微細加工用レーザ製品と仕様一覧

コヒレント社製 微細加工用パルス＆Q-CW レーザ 仕様一覧 (波長：355/532 nm)
一覧表は2016年3月作成時の内容になります。
波長
モデル名
保証平均出力
標準パルス
エネルギー　注3)
FLARE NX 343
0.2W
100 uJ
MATRIX 355-0.5-60
0.5W @ 60 kHz
8 μJ
＜30 ns @ 60 kHz
50 kHz ～ 100 kHz
18ヶ月（10000時間）
MATRIX 355-1-60
1W @ 60 kHz
16 μJ
＜25 ns @ 60 kHz
50 kHz ～ 100 kHz
18ヶ月（10000時間）
MATRIX 355-1.5-70
1.5W @ 70 kHz
21 μJ
＜30 ns @ 70 kHz
50 kHz ～ 100 kHz
18ヶ月（10000時間）
MATRIX 355-5-50
5W @ 50 kHz
100 μJ
30 ns
～ 150 kHz
18ヶ月（10000時間）
MATRIX 355-8-50
8W @ 50 kHz
160 μJ
25 ns
～ 150 kHz
18ヶ月（10000時間）
AVIA NX 355-10
10W @ 100 kHz
100 μJ
<30 ns @ ～100 kHz
1 shot ～ 200 kHz
12ヶ月（時間無制限）
AVIA NX 355-20
20W @ 100 kHz
200 μJ
<30 ns @ ～100 kHz
1 shot ～ 250 kHz
12ヶ月（時間無制限）
AVIA NX 355-40
パルス幅
動作可能周波数
基本保証
1.0 ns
1 shot ～ 2 kHz
2G shot （15ヶ月）
注１)
40W @ 130 kHz
308 μJ
<35 ns @ ～130 kHz
1 shot ～ 300 kHz
12ヶ月（時間無制限）
343 nm Paladin Compact 355-2000
2W @ 120 MHz
16 nJ
15 ps ( @ 1064 nm typ.)
120 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
/ 355 nm Paladin Compact 355-4000
4W @ 120 MHz
33 nJ
15 ps ( @ 1064 nm typ.)
120 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
Paladin Advanced 355-8000
8W @ 80 MHz
100 nJ
15 ps ( @ 1064 nm typ.)
80 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
Paladin Advanced 355-10000
10W @ 80 MHz
125 nJ
15 ps ( @ 1064 nm typ.)
80 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
Paladin Advanced 355-16000
16W @ 80 MHz
200 nJ
15 ps ( @ 1064 nm typ.)
80 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
Paladin Advanced 355-24000
24W @ 82 MHz
293 nJ
15 ps ( @ 1064 nm typ.)
82 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
Talisker Ultra 355-4
4W @ 200 kHz
20 μJ
<15 ps
1 shot ～ 200 kHz
12ヶ月（5000時間）
Talisker 1000 355-10
10W @ 1 MHz
20 μJ @ 500 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
Talisker HE 355-2
2W @ 50 kHz
30 μJ
<15 ps
50 kHz
12ヶ月（時間無制限）
HyperRapid NX 355-15
15W @ 500 kHz
75 µJ @ 200 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
HyperRapid NX 355-30
30W @ 500 kHz
75 µJ @ 400 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
FLARE NX 515
0.6W
300 μJ
1.15 ns
1 shot ～ 2 kHz
5G shot （15ヶ月）
Helios 532-1-50
1W @ 50 kHz
>20 μJ
＜0.69 ns
1 shot ～ 70 kHz
15ヶ月（8000時間）
Helios 532-1.5-50
1.5W @ 50 kHz
>30 μJ
＜0.69 ns
1 shot ～ 70 kHz
15ヶ月（8000時間）
Helios 532-3-50
3W @ 50 kHz
>60 μJ
＜0.69 ns
1 shot ～ 70 kHz
15ヶ月（8000時間）
MATRIX 532-7-30
7W @ 30 kHz
233 μJ
＜20 ns @ 30 kHz
1 shot ～ 100 kHz
18ヶ月（10000時間）
MATRIX 532-8-100
8W @ 100 kHz
80 μJ
＜35 ns @ 100 kHz
1 shot ～ 200 kHz
18ヶ月（10000時間）
MATRIX 532-14-40
14W @ 40 kHz
350 μJ
＜20 ns @ 40 kHz
1 shot ～ 200 kHz
18ヶ月（10000時間）
＜250 ns @ 1 kHz
1 shot ～ 10 kHz
12ヶ月（5000時間）
＜250 ns @ 1 kHz
1 shot ～ 10 kHz
12ヶ月（5000時間）
＜200 ns @ 1 kHz
1 shot ～ 10 kHz
12ヶ月（5000時間）
＜150 ns @ 1 kHz
1 shot ～ 10 kHz
12ヶ月（5000時間）
＜150 ns @ 1 kHz
1 shot ～ 10 kHz
12ヶ月（5000時間）
REVOLUTION-20　注2)
20W @ 10 kHz
REVOLUTION-35　注2)
35W @ 10 kHz
532 nm REVOLUTION-50　注2)
(515 /
517 / 527 REVOLUTION-65　注2)
nm)
50W @ 10 kHz
65W @ 10 kHz
15 mJ @ 1 kHz
2 mJ @ 10 kHz
