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Agilent E4991A RFインピーダンス／ マテリアル･アナライザ
Agilent
E4991A RFインピーダンス／
マテリアル･アナライザ
RFにおけるインピーダンスおよび
材料測定のトータル・ソリューションを
提供する次世代のアナライザ
テクニカル・オーバービュー
E4991Aは：
・高確度なインピーダンス測定を1 MHz から3 GHzという広範囲で実現しています。
・あらゆる角度から電子部品の評価を可能にする各種解析機能を装備しています。
・電子部品や電子材料の種類に応じて、さまざまな種類のテスト・フィクスチャを提供します。
・マイクロソフトWindows®をベースとした、優れた操作性とPCとの良好な接続性を提供します。
強力な解析機能
使い易さを追求した
ユーザ・インタフェース
・マーカー解析機能とマーカリミット機能により、テ
スト効率を大幅に改善。
・DCバイアス（電圧/電流）や、AC信号レベルなどの
テスト信号を変化させることで、さまざまな角度から
デバイスを評価。
・等価回路解析機能により、デバイス・モデリングを
容易に実現可能。
・Windowsをベースとしたユーザインタフェースに
より、測定設定や各種メニューへのアクセスが、
より直感的に可能。
・8.4インチTFTカラー・ディスプレイを搭載し、
最大で801点の掃引で、5つのデータトレース表
示（3スカラパラメータ+2複素数パラメータ)、9
個のマーカ表示が可能。
VBA®プログラミング機能を内蔵
・VBAプログラミング機能により、自動測
定だけでなく、測定解析プログラムの容
易な作成が可能。
データストレージ機能
・3.5インチ・フロッピーディスク・ドライブ、
およびハードディスク・ドライブを内蔵。
・校正データ、測定データ、測定セットアップ、
そしてVBAプログラムの保存が可能。
・CITIFILEフォーマットのサポートにより、各種
シミュレーションツールへの簡単なデータの受
渡しが可能。
LANインタフェース
(10 Base-T/100 Base-Tx自動切り
替え)
卓越した測定確度を提供する高性能テストヘッド
・テストヘッドの7-mmコネクタは、各種テスト・フィ
クスチャをサポート。
・RF I-Vテクノロジーにより、1 MHz∼3 GHzの広範
囲にわたり、高確度なインピーダンス測定を実現。
パラレル・インタフェース
GPIBインタフェース
・ディスプレイ・イメージを、パラレル・インタフェース
をサポートするプリンタに直接カラー出力が可能。
・外部PCからのコントロールが可能。
・リモート・ユーザ・インタフェース・ソフト
ウエアにより、PC上に測定器のバーチャ
ル・コントロール画面を表示可能。これによ
り、PCからLANを通じて測定器のリモー
ト・コントロールや測定データの受渡しが容
易に可能。
外部キーボード＆マウス用インタフェース
USBインタフェース
外部VGA出力
・VBAプログラミング作成時間を大幅に短縮。
・マウスを使用することで、操作性が飛躍的に向上。
・外部機器をコントロールし、自動測定システムを
容易に構築可能
（82357A USB/GPIBインタフェースが必要）
・USBタイプのプリンタをサポート
・測定波形を外部VGAモニタに、
より大きく、見やすく表示が可能。
2
RFにおける電子部品のインピーダンス測定、および
材料評価において革新的なソリューションを提供します。
E4991A は、高確度かつ再現性を求め
られる高周波でのインピーダンス測定、
および電子材料（誘電率、透磁率）の
評価においてその真価を発揮する製品
です。現在の移動体通信機器やディジ
タル電子機器などの動作周波数は、高
周波へと移行しています。電子部品や
機器メーカのエンジニアの方々にとっ
て、こうした高周波を扱うような機器
の内部で使用される電子部品を実動作
状態で測定することが、部品の開発の
みならず機器設計においても非常に重
要になってきています。E4991Aは3 GHz
までの周波数において、このような電
子部品のインピーダンスを様々な角度
から解析 するための機能を備えていま
す。一方、電子部品は高周波化が進む
だけでなく、そのサイズも年々小型化
が進んでいます。このため、特に小型
SMDを高確度に測定することはもとよ
り、測定の再現性を保つということが
非常に困難になってきています。こう
した問題を解決するために、E4991Aに
はさまざまな種類のSMD用テストフィ
クスチャが用意されています。E4991A
は、現在、そして将来にわたるインピー
ダンス測定要求を十分に満足させる製
品です。
• EMI対策部品（チップビーズ、コモ
さまざまな測定要求を満足させる
強力な解析機能
半導体部品
• バラクタダイオード、トランジスタ
などの評価。
• ICなどの端子間容量測定。
E4991Aは、電子部品の開発時における
設計評価、品質検査はもとより、電子機
器開発時の回路設計および評価において
も、大きく貢献します。また、E4991Aが
装備する材料測定ファームウエア（オ
プションE4991A-002）と各種材料用電
極の組み合わせによるソリューション
で、電子部品材料や、非電気材料の研
究開発における評価においてもその真
価をいかんなく発揮します。
以下にあげるのは、測定対象の一例で
す。
ンモード・チョークコイル）などの
インピーダンス評価。
材料測定
• セラミック、プラスチック、プリン
ト回路基板などの誘電材料におけ
る、誘電率および損失等の評価。
• フェライト、アモルファスなどの磁
性体材料における、透磁率および損
失等の評価。
• シリコンウェハなどの半導体材料に
おける、誘電率、導電率、およびCV特性評価。
受動部品
• RFで使用される、チップインダクタ、
チップキャパシタ、チップ抵抗など
のインピーダンス評価。
主な仕様
周波数範囲
1 MHz ∼ 3 GHz、1 mHz分解能
測定パラメータ
インピーダンス・
パラメータ
|Z|, θZ, |Y|, θY, R, X, G, B, CS, CP, LS, LP, RP, RS, D, Q, |Γ|, θΓ, ΓX, ΓY
材料パラメータ注）
|εr|, εr’, εr”, |µr|, µr’, µr”, θ, tanδ
測定ポイント
2 ∼ 801点/掃引
基本インピーダンス確度
±0.8 %
テストポート
7-mmコネクタ
DC バイアス
(オプション
DC レベル
0 V∼±40 V / 1 mV 分解能
100 µA∼50 mA , −100 µA∼−50 mA / 10 µA 分解能
DC レベルモニタ機能
電圧、電流
E4991A-001)
掃引パラメータ
周波数、測定信号レベル（電圧、電流）DCバイアスレベル（電圧、電流）
マーカ機能
9個（リファレンス・マーカ1個、マーカ8個）
マーカリスト機能
マーカーサーチ（Max, Min, Target, Positive Peak, Negative Peak）機能
マーカートラッキング機能
その他の機能
校正
オープン/ショート/50Ω/低損失キャパシタ
