二国間交流事業 セミナー報告書

（様式５）
二国間交流事業 セミナー報告書
平成
独立行政法人日本学術振興会理事長
２８年
３
月
３１日
殿
セ ミ ナ ー 代 表 者 所 属 ・ 部 局 東京大学・大規模集積システム設計教育研究センター
（ふりがな）
職・氏 名
1． 事 業 名
相手国名（フランス共和国）とのセミナー（振興会対応機関：
2． セ ミ ナ ー 名
3． 期
間
4． 開
催 地
あさだ
（都市名と会場名）
5． 参加者数
くにひろ
センター長・教授・浅田 邦博
CNRS
）
日仏マイクロナノ加工に関する研究基盤技術ワークショップ
平成 ２７年
１１月 １８日 ～ 平成 ２７年 １１月 ２０日（ ３日間）
エコールセントラルドリヨン
リヨン市
日本側
１０
名（うち、滞在費等本会負担
４
相手国側
９４ 名（うち、滞在費等本会負担
０
名）
（代表者を含む）
その他の国
参加者
名）
５ 名
計 １０９ 名
- 1 -
6．セミナー参加者
(1) 日本側参加者（代表者は除く。また、振興会により経費を負担された参加者には＊印を付すこと。）
氏
名
所属・部局・職名
藤田博之
東京大学・生産技術研究所・教授
小寺英俊
京都大学・大学院工学系研究科・教授
＊三田吉郎
東京大学・大学院工学系研究科・准教授
ルブラスール
エリック 東京大学・大規模集積システム設計教育研究センター・研究員
島本直伸
東京大学・大規模集積システム設計教育研究センター・研究員
富井一志
東京大学・大規模集積システム設計教育研究センター・研究員
＊澤村智紀
東京大学・大学院工学系研究科・技術職員
＊井上良幸
京都大学・ナノテクノロジー・プラットフォーム微細加工実施機関・
リサーチエンジニア
＊佐藤旦
広島大学・ナノテクノロジー・プラットフォーム微細加工実施機関・
リサーチエンジニア
- 2 -
(2) 相手国側セミナー代表者
所属・職名・氏名
de Labachererie Michel, FEMTO-ST 研究所 教授
(3) 相手国参加者（代表者は除く。また、振興会により経費を負担された参加者には＊印を付すこと。）
氏
名
所属・職名
BOUCHOULE Sophie
Laboratoire de Photonique et de Nanostructures - UPR20
BOISARD Caroline
CNRS Direction Paris Michel-Ange
AIMEZ Vincent
Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes - UMI3463
AYADI Khaled
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
BARDOU Nathalie
Laboratoire de Photonique et de Nanostructures - UPR20
BARGIEL Sylwester
Institut Femto-ST - MIMENTO - UMR6174
BEAL Jérémie
LNIO - Université de Technologie de Troyes
BEDU Frédéric
Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille - UMR7325
BELHARET Djaffar
Institut Femto-ST - UMR6174
BELKADI Nesrine
Institut Femto-ST - UMR6174
BENALI Abdennacer
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
BILLET Margot
Institut Femto-ST - UMR6174
BOUAZIZ Jordan
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
BOUSSEY Jumana
Laboratoire des Technologies de la Microélectronique - UMR5129
BUI Thi Thanh Huyen
Laboratoire Ampère - UMR5005
CARDINAUD Christophe
Institut des Matériaux Jean Rouxel - UMR6502
CARREL Laurent
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
CARRETERO-GENEVRIER
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
Adrien
CHEVOLLEAU Thierry
Laboratoire des Technologies de la Microélectronique - UMR5129
CHIA GOMEZ Laura Piedad
Institut de Science des Matériaux de Mulhouse - UMR7361
CHIKHAOUI
Institut Femto-ST - AS2M - UMR6174
Mohamed
Taha
CHOLLET Franck
Institut Femto-ST - UMR6174
CLAVEAU Guillaume
CEA - LETI
COFFINIER Yannick
Institut d'Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie UMR8520
COMYN Rémi
Centre de Recherche sur l'Hétéro-Epitaxie et ses Applications - UPR 10
CREMILLIEU Pierre
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
- 3 -
CUENIN Eric
Chimie de la Matière Condensée de Paris - UMR7574
DANESCU Alexandre
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
DI CIOCCIO Léa
CEA - LETI Minatec
DUFAUT Patricia
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
