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ロータリーベーン 油回転真空ポンプ

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ロータリーベーン 油回転真空ポンプ
ロータリーベーン
油回転真空ポンプ
TRIVAC B
TRIVAC B
一般工業および研究分野向け
用途
TRIVAC モデル* D4B
半導体の製造
真空コーティング
研究開発
化学/医薬
冶金/炉
ランプおよびチューブ製造
自動車産業
宇宙シミュレーション
分析工学
環境工学
冷却および空調
電気工学
機械工学
医学技術
真空乾燥キャビネット
化学および研究施設
凍結乾燥システム
高真空ポンプシステム用の
補助ポンプ
漏れ検知器
*
D8B
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D16B D25B D40B D65B D16B ex D16 BCS
D25 BCS
D40 BCS
D65 BCS
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TRIVAC ポンプモデルと、そのアプリケーションの全範囲については、弊社の総合カタログを参
照ください。
TRIVAC B
二段式ロータリーベーン油回転真空ポンプ
ロータリーベーン油回転真空
ポンプは、真空技術のあらゆる
領域で使用され、とくに製造や
研究の分野における多くの用
途に適しています。低真空や中
真空圧力の生成に、またはルー
ツポンプ、油拡散ポンプ、ター
ボ分子ポンプ、クライオポンプ
と組み合わせた補助ポンプと
して使用されることもありま
す。
特徴
TRIVAC Bシリーズは、ロータ
リーベーン油回転真空ポンプ
です。ポンプのチャンバーに注
入されたオイルは、シーリング、
潤滑、および冷却のために使用
されます。ポンプの内部構造は
シーリングの無い個別のコン
ポーネントとなっています。コ
ンポーネントはノックピンで
取り付けられているので、容易
に分解、再組立することができ
ます。
環境に優しい
実績ある設計
■ 低騒音
■ 低振動
■ 小型、空冷
■ ハンディ、収納式ハンドル
■ すべての制御とオイルレベ
ルチェックが前面で可能
■ 水平または垂直の、吸入お
よび排気ポート
■ サービスが容易
■ ポンプ分解及び内部の交換
が容易
■ メカニカル/ケミカル用のオ
イルフィルターを装着可能
■ シャフトシールおよびO-リ
ングは、すべてFPM製(バイ
トン)
■ ポンプは非スチール材を使
用していない
■ モーター保護 IP54/IP55
省エネ
■ 低消費電力
■ 低放熱
最新の真空技術
■ 到達圧力までの高排気速度
■ ガスバラストバルブを使用
しても低い到達圧力
■ 高い水蒸気許容量
■ 最大1000mbarでの連続運
転
■ 内蔵オイルポンプでスライ
ドベアリングを強制潤滑
■最小限のエア固有吸入量
■高気密(4He-可能)
TRIVAC B / BCS
信頼いただける技術
設計の特長
カップリングとモーター
1000mbar吸入圧力
吸入側逆止弁
TRIVAC Bのポンプ部は、カッ
プリングを介してモーターに
直接連結され、ポンプが均一か
つスムーズに動作するように
なっています。B14型フランジ
付きモーターは、カップリング
のハウジングにネジ止めされ
ています。
ベアリングに強制給油潤滑を
行うオイルポンプを内蔵して
います。これにより、圧縮され
たチャンバーに最小限の潤滑
油を供給し、スライディングベ
ーンの潤滑を確保しているの
で、1000mbarの吸入圧力でも
問題なく動作します。
ガスバラストバルブ
表面の腐食
ガスバラストバルブは、短いレ
バーで開閉します。ガスバラス
トバルブから適量のエアを取
り入れ、ポンプ内における蒸気
の凝縮を防止できます。
すべてのコンポーネントは表
面の腐食から保護されていま
す。非スチール材は使用してい
ません。オイルケーシング、吸
入および排気ラインはアルミ
製で、耐溶剤シーリング素材を
使用しています。
TRIVAC Bの吸入側には油圧制
御された逆止弁が装着されて
います。停電などで停止してい
る時、逆止弁は接続されている
真空システムで圧力が上昇し
ないよう吸入口をブロックし
ます。同時に、TRIVACの内部ポ
ンプ本体は通気されます。ガス
バラストバルブを開放してポ
ンプが作動している時でも、ブ
ロックプロセスは正しく動作
します。
その結果、ポンプから真空シス
テムへのオイルの逆流は実質
的に防止されます。逆止弁の漏
れ率は3x10-5 mbarl/sです。
ポンプ分解及び内部の交
換が容易
ポンプの内部は、特殊工具や特
別な知識が無くても交換でき
