StayClean-A

Water-soluble Additive
StayClean-A
ダイシング中のパーティクル付着を防止
パーティクル付着防止する切削水用添加液剤
イメージセンサの樹脂膜付きウェーハなど、従来のSiウェーハに比べて撥水性が高
いワークでは、乾燥によるパーティクルの固着が問題となっていました。ステイクリ
ン-Aはワークの乾燥を抑制すると共に、パーティクルの沈降速度を低下させること
でパーティクルの付着を大幅に低減させます。
低環境負荷
ステイクリン-AはRoHS対象物質及びPFOSなどの規制化学物質をいっさい含まず、
通常のダイシングと同様の環境*でお使いいただけます。
*循環でご使用される場合は別途ご相談ください。
パーティクル付着抑制効果
ブレード
パーティクルの沈殿抑制
切り粉
切削水
パーティクルの
付着抑制
ワーク
純水のみ
ステイクリン-A使用時
メカニズム
ステイクリン-Aが切削水中に上昇気泡を発生させることで、パーティクルの沈
降速度を低下させ、ワークへの付着を低減します。
ウェーハ加工後の残留パーティクル数
（ステイクリン-Aを1とした場合）
25
20
20
1/
15
少
減
へ
10
5
0
DI Water
(0.5MΩ・cm)
ステイクリン-A(0.1%)
※Vノズル + サイドフローノズル + C/Tウォータカーテン
Water-soluble Additive
StayClean-A
ステイクリンインジェクタ
ステイクリン専用に開発されたステイクリンインジェクタにより、1000倍以上の低い希釈濃度でも安定した供給が可能です。
■お使いになる前の注意
ステイクリン-A, ステイクリンインジェクタ 仕様
ステイクリン-A
原液外観
主成分
pH（ 原液）
密度（ 15 ℃）
残留性/分解性
（1000倍希釈時）
推奨希釈率
電源、電圧
供給水温
供給水圧力
処理流量
添加剤 注入比率
寸法（ WｘDｘH）
質量
pH
g/cm3
mg/L
mg/L
倍
V
deg C
Mpa
L/min
%
mm
kg
ステイクリンインジェクタ
非イオン界面活性剤+水溶性高分子
水溶性高分子ポリマー
7.5～9.5
1.0～1.02
COD　56(JIS K0102-17)
BOD　62(JIS K0102-21)
1,000～2,000(0.1～0.05%)
 製品安全データシート（MSDS）により詳しい注意等が記載されていますので、ステイクリン-Aをご使用さ
れる前には必ずご一読ください。
 用途以外には使用しないでください。
■ご使用上の注意
 目や皮膚に触れないように注意し、取り扱う際には保護眼鏡、保護手袋等の適切な保護具を
着用してください。
AC90 - 230　単相 50/60 Hz
20 - 25
0.2 - 0.5
2 - 20
0.1 - 0.01（ 1,000 - 100 ppm）
インジェクタ 200 x 300 x 500 但し突起物除く
ボトルストッカ 357 x 392 x 440 但し突起物除く
インジェクタ 約22（ 乾燥時）
ボトルストッカ 約10（ 乾燥時）
www.disco.co.jp
 他の薬剤（特に強酸・強アルカリ性の薬剤）との併用は避けてください。
■保管上の注意
 直射日光を避けて、冷暗所で保管してください。ただし、凍結庫に入れないでください。
 きちんと密閉して保管してください。
 品質保証期間は密閉状態で製造日より1年間です。
2014.11