EDELY Mathieu
Institut des Molécules et Matériaux du Mans - UMR6283
FAN Zheng
Laboratoire de Physique des Interfaces et des Couches Minces - UMR7647
FULCRAND Rémy
Institut Lumière Matière - UMR5306
GONCALVES Sylvie
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
GORECKI Christophe
Institut Femto-ST - UMR6174
GOURGON Cécile
Laboratoire des Technologies de la Microélectronique - UMR5129
GRIMBERT Bertrand
Institut d'Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie UMR8520
GUILET Stéphane
Laboratoire de Photonique et de Nanostructures - UPR20
HAROURI Abdelmounaim
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
HERTH Etienne
Institut Femto-ST - UMR6174
IBRAHIM Joyce
LNIO - Université de Technologie de Troyes
JEANNOT Jean-Claude
Institut Femto-ST - UMR6174
KADIRI Hind
LNIO - Université de Technologie de Troyes
LABALETTE Marina
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
LALOUAT Loic
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
LAZAR Mihai
Laboratoire Ampère - UMR5005
LECARME Olivier
Laboratoire des Technologies de la Microélectronique - UMR5129
LECLERCQ Jean-Louis
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
LEFEVRE Roland
Laboratoire d'Etudes du Rayonnement et de la Matière en Astrophysique et
Atmosphères - UMR8112
LEHMANN Olivier
Institut Femto-ST - UFC-SAIC - UMR6174
LEROY Floriane
Groupe de Recherches sur l’Energétique des Milieux Ionisés - UMR7344
LETHIEN Christophe
Institut d'Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie UMR8520
LOUMAN Patrick
Suss MicroTec
LULLIN Justine
Institut Femto-ST - UMR6174
LUMEAU Julien
Institut Fresnel - UMR 7249
MAZURCZYK Radoslaw
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
NAJJARI Nabil
Institut d'Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie -
- 4 -
UMR8520
NEUILLY François
Institut d'Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie UMR8520
NOMENYO Komla
LNIO - Université de Technologie de Troyes
OZEROV Igor
Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille - UMR7325
PALLECCHI Emiliano
Institut d'Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie UMR8520
PERRET Corinne
Laboratoire des Technologies de la Microélectronique - UMR5129
PEZARD Julien
Laboratoire Ampère - UMR5005
PITTET Patrick
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
PONSARD Bruno
MICROTEST
PROUST Julien
LNIO - Université de Technologie de Troyes
QUET Virginie
Suss MicroTec
RAUCH Jean-Yves
Institut Femto-ST - dept AS2M - UMR6174
REGRENY Philippe
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
ROCA
Laboratoire de Physique des Interfaces et des Couches Minces - UMR7647
I
CABARROCAS
Pere
ROCH-JEUNE Isabelle
Institut d'Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie UMR8520
ROJO ROMEO Pedro
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
SABAC Andrei
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