22 mJ @ 1 kHz
3.5 mJ @ 10 kHz
30 mJ @ 1 kHz
5 mJ @ 10 kHz
38 mJ @ 1 kHz
6.5 mJ @ 10 kHz
45 mJ @ 1 kHz
8 mJ @ 10 kHz
REVOLUTION-80　注2)
80W @ 10 kHz
AVIA NX 532-36
36W @ 300 kHz
325 μJ @ 110 kHz
＜40 ns @ 130 kHz
1 shot ～ 300 kHz
12ヶ月（時間無制限）
AVIA NX 532-65 HPE
65W @ 300 kHz
850 μJ @ 50 - 80 kHz
＜40 ns @ 130 kHz
1 shot ～ 300 kHz
12ヶ月（時間無制限）
AVIA NX 532-65 HRR
65W @ 300 kHz
300 μJ @ 200 kHz
＜40 ns @ 130 kHz
1 shot ～ 300 kHz
12ヶ月（時間無制限）
Paladin Advanced 532-20000
20W @ 80 MHz
250 nJ
10 ps
80 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
Talisker Ultra 532-8
8W @ 200 kHz
40 μJ
<15 ps
1 shot ～ 200 kHz
12ヶ月（5000時間）
Talisker 1000 532-15
15W @ 1MHz
30 μJ @ 500 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
Talisker HE 532-6
6W @ 50 kHz
100 μJ
<15 ps
50 kHz
12ヶ月（時間無制限）
HyperRapid NX 532-25
25W @ 500 kHz
125 µJ @ 200 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
HyperRapid NX 532-50
50W @ 500 kHz
125 µJ @ 400 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
Monaco 517-20-1
20W @ 1 MHz
20 µJ @ 1 MHz
<400 fs
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
● ビームモード（空間モード）は、“TEM00”シングル・モード。
注1) 時間制限がある場合には、使用時間もしくは期間のいずれか早い方。
注2) REVOLUTIONのビームモードのみ、マルチモード。
注3) 標準パルスエネルギーは、基準周波数動作における換算値です。
注4) プロセスシャッターなし
注5) プロセスシャッターあり
コヒレント社製 微細加工用パルス＆Q-CW レーザ 仕様一覧 (波長：1030/1064 nm/9 µm/10 µm)
波長
保証平均出力
標準パルス
エネルギー　注3)
10W
Monaco
40W
FLARE NX 1030
1W
500 μJ
1.45 ns
1 shot ～ 2 kHz
2G shot （15ヶ月）
2.5W @ 50 kHz
50 μJ
＜0.79 ns
1 shot ～ 70 kHz
15ヶ月（8000時間）
15ヶ月（8000時間）
モデル名
1030 nm RAPID FX
1035 nm
1064 nm Helios 1064-2.5-50
パルス幅
動作可能周波数
基本保証
100 μJ @ 100 kHz
＜900 fs
100 kHz, 200 kHz
12ヶ月(時間無制限）
40 uJ @ 1 MHz
10 uJ @ 4 MHz
＜400 fs
(オプションモデルで10 psまで可変）
1 shot ～ 1 MHz,
1 shot ～ 4 MHz
12ヶ月（時間無制限）
注１)
Helios 1064-5-50
5W @ 50 kHz
100 μJ
＜0.69 ns
1 shot ～ 70 kHz
Flare 1064-50-50
50 mW @ 50 Hz
1 mJ
2 ns
50 Hz 固定
9
2 x 10 shot （15ヶ月）
MATRIX 1064-10-30
10W @ 30 kHz
333 μJ
＜40 ns @ 30 kHz
1 shot ～ 100 kHz
24ヶ月（時間無制限）
Talisker Ultra 1064-16
16W @ 200　kHz
80 μJ
<15 ps
1 shot ～ 200 kHz
12ヶ月（5000時間）
Talisker 1000 1064-25
25W @ 1 MHz
50 μJ @ 500 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
Talisker HE 1064-10
10W @ 50 kHz
>180 μJ
<15 ps
50 kHz
12ヶ月（時間無制限）
RAPID NX
7W @ 1 MHz
50 µJ @ 50 kHz
10 - 15 ps
50 kHz ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
HyperRapid NX 1064-50
50W @ 500 kHz
250 µJ @ 200 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
HyperRapid NX 1064-100
100W @ 500 kHz
250 µJ @ 400 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-20
20W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-30
30W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-30 (9.3 μm)
17W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-30 (10.2 μm)
30W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-40
40W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-40 (10.2μm)
40W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-55
55W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-55 (9.3 μm)
