チタンゲッタポンプ【GGT-3、PGT シリーズ】

高真空
ポンプ
チタンゲッタポンプ【GGT-3、PGT シリーズ】
チ タ ン ゲ ッ タ ポ ン プ（ GGT-3 、 PGT シ リ ー ズ ） は、 チ タ ン 合 金 を 真 空 中 で 直 接 通 電 し て チ タ ン を 昇 華 さ せ る た め
の ユ ニ ッ ト で す。 昇 華 し た チ タ ン は 周 囲 の 壁 面 に 大 量 の 活 性 金 属 表 面 を 作 り、 化 学 的 に 活 性 な ガ ス（ H 2 、 N 2 、 O 2 、
H 2 O 、CO 、CO 2 ）を吸着排気します。チタンの活性金属表面は、不活性ガス（ He 、Ne 、Ar 、CH 4 、C 2 H 6 、その他
有機ガス）に対しては吸着能力を持たないので、ターボ分子ポンプやスパッタイオンポンプなどと組み合わせて使用
します。
GGT-3
特
PGT-3F
用
長
長寿命フィラメント：
チタン合金フィラメントは、1 本当たり定格連続運転（ 30 秒通電
／ 60 秒 休 止 ）で 約 75 時 間、連 続 通 電 で 約 25 時 間と長 寿 命
です。
ハードベークに対応：
接続フランジ部にはナイフエッジ型メタルシール（ UFC ）で、最
高 250 ℃までのベークアウトが可能です。
UHV 対応：
構成材料は全て超高真空に適した表面処理が施されています。
超高真空の排気系
各種成膜装置（蒸着・スパッタリングなど）において、高真空
ポンプの到達圧力向上のための補助ポンプとして
各種実験・研究用装置において、高真空ポンプの到達圧力向上
のための補助ポンプとして
付
属
品
出力ケーブル： 3m（単芯）×2 本
入力ケーブル： 5 ｍ（ 3 芯）×1 本
取扱説明書： 1 部
オ
プ
シ
ョ
ン
チタンフィラメント： 6 本セット（ PGT-3F/6F 共通）
電極カバー： SUS 製
出力ケーブル： 5 ｍ、10 ｍ
250˚C 耐熱出力ケーブル： 3 ｍ、5 ｍ、10 ｍ（ PFA 電線）
高真空ポンプ
排気速度の設計が自由で到達圧力が向上：
システムの設計に合わせて昇華したチタンの吸着面積を選べ
ば、大きな排気速度が得られ到達圧力性能も向上します。
途
チタンゲッタポンプ【GGT-3、PGT シリーズ】
仕
様
型　式
PGT-3F
PGT-6F
型式
GGT-3
排気速度 ＊1
3 s・m2）
＜20˚C＞ ／ 64m（
＜-196˚C＞
24m3（
/ s・m2）
出力
AC0 ∼ 6V 可変、最大 60A
使用圧力範囲
10-1 ∼ 10-9Pa 程度の超高真空領域
制御方法
タイマーによるON/OFF 制御
0.05 秒∼ 300 時間（ON/OFF 共）
排気可能ガス
H2、N2、O2、H2O、CO、O2
タイマー設定時間範囲
排気不可能ガス
He、Ne、Ar、CH4、C2H6、その他有機ガス
出力表示
出力電流表示
リーク量
1.3×10-11Pa・m3/s 以下
出力表示目盛
アナログ表示 ／ 60Aフルスケール
1点
ベーキング温度
250˚C
インターロック入力
所要電力
270W
許容周囲温度
5 ∼ 40˚C
フィラメント材質
チタン合金
入力電圧・周波数
単相 AC200 ∼ 220V 50/60Hz 切り替え
フィラメント寿命
定格連続運転 ＊2：約 75 時間、連続通電：約 25 時間
入力電流
最大 3.5A
フィラメント本数
3本
6本
質量
12kg
接続フランジ ＊3
UFC070-FH
UFC114-FH
質量
1.0kg
2.5Kg
＊1 超高真空圧力領域、
20℃、窒素における計算値
＊2 270W で 30 秒通電、
60 秒休止
＊3 ULVAC 規格のステンレス鋼製ナイフエッジ型メタルシールフランジ（ICF 相当）
外
形
寸
法
図
単位：mm
6
25
5
GGT-3
FUSE
（ 5A ）
R5
S5
140
150
100
INTERLOCK
OUTPUT
25
6
AC200V
8-φ8.4
5
20
φ50.4
M5
200
φ34
M5
φ113.5
PGT-6F
6-φ6.8
φ69.3
PGT-3F
20
100以上
400
φ55
220
240
89
281
89
370
新 鮮な チ タ ン 蒸 着 膜 面 の 固 有 排 気 速 度
N2
O2
CO
CO2
H 2O
CH4
Ar
He
室温（20 ˚C）
24
24
16
48
40
32
なし
なし
なし
液体窒素温度
（−196 ˚C）
64
64
データ
なし
110
92
140
なし
なし
なし
/ s・m2）
単位：m3（
■東日本営業統括部 TEL 03-5218-6011
（代）
■西日本営業統括部 TEL 06-6397-2281
（代）
度
曲
線
1
0.1
株式会社アルバック 規格品事業部
速
A
A：連続通電運転
B：30 秒通電／ 60 秒休止の繰返し運転
ゲッタ面面積：2000cm2
ガス：N2
温度：20℃
0.01
1.00E-07
国内販売： アルバック販売株式会社
気
m3/s 10
排気速度
ガス種
排
H2
ゲッタ面温度
288
377
1.00E-06
1.00E-05
1.00E-04
圧力
B
1.00E-03
1.00E-02
Pa
w w w. u l va c. c o. j p
お問い合わせ
海外販売： 株式会社アルバック
■規格品事業部
TEL +81-467-89-2261
当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。
1550N/2013101500TL