ます。内部にはポンプの動作に
不可欠なすべてのコンポーネ
ントが納められています。内部
を交換すると、TRIVAC Bを新
品同様に再生できます。
TRIVAC BCS
モーター仕様
D4BからD25Bのすべてのポン
プは、単相または3相のAC モ
ーターのいずれかを選択でき
ます。必要に応じて他のポンプ
やモーターも利用できます。
TRIVAC BCS モデルの運転分
野は、より高い気密、多数のア
クセサリー、および/または、
監視機能が要求される場合に
広く適用できます。
製品ラインアップ
すべてのTRIVAC B基本モデル(1~および3~
モーター)は、94/9/EG (ATEX)、内部カテゴ
リー3準拠の認証を受けています。
さらに、94/9/EG (ATEX)、内部カテゴリー3
および外部3準拠の認証を受け、すべての排
気速度クラスで使用できるポンプが1つあ
ります。
特殊な防爆用途には、ゾーン0のポンプ防爆
環境向けに2つのTRIVAC D 16B ポンプモ
デルがあります。どちらのモデルも
94/9/EG(ATEX)-ECタイプ試験認証、
IBExU03ATEX1017 Xおよび
IBExU03ATEX1016X - 内部カテゴリー1お
よび外部2の認証を受けています。
アクセサリー
TRIVAC モデル* D4B
D8B
D16B D25B D40B D65B D16B ex D16 BCS
D25 BCS
D40 BCS
D65 BCS
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排気フィルターAF(-DOT)
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凝縮トラップ/セパレータ AK
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排気フィルター
オイルリターン機能付き ARP/AR
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オイルリターン機能付き ARS
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オイルドレンタップ
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オイルドレンキット
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ダストフィルターFH/DF、
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DN 16~40 KF
吸着トラップ FH/RF
DN 16~40 KF
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コールドトラップ TK
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ダストセパレータ AS
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分子フィルターMF
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メカニカル式オイルフィルターOF
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ケミカル用オイルフィルターCF
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ケミカルフィルター
安全遮断弁付き CFS
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不活性ガスシステム IGS
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リミットスイッチシステム LSS
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ルーツポンプアダプタ
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フランジ部品、バルブ
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*
TRIVAC ポンプモデルと、そのアクセサリーの全範囲については、弊社の総合カタログを参照く
ださい。
オイルフィルターOF/CF
凝縮トラップ AK
ルーツポンプアダプタ
全ての TRIVAC B には、オイル
ポンプ付きの圧力潤滑システ
ムがあるため、メインフローオ
