）
白　色：出力信号＋（プラス）
緑　色：出力信号－（マイナス）
以下の点にご注意ください。
受信計
（1～5VDC 入力形）
端子台
圧力センサ
（＋）供給電源
（－）12～30VDC
赤 黒シールド線切断
9
2
10 11 8
OUT-2
POWER
SUPPLY
出力信号(＋)
出力信号(－)
供給電源(＋)
供給電源(－)
24V DC
装置側
5
OUT-1
＋
－
シ－ルド線切断
電源
FPSU-12
アプリケーションシート
白緑
1
3
1～5V
スイッチ
＋ － ＋－
アイソレータ
VJH1
VJH7 7
装置側
テクニカルシート
＋－
Q&A
4 線式圧力センサと電源およびアイソレータの組み合わせ
4 線式圧力センサと
受信計の組み合わせ
L N
POWER
SUPPLY
圧力センサ
メンテナンス／
サービス・保証
図 B　装置側が接地されている場合
4 線式圧力センサとアイソレータの組み合わせ
4 線式圧力センサと
受信計の組み合わせ
受信計
（1～5VDC 入力形）
圧力センサ
端子台
（＋）
供給電源
（－）
12～30VDC
＋－＋－
白 緑
1～5V
1
3
9
2
10 11 8
赤黒
アース
シールド線
装置側
圧力センサ
アース
シールド線
OUT-1
OUT-2
POWER
SUPPLY
出力信号(＋)
出力信号(－)
供給電源(＋)
供給電源(－)
装置側
5
引
アイソレータ
VJH1
VJH7 7
スイッチ
索
＋－
特注仕様のご案内
① 必要に応じてケーブル端末処理をしてください。
② リード線に圧着端子を付ける場合は，リード線先端予備はんだ部を切断してください。
また，圧着端子の
「種類」
および
「呼び」
は，端子ねじとリード線径にあったものを選んでください。
③ 必要に応じて端子台をご用意ください。
④ 結線する際は，電源をOFFしてください。
⑤ シールド線が圧力センサのボディに落ちているため，装置側がアースに落ちている場合は，圧力センサのシールド線（アース用リー
ド線）
は切断してください。＜図B参照＞
装置側がアースに落ちていない場合は，圧力センサのシールド線（アース用リード線）を接地してください。＜図C参照＞
⑥ 極性を確認し結線してください。
⑦ /V1 0〜5VDC出力タイプは，電源
（−）
と出力信号
（−）を短絡させないでください。同電位ではありません。1〜5VDC出力タイプは，
電源
（−）
と出力信号
（−）
が内部で接続されています。
個別仕様書
対象機種：FP101，FP101A
24V DC
＋
－
電源
FPSU-12
L N
POWER
SUPPLY
図 C　装置側が接地されていない場合
61
セレクションガイド
■ 端子箱圧力センサの結線方法
対象機種：FP102，FP103，FP112，FP113
個別仕様書
端子の配列
SUPPLY ＋：供給電源＋（プラス）
SUPPLY ー：供給電源－（マイナス）
OUT
＋：出力信号＋（プラス）
OUT
ー：出力信号－（マイナス）
アース（ケース）
以下の点にご注意ください。
特注仕様のご案内
①端子箱内部の端子板に結線してから使用してください。
②必要に応じて，端子台をご用意ください。
③結線する際は，電源をOFFしてください。
④内部端子台アース端子が圧力センサのボディに落ちているため，装置側がアースに落ちている場合は，圧力センサのシールド線（アー
ス用リード線）
は切断してください。＜図B参照＞
装置側がアースに落ちていない場合は，圧力センサのシールド線（アース用リード線）を接地してください。＜図C参照＞
⑤極性を確認し結線してください。
⑥配線口は，ケーブルグランド等を用いて確実に防水処理を行ってください。
対象機種：FP202，FP203，FP212，FP213，JP262，JP263
Q&A
端子の配列
SUPPLY ＋：供給電源＋（プラス）
SUPPLY ー：供給電源－（マイナス）
以下の点にご注意ください。
テクニカルシート
①端子箱内部の端子板に結線してから使用してください。
②必要に応じて，端子台をご用意ください。
③結線する際は，電源をOFFしてください。
④内部端子台アース端子が圧力センサのボディに落ちているため，装置側がアースに落ちている場合は，圧力センサのシールド線（アー
ス用リード線）
は切断してください。＜図D参照＞
装置側がアースに落ちていない場合は，圧力センサのシールド線（アース用リード線）を接地してください。＜図E参照＞
