高度加速寿命試験装置

高度加速寿命試験装置
（HAST CHAMBER）
CAT.NO.96160-U1606
温度･湿度･加圧環境が創りだす、
IEC60068−2−66の試験環境。
電子部品の耐湿評価試験に求められるもの。
それは、フィールドとの相関関係における正確な試験結果の再現とともに、
最短試験時間で試験結果が得られること。
高度加速寿命試験装置EHSシリーズは、性能･機能･使いやすさはもちろん、
国際規格IEC60068−2−66 への対応、バイアステストを行う視点から
数々の利便性･安全性も備えています。
1
EHS−211M
EHS−221MD
2
Utility
バイアステストにおける機能性と使いやすさが一段とアップ。
テストエリアを最大限に拡張
圧力容器は圧力を均等に分散し優れた強
度を持つ丸型を採用。プリント基板をは
じめとする試料を収納しやすいよう、テス
トエリアを最大限まで拡張しています。
試験条件の多様化や大容量化に
応える2 段積タイプ（MDタイプ）
試験条件の多様化に伴う異なる試験条件
での同時試験や、処理量の増大に悩むこ
となく、1台のスペースで 2倍の容量で対
応できる2 段積タイプを用意しています。
器内
試料数にあわせて増設できる
試料信号端子
バイアス試験用の試料信号端子は、1チャ
ンバーあたり12ピン
（2 段積みタイプは 12
ピン×2チャンバー）を標準で備え、12ピ
ン単位で最大 60ピンまで増設が行えま
す。
（オプション）なお、EHS−221
（M･MD）
タイプは標準で12ピン、オプションで最
大 72ピンまで増設が行えます。
試料印加端子
内部印加端子
試料の結露･濡れを解消
二重円筒構造と独自の空調方式の採用に
より、自然対流方式の試験装置に比べ試
料への結露･水滴落下を解消。試験前後
工程においても、温度制御や器内ファンの
駆動により試料への結露･濡れを防止し、
信頼性の高い試験を可能にしました。
（乾湿球温度制御･不飽和制御）
煩雑なワイヤリング作業が不要な
カスタムラックを用意（別料金）
カスタム対応のスライド式ラック
（一例）
3
コネクタに基板をセットするだけで電圧･
信号印加が行えるように、お客さまの試料
に合わせたラックをご用意します。また、
試料のセッティングや配線作業が容易に
行えるスライド式ラックも承ります。
Utility
優れた利便性と数々の安全対策が試験をサポート。
イージーオペレーションの
プログラム設定
1パターンあたり30ステップ、トータル10
パターンのプログラム機能を備えていま
す。プログラム設定も温度、湿度、時間を
キー操作で簡単に行える、イージーオペ
レーションを実現しました。
ボタン操作で安全･確実に行える、
扉の自動締付け機構
ボタン操作による扉自動締付け機構を採
用し、試験器内に圧力がかかっている場
合はロック機構により誤操作による扉の
開閉を防いでいます。
加湿水の自動給水システム
試験開始時に、給水タンクから試験 1回分
に必要な加湿水が自動給水されます。
また、給水タンクの残量が一目でわかるよ
う前面にスリットを設けています。
万一のトラブルから試料を守る
試料電源制御端子
試験工程中に試料へ電圧や信号を印加す
るための接点出力信号を出す試料電源制
御端子を備えています。トラブル発生時
には、温度過昇防止機構や空焚防止機構
などの保安動作と連動して試料への通電
を停止し、大切な試料や装置を守ります。
計装
安心してお使いいただける
数々の安全対策
温度過昇･過圧や空焚防止、給水異常およ
び扉締付け異常の検知をはじめ、漏電しゃ
断器や温度センサ断線保安機構などの保
安機構を備えています。トラブル発生時
に警報ブザーやランプで外部に知らせる
外部警報端子も装備。
装置下部に設けた給水タンクと収納スペース。
収納スペースには電源ユニットや周辺機器などを設置できます。
4
Utility
従来の試験データとの互換性を備え、IEC60068−2−66規格試験にも対応。
●
国際規格 IEC60068−2−66に対応しています
IEC（国際電気標準会議）規格における環境試験規格･
IEC60068−2−66。高度加速寿命試験装置EHSシリーズは、
当社独自の乾湿球温度制御機能により、IEC60068−2−66
に定められている試験装置の条件を満たし、規定された試験
を実施することができます。
なおEHSシリーズは、IECをはじめEIAJED4701、JEDEC、
EIA/JESD22−A110−Aで定められている試験条件も満足す
ることができます。
※エスペックはIEC60068−2−66 の制定に参画し、私たちの技術思想と
実測データで、規格制定に寄与いたしました。
●
イオンマイグレーション評価システムとの接続例