フィクスチャ補正
オープン/ショート、フィクスチャ電気長補正
等価回路解析機能
5つの等価回路解析モデル
VBA (Visual Basic® for Applications) によるプログラミング機能
マスストレージ
3.5 インチ・フロッピーディスク・ドライブ (MS-DOS® フォーマット)、
ハードディスク・ドライブ
セグメント掃引機能
最大16セグメント（スタート周波数、ストップ周波数、測定ポイント数、
信号レベル設定、アベレージング回数、DCバイアス設定など）
注）オプションE4991A-002が必要となります。
3
RF受動部品の解析に新たな可能性
を提供します。
E4991Aが提供する3 GHzまでのイン
ピーダンス測定周波数範囲では、WCDMA、BluetoothTM、そしてワイヤレ
スLANなど、これからの需要が大きく
期待されるアプリケーションがカバー
されます。E4991Aが持つ幅広いイン
ピーダンス測定範囲と、強力な解析機
能により、こうしたアプリケーション
で使用されるRFチップインダクタや
キャパシタといった電子部品をさまざ
まな角度から解析することが可能にな
ります。また、各種テスト・フィクス
チャにより、幅広いサイズのデバイス
測定も、より簡単に行うことができる
ようになります。
的に使用されていました。しかしなが
ら、ネットワーク・アナライザの反射
係数法による測定では50Ωから外れた
部分でのインピーダンス測定値が極端
に悪くなる事から、十分な測定確度が
得られませんでした。これに対し、
E4991Aで採用されているRF I-V法は、
DUTに印加された電圧、および電流値
を直接測定しているため、ネットワー
ク・アナライザと比較して、より高確
度で広範囲なインピーダンス測定を実
現しています。
図1 インダクタンスのLs-Q測定例
表１ Q測定値の確度（代表値）データ
低損失キャパシタ校正
E4991Aでは、位相測定確度を向上さ
せるために、従来のオープン、ショー
ト、50Ω標準器に加えて、低損失キャ
パシタを使用した校正を行うことがで
きます。低損失キャパシタ標準器によ
り、インピーダンス平面上に−90度の
RF I-V法による高確度測定の実現
携帯電話などの通信機器においては、 位相標準を定義することで位相の測定
確度を向上させています。これにより、
消費電力の削減や、感度および周波数
非常に高いQ値をもつようなインダク
選択性を高めるために、その内部で使
タ、あるいは非常に低いESR値を持つ
用されるデバイスは、高いQ値や低い
ようなキャパシタなどの測定をより高
ESR値（等価直列抵抗値）を持つよう
確度に行うことが可能になります。
な部品が使われています。これまで
1.8 GHzを超える周波数領域において （表１参照）
は、ネットワーク・アナライザが一般
表２ E4991Aとネットワーク・アナライザの簡易比較表
E4991A
主な測定対象部品 ・インダクタ
・キャパシタ
・バリキャップ・ダイオード
ネットワーク・アナライザ
・フィルター
・アンプ
測定パラメータ
|Z|, |Y|, θ, R, X, G, B, C, L, R,
D, Q, Γ
S-パラメータ, Γ, θ
掃引パラメータ
・周波数
・測定信号電流レベル
・測定信号電圧レベル
・DC電流バイアス
・DC電圧バイアス
・周波数
・測定信号レベル（dBm）
フィクスチャ
・各種テスト・フィクスチャを
用意
・フィクスチャ補正機能搭載
(DUTとの接続面で、より高
確度な測定を実現)
・部品毎に個別対応が必要
インピーダンス
測定確度
・低損失キャパシタ校正による、 ・50Ω付近で高確度インピー
高いQ値を持つ部品の高確度
ダンス測定
測定
・50Ωから外れるほど確度は
・50Ωを外れた部分での高確度
低下
なインピーダンス測定
その他
等価回路解析機能搭載
4
より詳細な電子部品の評価を実現
使いやすさを追求した、ユーザ・イン
タフェース
8.4インチカラーLCDディスプレイと、
Windowsをベースとしたユーザ・イン
タフェースにより、測定画面の設定、
および各種メニューへのアクセスをよ
り直感的に行うことができます。
E4991Aは、最大で３つのスカラ・パ
ラメータ（|Z|, L, C, Rなど）と２つ
の複素数パラメータ（Z,Γなど）を同
時に表示することが可能です。さらに、
各測定トレースに対して、比較測定の
ためのメモリトレースをそれぞれ１つ
同時に表示させることが可能です。
図の例では、チップビーズの測定にお
いて|Z|、R、そしてXの値を表示させ
ています。表示の仕方については、１
つの画面上に重ね書きさせることも可
能ですし、個々のウィンドウ上にそれ
ぞれを好きな組み合わせで表示させる
ことも可能です。
図3 マウスを使用した操作例
図2-1
画面表示（重ねがき例）
図2-2
画面表示（ウィンドウの表示例）
また、Windowsをベースとしたことに
より、マウスによる操作を実現してい
ます。これにより、各種メニューへの
アクセスが容易に行えるようになるだ
けでなく、画面上で興味のある測定結
果をマウスでドラッグするだけで、簡
単にその部分を拡大することも可能で
す。
図3にマウスを使用した操作例を示しま
す。例えば、インダクタなどの測定に
おいてSRF周辺の様子を詳細に観察し
たい場合には、周波数範囲やインピー
ダンス範囲などの設定を、デバイスの
特性に合わせて測定毎に変更する必要
があります。これに対しマウスを使用
した場合は、図に示すように、インダ
クタのSRF周辺で観測したい部分をマ
ウスでドラッグすると、四角の枠によ
りその部分が囲まれ、ドロップするこ
とにより指定された部分が拡大されま
す。これにより、上記のようなわずら
わしい作業から開放され、エンジニア
の方は測定に専念することができるよ
うになります。
5
DCバイアス機能
（オプションE4991A-001）
RFインダクタや、セラミック・キャパ
シタのように、電圧や電流依存性のあ
る電子部品の測定に対し、DCバイア
ス機能（オプションE4991A-001）を使
用することで、DCバイアス電圧 (±40
V) 、そしてDCバイアス電流(±50 mA)
を電子部品に重畳してインピーダンス
評価をすることが可能になります。
これにより、外部DCバイアス電源を
使用することなく、電子部品の特性を
DCが重畳した状態で測定できます。
以下の図は、バリキャップ・ダイオー
ドのC-V特性を示しています。DC電圧
バイアスを0 Vから5 Vまで印加してお
り、マーカの値より0.5 Vから4.5 Vに
電圧が変化する間に、静電容量値が
11.27 pF減少していることが読み取れ
ます。このように、DCバイアス機能
を使用することで、このような測定が
簡単に実現できます。また、電流によ
るDCバイアス掃引も行うことが可能
であり、インダクタなどの飽和特性の
評価を行うことができます。
図４ DCバイアス測定例
外部DCバイアスアダプタ
内部DCバイアス機能で、必要とされる
電流値が得られなかった場合には、
16200B（外部DCバイアスアダプタ）が
用意されています。16200Bと外部DC電