⑤極性を確認し結線してください。
⑥配線口は，ケーブルグランド等を用いて確実に防水処理を行ってください。
アプリケーションシート
2 線式圧力センサと受信計の組み合わせ
2 線式圧力センサとディストリビュータの組み合わせ
装置側
受信計
（1～5V DC 入力形）
スイッチ
（＋）供給電源
（－）
端子台
メンテナンス／
サービス・保証
250Ω抵抗器
（受信計が電流入力の
ときは必要ありません。）
シールド線切断
ディストリビュータ
赤 (＋)
圧力センサ
黒 (－)
1
3
2
10 11 8
シールド線切断
装置側
VJA1
VJA7 7
JA12 9
5
OUT-1
OUT-2
アース
POWER SUPPLY
防水グランド
図 D　装置側が接地されている場合
索
2 線式圧力センサと受信計の組み合わせ
引
＋ －
4～20mADC
受信計
（1～5VDC 入力形）
2 線式圧力センサとディストリビュータの組み合わせ
装置側
スイッチ
（＋）
供給電源
（－）
250Ω抵抗器
端子台
アース
ディストリビュータ
赤（＋）
黒（－）
赤 (＋)
圧力センサ
黒 (－)
1
3
VJA1
VJA7 7
JA12 9
2
10 11 8
OUT-2
アース
POWER SUPPLY
装置側
防水グランド
図 E　装置側が接地されていない場合
62
5
OUT-1
セレクションガイ ド
■ 2線式圧力センサと避雷器の組み合わせ
対象機種：FP201，
FP201A，FP202，
FP203，FP212，
FP213，
FP211，
FP211A，
JP261，JP262，
JP263
以下の点にご注意ください。
装置側
計装盤
特注仕様のご案内
装置側がアース接地されている場合
個別仕様書
①圧力センサ側にも避雷器を設置してください。
シールドは圧力センサのボディに落ちています。装置側がアースに落ちている場合，圧力センサのシールド線（アース用リード線）は，
切断してください。避雷器には接続しないでください。＜図 F参照＞
装置側がアースに落ちていない場合，圧力センサのシールド線（アース用リード線）は，避雷器の接地端子に接続し，避雷器の接地
端子より近傍の接地幹線
（2次母線）
に接続します。＜図G参照＞
② 中継ケーブル
（CVVS）
シールドとディストリビュータの機器アースは，避雷器のアース端子で一括処理してください。
また，避雷器のアース端子は，計装盤のアース幹線またはアースバーに接続します。
③CVVSのケーブルシールドは，1点アースとするため，圧力センサ側では処理しないでください。
④計装盤内の避雷器とディストリビュータ側のシールドは，ディストリビュータの機器アースに接続してください。
中継ケーブル
避雷器
端子台
避雷器
ディストリビュータ
＋
＋
＋
－
－
－
Q&A
圧力センサ
テクニカルシート
シ－ルド線切断
アプリケーションシート
図F
装置側がアース接地されていない場合
装置側
計装盤
メンテナンス／
サービス・保証
中継ケーブル
圧力センサ
避雷器
端子台
避雷器
ディストリビュータ
＋
＋
＋
－
－
－
索
引
図G
63
封液タイプの圧力センサを真空領域下でご使用にな
る場合以下の注意が必要です。
100
大気圧
使用圧力
セレクションガイド
【真空領域での使用可能範囲】
1）使用可能な圧力範囲と温度の関係は右図に従って
ください。
個別仕様書
kPa abs
10
2）1）の範囲におきましても急激な真空引や加圧の繰
り返しは避けてください。
使用可能範囲
2.7
特注仕様のご案内
※FPシリーズのT，S，R，Vレンジは正圧でのみご使用ください。
※FP高温プロセス対応形サニタリ圧力センサ
（/HT）
は，13Pa absまで使
用可能です。（接液温度範囲：−10〜180℃）
※FP高温プロセス対応形圧力センサ（/VT）は，ゲージ圧は2.7kPaまで，絶
対圧は130Pa absまで使用可能です。
（接液温度範囲：−10〜150℃または120℃）
※MU絶対圧モデルは13Pa absまで使用可能です。
（温度範囲：0〜50℃）
※エキレスシリーズは真空領域の使用制限はありません。
1
-40
0
40
80
120
接液温度℃
【過大圧，サージ圧からの保護】
■サージ圧とは？
Q&A
下記のようなサージ圧が発生した場合，ピーク値は正常圧の5倍以上になることがあります。
B.