SAINT-GIRONS Guillaume
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
SALEM Bassem
Laboratoire des Technologies de la Microélectronique - UMR5129
SEASSAL Christian
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
SEJIL Selsabil
Laboratoire Ampère - UMR5005
SOPPERA Olivier
Institut de Science des Matériaux de Mulhouse - UMR7361
STOLZ Arnaud
Groupe de Recherches sur l’Energétique des Milieux Ionisés - UMR7344
STUDER Vincent
Institut interdisciplinaire de Neurosciences - UMR 5297
TERRIER Nicolas
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
THOMAS Daniel
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
THUAU Damien
Laboratoire de l’Intégration du Matériau au Système - UMR5218
TILLOCHER Thomas
Groupe de Recherches sur l’Energétique des Milieux Ionisés - UMR7344
ULLIAC Gwenn
Institut Femto-ST - UMR6174
USUREAU Elise
LNIO - Université de Technologie de Troyes
- 5 -
VERDENELLI Martine
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
VILQUIN Bertrand
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
WAGUE Baba
Institut des Nantoechnologies de Lyon - UMR5270
WONG Guillaume
Institut Femto-ST - UMR6174
YAREKHA Dmitri
Institut d'Electronique de Microélectronique et de Nanotechnologie UMR8520
YUSIFLI Elmar
NanomedicineLab
ZELSMANN Marc
Laboratoire des Technologies de la Microélectronique - UMR5129
(4) 日本または相手国以外の国の参加者
氏
名
所属・職名（国名）
ANANI Macho
Université de Sidi Bel Abbes - Algeria
BOUJNAH Mourad
Faculty of science Marocco
FLUKIGER Philippe
EPFL Center of MicroNanotechnology (CMi) - Switzerland
FRANCESC Perez-Murano
IMB-CNM, CSIC - Spain
MORIN Vincent
RAITH GmbH
- 6 -
7．セミナー概要（セミナーの目的・実施状況・成果等を簡潔に記載してください。
）
【目的】 「微細加工装置を持たなくても最先端の微細加工研究が行える」大型設備共有プロジェクト「ナ
ノテクノロジー・プラットフォーム」において焦眉の課題となっている、本邦の最先端微細加工技術の実際
を担う「ナノテク技術支援員」の技術レベルと国際プレゼンスを一層向上させるという目的のため、フラン
ス共和国における同等のプロジェクトである「CNRS-RENATECH」と協力して、支援技術に焦点をあてた日仏技
術者交流会を開催する。それによって、両国プラットフォーム間のより深い協力関係の構築を目指す。
【手法】 フランス科学技術庁(CNRS)RENATECH が 2015 年 11 月 18～20 日にフランス共和国にて主催する
「JNTE
(Journees Nationales des Technologies Emergents, 発展分野のテクノロジーに関する国家の集い)」に、
「マイクロ/ナノファブリケーションに関する研究テクノロジーの日仏ワークショップセッション（Workshop
Franco- Japonais sur la recherche technologiques en Micro- et Nanofabrication）
」を設け、共催する。
東京大学が幹事校となって、全国 85 名の「ナノテク技術支援員」から選んだ者を本受託資金ならびに関連資
金によって出張させ、
〔1〕 最新の技術支援テクノロジーを発表（口頭＋ポスター）し、
〔2〕 技術支援の仕組みを議論するとともに、
〔3〕 近隣のナノテク拠点ならびに運営本部への訪問によって他国におけるナノテク支援の実施状況を
学ぶ。
【当初の計画】JNTE プログラム委員として三田准教授が参加し、JNTE 会議に日仏マイクロテクノロジーに関
するワークショップを組み込んだ。近隣のナノテク拠点として、パリ市内 CNRS 本部（科学技術部 INSYS 代表
Jean-Yves Marzin 博士ならびに DRI 国際本部）への訪問、仏 CNRS-RENATECH 拠点の中からパリ郊外の IEF（基
礎電子研究所）
、LPN（フォトニクスならびにナノテクノロジー研究所）
、ブザンソン市の FEMTO-ST 研究所、
そして開催場所であるエコールセントラルリヨン校内 Nano-Lyon 拠点の３都市４拠点+1 本部を選定した。パ
リ拠点の訪問には、本交流を主導してきたナノテクノロジー・プラットフォーム微細加工グループに加え、
同時期に研修を予定していた微細構造解析・分子物質合成プラットフォームメンバーも参加することとし、
総勢 30 名超の訪問団を企画した。
【計画の変更】ところが、それぞれ空路で出発するまさに直前の 11 月 13 日夜（日本時間で 14 日早朝）に、