源を併用することで、最大で±5 AのDC
バイアスをテストポートの7-mmコネ
クタを通じてDUTに印加することが可
能になります。注）
注）但し、この場合E4991Aにおける
測定周波数範囲は、1 GHzになり
ますのでご注意下さい。
図５ 16200B
低損失デバイスの評価をより高確度に
実現
移動体通信機機器やディジタル電子機
器の、小型化、そして省電力化の動き
に合わせ、使用されるインダクタやキ
ャパシタ等についてもこれまで以上に
小型低損失な製品が求められています。
図6の例では、2.28 GHzにおける低損
失セラミック・キャパシタのESR（等
価直列抵抗値）測定を示しています。
移動体通信機器などの実用周波数にお
いて、低損失部品でも高確度なESR測
定を実現しております。
図6
等価回路パラメータ抽出による
電子部品のモデリング
E4991Aが搭載する等価回路解析機能
により、簡単な操作で、電子部品の等
価回路パラメータが抽出できます。こ
の機能には、セラミック・キャパシタ
や水晶部品など、一般に使用される電
子部品の代表的な5つの等価回路モデ
ルが用意されています。測定結果から、
そのパラメータによるシミュレーショ
ン特性を実測値に重ねあわせて、比較
することが可能です（図7参照）
。また、
ここで抽出されたパラメータは、EDA
（Electronic Design Automation) ツール
といったデバイスモデリングで使用さ
れるような外部シミュレーション・ソ
フトウエアに簡単に受け渡すことも可
能です。
低損失セラミック・キャパシタの
ESR（等価直列抵抗）測定例
図7 等価回路解析機能例
6
セグメント掃引機能によるテスト
効率の改善
セグメント掃引機能を使用すると、1
回の掃引をいくつかの区間（セグメン
ト）に分割して行うことが可能になり
ます。各セグメントごとに、周波数範
囲、測定ポイント数、アベレージ回数、
DCバイアス・レベル（電圧/電流）、あ
るいはテスト信号レベルなどを独立に
設定することができます（図8-1参照）。
例えば、複数の周波数ポイントにおけ
るデータを測定したいような場合、こ
れまでであれば測定のたびに測定器の
設定変更が必要でしたが、セグメント
掃引機能を使用すれば、測定の最初に
必要となる周波数セグメントの設定を
するだけで、手間のかかる測定を短時
間で行うことが可能になります（図82参照）
。
図8-1 セグメント・リスト
図8-2 セグメント掃引機能
各種電子部品用フィクスチャを用意
16197Aおよび、16196A/B/C/DはSMD
用テスト・フィクスチャで、3 GHzま
での周波数において安定した測定結果
をお約束します。
SMD用テスト・フィクスチャ
16197Aは、底面電極を持つSMD向け
に開発されたテスト・フィクスチャで
す。また、以下に示すように、さまざ
まなサイズのSMDを再現性よく測定で
き、コストパフォーマンスが優れた製
品です。
16197Aが対応するSMDサイズ
（EIA/EIAJ標準サイズ）
• 0201 (inch)/0603 (mm) 注）
• 0402 (inch)/1005 (mm)
• 0603 (inch)/1608 (mm)
• 0805 (inch)/2012 (mm)
• 1208 (inch)/3216 (mm)
• 1210 (inch)/3225 (mm)
• 上記以外のサイズ (ホルダー・プレー
トの改良が必要)
注）0201 (inch)/0603 (mm)サイズには、
オプション16197A-001で対応しま
す。
16196A/B/C/Dは、同軸構造の高性能テ
スト・フィクスチャで、3 GHzまでの
周波数において、測定の再現性と操作
性を高い次元で両立させた製品です。
16196xシリーズは、オペレータによる
測定誤差を極力減らすために、非常に
シンプルな操作で部品を固定できるよ
うな設計になっています。16196xシ
リーズは、0603 (inch)/1608 (mm)から
01005(inch)/0402 (mm)サイズのSMDま
で対応しています。
図9 16197A
16196Xシリーズが対応するSMDサイ
ズ（EIA/EIAJ標準サイズ）
16196A: 0603 (inch)/1608 (mm)
16196B: 0402 (inch)/1005 (mm)
16196C: 0201 (inch)/0603 (mm)
16196D: 01005 (inch)/0402 (mm)
図10
16196B
7
PC環境および各種EDAツールとの親和性を向上
VBA（Visual Basic® for
Applications）による自動測定
VBA機能を搭載したことにより、ユー
ザ・インタフェースの変更や、複雑な
測定を自動的に実行させることがこれ
まで以上に簡単にできるようになりま
し た 。 Visual Basicと 同 様 の IDE
（Integrated Development Environment）
環境下で、VBAのプログラミングを作
成することが可能です。
EDAツールとのリンク
ADS (Advanced Design System) のよう
な EDAツールを、高周波で使用するデ
バイス・モデルの作成に使用するケー
スが一般的になりつつあります。
E4991Aの測定データをもとに、ADS上
で多くのエレメントを用いたデバイス
のモデルを作成し、シミュレーション
を実施することで、3 GHzまでの周波数
においてより正確なデバイス・モデル
の作成および解析が実現できます。さ
らに、E4991Aは、測定データより計算
したSパラメータを、CITIFILEフォー
マットで保存できるため、ADSのよう
な各種シミュレーション・ツールに簡単
にデータを受け渡すことができます。
PC環境との容易な接続性
E4991Aに添付されるリモート・ユー
ザ・インタフェース・ソフトウエアを
使用することで、LANを通じた計測コ
ントロール、およびトラブルシューティ
ングが容易にできるようになります。
このソフトウエアは、PC画面上に
E4991Aのコントロール・パネルを表
示し、LANを通じて離れた場所にある
E4991Aを、あたかも手元にあるよう
にコントロールすることが可能です。
また、PC上の表計算アプリケーショ
ン・ソフトウエア等に、測定データを
ファイルとしてだけでなく、コピー・
アンド・ペーストで受渡しすることが
できます。
図11
図12
図13
VBAによるプログラミング機能
ADS とのリンク
リモート・ユーザ・インタフェース
8
材料測定の広がる可能性
材料測定ファームウエア（オプション
E4991A-002）により、誘電体および磁
性体の材料パラメータである、誘電率
や透磁率といったパラメータを1 GHz
までの周波数においてグラフィック形
式で表示することが可能になります。
誘電材料測定電極（16453A）と、磁
性材料測定電極（16454A）を使用す
ることで、材料測定に伴うわずらわし
い電極等の制作から解放され、実験に
専念することができるようになりま
す。
図14
E4991A材料測定
誘電体材料測定