A.
圧力
圧力
テクニカルシート
ポンプ起動時の
突入圧
気泡混入流体等の
脈動圧
時間
時間
アプリケーションシート
■対　策
ダンパー（脈動圧緩和用継手）
メンテナンス／
サービス・保証
アブソーバ
絞り機構を挿入する。
アキュムレーター
索
※圧力センサ内に，空気を残さないよう，スポイト等で液体を充たして取付けてください。
※圧力センサ内の空気が逃げやすいよう，圧力センサの取付姿勢を，「ねじ部を天」の方向にしてください。（P.59 参照）
引
【高温流体の測定上の注意点】
高温流体を測定する場合，測定流体が80℃を超える
際にはサイホン管，タンクサイホン管等を介して受
圧してください。
※FP高温プロセス対応形サニタリ圧力センサ（/HT）は，高温流体を直
接受圧可能です。
ただし，150℃以上の高温スチームなどでは，ステンレスの腐食の
可能性がありますので，ご注意ください。
※FP高温プロセス対応形圧力センサ（/VT）は，高温流体を直接受圧可
能です。
64
サイホン管
タンクサイホン管
セレクションガイ ド
ダンパー，サイフォン，タンクサイフォン管の市販品商品例
旭計器工業株式会社製
本社 大阪市北区西天満 3 丁目 13-10
TEL：06-6362-7531
FAX：06-6361-1351
個別仕様書
■ダンパー
形　番
Model
最高使用圧力
BS 35MPa
L×M
SUS
21D-B22
21D-U22
G1/4×G1/4
23D-B22
23D-U22
G1/4×R1/4
21D-B33
21D-U33
G3/8×G3/8
23D-B33
23D-U33
G3/8×R3/8
21D-B44
21D-U44
G1/2×G1/2
23D-B44
23D-U44
G1/2×R1/2
－
21DH-U44
G1/2×G1/2
－
23DH-U44
G1/2×R1/2
f2
H
L×M
14
16
50
27×31.2
16
18
56
27×31.2
18
20
59
27×31.2
18
20
60
32×37
G d1
H
f1
f1
G d1
3
f2
f2
アプリケーションシート
φ5
R d2
G d2
■サイフォンパイプ
SUS
21S-S33
21S-U33
G3/8×G3/8
23S-S33
23S-U33
G3/8×R3/8
G d1
21S-S44
21S-U44
G1/2×G1/2
f1
23S-S44
23S-U44
G1/2×R1/2
f1
f2
H
L×M
16
18
236
24×28
18
20
238
24×28
引
f1
G d1
d1×d2
SS
索
L×M
形　番
Model
※サイフォンパイプは主に蒸気圧測定用として使用されます。使用時には圧力計を保護する意味
でサイフォンに水を注入してご使用ください。
この他に特別仕様として二重巻，フランジ付 L 形 1/2B パイプがあります。
75
SS は 1/2B パイプとなります。
H
φ
f2
3
f2
L×M
φ5
G d2
メンテナンス／
サービス・保証
単位：mm
製作仕様
最高使用圧力：20MPa
耐圧試験圧力：24MPa
使用流体温度：350℃以下
材　質：鉄　ステンレス
テクニカルシート
SUS
70～150MPa
BS
f1
Q&A
SUS 20MPa
d1×d2
特注仕様のご案内
単位：mm
製作仕様
材　質：黄銅
：ステンレス
R d2
65
単位：mm
特注仕様のご案内
LXM
形　番
Model
R d1
G d1
f1
d1×d2
圧力範囲
Range
21LB-U33
G3/8×G3/8
43LB-U33
R3/8×R3/8
10MPa
未満
21HB-U33
G3/8×G3/8
21HB-U33
R3/8×R3/8
21LB-U44
G1/2×G1/2
43LB-U44
R1/2×R1/2
21HB-U44
G1/2×G1/2
43HB-U44
R1/2×R1/2
SUS
f1
個別仕様書
製作仕様
LB
HB
最高使用圧力：10MPa 50MPa
耐圧試験圧力：12MPa 60MPa
タ ン ク 容 量：100c.c. 80c.c.