イルフィルターを接続するこ
とができます。これらのフィル
ターは、メカニカルフィルタリ
ング(OF タイプ)あるいは、複
合ケミカル/メカニカルフィル
タリング(CF タイプ)を選ぶこ
とができます。
凝縮トラップは、凝縮物の堆積
と、液体の逆流からポンプを保
護します。
ルーツポンプアダプタは、小型
の ル ー ツ ポ ンプ を 、 TRIVAC
D40 / 65B / BCS の上に直接取
付ける際に使用されます。
メリット:
■ ポンプの寿命延長
■ オイルの使用可能時間の延
長
(使用条件に左右される)
■ TRIVAC B への据付が容易
■ ホース接続は不要
■ フィルターの交換が容易
■ フィルター交換時のオイル
ロスが少ない
■ 特別な要求に対応できる、
幅広い応用分野
■ ポンプの機械的な損傷を防
止
■ フィルターハウジングが同
一
■ 優れた信頼性を得られる保
守表示器
メリット;
■ 追加部品を使用しなくても
簡単に設置できる
■ 吸入側と排気側のどちらで
も使用できる
■ 耐溶剤性
■ ドレンスクリューまたはド
レンタップによる排出
使用環境によっては、蒸気が発
生すると液体が吸入側にたま
ることがあります。このような
場合、TRIVAC Bの吸入側に凝
縮トラップを取り付けること
をお勧めします。排出側で吸入
物が扱いにくい場合や排出側
からポンプにドレンで戻って
いる場合にもお勧めします。
メリット:
■ コンパクトで、省スペース
■ ポンプ間を、短距離で直接
接続
■ コンダクタンス損失が低い
■ 取り付けが容易
TRIVAC D 16 B
半透明プラスチック AF 排気フィルター
と、AK 凝縮トラップ付き
排気フィルターAF
これらの排気フィルターは、オ
イルミストおよび有害物質を
捕集します。
メリット:
■ 汚れや砕けた生成物を捕集
■ 安全バイパス弁付
■ オイルミスト捕集率 99%以
上
■ 収集した物質の確認に使用
するサイトグラス
■ 簡単にフィルターの交換が
可能
■ 耐溶剤性
■ 使いやすく清掃が容易
オプション取付け用のダストフィルタ-ケー
シング(空)
オイルリターン機能付き
排気フィルターAPR/AR/S
この排気フィルターとフロー
ト制御バルブを組み合わせる
と、TRIVAC B の保守期間を大
幅に延ばすことができます。そ
の結果、油の消費が低減されま
す。
種々の吸着剤付きの吸着トラップと、
フィルタ-インサート
メリット:
■ オイルミスト捕集をフィル
タリングする
■ フロート制御バルブを活用
した潤滑油のポンプへの戻
しを行う
■ 潤滑油の損失によるメンテ
ナンス費用が発生しない
■ 標準のフィルターエレメン
ト
■ 安全バイパス弁
■ ほとんど油の消費がない
■ す べ て の シ ー ル が FPM
(FKM)製
■ 垂直方向または水平方向の
どちらでも吸入ポートを簡
単に交換できる
オイルリターン機能付き排気
フィルターが、TRIVAC B の排
気ポートに接続されており、一
方、戻りラインは、吸入ライン
の下の中間フランジに接続さ
れています。
排気されるメディアの性状に
応じて、- 特に危険な物質を
排気する場合には、排気ライン
を排気フィルターに接続する
ことを推奨します。
応用例
ダストフィルター
吸着トラップ
ダストフィルターは、粒子の流
入からポンプを保護します。フ
ィルターは、早く、容易に開閉
ができるように、3 個のロッキ
ングクリップの付いたカバー
付きの鋼製ケーシングで構成
されています。
ダストフィルターケーシング
には、KF フランジが取付けら
れています。
フィルターハウジングは、イン
サート無しで供給されます。フ
ィルターインサートは、必ず、
個別の要件に応じて選定して
ください。
吸着トラップは、ステンレス鋼
インサート付きの容器で、異な
った種類の吸着剤を充填する
ことができます。これらは、蒸
気や、特に水蒸気に高い吸着性
能を発揮します。
メリット:
■
■
■
■
取付けが容易
気密鋼製ケーシング
フィルター交換が容易
高いフィルター容量
メリット:
■ ステンレス鋼製吸着インサ
ート(オプション)
■ 吸着剤再生のため、ステン
レス鋼製インサートの焼成
が可能。(300℃まで)
■ 種々の吸着剤と分離部品と
の使用
■ インサートと吸着剤の交換
が簡単で、早い。
■ 炭化水素のない真空を、コ
スト効率良く発生させる。
■ 多くのドライ圧縮ポンプに
比べ、低い保守コスト
テクニカルデータ
オーダーインフォメーション
TRIVAC B
1)
設計排気速度
1)
排気速度
1)
到達分圧 ガスバラストなし
到達分圧 1)ガスバラストあり
許容水蒸気量
オイル量 最小/最大
モーター容量
回転数
接続ポート
質量
m3/h
m3/h
mbar
mbar
g/h
l
W
U/min.
