10-IRV10・20 Series

真空レギュレータ
10-IRV10・20
Series
型式表示方法
C08
10 IRV
標準配管仕様
クリーンシリーズ
10
20
付属品w
ボディサイズ
最大流量140l/min（ANR）
最大流量240l/min（ANR）
管継手
ストレート
エルボ
無記号
L
無記号
なし注1）
G
圧力計付注2）注3）
（10-IRV10：GZ33-K-01-X5付、10-IRV20：GZ43-K-01-X5付）
ZN
ZP
ZA
ZB
注3） NPNオープンコレクタ1出力 ZSE30A-01-N-ML付
デジタル PNPオープンコレクタ1出力 ZSE30A-01-P-ML付
圧力
NPNオープンコレクタ2出力 ZSE30A-01-A-ML付
スイッチ付 PNPオープンコレクタ2出力 ZSE30A-01-B-ML付
注1）プラグナット2ヶ取付済です。
注2）圧力計の精度±3％フルスパン。
注3）プラグナット、ゲージナット付属
（詳細はCAT.S60-20 後付3をご参
照ください）。付属品は同梱となります。
ブラケット
付属品q注1）
ストレート
無記号
エルボ
記号
C06
C08
C10
N07
N09
N11
接続チューブ外径
10-IRV10 10-IRV20
チューブ外径
●
●
ø6
●
●
ミリ
ø8
―
●
ø10
●
●
ø1/4"
●
●
インチ ø5/16"
―
●
ø3/8"
10 IRV 20 A
一面配管仕様
B
L
なし
ブラケット付
底面ブラケット付
注1）付属品は同梱となります。
底面ブラケット
C08
クリーンシリーズ
付属品w
ボディサイズ
10
20
最大流量140l/min（ANR）
最大流量240l/min（ANR）
無記号
なし注1）
G
圧力計付注2）注3）
（10-IRV10A：GZ33-K-01-X5付、10-IRV20A：GZ43-K-01-X5付）
ZN
ZP
ZA
ZB
注3）NPNオープンコレクタ1出力 ZSE30A-01-N-ML付
デジタル PNPオープンコレクタ1出力 ZSE30A-01-P-ML付
圧力
NPNオープンコレクタ2出力 ZSE30A-01-A-ML付
スイッチ付
PNPオープンコレクタ2出力 ZSE30A-01-B-ML付
一面配管仕様
A
一面配管仕様
管継手
無記号
L
ストレート
エルボ
注1）プラグナット取付済です。
注2）圧力計の精度±3％フルスパン。
注3）ゲージナット付属。付属品は同梱となります。
付属品q注1）
無記号
エルボ
ストレート
記号
C06
C08
C10
N07
N09
N11
C
1
接続チューブ外径
チューブ外径
10-IRV10A 10-IRV20A
ø6
●
●
ミリ
ø8
●
●
ø10
―
●
ø1/4"
●
●
インチ ø5/16"
●
●
ø3/8"
―
●
B
L
ブラケット
なし
ブラケット付
底面ブラケット付
注1）付属品は同梱となります。
底面ブラケット
真空レギュレータ
10-IRV10・20 Series
標準仕様
10-IRV10
型式
シ
リ
ン
ダ
10-IRV20
使用流体
空気
設定圧力範囲注1）
−100∼−1.3kPa
大気吸込消費量注2）
（ANR）以下
0.6 l /min
0.13kPa以下
ハンドル分解能
VAC.側チューブ外径
SET.側チューブ外径
質量（付属品なし）
アロ
クー
チタ
ュリ
エ
ー
タ
5∼60℃
周囲温度および使用流体温度
標準配管仕様
一面配管仕様
ø6, ø8
ø1/4", ø5/16"
ø6, ø8, ø10
ø1/4", ø5/16", ø3/8"
135g
（10-IRV10-C08）