使用流体温度：350℃以下
材　質：ステンレス
D
H
60
142
10～50MPa
56
206
10MPa
未満
60
146
φD
f1
f2
26×30
16
18
56
210
29×34
18
20
Q&A
※タンクサイフォンは主に測定流体の置換用とし
て使用されます。取付けに先立ってタンクサイ
フォンの上部より置換液を注ぎ込みタンク内に
液が充満して下部孔より流出するまで注ぎ，次
にタンクサイフォンを測定端に取付け最後に圧
力計を取付けてください。
f2
f2
LXM
R d2
3
φ5
L×M
10～50MPa
H
セレクションガイド
■タンクサイフォン
テクニカルシート
G d2
冷却効果について
℃
140
℃
140
120
出口
メンテナンス／
サービス・保証
180°点
入口
120
室温17℃
100
出口
80
室温24℃
60
40
20
入口
入口
タンクサイフォン温度
サイフォンパイプ温度
アプリケーションシート
サイフォンパイプの冷却効果はパイプ径，内厚，長さ，室温湿度等の条件によって異なりますが，一例として蒸気圧測定の場合のサイフォ
ンの冷却効果を下図に示します。
180° 360° 出口
蒸気流通安定後
100
80
蒸気流通20分後
60
40
入口
中
出口
スチームパイプ
スチームパイプ
索
タンクサイフォンの冷却効果はサイフォンパイプより劣りますが蒸気測定の場合のタンクサイフォンの
冷却効果を一例として上図に示します。
引
0リングの購入先例
日興商工
（株）　〒114-0014　東京都北区田端1丁目30-17
66
TEL ：03-3828-3951
URL：http://www.nikko.gomu.gr.jp
Emai：[email protected]
セレクションガイ ド
【アプリケーション例】
●開放タンクのレベル測定
●ポンプ吐出圧測定と制御
●ダクト風量測定とフィルターつまり検知
●滅菌装置
アプリケーションシート
●クリーンルーム内圧制御
●鍾錘式圧力基準器の出力モニタ
メンテナンス／
サービス・保証
蒸気
PC
RS-232C
MU
滅菌装置
真空
供給圧
テクニカルシート
●冷凍機の冷媒ガス圧検出
Q&A
●パージ方式の液面測定
特注仕様のご案内
●水処理装置の圧力監視
個別仕様書
当社圧力センサの特長
①高精度
②温度特性
③耐真空
④耐食性ダイアフラム（ハステロイ C）
⑤接液部高温対応（連続 180℃）
これらの特長を活かしたアプリケーションをご紹介します。
出力圧
索
引
67
セレクションガイド
■小形圧力センサアプリケーション
個別仕様書
解決策
業　界：食品薬品製造
装 置 名：蒸気滅菌装置
用　途：蒸気圧制御，監視
適応機種：FP212/HT
テーマ
「食器，医療器具の滅菌を行う際，蒸気の温度と圧力を最適制御したい。」
「圧力センサと温調計で温度と圧力を飽和蒸気状態に制御する。」
YOKOGAWA採用のポイント
「精度，温度特性が良い。液体測定が可能。真空引に対応。」
特注仕様のご案内
ボイラー
UP55A
調節計
55000
制御弁
温度センサ
Q&A
圧力センサ
FP212/HT
インバータ
テクニカルシート
真空ポンプ
■小形圧力センサアプリケーション
アプリケーションシート
業　界：食品薬品製造
装 置 名：貯蔵タンク
用　途：液位制御，監視
適応機種：各種サニタリ
テーマ
「HACCP対応のため，ビール，乳製品，ジュース等の開放タンクの液位，液温，使用量等を
管理したい。
」
メンテナンス／
サービス・保証
解決策
「圧力センサと流量計，温度計で測定しコントローラで制御，監視する。」
YOKOGAWA採用のポイント
「精度，温度特性が良い。高温，真空に対応可能。」
製品
索
製品開放タンク
引
圧力センサ
LIA
FIQC
TI
測温抵抗体
電磁流量計
食品製品タンクでの計装例
68
テーマ
「レトルトパックの滅菌を行う際，熱膨張によるパックの破裂を防ぎたい。」
業　界：食品製造
装 置 名：レトルトパック用
蒸気滅菌装置
用　途：蒸気圧制御，監視
適応機種：FP101
個別仕様書
解決策
セレクションガイ ド
■小形圧力センサアプリケーション
「圧力センサでタンク内圧を，パック内圧より高く制御しながら，滅菌処理する。」
YOKOGAWA採用のポイント
「精度，温度特性が良い。液体測定が可能。」
特注仕様のご案内
ボイラー
UP55A
調節計
55000
制御弁
温度センサ
圧力センサ
FP101
Q&A
インバータ
テクニカルシート
真空ポンプ
■小形圧力センサアプリケーション
テーマ
「脱フロン形吸収式冷凍機の作動効率を上げたい。」
アプリケーションシート
業　界：冷凍機製造
装 置 名：吸収式冷凍機
用　途：冷媒ガス圧
制御，監視
適応機種：FP101A
解決策
メンテナンス／
サービス・保証
「圧力センサで冷媒ガス圧を監視をして，最適動作状態にする。」
YOKOGAWA採用のポイント
「精度，温度特性が良い。連続真空引きに対応可能。」
送風機
真空圧
真空圧
索
吸収液
圧力センサ
引
圧力センサ
蒸発器
蒸発器
循環ポンプ
受液器
冷風
膨張弁
真空ポンプ
冷凍機の装置概要
69
セレクションガイド
■小形圧力センサアプリケーション
業　界：食品薬品製造
装 置 名：密閉タンク
用　途：液位制御，監視
適応機種：FP212，FP213，JP263
テーマ
「HACCP対応のため，乳製品脱気槽等の真空引きする密閉タンクの液位や使用量等を管理し
個別仕様書
たい。
」