IEC60068−2−66対応の
温湿度制御（Mタイプ）
IEC60068−2−66に対応できるMタイプ
は、試験器内の温湿度を乾湿球温度セン
サで直接測定する当社独自の「乾湿球温
度制御」を採用。試験開始前から試験終
了後の温度降下･保存までの全工程にわ
たり高精度に温湿度制御を実現していま
す。試験終了後は試験温湿度から一定時
間で温湿度を降下させ、保存工程は試料
を取り出すまで一定の温湿度で試験器内
を維持します。これにより、大気圧復帰後
の試料の乾燥を防止し、常に管理した温
湿度雰囲気に置くことができます。
試験終了後の圧力･温度ショックを
解消し、試料の乾燥を防止
緩降圧･排気･排水機構により、試験終了
後の急激な圧力･温度変化をなくし、試料
が含有している水分の蒸発を防ぎます。
これにより、フィールドとの相関関係にお
けるより正確な試験結果が得られます。
イオンマイグレーション評価
エスペックのイオンマイグレーション評価
システムと高度加速寿命試験装置とを連
動することで、より正確なイオンマイグレー
ション評価が行えます。
パソコンで遠隔操作
パソコンによる装置のモニタリングや遠隔
操作については、お問い合わせください。
エスペック製品の
回収･リサイクルサービスを開始
エスペックは資源循環型社会への取り組
みのひとつとして「広域認定制度」を取得。
使用済みとなりましたエスペック製品の回
収･再資源化を進めています。
（詳しくはお問い合わせください）
5
Control operation
従来の試験データを活かせる
制御機能を装備
制御機能は従来の試験データにあわせて
お選びいただけるよう、Mタイプは「乾湿
球 温 度制御」、
「不飽 和制御」、
「濡れ飽
●
和制御」の 3モードを装備。標準タイプで
は
「不飽和制御」、
「濡れ飽和制御」の 2モー
ドを備えています。
3 モードの制御機能
●試験の前後工程における温湿度勾配制御が可能。
乾湿球温度制御（Mタイプ）
試験器内圧力
0.010MPa
（Gauge）
試験時間
排気弁開放
試験器内温度
験 終 了 後 は 試 験 器 内 圧 力 が 0.010MPa
（Gauge）
になれば排気だけを行い、
加湿水は残留。
●保存工程において一定の温湿度で試験器内を維
持（＋50～＋95℃／ 75～95％rh 範囲内）
湿球温度
＋100℃
●試
勾配
保存工程
勾配
●試料裏面の結露しやすい温度上昇時には、
自動
不飽和制御（加湿水温度制御）
試験時間
試験器内温度
＋100℃
加湿水温度
試験器内圧力
0.010MPa
（Gauge）
排気弁開放
的に加湿水温度を試験器内温度よりも常に30℃
低く上昇
●試
験 終 了 後 は 試 験 器 内 圧 力 が 0.010MPa
（Gauge）
まで自然冷却・減圧してから排気・排水。
加湿水排水
30℃
●試験器内温度を加湿ヒータで制御
（試験器内温度
濡れ飽和制御
試験時間
試験器内温度
＋100℃
試験器内圧力
0.010MPa
（Gauge）
排気弁開放
＝加湿水温度）。
●試 験 終了後、
器内圧力が 0.010MPa（Gauge）
まで自然冷却・減圧し、排気だけを行い、加湿水は
残留。
加湿水温度
6
仕様
型式
EHS−211
（M）
EHS−211MD
EHS−221
（M）
制御方法
試験装置の種類
方式
EHS−411
（M）
EHS−411MD
定値温度湿度連続制御、プログラム運転、温度上昇降下時･湿度制御（M・MDタイプ）
温度湿度設定
温度･相対湿度直接設定
制御動作
PID制御 ･ SSR駆動方式
電源
AC200V 1φ 50／60Hz
圧力容器の種類
全負荷電流
騒音※
小型圧力容器
15A
30A
20A
40A
15A
30A
46dB以下
50dB以下
46dB以下
50dB以下
46dB以下
50dB以下
温度制御範囲
＋105.0 〜＋142.9℃
＋105.0 〜＋162.2℃
不飽和制御
湿度制御範囲
75〜100％rh
圧力範囲
0.020 〜 0.196MPa（Gauge）
温湿度調節幅
±0.5℃
（at 100％rh）、±0.7℃
（at 75％rh）
0 → 0.196MPa（Gauge）
約30 分
濡れ飽和制御
温度制御範囲
圧力範囲
0 → 0.196MPa（Gauge）
約 60 分
＋105.0 〜＋132.9℃
＋105.0 〜＋151.1℃
0.020 〜 0.392MPa（Gauge）
±0.5℃
温度分布
温度上昇
性能
0 → 0.196MPa（Gauge）
約75分
0 → 0.392MPa（Gauge）
約 60 分
＋105.6 〜＋142.9℃
＋105.6 〜＋162.2℃
湿度制御範囲
