Comments
Description
Transcript
クリーンルームAの装置利用について
<22 棟クリーンルーム A(微細加工室) 装置利用の流れ> 【EB 描画装置】利用時間:月~土 9:00~22:00 翌月の利用について、1 次予約日に 利用希望申請書を提出する (原則毎月 16 日:HP で要確認) 記入方法の詳細は申請書用紙を参照 1 次結果開示日に予約日を確認 空きがあれば、追加予約も可 通常予約日以降、使用記録用紙を受け取る 予約日当日、使用記録用紙を持参 36 棟正面入口の予約システムで使用開始操作 36-106(中央試験所事務室)窓口でクリーンルーム A の鍵を借りて入室 使用後、施錠・消灯を確認し、窓口にて鍵を返却 予約システムで使用終了操作 鍵の返却時、事務室が閉室している場合は、翌朝 9:00 までに 返却すること 【EB 蒸着装置】利用時間:月~金 9:00~17:00、土:9:00~16:00 通常予約日以降、36 棟正面入口の 予約システムで予約 使用記録用紙を印刷して持ち帰る 予約日当日、使用記録用紙を持参 36 棟正面入口の予約システムで使用開始操作 36-106(中央試験所事務室)窓口でクリーンルーム A の鍵を借りて入室 使用後、施錠・消灯を確認し、窓口にて鍵を返却 予約システムで使用終了操作 鍵はその日のうちに返却すること 【その他の装置(予約不要)】利用時間:月~金 9:00~17:00、 土:9:00~16:00 利用当日、36 棟正面入口の予約システム 「予約が不要な装置」ウィンドウで 装置横の開始ボタンを押す 36-106(中央試験所事務室)窓口で クリーンルーム A の鍵を借りて入室 使用後、施錠・消灯を確認し、窓口にて鍵を返却 予約システム「予約が不要な装置」ウィンドウで 装置横の終了ボタンを押す 鍵はその日のうちに返却すること