解決策
「圧力センサ2台とコントローラで差圧演算することにより，内圧が変動するタンクの液位制
御と監視を行う。
」
特注仕様のご案内
YOKOGAWA採用のポイント
「精度，温度特性が良い。高温，真空に対応可能。」
圧力センサ
Q&A
真空ポンプ
テクニカルシート
指示調節計
UT550
または，
JUXTA 演算器
■小形圧力センサアプリケーション
アプリケーションシート
業　界：ラジエター製造
装 置 名：リーク検査装置
用　途：内圧変化判定
適応機種：MU101
テーマ
「リーク試験工程に時間がかかり生産能力が低下するので，もっと短時間に判定したい。」
解決策
メンテナンス／
サービス・保証
「超高精度圧力センサで，内圧のトレンドを短時間に測定しリーク量を判定する。」
YOKOGAWA採用のポイント
「超高精度で微小リークを判定できる。プログラム調節計との組み合わせが可能。」
索
圧力センサ
引
加圧ポンプ
プログラム調節計
UP750
70
業　界：ビール／飲料
装 置 名：樽充填機、内洗機
用　途：内圧制御／監視
適用機種：エキレス（JP261）
テーマ
「ビール樽内洗機の繰返しスチーム洗浄があるラインで壊れない圧力センサが欲しい」
個別仕様書
解決策
セレクションガイ ド
■小形圧力センサアプリケーション
「無封液圧力センサ　エキレスTMシリーズのご採用」
YOKOGAWA採用のポイント
特注仕様のご案内
「エキレスTMシリーズは10万回以上のスチーム繰返しにも耐久性のあるセンサです。
しかも万が一のセンサの故障でも、封入液の漏出はありません。」
樽
エキレス
Q&A
排出
テーブル
テクニカルシート
ヘッド
（KEGノズル）
注入
（湯、苛性、
スチーム、炭酸ガス）
業　界：建設機械
装 置 名：シールドマシン
用　途：掘削方向傾斜制御
適応機種：MU101，FP201
テーマ
「シールドマシンの掘削傾斜を正確に制御したい。」
アプリケーションシート
■小形圧力センサアプリケーション
メンテナンス／
サービス・保証
解決策
「圧力センサで水位差を検出して，掘削傾斜を最適制御する。」
YOKOGAWA採用のポイント
「超高精度，高分解能で微小傾斜を検出可能」
索
圧力センサ
引
水柱
圧力センサ
水位差
71
メンテナンス
セレクションガイド
【メンテナンス】
本器は非常に良好な長期安定性を有しておりますが，長期にわたって精度よくご使用いただくためには，下記の
点にご注意ください。
記載以外のメンテナンスについてはお買い求め先，または最寄りの当社営業窓口にご連絡ください。
個別仕様書
■校　正
本器を校正する場合は，原則として必要な校正用機器を用意したメンテナンスルームで行ってください。
（1）
高精度に調整する場合は，圧力センサを設置している状態に近い電源電圧，リード線等の負荷抵抗にして調
特注仕様のご案内
整します。
（2） 下記のように配線，配管を行い5分以上ウォームアップしてください。
（3） サニタリタイプは入力調整治具用の「サニタリクランプ」
が必要です。
（4） 導圧配管にリークがないことを確認してください。
（5） 規定以上の圧力を印加しないでください。
（6） 測定レンジ内の圧力を加え，供給圧力値と出力値の誤差を計算し，精度を確認します。
注）
FP101，FP201は調整機能がありませんので，特性は確認のみです。
Q&A
・圧力発生器
・リジェクションバルブ
4～20mA タイプ
供給圧
テクニカルシート
被校正センサ
供給圧モニタ
・デジタル圧力計 MT110 シリーズ
・圧力モジュール MU100 シリーズ
アプリケーションシート
1～5V タイプ
出力モニタ
・圧力発生器
・リジェクションバルブ
供給圧
メンテナンス／
サービス・保証
供給圧モニタ
・デジタル圧力計 MT100 シリーズ
・圧力モジュール MU100 シリーズ
出力モニタ
索
■メンテナンスの注意事項
引
本器は測定流体がセンサチップに直接接触することの
ない，シールダイアフラム構造を採用しています。洗
シールダイアフラム
浄などの際に，万一にも，シールダイアフラムに傷を
つけることのないようにご注意ください。また最大加
圧以上の圧力をかけないようにご注意ください。
スポイト
洗浄液
ダイアフラム洗浄例
72
サービス・保証体制
■保証期間
本器の保証期間は，ご購入日より1年間です。本器は厳密な社内試験を経て出荷されておりますが，万一製造の不
備による故障，輸送中の事故あるいは正常な動作を示さない等，その原因が当社の責任である場合には無償で交
個別仕様書
換いたします。お買い求め先，または最寄りの当社営業窓口にご連絡ください。
保証期間内に不適合が生じた場合には，お買い求め先または最寄りの当社営業窓口にお問い合わせください。
セレクションガイ ド
【サービス・保証体制】
なお，引き取り調査は有償となります。
特注仕様のご案内
□成績書は現品に添付されます。大切に保管してください。現品との別送や再発行は有償
となります。
Q&A
テクニカルシート
アプリケーションシート
メンテナンス／
サービス・保証
索
引
73
索　引
セレクションガイド
用語索引
●あ行
個別仕様書
RS-232-C................................ 34, 49
アプリケーション................... 57, 67
エキレス
...... 5, 7, 28, 30, 38, 46, 49, 70, 71
温度特性........... 3, 42, 45, 51, 53, 67