75〜 95％rh
0 → 0.196MPa（Gauge）
約 60 分
温度制御範囲
試験工程
乾湿球温度制御（ タイプ）
温度下降
M
±0.5℃
0 → 0.196MPa（Gauge）
約 45分
温度制御範囲
加熱･加圧時間
（at RTが＋23℃）
0 → 0.392MPa（Gauge）
約 45分
0.020 〜 0.196MPa（Gauge）
温度調節幅
加熱･加圧時間
（at RTが＋23℃）
0.020 〜 0.392MPa（Gauge）
±0.5℃／±3％rh
温度分布
加熱･加圧時間
（at RTが＋23℃）
0 → 0.196MPa（Gauge）
約 90 分
0 → 0.392MPa（Gauge）
約75分
＋105.6 〜＋142.9℃
＋105.6 〜＋162.2℃
湿度制御範囲
75〜 98％rh
圧力範囲
0.020 〜 0.196MPa（Gauge）
温湿度調節幅
0.020 〜 0.392MPa（Gauge）
±0.5℃／±3％rh
温度分布
±0.5℃
（at 98％rh）、±0.7℃
（at 75％rh）
温度制御範囲
＋50.0 〜＋95.0℃
保存行程
温度下降時間
（at RTが＋23℃無試料）
＋142.9℃／75％rhから
＋ 85.0℃／85％rhまで
温度制御範囲
＋162.2℃／75％rhから
＋ 85.0℃／85％rhまで
約120 分　75〜 95％rh
連続約200 時間使用可
（無試料状態：＋162.2℃／75％rh）
圧力容器材質
ステンレス鋼材
（SUS−316L）
扉材質
ステンレス鋼材
（SUS−316L）
外殻材
冷間圧延鋼板、メラミン焼付塗装仕上げ、FRP樹脂（レザートーン）
断熱材
構成
圧力容器
グラスウール
温度センサ、ヒータ、試料信号端子、撹拌ファン、撹拌ファン用モータ、温度過昇防止検出端、空焚防止検出端
扉
自動締付け方式
（放射棒式）
試験器内
制御盤
約120 分
＋50.0 〜＋95.0℃
湿度制御範囲
湿球ウィック
試験室用試料棚、棚受 2 段
（ 1槽につき）
温湿度表示器、時間表示器、電源入／切キー、設定キー、工程表示灯、トラブル警告灯、扉開放／締付キー
給水方式
自動給水方式
給水量（始動時）
1L
その他
1.5L
1L
排気弁、給気弁、排水フィルタ、排水弁、空気導入ポンプ、給水ポンプ、給水弁
装備品
温湿度調節器、ヒータ、タイマ、試料信号端子（コネクタ式、12ピン、AC／DC125V 1A）、外部警報端子、試料電源制御端子、自動起動タイマ、電源ケーブル
圧力計（ブルドン管方式）
目盛り：−0.1〜 0.4MPa（Gauge）
目盛り：−0.1〜1MPa（Gauge）
キャスタ
4個
—
4個
—
4個
—
器内容量
18L
18L×2
46L
46L×2
18L
18L×2
寸法
器内寸法（W×H×Lmm）
外法（W×H×Dmm）
重量
搬入時必要寸法（W×Hmm）
7
EHS−221MD
一槽方式
（シングルベッセルタイプ）
255×255×318
355×355×426
640×1483×850
760×1795×1000
約190kg
約350kg
約230kg
約390kg
約190kg
約350kg
690×1540
810×1850
790×1610
910×1850
690×1540
810×1850
加湿用水は 0.05MΩ･cm以上
（20μs／cm以下）の純水をご使用ください。
●
※測定位置：装置前面 1m、高さ 1.2m（JIS Z8731）
740×1553×1000 860×1795×1000
255×255×318
640×1483×850
760×1795×1000
計装仕様
器内寸法図
プログラム制御
● EHS－211
（M・MD）
・411（M・MD）
パターン数
10パターン
ステップ数
30ステップ／パターン
制御方法
ランプ制御、定値制御
プログラム設定機能
ループ、スキップ、エンド命令可能※
最大設定時間
パターン毎にトータルで999.9 時間まで設定可能
255
棚受
です。ループ命令による繰り返しは、1種類のループ命令につき99 回までプログ
ラム設定ができます。
正面図
（棚 288）
右側面図（断面図）
● EHS－221
（M・MD）
温湿度制御範囲
355
404
284
試験工程時
0 0.020
22
44 69.5
※タイムシグナル（オプション）装備時、ステップ毎のタイムシグナルの設定が可能
●
296
223
単位：mm
0.098
棚受
圧力 MPa
0.196 0.294 0.392 （Gauge）
（棚 396）
44 118.5
100
90
相対湿度
正面図
22
（棚 416）
右側面図（断面図）
80
（％rh）
70