16453A（誘電材料測定電極）は、平
行平板法を用いることで、誘電率およ
び誘電損失を1 GHzの周波数まで測定
することが可能です。この測定法は、
3 mm以下の厚さで、シート状になっ
ている高分子材料やセラミック材料な
どの測定に適しています。電極間に測
定したい材料を挟むだけという非常に
シンプルな構造で、作業性が非常に良
好です。
測定時に必要となる材料のサイズ
直径≥15 mm, 厚さT≤3 mm
磁性体材料測定
16454A（磁性材料測定電極）は、E4991A
（オプションE4991A-002）との組み合
わせにより、透磁率を1 GHzの周波数
まで測定することが可能です。この
フィクスチャは、直径20 mmまでのト
ロイダル型に成形されたサンプルのテ
ストをするために設定されています。
材料としては、アモルファスや磁性体
のコアなどがあります。また、さまざ
まなサイズのトロイダル型の試料を測
定できるように、小型電極(直径8 mm
以下)と大型電極（直径20 mm以下）
が用意されています。
測定時に必要となる材料のサイズ
小型サイズ：外径≤8 mm, 内径≥3.1 mm, 厚さ≤3 mm
大型サイズ：外径≤20 mm, 内径≥5 mm, 厚さ≤8.5 mm
図15
16453A
図16
16454A
9
プローブ測定システムを使用した、高確度インピーダンス測定
近年、携帯電話に代表される電子機器
の小型化が進み回路のスペースを節約
するため、ICや回路モジュールの内部
に数多くのデバイスが作られるように
なりました。例えば、コンデンサやイ
ンダクタの役割を果たす薄膜誘電体層
や、スパイラル・インダクタ等をウエ
ハ上に作りこむケースが増えていま
す。一般に、こうしたデバイスの測定
は測定器にプローブステーションを組
み合わせて行いますが、キャパシタン
ス値やインダクタンス値がpF、nHと
非常に小さく、慎重に測定システムを
構成する必要があります。こうした測
定要求にお応えするために、E4991A
プローブ・ステーション接続キット（オ
プションE4991A-010）をご用意しまし
た。このオプション製品を使用するこ
とにより、オン・ウエハや超小型デバ
イスの高確度測定が、3 GHzまでの周
波数で実現できます。
シンプルな構成
通常、測定器をプローブ・ステーショ
ンに接続する場合、ポート延長や不適
切な校正による確度の低下が問題とな
ります。オプションE4991A-010はこの
問題を解決するための要素を全て備え
ています。このオプションには、小型
のテストヘッド、専用の延長ケーブル、
コネクタ、接続プレート、そしてイン
スタレーション・ガイドなど、システ
ム構成に必要なすべての部品があらか
じめ用意されています。プローブ・ス
テーションはカスケード・マイクロ
テック社製品を推奨します。これらオ
プションで使用する全ての部品の電気
特性を当社で評価していますので、適
切な部品を求めて、いくつものサプラ
イヤに問い合わせをする必要はありま
せん。このシステムがあれば、シンプ
ルに、しかも信頼性の高いプローブ測
定を実現できます。
図17
E4991Aとプローブ・ステーション
e499aoj213
図18
E4991AオプションE4991A-010を用いたプローブ測定接続図
10
延長されたテスト・ヘッドの測定ポー
トで測定確度を保証
E4991AオプションE4991A-010は、付
属する延長ケーブルで延長したテス
ト・ヘッドの7-mm端子の先端で測定
確度を保証しています。確度を保証す
る基準面からのポート延長は測定誤差
を増やすため、確度保証は信頼性のあ
る測定に不可欠です。延長ケーブルの
特性によっては測定に悪影響を与えま
すが、E4991Aでは信頼性の高いケー
ブルの採用と、専用のテストヘッドを
開発することで、この問題を解決しま
した。また、このテスト･ヘッドを小
さくし、できる限りプローブ・ヘッド
の近くに設置できるように工夫しまし
た。これにより、テストヘッドとプ
ローブステーションの距離を最小限に
することが可能となり、測定誤差を最
小限に押さえることができるようにな
ります。
広範囲で再現性の良いインピーダンス
測定
E4991Aは、ネットワーク･アナライザと
比較して広いインピーダンス範囲を測
定することができます。一般に、ネッ
トワーク・アナライザは50 Ωから大
きく外れるインピーダンスの測定では
十分な精度が得られません。これに対
してE4991Aは、広範囲のインピーダ
ンス測定を主な目的としており、50Ω
から離れたインピーダンスを測定する
ための設計がなされています。特に、
1 pH、1 nHなどの微少なキャパシタン
ス値やインダクタンス値を測定する際
に威力を発揮します。さらに、E4991A
は時間の経過や温度変化に対しても非
常に安定した測定結果を提供します。
こうした点も、インピーダンス測定専
用器の利点です。
E4991A オプションE4991A-010
E4991A オプションE4991A-010には、
以下の製品が含まれています。
●
●
●
●
●
E4991A用小型テストヘッド
延長ケーブル
7 mm - 3.5 mm（メス）アダプタ 1個
N（オス）- SMA（メス）アダプタ 3個
マニュアル
E4991A RFインピーダンス／
マテリアル・アナライザ
プローブ・ステーション
プローブ・ヘッド
E4991A プローブ・ステーション接続
キット（オプションE4991A-010）
図19
E4991A プローバ・ステーション接続キット（オプションE4991A-010）
別途必要な機器
オプションE4991A-010付きのE4991A
とは別に、プローブ・ステーションと
プローブヘッドをご購入いただく必要
があります。 本オプションはいずれの
プローブ・ステーションとの使用が可
能ですが、当社にて性能が確認できて
いるカスケード･マイクロテック社製の
プローブ・ステーションの使用を推奨
します。また、以下の製品が別途必要
となります。
カスケード・マイクロテック（株）
153- 0042
東京都目黒区青葉台4- 7- 7
住友青葉台ヒルズ1階
TEL : (03)5478- 6100
URL: http://www.cmj.co.jp/
カスケード･マイクロテック社製
Summit 9000シリーズ、Summit 11000
シリーズまたはSummit 12000シリー
ズ プローブ・ステーション
● カスケード・マイクロテック社製
ACP シリーズまたはHPC シリーズ
プローブヘッド
● カスケード・マイクロテック社製イ
ンピーダンス基準基板（ISS）
● カスケード・マイクロテック社製マ
ウント・プレート
（テスト・ヘッドの固定台）
● カスケード・マイクロテック社製セ
ミ・リジッド・ケーブル
（テスト・ヘッドとプローブヘッド
の接続用）
●
上記製品の購入につきましては、直接
カスケード･マイクロテック社までお
問い合わせください。
11
温度特性評価システム
高確度な温度特性評価を実現
耐熱測定用テスト・キット（オプショ
ンE4991A-007）を使用することで、高
周波における電子部品および材料の温