●か行
特注仕様のご案内
Q&A
ガスケット.............................. 41, 58
過大圧........................................... 64
気体用........................................... 33
禁油処理....................................... 40
禁水処理................................. 40, 41
ゲージ圧....................... 2, 4, 5, 6, 41
ケーブル................... 5, 6, 39, 41, 60
校正............................ 40, 53, 72, 73
高耐圧............................................. 7
故障............................ 40, 46, 71, 73
コネクタ形............................... 13,28
●さ行
テクニカルシート
アプリケーションシート
メンテナンス／
サービス・保証
サージ圧....................................... 64
差　圧..................... 6, 32, 47, 70, 71
再現性................... 42, 43, 44, 46, 51
最大加圧............................. 3, 40, 72
サイホン管.............................. 64, 65
サニタリ................................... 5, 40
姿勢誤差......................................... 3
時定数........................................... 45
出力信号......................................... 4
シリコン振動式センサ.................. 47
真空使用圧力...................... 3, 41, 64
スパン........................... 3, 40, 42, 45
正圧...................................... 2, 4, 64
精　度..................................... 42, 43
索
引
74
絶対圧......................................... 2, 4
センサ..................................... 46, 54
先端ダイアフラム形................. 4, 38
測定レンジ................................ 4, 40
●た行
端子箱................................. 4, 41, 48
ダンパー................................. 64, 65
チタン................................. 7, 28, 30
電源電圧変動特性............. 42, 45, 51
動作温度範囲.................................. 3
特　注..................................... 38, 40
取付ねじ....................................... 59
取付け姿勢.................................... 59
トレーサビリティ................... 40, 53
●な行
二重ダイアフラム......................... 48
2線式.................................. 4, 60, 63
●は行
配線方法....................................... 60
ハステロイC........................ 5, 56, 67
ヒステリシス.................... 42, 44, 46
被測定体......................................... 4
表示器..................................... 38, 39
ピエゾ抵抗.................................... 46
負圧............................................ 2, 4
防水（耐水）........................... 3, 4, 62
保護構造......................................... 3
保証期間....................................... 73
●ま，や，ら，わ行
メンテナンス................................ 72