40W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-70
70W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND GEM-100
100W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz
12ヶ月（時間無制限）
DIAMOND GEM-100L (9.6 μm)
80W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz
12ヶ月（時間無制限）
DIAMOND GEM-100L (10.2μm)
100W (CW)
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz
12ヶ月（時間無制限）
9 μｍ DIAMOND G-100
～
10.6 μｍ DIAMOND G-100i (9.4 μm)
100W @ 1 kHz, 60% duty
200 mJ (typ.)
3 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下） 1 shot ～ 100 kHz
12ヶ月（時間無制限）
100W @ 1 kHz, 60% duty
200 mJ (typ.)
3 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下） 1 shot ～ 100 kHz
12ヶ月（時間無制限）
DIAMOND J-2-9.4
150W @10 kHz, 60% duty
450 mJ (typ.)
2 us～1 ms 可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 200 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND J-2-10.6
150W @10 kHz, 60 % duty
450 mJ (typ.)
2 us～1 ms可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 200 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND J-3-9.4
225W@10 kHz, 60% duty
750 mJ (typ.)
2 us～1 ms可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 200 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND J-3-10.2
225W@10 kHz, 60% duty
650 mJ (typ.)
2 us～1 ms可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 200 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND J-3-10.6
250W@10 kHz, 60% duty
750 mJ (typ.)
2 us ～ 1 ms可変（Duty 60%以下） 1 shot ～ 200 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND J-5-9.4
350W@10 kHz, 60% duty
1700 mJ (typ.)
2 us ～ 800 us可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 200 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND J-5-10.6
400W@10 kHz, 60% duty
1300 mJ (typ.)
2 us ～ 800 us可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 200 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND E-150
150W @ 1 kHz, 60% duty
315 mJ (typ.)
2 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 100 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND E-400i (9.4 μm)
350W @ 1 kHz, 40% duty
875 mJ (typ.)
2 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 100 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND E-400
400W @ 0.6～200 kHz, 60% duty
800 mJ (typ.)
2 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 200 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND E-400CL2(パワーループ）
400W @ 1～100 kHz, 60% duty
800 mJ (typ.)
2 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下）
1 kHz ～ 100 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND E-1000
1000W @ 0.6～200 kHz, 60% duty
2000 mJ (typ.)
2 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 200 kHz
24ヶ月（時間無制限）
● ビームモード（空間モード）は、“TEM00”シングル・モード。
● CO2のパルス幅可変範囲はパルス・モジュレーション範囲の意味。
注1) 時間制限がある場合には、使用時間もしくは期間のいずれか早い方。
注3) 標準パルスエネルギーは、基準周波数動作における換算値です。
注4) プロセスシャッターなし
注5) プロセスシャッターあり
※本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。
※本表に記載のない特殊条件（繰返周波数、パルスエネルギー）に関しては別途お問合わせください。
コヒレント・ジャパン株式会社
東京本社 Tel. 03‐5635‐8700 Fax. 03‐5635‐8681