度特性評価を簡単に行うことができま
す。このソリューションは、−55℃か
ら＋150℃の温度範囲をカバーしてお
り、新たに搭載された温度ドリフト補
正機能により、高周波における高確度
な温度特性測定を実現しています。
図20は、E4991A（オプションE4991A007）と4291B（オプション013と014を
合わせた範囲）の10％測定確度の代表
値 を 比 較 し て い ま す 。従 来 製 品 の
4291Bでは、高インピーダンスと低イ
ンピーダンスの測定範囲をカバーする
た め に は 、高 イ ン ピ ー ダ ン ス・テス
ト・ヘッドと低インピーダンス・テス
ト・ヘッド の 2 種 類 が 必 要 で し た が 、
E 4 9 9 1 A で は 1 つ の テ スト・ヘッド で
4291Bよりも広いインピーダンス範囲
をカバーしています。
温度ドリフト補正機能は、E4991A
（オプションE4991A-007）で採用され
た新技術です。4291Bとは異なり、
Open/Short補正を事前に決められた温
度点で行うことで、図21に示すように
温度ドリフトによる測定確度への影響
を最小限に抑えることができます。
エスペック社注1）製恒温器との組合わ
せによる自動温度特性評価システム
自動温度特性評価システムを構築する
のに必要な恒温器はエスペック社から
提供され、その他のアクセサリ、そし
てサンプル・プログラム等は全てアジ
レントから提供されます。図22に
E4991A（オプションE4991A-007）注2）
に含まれる製品を示します。
サンプル・プログラムはVBAで開発さ
れており、エスペック社製のベンチトッ
プ・タイプ恒温器（SU-261）をサポート
しているため、簡単に自動温度特性評
価システムを構築することができます。
SU-261は、ベンチトップ・タイプの恒温
器でありながら、−60℃から＋150℃ま
での温度範囲に対応しているため、
E4991A（オプションE4991A-007）の
測定温度範囲をすべてカバーしていま
す（図23参照）。VBAサンプル・プログ
ラムは、プログラム内容の変更を容易
に行うことができるため、他メーカの
恒温器にも対応することが可能です。
さらに、このプログラムは、使い勝手
の良いグラフィカル・ユーザー・インタ
フェースを有しているため、恒温器のコ
ントロール、各種測定パラメータの設
定、そして温度プロファイルの設定等
を簡単に行うことができます。
図20 測定確度の比較表（10％測定確度代表値）
図21 温度ドリフト補正機能の効果
図22 E4991A（オプションE4991A007）に含まれる製品
注1）エスペック株式会社は、アジレントのチャネル・パートナーです。
エスペック製恒温器に関するお問合わせは下記までお願いします。
エスペック株式会社 〒530-8550 大阪市北区天神橋3-5-6
Tel. 06-6358-4741
Fax. 06-6358-5500
http://www.espec.co.jp
注2）E4991Aから恒温器をコントロールするためには、Agilent 82357A USB/GPIB
インタフェースが必要です。このUSB/GPIBインタフェースはオプション
E4991A-007には含まれておりません。
図23 E4991A（オプションE4991A007）とエスペック製ベンチトップ・タイ
プ恒温器（SU-261）
12
E4991A仕様
仕様は、他に記述のないかぎり、5℃∼40℃の範囲でかつ30分のウォームアップ後に保証される測定器の性能を示します。
“代表値”、“約”、“公称”として記載されているデータは保証された性能ではありませんが、測定器の代表的な特性を示し、
本器を有効に活用していただくための参考データです。
測定パラメータ
インピーダンス・パラメータ： |Z|, θZ, |Y|, θY, R, X, G, B, CS, CP, LS, LP, RP, RS, D, Q, |Γ|,
θΓ, ΓX, ΓY
材料パラメータ：＊1
|εr|, εr’,εr”,|µr|, µr’,µr”,θ, tanδ
＊1
オプションE4991A-002が必要となり
ます。
＊2
周波数が1 GHzを超える場合でも、0
dBm (447 mV, 8.94 mA) を超える設定
が出来ますが、動作保証はされませ
ん。また、単位がmVまたはmAに設
定されている場合には、dBm表示換
算での0.1 dB単位に丸められるよう
に設定されます。
測定信号特性
周波数
範囲：
分解能：
確度：
測定信号レベル設定＊2
範囲 電圧レベル：
1 MHz ∼ 3 GHz
1 mHz
<±10 ppm @23℃±5℃（オプション1D5 <±1 ppm@ 5 ℃∼40 ℃）
4.47 mV∼502 mVrms (f ≦ 1 GHz、出力端開放時の電圧)
4.47 mV∼447 mVrms (f ＞ 1 GHz、出力端開放時の電圧)
電流レベル： 89.4 µA∼10 mArms
(f ≦ 1 GHz、出力端短絡時の電流）
89.4 µA∼8.94 mArms (f ＞ 1 GHz、出力端短絡時の電流）
パワー・レベル： −40 dBm∼1 dBm (f ≦ 1 GHz、出力端50Ω終端時のパワー）
−40 dBm∼0 dBm (f ＞ 1 GHz、出力端50Ω終端時のパワー）
分解能：
0.1 dB
確度：
±2 dB (f ≦ 1 GHz @ 50Ω, 23℃±5℃)
±3 dB (f > 1 GHz @ 50Ω, 23℃±5℃)
オプションE4991A-007使用時
＋2 dB/−4 dB (f ≦ 1 GHz @ 50 Ω, 23℃±5℃)
＋3 dB/−6 dB (f ＞ 1 GHz @ 50 Ω, 23℃±5℃)
オプションE4991A-010使用時
±3.5 dB (f ≦ 1 GHz @ 50Ω, 23℃±5℃)
±5.6 dB (f > 1 GHz @ 50Ω, 23℃±5℃)
信号出力インピーダンス（公称値） ：50Ω
DCバイアス機能・特性
DCバイアス設定
範囲：
分解能：
確度：
電圧 0∼±40 V 電流 100 µA∼50 mA、−100 µA∼−50 mA
電圧 1 mV
電流 10 µA
電圧バイアス ±{0.1 %+ 6 mV+ (Idc[mA]×20 [Ω]) mV} @23℃±5℃
（出力端開放時の電圧）
電流バイアス ±{0.2 % + 20 µA+ (Vdc[V] / 10 [kΩ]) mA} @23℃±5℃
（出力端短絡時の電流）
DCバイアス・モニタ（代表値）
範囲：
DCバイアス設定範囲に同じ
確度：
電圧モニタ ±{0.5 % + 15 mV+ (Idc[mA] × 2 [Ω]) mV} @ 23℃±5℃
電流モニタ ±{0.5 % + 30 µA+ (Vdc[V] / 40 [kΩ]) mA} @ 23℃±5℃
13
仕様（続き）
掃引機能・特性
掃引可能なパラメータ：
掃引の種類：
掃引方向：
測定点数：
セグメント掃引機能：
アベレージング機能：
ディレイタイム機能：
周波数、信号電圧レベル、信号電流レベル、DCバイアス電
圧、DCバイアス電流
リニア掃引（LIN）、対数掃引（LOG）、セグメント掃引