250g（10-IRV20-C10）
125g
（10-IRV10A-C08） 250g（10-IRV20A-C10）
エ
ア
チ
ャ
ッ
ク
注1）真空ポンプの圧力により変化しますのでご注意ください。
注2）常時大気から空気を取込んでいます。
流量特性（代表値）
条件：真空ポンプ排気速度2500l/min
VAC.側圧力−101kPa（初期設定時）
10-IRV10-C08（ワンタッチ管継手ø8）
圧力特性（代表値）
10-IRV10
0
−53.0
−10
−53.5
SET.側圧力kPa
設定圧力kPa
−20
−30
−40
−50
−60
駆
動
制
御
機
器
−54.0
−54.5
−55.0
−55.5
−56.0
−70
設定点
−56.5
−80
−57.0
−100
−90
0
20
40
60
80
100
120
140
−95
−90
流量l/min（ANR）
−85
−80
−75
−70
−65
−60
VAC.側圧力kPa
圧フ
力ィ
制ル
御タ
機・
器
管
継
手
・
チ
ュ
ー
ブ
10-IRV20
10-IRV20-C10（ワンタッチ管継手ø10）
0
−53.0
−10
−53.5
SET.側圧力kPa
−20
設定圧力kPa
方
向
制
御
機
器
−30
−40
−50
−60
−54.0
−54.5
清圧
浄縮
化空
機気
器
−55.0
−55.5
−56.0
−70
設定点
−56.5
−80
−90
0
50
100
150
流量l/min（ANR）
200
250
−57.0
−100
−95
−90
−85
−80
−75
−70
−65
圧
力
ス
イ
ッ
チ
−60
VAC.側圧力kPa
ク
リ
ー
ン
ガ
ス
フ
ィ
ル
タ
2A
10-IRV10・20 Series
構造図
ハンドル
設定スプリング
大気吸込み弁
真空室
q
ダイヤフラム
ステム
大気室
バルブ
w
VAC
SET
作動原理
ハンドルを右回転させると設定スプリングの力によって、ダイヤフラムとバルブが押し下げられVAC.側とSET.側が通じ、SET.側の真空度が高くなりま
す（絶対真空寄りに変化する）。
さらにSET.側の真空圧力はエア通路を通り、真空室に導かれ、ダイヤフラムの上面に作用し、設定スプリングの圧縮力と対抗し、SET.側圧力が設定され
ます。SET.側が所定の設定値より真空度が高くなった場合（絶対真空寄りに変化する）は、設定スプリングと真空室のSET.側圧力との平衡が崩れ、ダイヤ
フラムが上に押し上げられます。よって、バルブが閉じて、大気吸込み弁が開き、大気がSET.側に流入して、設定スプリングの圧縮力とSET.側圧力が平
衡したところで、SET.側圧力となります。また、SET.側圧力が所定の設定値より真空度が低くなった場合（大気圧寄りに変化する）は、設定スプリングと
真空室との平衡が崩れ、ダイヤフラムが下へ押し下げられます。
よって、大気吸込み弁が閉じて、バルブが開き、VAC.側に吸入され、設定スプリング圧縮力とSET.側圧力が平衡したところで、SET.側圧力となります。
交換部品
A
3
番号
部品名
材質
1
ダイヤフラムアセンブリ
2
バルブアセンブリ
部品品番
10-IRV10
10-IRV20
H-NBR他
P601010-2
P601020-2
H-NBR他
P601010-3
P601020-3
真空レギュレータ
10-IRV10・20 Series
外形寸法図／10-IRV10：標準配管仕様
10-IRV10-□□□G：圧力計付
シ
リ
ン
ダ
30
大気
2.3
55
VAC.側
SET
8
5
≒43
S
T
10.5×4.5
アロ
クー
チタ
ュリ
エ
ー
タ
16.5
7.