4線式............................................ 61
リニアリティ（直線性）
..... 42, 43, 61
連成圧......................................... 2, 4
形名索引
●FP
FP101............................................. 8
FP101A........................................... 8
FP102........................................... 14
FP103........................................... 14
FP112........................................... 20
FP113........................................... 20
FP112/HT..................................... 24
FP113/HT..................................... 24
FP201............................................. 8
FP201A........................................... 8
FP202........................................... 14
FP203........................................... 14
FP211........................................... 18
FP211A......................................... 18
FP211/HT..................................... 26
FP211A/HT................................... 26
FP212........................................... 20
FP213........................................... 20
FP212/HT..................................... 24
FP213/HT..................................... 24
●JP
JP208........................................... 32
JP261........................................... 28
JP262........................................... 30
JP263........................................... 30
●MU
MU101.......................................... 34
MU01D/Z...................................... 39
センサをめぐるトータルソリューションを横河電機は提供します。
UP55A
（調節計）
1～5V
制御停止指令
UT55A
（調節計）
ボイラー
制御弁
4～20ｍA
4～20ｍA
インバータ
小形圧力センサシリーズ
FP201/JP261
（圧力センサ）
24V DC
供給電源
FP101
（圧力センサ）
1～5V
HH
H
L
LL
制御弁
温度
センサ
異形タンク
タンク容量
真空ポンプ
レベル入力
FP201/JP261
（圧力センサ）
FP203
（圧力センサ）
目詰り検知
P R E S S U R E
S e n s o r
UT32A
（調節計）
小形圧力セ ン サ ガ イ ド ブ ッ ク
圧力センサを活かしたい！
！
小型圧力センサガイドブック
蒸気滅菌装置
P R E S S U R E
S e n s o r
異形タンクレベル制御
P R E S S U R E
S e n s o r
FP201低圧
FP101
FP203
JP261
JP262/263
JP263/Z表示器付
お問い合わせは
フィールド機器 （0422）52-6490
〒180-8750　東京都武蔵野市中町2-9-32
本 社 （0422）52-5630
Bulletin 01C11A02-01
〒180-8750　東京都武蔵野市中町2-9-32
製品仕様、取扱方法、機種選定に関するご相談は、カスタマーサポートセンターにお問い合わせください。
フィールド機器　0120-059-505
このカタログの内容は2015年7月1日現在のものです。
記載内容は、お断りなく変更することがありますのでご了承ください。
All Rights Reserved. Copyright © 1998, by Yokogawa Electric Corporation
Printed in Japan, 509(KP)
[Ed : 05/b]
http://www.yokogawa.co.jp/fld/msensor/
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