（SEGMENT）、（対数掃引とセグメント掃引は掃引パラメー
タが周波数のときのみ。）
アップ掃引（全掃引パラメータ）
ダウン掃引（全掃引パラメータ）
2∼801点
セグメント数：1∼16
設定可能なパラメータ：掃引周波数範囲、測定点数、ポイ
ント・アベレージング回数、信号レベル（電圧または電流）
ポイント・アベレージング（各測定点毎に測定値をアベレー
ジング）
スイープ・アベレージング（複数回の掃引後に測定値をア
ベレージング）
ポイント・ディレイ（各測定点での測定遅延時間設定）
スィープ・ディレイ（各スイープ前の遅延時間設定）
セグメント・ディレイ（セグメント掃引時に各セグメント
毎に遅延時間設定可能）
校正・補正機能
校正：
誤差補正：
補正周波数設定モード：
オープン／ショート／50Ω／低損失キャパシタ 校正
オープン／ショート、フィクスチャ電気長補正
補間モード（FIXED）、ユーザ設定モード（USER）
表示・データ演算・マーカ機能
測定チャンネル：
表示トレース：
データ演算機能：
マーカの種類と数：
マーカ・サーチの種類：
その他のマーカ機能：
1
データ・トレース（スカラ・パラメータ×3, 複素パラメータ×2）、
メモリ・トレース（スカラ・パラメータ×3, 複素パラメータ×2）
データ−メモリ、データ／メモリ、デルタ%、オフセット
リファレンス・マーカ1個／トレース
マーカ8個／トレース
最大、最小、ターゲット、ピーク
トラッキング機能、マーカリスト、マーカ連続モード、
マーカ値代入機能
データ記憶機能
記憶装置：
記憶内容：
3.5インチFDD 720 kB/1.44 MB（MS-DOS®フォーマット）
ハードディスクドライブ
データ、設定、プログラム、画面イメージ
インタフェース機能
LANインタフェース
インタフェース規格：
プロトコル：
サポートアプリケーション：
GPIBインタフェース：
GPIBファンクション：
プリンタインタフェース：
USBポート：
外部モニタ出力：
10Base-T, 100Base-Tx自動切換え
TCP/IP
FTP
IEEE488.1-1987, IEEE488.2-1987準拠
SH1, AH1, T6, TE0, L4, LE0, SR1, RL0, PP0, DT1, DC1, C0, E2
セントロニクス（パラレル）
USB1.1, 標準USB A
640×480 VGA
14
仕様（続き）
測定確度＊4
測定確度仕様条件：
オープン／ショート／50Ω校正実施。Calibration ON
測定点が校正点と同じ事。
23℃±5℃でかつ校正時の温度から5℃以内。これ以外の
温度条件下では、測定確度は下記の値の2倍になる。
±(Ea+Eb) [%]
±(Ea+Eb) / 100 [rad]
±(Ea+Eb) × (1+ Dx2) [%]
±(Ea+Eb) × (1+ Qx2) [%]
(1+ Dx2)tan (Ea+Eb /100)
±––––––––––––––––––––
@ |Dxtan(Ea+Eb/100)|<1
1 Dx tan (Ea+Eb /100)
温度条件：
|Z|, |Y|確度：
θ確度：
L, C, X, B確度：
Ｒ,G確度：
D確度（ΔD）：
＊4 Ea ：±0.65 [%] (1 MHz ≦ f ≦ 100 MHz)
±0.8 [%] (100 MHz ＜ f ≦ 500 MHz)
±1.2 [%] (500 MHz ＜ f ≦ 1 GHz)
±2.5 [%] (1 GHz ＜ f ≦ 1.8 GHz)
±5.0 [%] (1.8 GHz ＜ f ≦ 3 GHz)
Zs ：信号レベル＝−3, −13, −23 dBm
±(13 + 0.5×F) [mΩ] (Point Average ≧8)
Yo ：信号レベル＝−3, −13, −23 dBm
±(5 + 0.1×F) [μS] (Point Average ≧ 8）
Eb ：(Zs/|Zx|+ Y0|Zx|)×100 [%]
Dx ：D測定値
Qx ：Q測定値
Zx ：|Z|測定値
±
±(Ea+Eb) /100
(1+ Qx2)tan (Ea+Eb /100)
±––––––––––––––––––––
1 Qx tan (Ea+Eb /100)
±Qx2 (Ea+Eb) /100
Q確度（ΔQ）：
@ Dx ≦0.1
@ |Qxtan(Ea+Eb/100)|<1
@ 10/(Ea+Eb)≧Qx≧10
±
ZsとY0 はポイントアベレージング回数、測定信号レベルによって値が変わります。詳細
は、データシートを参照下さい。
インピーダンス測定範囲
E4991A Osc Level=23dBm, Ave≧8 ΔT≦5℃
100k
10%
10k
インピーダンス（Ω）
5%
1k
2%
1%
100
10
1
0.1
1M
10M
100M
周波数［Hz］
1G
3G
一般特性
外部基準信号入力：
内部基準信号出力：
高安定基準信号出力＊5：
外部トリガ入力：
温度範囲：
湿度範囲＊6：
電源：
重量：
外形寸法：
10 MHz ± 100 Hz (代表値)、≧0 dBm、50Ω
10 MHz (公称値)、2 dBm（代表値）
、50Ω
10 MHz (公称値)、2 dBm（代表値）
、50Ω
TTL、パルス幅≧2 µsec、ポジティブ/ネガティブ選択可能
使用時 +5℃∼+40℃／保管時 −20℃∼60℃
使用時 20 ％∼80 ％ RH／保管時 15 %∼90 % RH
90 V∼132 Vまたは198 V∼264 V(自動切換え)
47 Hz∼66 Hz、最大350 VA
本体：17.0 kg
テストヘッド：0.9 kg
本体：425(幅) mm×234(高さ) mm×445(奥行) mm
テストヘッド：160(幅) mm×64(高さ) mm×160(奥行) mm
＊5
＊6
オプションE4991A-1D5装着時。
フロッピー・ディスク・ドライブ動
作時。湿球温度≦29℃、結露しない
こと。
15
材料測定ファームウェア（オプションE4991A-002）
測定パラメータ
誘電率パラメータ
透磁率パラメータ
|εr|, εr’, εr”, tanδ
|µr|, µr’, µr”, tanδ
周波数範囲
Agilent 16453A使用時
Agilent 16454A使用時
1 MHz ∼ 1 GHz（代表値）
1 MHz ∼ 1 GHz（代表値）
測定確度
確度規定の条件
温度
温度許容差
周囲温度
校正温度から±5℃の範囲
測定確度は、23℃±5℃で校正を実行したときの
値です。23℃±5℃の範囲外で校正を実行すると、確
度は記載されている値の1/2に劣化します。
オープン、ショート、ロード
≧8
校正実行時と同じポイント
最大
必要な校正
ポイント・アベレージング回数
確度規定の測定ポイント
16453Aにおける電極圧力
誘電率パラメータの代表的確度＊7
εr’の確度
⎛ ∆εrm’ ⎞
⎜ = εrm ⎟
⎝
⎠
･
εrの損失確度
(= ∆tanδ)
⎡
⎤
⎢
⎥
⎢
⎥
ε’rm
⎛
0.1 ⎞ t
100
⎥ [%]
± ⎢ 5 + ⎜10 + f ⎟ ε’ + 0.25 t +
⎠ rm
⎝
⎢