パリ市内のルバタクランをはじめとして複数個所で一連の爆発テロ事件が発生した。情報が錯綜する中で、
微細構造解析・分子物質合成 PF メンバーのフランス訪問は中止となった。微細加工 PF としての意思決定を
するにあたって、三田准教授が相手方代表者のドラバシュルリ博士と連絡を取って開催の有無を問い合わせ
たところ、
「中止する理由が無いので実行する」という返答を 14 日深夜に得た。対テロリズムでの連帯と安
全確保の両面を考慮に入れ関係者で協議した結果、以下の対策を取ることとにした。
[a] JNTE 国際会議ならびに JNTE サブセッションとしての日仏ワークショップは予定通り開催する。
[b] JNTE 本会議には行動に責任を取れるマネージャクラス（小寺教授・浅田教授・藤田教授・三田准教授・
島本コーディネータ、ならびにルブラスール研究員（フランス国籍）
）を派遣し、JNTE において欠席した支
援員の代理で発表することによって、日→仏方向の情報提供を予定通り行う。
[c]JNTE 国際会議に合わせて公式行事として企画されていた拠点訪問は、もともと参加予定であった参加者
のうち、プラットフォーム代表の小寺教授と東大マネージャの三田准教授との 2 名で行う。両名とも
FEMTO-ST 研究所の訪問経験があるので、ブザンソンは訪問せずパリ拠点から直接リヨンに向かう。
Nano-Lyon 拠点は会場内にあるので参加者全員で訪問する。
[d]本計画のもう一つの目的であった日本のエンジニアが直接フランスのナノテク拠点を訪問して他国にお
けるナノテク支援の実施状況を学ぶ活動は、テロによる不安定な状況が落ち着いた数ヶ月後に改めて実施す
る。
【実施結果】変更した計画に沿って日本学術振興会の変更承諾を得、以下の通り交流を行った。
〔1〕 （１）11 月 16 日の LPN/IEF 拠点訪問、17 日の CNRS 本部訪問を、小寺、＊三田で行った。（＊は本受託費を
利用）（２）11 月 18～20 日の JNTE 国際会議に日本から 6 名が参加した。藤田博之教授が招待講演、浅田教
授がセッションチェアを務め、その他の参加者も全員発表を行った。
（３）会議にはフランス側から 94 名が
参加、フランス以外から 5 名（スイス、アルジェリア、スペイン、ドイツ）が参加した。
（４）Nano-Lyon 拠
点は日本側参加者全員で訪問した。
（５）一連のテロ騒ぎがほぼ収まった 2016 年 3 月 16～18 日に、フランス
のナノテクノロジー・プラットフォーム拠点を訪問した。3 月 16 日：IEMN 研究所ならびに SMILL-E 研究所（リ
ール）、17 日：FEMTO-ST 研究所（ブザンソン）
、18 日：IEF/LPN 研究所（パリ）
、3 月 16～18 日の日程に富井
京都大学マネージャ、＊井上京都大学エンジニア、＊佐藤広島大学エンジニア、＊澤村東京大学エンジニア
が参加し、小寺代表は 17 日の FEMTO-ST 研究所、浅田教授が 18 日の IEF/LPN 研究所に同行した。＊三田准教
授は加えて 19 日にパリ東大学 ESIEE 研究所を訪問した。それぞれの拠点で、フランス側からは研究所所長に
よる拠点紹介、クリーンルームマネージャによる活動紹介、エンジニアによる技術紹介を受け、日本側の代
表およびマネージャからプラットフォームならびに組織の紹介を行い、エンジニアから技術支援例を紹介し
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た。１１月と 3 月の訪問先は（CNRS）と密接に相談の上、JNTE 実施時（１１月）の訪問とテロが収まった３
月との２回に分けた訪問で相補的に効果が得られることを目標として訪問先を選定した。その結果、３月の
訪問では１１月に実施できなかった FEMTO-ST 研究所に加えて既に訪問を行った拠点のうちパリの大型２拠
点の訪問は実施することとした上で、小規模な訪問先（Nano-Lyon 拠点ならびに CNRS 本部）を外し、入れ替
わりに本交流相手である仏 CNRS-RENATECH の６プラットフォーム拠点の中からフランス北部方面の拠点であ
る IEMN 研究所（リール市）を選定した。RENATECH の運用上、６プラットフォーム拠点は全て同格であるが、
それぞれの拠点は独立した運営をしているので、より多くの拠点に訪問することが当初目的である他国にお
けるプラットフォーム運営状況を学ぶことにつながるためである。さらに 3 月 16 日の IEMN 研究所の訪問は
午後 3 時に終了し、次なる訪問先である FEMTO-ST 研究所（ブザンソン市）への移動の新幹線（午後 5 時）ま
でに待ち時間があるため、その時間を有効に利用して、CNRS 側から日本とフランスとの共同研究室である
SMILL-E 研究所の訪問を勧められたので、訪問を行った。同拠点は RENATECH の担当官にとっても初めての訪
問であり、RENATECH の外でマイクロナノ微細加工作製施設が整備されんとするさまを見学することは大きな
意義があったと伺っている上、日本ナノテクプラットフォーム運営母体としても、どこまでを研究室の自前
で整備し、どこからプラットフォームに整備するのが効率的であるのかという重要な課題を意識するという
点で大きな成果が得られた。３月の訪問ではテロリズム等万一の緊急事態の対応のため、フランス語をネイ
ティブスピーカー並に使える三田准教授が訪問団の最後にフランスを発つことが大変に望ましいと考えられ
た（幸い出張には響かなかったが、実際３月２３日にブリュッセル市でテロ事件が起こった）ことと、パリ
東大学 ESIEE 校において 600 ㎡の新しいクリーンルームを建設中という情報を得たことから３月１９日土曜
日訪問する旅程を組み実施した。その結果、１１月と３月の２度に分けて訪問を実施することで、フランス
全土のナノプラット大型拠点の 2/3（４拠点）
、ナノプラットのサテライト拠点（Nano-Lyon）
、CNRS 本部、CNRS
の潜在利用者拠点（SMILL-E）ならびに独立系の大型クリーンルーム（パリ東大学 ESIEE 校）という、テクノ
ロジーの提供側（大型・小型・独立拠点）ならびに利用側という、立場の異なる拠点を全て訪問でき、この
ことによって、当初計画の目的〔３〕にあるように、近隣のナノテク拠点ならびに運営本部への訪問によっ
て他国におけるナノテク支援の実施状況を学ぶことを目的として実施したことができた。
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