10.5
ø3
ø30
34
35
R
ø2
U
35
VAC
R
5
エルボ継手
R
パネル穴加工寸法
パネル板厚MAX.3
エ
ア
チ
ャ
ッ
ク
34
39.5
15.4×5.4
ワンタッチ管継手
（mm）
VAC/SET
継手サイズ ストレート エルボ エルボ エルボ
ø6, ø1/4"
ø8, ø5/16"
R
S
T
U
10
12
19
20
26
28
3
6
33.1
Rc1/8
圧力計接続ポート
43.8
19.1
N
30
2.3
B
駆
動
制
御
機
器
圧フ
力ィ
制ル
御タ
機・
器
55
大気
10-IRV10-□□□Z PA：デジタル圧力スイッチ付
方
向
制
御
機
器
4.5
50
継手部寸法
21
15.1
63
≒83
圧力計
SET
28
ø
S
T
エルボ継手
□30
34
35
R
管
継
手
・
チ
ュ
ー
ブ
VAC.側
16.5
≒57
5
7.
ø3
10.5
U
35
VAC
5
10.5×4.5
R
清圧
浄縮
化空
機気
器
パネル穴加工寸法
パネル板厚MAX.3
R
34
（mm）
VAC/SET
継手サイズ ストレート エルボ エルボ エルボ
ø6, ø1/4"
ø8, ø5/16"
R
S
T
U
10
12
19
20
26
28
3
6
50
Rc1/8
圧力計接続ポート
33.1
19.1
圧
力
ス
イ
ッ
チ
43.8
継手部寸法
21
15.1
63
圧力スイッチ
4.5
ワンタッチ管継手
≒83
39.5
15.4×5.4
4A
ク
リ
ー
ン
ガ
ス
フ
ィ
ル
タ
10-IRV10・20 Series
外形寸法図／10-IRV10A：一面配管仕様
10-IRV10A-□□□G：圧力計付
≒43
VAC
VAC.側
ø30
34
35
30
V
2.3
ø3
7.
5
55
ø2
R
U
10.5×4.5
10.5
35
16.5
SET
8
S
T
エルボ継手
R
5
パネル穴加工寸法
パネル板厚MAX.3
34
39.5
15.4×5.4
継手部寸法
（mm）
VAC/SET
継手サイズ ストレート エルボ エルボ エルボ エルボ
ø6, ø1/4"
ø8, ø5/16"
R
S
T
U
V
10
12
19
20
26
28
7.5
10.5
11
14
19.1
33.1
Rc1/8
圧力計接続ポート
4.5
14.5
22
43.8
15.5
63
大気
≒83
ワンタッチ管継手
50
圧力計
N
P
10-IRV10A-□□□Z A：デジタル圧力スイッチ付
B
≒57
VAC
□30
34
35
R
10.5×4.5
10.5
35
8
ø2
16.5
SET
VAC.側
U
30
V
2.3
ø3
7.