⎛ 13
⎞2 ⎥
1
⎢
⎜f
⎟ ⎥
⎝ ε’ ⎠ ⎥
⎢⎣
rm
⎦
(at tanδ < 0.1)
±(Ea+Eb) (tanδ < 0.1の場合)
＊7
Ea =
周波数≦ 1 GHzの場合
0.002 + 0.001 • t + 0.004 f +
f
ε’rm
0.1
⎛ 13
⎝ f ε’
1- ⎜
rm
Eb =
f=
⎛∆ε’rm
1
0.002 ⎞
⎜ ε’ • 100 + ε’rm t ⎟ tanδ
⎠
⎝ rm
測定周波数 [GHz]
t=
MUT（試料）の厚さ [mm]
ε’rm =
ε’rの測定値
tanδ =
誘電損失の測定値
16
⎞2
⎟
⎠
仕様（続き）
透磁率パラメータの代表的確度＊8
＊8 E
a
µr’の確度
⎛ ∆µrm’ ⎞
⎜ = µrm ⎟
⎝
⎠
･
µrの損失確度
(= ∆tanδ)
4 + 0.02 • 25 + F µ’rm
f
F µ’rm
⎛
15 ⎞ 2 2
⎜1 + F µ’ ⎟ f [%]
rm ⎠
⎝
= 0.002 + 0.001 + 0.004f
F µ’rmf
∆µ’rm tanδ
•
µ’rm
100
Eb
=
(tanδ < 0.1)
f
= 測定周波数 [GHz]
±(Ea+Eb) (tanδ < 0.1の場合)
F
h
= hln c [mm]
b
= MUT（試料）の高さ [mm]
b
= MUT（試料）の内径 [mm]
c
= MUT（試料）の外径 [mm]
µ’rm = µ’rの測定値
tanδ = 損失（tanδ）の測定値
E4991A材料測定の確度表
＊7
比誘電率測定確度参考値
（試料厚み：0.3 mmの時）
比透磁率測定確度参考値
（試料サイズ＊8：10 mmの時）
誘電損失測定確度参考値
（試料厚み：0.3 mmの時）
磁性損失測定確度参考値
（試料サイズ＊8：10 mmの時）
試料サイズ (F) は以下の式より計算
して求める。
c
F=hln –––
b
h：厚さ (mm)
c ：外径 (mm)
b：内径 (mm)
17
耐熱測定用テスト・キット（オプションE4991A-007）
測定温度範囲
範囲：
−55℃ ∼ ＋150℃
周波数範囲
範囲：
1 MHz ∼ 3 GHz
測定確度＊9
測定確度仕様条件：
測定温度範囲：
確度規定面：
確度規定の測定点：
|Z|, |Y|確度：
耐熱ケーブルの先端（7-mmコネクタ）でオープン/ショート
/50 Ω校正実施。Calibration ON。測定ケーブルが校正測定時
と同じ姿勢を保っていること。
23℃±5℃でかつ校正時の温度から5℃以内。これ以外の温
度条件下では、測定確度は1/2に劣化する。
校正温度 ±5℃
耐熱ケーブルの先端（7-mmコネクタ）
校正実行時と同じ測定点、同じ信号レベル
±(Ea + Eb) [%]
Θ確度：
±(Ea + Eb) /100 [rad]
校正温度：
＊9 Ea ：±0.8 [%] (1 MHz ≦ f ≦ 100 MHz)
±1.0 [%] (100 MHz ＜ f ≦ 500 MHz)
±1.2 [%] (500 MHz ＜ f ≦ 1 GHz)
±2.5 [%] (1 GHz ＜ f ≦ 1.8 GHz)
±5.0 [%] (1.8 GHz ＜ f ≦ 3 GHz)
Zs ：信号レベル＝−3, −13, −23 dBm
±(30 + 0.5×F) [mΩ] (Point Average ≧ 8)
Yo ：信号レベル＝−3, −13, −23 dBm
±(12 + 0.1×F) [μS] (Point Average ≧ 8）
Eb ：(Zs/|Zx| + Y0|Zx|)×100 [%]
耐熱測定用テスト・キット使用時の測定確度（代表値）
18
仕様（続き）
温度変化に伴う測定確度＊10（代表値）
測定確度仕様条件：
測定温度条件：
|Z|, |Y|確度：
Θ確度：
温度補正データを測定した温度ポイントと、実際に測定す
る温度ポイントが一致していること。校正はUser Calを用い
ること。
−55℃∼5℃、40℃∼150℃ かつ校正実施温度より5℃以上
（補正適応時には20℃以上）の温度変化があること。ただし、
この温度範囲に関わらず温度特性ヒステリシス分の誤差は
加わる。
±(Ea + Eb + Ec + Ed) [%]
±(Ea + Eb + Ec + Ed) /100 [rad]
＊10
温度変化に応じて下記誤差（代表値）が測
定確度に追加される
Ec ：Ea’×∆T + Eah [%]
⎛ Z’s×∆T + Zsh
+ (Y’o×∆T + Yoh)
|Zx|
⎝
Ed ：± ⎜
⎞
⎠
×|Zx|⎟ ×100 [%]
Zx ：|Z|測定値
∆T：校正温度から測定温度の変化量
温度補正無し：
Ea’ = 0.006 + 0.015×f [%/℃]
Yo’ = 0.3 + 3×f [µS/℃]
Zs’ = 1 + 10×f [mΩ/℃]
温度補正有り：
Ea’ = 0.006 + 0.015×f [%/℃]
Yo’ = 0.3 + 3×f [µS/℃]
(1 MHz ≦ f ＜ 500 MHz)
1.5 + 0.6×f [µS/℃]
(500 MHz ≦ f ≦ 3 GHz)
Zs’ = 1 + 10×f [mΩ/℃]
(1 MHz ≦ f ＜ 500 MHz)
5 + 2×f [mΩ/℃]
(500 MHz ≦ f ≦ 3 GHz)
f
：周波数 [GHz]
温度特性ヒステリシス：
Eah = Ea’×∆Tmax×0.3 [%]
Yoh = Yo’×∆Tmax×0.3 [mΩ]
Zsh = Zs’×∆Tmax×0.3 [mΩ]
∆Tmax=測定時までの最大温度変化量
19
オーダリング情報
Agilent E4991A インピーダンス/マテリアル・アナライザ
付属品：インピーダンス・テスト・ヘッド、校正キット
（50 Ω、オープン、ショート、低損失キャパシタ、
トルクレンチ）、電源ケーブル、CD-ROM（ファー
ムウェア/VBAソフトウェア・インストール用）、
CD-ROM（マニュアル）
注意：テストフィクスチャ類、キーボード、マウス、
USB/GPIBインタフェース、そしてマニュア
ル(印刷版)は、標準付属品ではありません。
16196A/B/C/D3 平行電極SMDテスト・フィクスチャ
（3 GHzまで）
オプション
16196A/B/C/D-710
拡大鏡、ピンセット
16196A/B/C/D-ABJ 取扱説明書（和文）選択
16196A/B/C/D-ABA 取扱説明書（英文）選択
16196U
オプション
16196U-010
16196U-020
16196U-100
16196U-110
16196U-200
16196U-210
16196U-300
16196U-310
16196U-400
16196U-410
上部電極5個セット(16196A/B/Cモデル共通)
上部電極5個セット(16196D用)
1608用ショート・プレート5個セット(16196A用)
1608用下部電極5個セット(16196A用)
1005用ショート・プレート5個セット(16196B用)
1005用下部電極5個セット(16196B用)
0603用ショート・プレート5個セット(16196C用)