型式
60
50
100
EHS - □ □ 1 □ □
110
120
130
140
150
器内温度（℃）
EHS-211
（M・MD）
・221（M・MD）
160
170
EHS-411
（M・MD）
※当該装置の温湿度表示は、
日本機械学会の飽和蒸気圧表（温度基準）
に
基づいています。
※乾湿球制御の場合、湿度範囲は75～98％rhになります。
●
D：2段積み
M：Mタイプ
（乾湿球温度制御）
器内容量 1 ： 18L
2 ： 46L
圧力範囲 2 ： 0.020～0.196MPa
（Gauge）
4 ： 0.020～0.392MPa
（Gauge）
保存工程時
100
90
相対湿度
80
（％rh）
70
60
50
40
50
60
70
80
器内温度（℃）
90
100
8
安全装置
温度過昇防止機構
●
付属品
《EHS−211
（M）･221
（M）･411
（M）》
空焚防止機構
●
過圧防止機構
EHS−211
（M）･411
（M） 大:W248×D288mm
停電保安機構
小:W229×D288mm
漏電遮断器
EHS−221
（M）
大:W348×D396mm
安全弁
小:W285×D416mm
温度センサ断線保安機構
●
撹拌ファン回転異常保安機構
●
湿球ウィック乾燥検知機構
●
扉締付け異常検知機構
●
給水異常検知機構
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
棚板
大･小　各1枚
ヒューズ
（250V 3A）
2個
外部警報端子･試料電源制御端子用プラグ
2個
ケーブルクランプ
1個
湿球ウィック
（Mタイプ）
50 枚
携帯用給水タンク
（ポリタンク 10L）
1個
ブラシ
1本
排水用ホースニップル
1個
●
●
ユーザーズマニュアル
1部
製品保証書
1部
●
●
《EHS−211MD･221MD･411MD》
棚板
●
EHS−211MD･411MD
大:W248×D288mm
小:W229×D288mm
EHS−221MD
大:W348×D396mm
小:W285×D416mm
ヒューズ
（250V 3A）
4個
外部警報端子･試料電源制御端子用プラグ
4個
ケーブルクランプ
2個
湿球ウィック
100 枚
●
●
●
●
携帯用給水タンク
（ポリタンク 10L）
1個
ブラシ
1本
排水用ホースニップル
1個
●
●
●
ユーザーズマニュアル
1部
製品保証書
1部
●
●
禁止
爆発性物質および可燃性物質、
さらにそれらを含有する物質は、試料としては絶対に
使用しないでください。爆発、火災のおそれがあり、危険です。
製品をお使いになる前に、
ユーザーズマニュアルを必ずお読みください。
注意
9
大･小　各 2枚
オプション
記録計 ペーパーレス
試料信号端子
耐震固定金具
タッチパネル付き液晶ディスプレイを採
用した記録計です。器内各部の温湿度･
圧力を記録します。
表示器： 5.7インチ TFTカラーLCD
温度範囲： 0〜+200℃
湿度範囲： 0〜100%rh
圧力範囲： − 0.1〜 0.5MPa（Gauge）
入力数： 各1点
（3点OFF 設定変更可能）
データセーブ周期： 5 秒
内部メモリー ： フラッシュメモリー 8MB
外部メモリー ： CFカード（256MB 1枚付属）
USBメモリーポート
言語： 日本語/英語 切替可能
EHS−211
（M）･411
（M）
12ピン
（6チャンネル※）
×4
EHS−211MD･411MD
12ピン
（6チャンネル※）
×4×2
EHS−221
（M）
12ピン
（6チャンネル※）
×5
EHS−221MD
12ピン
（6チャンネル※）
×5×2
※チャンネル数は、入出力が 2系統の場合。
本体を床面に固定するために使用します。
通信機能
機器の運転管理を行います。
・RS−232C
※標準装備:RS−485
異電圧仕様
AC220V　1φ　50/60Hz
・ EHS−211
（M）
14.0A
・ EHS−221
（M）
18.5A
・ EHS−411
（M）
14.0A
・ EHS−211MD･411MD
28.0A
・ EHS−221MD
37.0A
AC230V　1φ　50Hz
CE仕様（欧州連合（EU）指令に適合）
・ EHS−211
（M）
13.5A
・ EHS−221
（M）
17.5A
・ EHS−411
（M）
13.5A
・ EHS−211MD･411MD
27.0A
・ EHS−221MD
35.0A
温度･湿度･圧力記録計
記録 器内温度
器内相対湿度
器内圧力
記録計スケール板
0〜＋200℃･0〜100％rh･
− 0.1〜 0.5MPa（Gauge）
タイムシグナル
接点出力仕様