5
55
S
T
エルボ継手
R
5
パネル穴加工寸法
パネル板厚MAX.3
34
39.5
15.4×5.4
ø6, ø1/4"
ø8, ø5/16"
A
5
R
S
T
U
V
10
12
19
20
26
28
7.5
10.5
11
14
19.1
33.1
43.8
15.5
63
4.5
（mm）
VAC/SET
継手サイズ ストレート エルボ エルボ エルボ エルボ
14.5
継手部寸法
22
大気
≒83
ワンタッチ管継手
圧力スイッチ
Rc1/8
圧力計接続ポート
50
真空レギュレータ
10-IRV10・20 Series
外形寸法図／10-IRV20：標準配管仕様
53
シ
リ
ン
ダ
大気
2.3
10-IRV20-□□□G：圧力計付
41
VAC.側
VAC
8
2
S
T
10.5×4.5
R
6
エルボ継手
22
ø3
≒60
ø5
R
ø43
46
50
アロ
クー
チタ
ュリ
エ
ー
タ
U
10.5
SET
パネル穴加工寸法
パネル板厚MAX.4
エ
ア
チ
ャ
ッ
ク
R
40
圧力計
T
U
10.5
10.5
10.5
11
21
21
21
21
27.5
27.5
28.5
30.5
21
21.5
24
27
20
65
40.5
26.6
駆
動
制
御
機
器
5.2
ø6
ø1/4"
ø8, ø5/16"
ø10, ø3/8"
S
22
（mm）
VAC/SET
継手サイズ ストレート エルボ エルボ エルボ
51.7
66.4
継手部寸法
方
向
制
御
機
器
≒103
Rc1/8
圧力計接続ポート
R
51.3
8×6.5
ワンタッチ管継手
N
10-IRV20-□□□Z PA：デジタル圧力スイッチ付
41
大気
2.3
B
圧フ
力ィ
制ル
御タ
機・
器
53
VAC
VAC.側
U
S
T
エルボ継手
R
□30
46
50
管
継
手
・
チ
ュ
ー
ブ
10.5×4.5
ø3
8
6
22
2
ø5
10.5
≒64.5
SET
清圧
浄縮
化空
機気
器
R
パネル穴加工寸法
パネル板厚MAX.4
R
40
継手部寸法
U
10.5
10.5
10.5
11
21
21
21
21
27.5
27.5
28.5
30.5
21
21.5
24
27
51.7
T
65
ワンタッチ管継手
20
S
22
ø6
ø1/4"
ø8, ø5/16"
ø10, ø3/8"
R
66.4
（mm）
VAC/SET
継手サイズ ストレート エルボ エルボ エルボ
≒103
圧力スイッチ
40.5
26.6
5.2
Rc1/8
圧力計接続ポート
51.3
8×6.5
6A
圧
力
ス
イ
ッ
チ
ク
リ
ー
ン
ガ
ス
フ
ィ
ル
タ
10-IRV10・20 Series
外形寸法図／10-IRV20A：一面配管仕様
10-IRV20A-□□□G：圧力計付
≒60
2.3
53
52
41
V
ø
VAC.側
ø3
VAC
R
R
U
SET
10.5×4.5
10.5
50
6
ø43
46
50
8
S
T
エルボ継手
22
パネル穴加工寸法
パネル板厚MAX.4
40
圧力計
ワンタッチ管継手
Rc1/8
圧力計接続ポート
ø6
ø1/4"
ø8, ø5/16"
ø10, ø3/8"
R
S
T
U
V
10.5
10.5
10.5
11
21
21
21
21
27.5
27.5
28.5
30.5
1
1.5
4
7
8
8.5
11
14
21.6
26.6
40.5
65
5.2
（mm）
VAC/SET
継手サイズ ストレート エルボ エルボ エルボ エルボ
55.7
70.4
大気
26.5
継手部寸法
≒107
51.3
8×6.5
N
10-IRV20A-□□□Z PA：デジタル圧力スイッチ付
B
≒64.5
2
2.3
53
VAC.側
VAC
ø3
8
□30
46
50
41
V
ø5
R
U
6
SET
10.5×4.5
R
50
S
T
10.5
エルボ継手
40
22
パネル穴加工寸法
パネル板厚MAX.4
51.3
8×6.5
A
7
R
S
T
U
V
10.5
10.5
10.5
11
21
21
21
21
27.5
27.5
28.5
30.5
1
1.5
4
7
8
8.5
11
14
26.6
40.5
5.2
ø6
ø1/4"
ø8, ø5/16"