0603用下部電極5個セット(16196C用)
0402用ショート・プレート5個セット(16196D用)
0402用下部電極5個セット(16196D用)
<A> 周波数基準オプション（必須オプション）
●E4991A-800 標準周波数基準、DCバイアスなし
●E4991A-1D5 高安定周波数基準
16200B
外部DC バイアス・アダプタ（1 GHzまで）
16190B
パフォーマンス・テスト・キット
<B> 測定機能オプション
□E4991A-001 DCバイアス機能（±40 V, ±50 mA）
□E4991A-002 材料測定ファームウェア
□E4991A-007 耐熱測定用テスト・キット
□E4991A-010 プローブ・ステーション接続キット
16195B
7-mm 同軸校正キット
16092A
SMD テスト・フィクスチャ（500 MHzまで）
16191A4
(DC∼2 GHz)、片面電極SMDテストフィクス
チャ
<C> 検査成績表オプション
□E4991A-1A7 ISO 17025準拠の検査成績書付き
オプション
16191A-701
16191A-710
16191A-010
コンフィグレーション・ガイド
グループ<A>から必要な周波数基準オプションを選択して
下さい。次に、グループ<B>, <C>, <D>, そして <E>から必
要に応じてオプションを選択して下さい。
●1種類のみ選択が可能なオプション
□複数の選択が可能なオプション
<D> アクセサリ・オプション
□E4991A-810 キーボード
□E4991A-820 マウス
□E4991A-1CM ラックマウントキット
□E4991A-1CN フロントハンドルキット
□E4991A-1CP フロントハンドル/ラックマウントキット
<E> マニュアル・オプション1
□E4991A-ABA 取扱説明書（英文）
□E4991A-ABJ 取扱説明書（和文）
□E4991A-0BW サービスマニュアル（英文）
1： マニュアル（印刷版）は標準付属品ではありません。
アクセサリ
16197A2
底面電極SMDテスト・フィクスチャ（3 GHz
まで）
オプション
16197A-001 0603用デバイス・ガイド・セット
16197A-ABJ 取扱説明書（和文）選択
16197A-ABA 取扱説明書（英文）選択
メインテナンス・キット
ショートバーセット
拡大鏡、ピンセット
EIA/EIAJ規格対応サイズのショート・バー
16192A4
オプション
16192A-701
16192A-710
16192A-010
ショートバーセット
拡大鏡、ピンセット
EIA/EIAJ規格対応サイズのショート・バー
16094A
プローブ・テスト・フィクスチャ
（125 MHzまで）
16453A
誘電体測定電極（1 GHzまで）
16454A
磁性体測定電極（1 GHzまで）
82357A5
Windows用USB/GPIBインタフェース
(DC∼2 GHz)、両面電極SMDテストフィクスチャ
2：マニュアルは言語をお選び下さい。
3：拡 大 鏡 、 ピ ン セ ッ ト は 標 準 付 属 品 で は あ り ま せ ん 。
マニュアルは言語をお選び下さい。
4：ショートバーセット、拡大鏡、ピンセットは標準付属品
ではありません
5：E4991Aから外部の測定器を制御するには、USB/GPIBイ
ンタフェースが必要です。
20
チップ部品/リード部品用テスト・フィクスチャ
16197A 底面電極SMDテスト・フィクスチャ
3 GHzまでのSMDに対応した製品です。幅広いサイズに対応
した調整可能な電極構造となっています。このテスト・フィク
スチャは、長さ0.6 mmから3.2 mm注）までのSMDに対応して
います。
注）0201 (inch)/0603 (mm)サイズには、オプションE4991A001で対応します。
16192A 平行電極SMDテスト・フィクスチャ
2 GHzまでのSMDに対応した製品で、部品を両側の電極で挟
む込む形で固定します。幅広いサイズに対応した調整可能
な電極構造となっています。このテスト・フィクスチャは、
長さ1 mmから20 mmまでのSMDに対応しています。
図27
図24
16197A
16196A/B/C/D 平行電極SMDテスト・フィクスチャ
3 GHzまでのSMDに対応した製品です。特定のSMDサイズ
に対応し、使い勝手をできるだけ簡素化すると同時に、さ
まざまな工夫により測定再現性を極限まで高めた製品です。
16196A: 0603 (inch) / 1608 (mm)
16196B : 0402 (inch) / 1005 (mm)
16196C : 0201 (inch) / 0603 (mm)
16196D: 01005 (inch) / 0402 (mm)
16192A
16194A 平行電極SMDテスト・フィクスチャ
2 GHzまでのリード部品およびSMDに対応した製品です。
2つのデバイスホルダーを有するため、リード部品、SMDの
どちらでも簡単に固定することが可能です。
図28
16194A
SMDテストフィクスチャ セレクション ガイド
図25
DUTサイズ
側面電極SMD
01005 (inch)/0402 (mm)
16196D
0201 (inch)/0603 (mm)
16196C
16197A
オプション
E4991A-001で対応
0402 (inch)/1005 (mm)
16196B
16197A
0603 (inch)/1608 (mm)
16196A
16197A
0805 (inch)/2012 (mm)
16192A1
16197A
1206 (inch)/3216 (mm)
16192A1
16197A
1210 (inch)/3225 (mm)
16192A1
16197A
1210 (inch)/3225 (mm)以上
16192A1
16191A1
16196B
16191A 底面電極SMDテスト・フィクスチャ
2 GHzまでのSMDに対応した製品です。幅広いサイズに対応し
た調整可能な電極構造となっています。このテスト・フィク
スチャは、長さ2 mmから12 mmまでのSMDに対応しています。
底面電極SMD
−
1. 周波数範囲は2 GHzまで
詳細情報については、アクセサリ・セレクション・ガイド
（カタログ番号5965-4792JA）をご覧ください。
その他カタログ情報
図26
16191A
E4991A RF インピーダンス/マテリアル・アナライザ デー
タシート（カタログ番号5980-1233E）
ウエブ情報
http://www.agilent.com/find/impedance
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ークは、PC標準に基づくツールによって測定器と
コンピュータとの接続時間を短縮し、本来の仕事に
集中することを可能にします。詳細については
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March 11, 2005
5980-1234JA
0000-06H