・動作　ステップ毎のON･OFF
・チャンネル数　2
EHS−221
オプション 12ピン×5
標準装備 12ピン
テフロンコーティング棚
標準の棚板（大･小）に、テフロンコーティ
ング加工を施します。
試料バスケット
試料棚の上に乗せて使用します。
TYPE A:W150×H50×D150mm
TYPE B :W100×H50×D200mm
TYPE C:W 95×H20×D 95mm
10
http://www.espec.co.jp/
本　社　530-8550 大阪市北区天神橋 3-5-6
Tel : 06-6358-4741 Fax : 06-6358-5500
● エスペック製品や技術に関するお問い合わせは
カスタマーサポートデスク
Fax : 06-6358-4757
営業･アフターサービス拠点
仙　台
宇 都 宮
つ く ば
高　崎
東　京
西 東 京
神 奈 川
厚　木
静　岡
名 古 屋
金　沢
滋　賀
大　阪
兵　庫
広　島
福　岡
Tel : 022-218-1891
Tel : 028-667-8734
Tel : 029-854-7805
Tel : 027-370-3541
Tel : 03-6402-3592
Tel : 042-501-2571
Tel : 044-740-8450
Tel : 0463-94-9433
Tel : 054-237-8000
Tel : 052-777-2551
Tel : 076-268-1891
Tel : 0748-72-5077
Tel : 072-834-1323
Tel : 078-950-1771
Tel : 082-830-5211
Tel : 092-471-0932
Fax : 022-218-1894
Fax : 028-667-8738
Fax : 029-854-7785
Fax : 027-370-3542
Fax : 03-6402-3593
Fax : 042-501-2573
Fax : 044-797-0073
Fax : 0463-94-6542
Fax : 054-238-3441
Fax : 052-777-2575
Fax : 076-268-1893
Fax : 0748-72-5070
Fax : 072-834-7755
Fax : 078-950-1772
Fax : 082-876-5050
Fax : 092-474-3500
受託試験に関するお問い合わせは
宇 都 宮
Tel : 028-667-8735 Fax : 028-667-8733
神 奈 川
Tel : 044-740-8456 Fax : 044-797-0073
豊　田
Tel : 0565-25-3364 Fax : 0565-25-3365
神　戸
Tel : 078-951-0961 Fax : 078-951-0967
レンタルに関するお問い合わせは
Tel : 06-6358-4746 Fax : 06-6358-4764
海外関連会社
ESPEC NORTH AMERICA, INC.
Tel : 1-616-896-6100 Fax : 1-616-896-6150
ESPEC EUROPE GmbH
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Tel : 86-21-51036677 Fax : 86-21-63372237
BEIJING Branch
Tel : 86-10-64627025 Fax : 86-10-64627036
TIANJIN Branch
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ESPEC TEST TECHNOLOGY (SHANGHAI) CO., LTD.
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ESPEC SOUTH EAST ASIA SDN. BHD.
Tel : 60-3-8945-1377 Fax : 60-3-8945-1287
ESPEC ENGINEERING (THAILAND) CO., LTD.
Tel : 66-0-3-810-9353 Fax : 66-0-3-810-9356
CM021
ISO 14001
（JIS Q 14001）
審査登録
エスペック株式会社
（海外関連会社はのぞく）
● 製品の改良・改善のため、
仕様および外観、その他を予告なく変更することがあります。あらかじめご了承ください。
TW7B28C01（記載内容は2016年6月現在のものです。）
● 本カタログに記載されている会社名および商品名は各社の商標または登録商標です。