ø10, ø3/8"
Rc1/8
圧力計接続ポート
21.6
（mm）
VAC/SET
継手サイズ ストレート エルボ エルボ エルボ エルボ
26.5
継手部寸法
70.4
大気
55.7
ワンタッチ管継手
≒107
圧力スイッチ
65
10-IRV10・20 Series／製品個別注意事項
ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意、共通注意事項については「SMC製品取
扱い注意事項」
（M-03-3）および「取扱説明書」をご確認ください。
取扱説明書は当社ホームページからもダウンロードできます。http://www.smcworld.com/
取扱い
警告
シ
リ
ン
ダ
使用上
注意
q 停電や真空ポンプのトラブルによる真空圧力が低下し
q 真空ポンプへの接続は“VAC”表示のあるポートに配管
た場合に、システムとして危険が予測される場合は安
全回路を設け危険回避できるよう、システムを構成願
います。
w 圧力の調整はハンドルを右回転で「大気圧→真空圧」へ
w 真空レギュレータが故障した場合に、システムとして
e 圧力の調整の際には、ボディの横穴（大気吸入孔）に手
危険が予測される場合は安全回路を設け危険回避でき
るよう、システムを構成願います。
使用環境
警告
q 腐食性ガス、化学薬品、海水、水、水蒸気の雰囲気ま
たは付着する場所では使用しないでください。
w 振動または衝撃の起こる場所では使用しないでください。
e 本真空レギュレータは、常に大気を吸込みますので、
粉塵のない場所で使用してください。
r日光が照射する場合、保護カバー等で避けてください。
t周囲に熱源がある場合、輻射熱を遮断してください。
真空源
注意
q 本真空レギュレータは真空ポンプの圧力調整用ではあ
りません。
w エジェクタは本真空レギュレータにより流量的に小さ
いため“真空源”としての使用には適しませんのでご注
意ください。
接続してください。
変化し、左回転で「真空圧→大気圧」へと変化します。
アロ
クー
チタ
ュリ
エ
ー
タ
を触れないようにご注意してください。
エ
ア
チ
ャ
ッ
ク
r 圧力設定後にハンドルをロックする場合は、ハンドル
下にあるオレンジの帯が隠れるまで、
“カチッ”と音がす
るまで押し込んでください。また、ロックを外す場合
にはオレンジの帯が見えるまで、
“カチッ”と音がするま
で引張り上げてください。
方
向
制
御
機
器
t 本真空レギュレータは負圧専用ですので、正圧を誤っ
て印加することのないようにご注意ください。万一、
正圧が加わった場合、本真空レギュレータは破損する
ことはありませんが、調圧弁内の主弁部が“開”の状態
になり、真空ポンプまで正圧が導入されることになり
ますので、真空ポンプが故障する恐れがあります。
駆
動
制
御
機
器
y 使用する真空ポンプの能力が比較的小さい場合や、使
用する配管材の内径が小さい場合などには、設定圧力
の変化（流量無の状態から流量を流した際の圧力の変化
幅）が大きく現れることがあります。このような場合に
は、真空ポンプの変更や配管径の変更を実施してくだ
さい。真空ポンプの変更が無理な場合には、VAC.側に
容量タンク（容積は使用状況によります）を追加してく
ださい。
u使用するバルブ（電磁弁など）の開閉後の圧力応答時間は、
圧フ
力ィ
制ル
御タ
機・
器
設定側のない容積（配管内積も含む）の大小の影響を受
けます。また、真空ポンプの能力も応答時間に影響を
及ぼしますので、これらの点に十分にご留意の上、ご
使用ください。
管
継
手
・
チ
ュ
ー
ブ
i圧力計を図1の向きでご使用になりますと、零点ズレの
空気
注意
q 使用流体は空気を使用し、それ以外の流体で使用する
要因となりますので、必ず図2の向きでご使用ください。
10-IRV10の場合
零点位置
清圧
浄縮
化空
機気
器
天
場合には、当社にご連絡ください。
w 空気が化学薬品、有機溶剤を含有する合成油、塩分、
零点位置
地
腐食性ガスなどを含む時は、作動不良の原因となりま
すので使用しないでください。
図2
図1
圧
力
ス
イ
ッ
チ
10-IRV20の場合
零点位置
天
地
図1
ク
リ
ー
ン
ガ
ス
フ
ィ
ル
タ
零点位置
図2
8A