DN
kg
D4B
D8B
D16B
D25B
D40B
D65B
4.8
4.2
-4
<110
-3
<510
95
0.3/0.8
370
1500
16KF
17.9
9.7
8.5
-4
<110
-3
<510
160
0.3/0.9
370
1500
16KF
18.9
18.9
16.5
-4
<110
-3
<510
305
0.45/1
550/750
1500
25KF
31.5
29.5
25.7
-4
<110
-3
510
480
0.6/1.4
750
1500
25KF
35.8
46.0
40.0
-4
<110
-3
510
1185
1.7/2.6
2200
1500
40KF
72.5
75.0
65.0
-4
<110
-3
510
1925
2.0/3.3
2200
1500
40KF
81.7
1) ISO/R1000、DIN 28 400、およびその他のドイツおよび国際真空技術規格に準拠
オーダーインフォメーション
TRIVAC B 二段式ロータリーベーン油回転真空ポンプ
単相モーター
230V, 50 Hz
218-242 V、50/60 Hz 1)
110-115V/210-230V、50/60 Hz、シューコ差込プラグを含む
110V、50Hz、NEMA プラグ/115V、60Hz、NEMA プラグ*
208-230V、50/60Hz、NEMA plug*
3 相モーター
200-240 V、50 Hz / 200-240 V、60 Hz
200 V、50 Hz (IE2) / 208-240 V、60 Hz (EPAct)
380-400 V、50 Hz / 380-400 V、60 Hz
380-400 V、50 Hz (IE2) / 4160480 V、60 Hz (EPAct)
230V / 400 V、50 Hz
アクセサリー
ルーツポンプアダプター
AK
凝縮トラップ
AF
排気フィルター
AK8/AK25
凝縮トラップ
AF8/AF25
排気フィルター
AR
オイルリターン機能付き排気フィルター
FH
ダストフィルターと
吸着トラップハウジング
DF
ダストフィルターインサート
RF
300℃までの焼成が可能な、
吸着トラップフィルターインサート
吸着剤
D4B
D8B
2)
112 55
140 082**
-
2)3)
112 56
112 45
140 081**
-
112 46
D16B
140 140
4)
2)
112 65
2)
113 25
012 65-1
012 65-2
2)3)
112 65
140 150
4)
D25B
2)
112 75
2)
113 35
912 75-2
2)
112 76
140 160
4)
D40B
2)
-
2)
112 96
140 170
4)
D65B
-
2)
140 180
112 96
4)
2)
140 190
4)
188 06
189 06
190 60
190 50
189 20
140 116T
188 06
1890 06
190 60
190 50
189 20
140 116T
188 11
189011
190 63
190 53
189 21
140 125T
188 11
189 11
190 63
190 63
189 21
140 125T
168 30
188 16
189 16
189 22
140 140T
168 30
188 16
189 16
189 22
140 140T
140 117S
140 118A
140 117S
140 118A
140 117S
140 118A
140 117S 140 141S
140 118A 140 142A
140 141S
140 142A
ご 相 談 く ご 相 談 く ご 相 談 く ご 相 談 く ご相談くだ ご相談くだ
ださい
ださい
ださい
ださい
さい
さい
1)
208-252V
*北アメリカおよび南アメリカ大陸向けバージョン
**他のプラグは、ご相談ください。
2)
94/9/EG (ATEX)認証、内部カテゴリー3。内部:II(i)3G IIC T4 (50Hz)、T3 (60 Hz)。
3)
エネルギー効率クラス指令には準拠しない
4)
94/9/EG (ATEX)認証、内部カテゴリー3 および外部 3。内部:II (i) 3G IIC T4 (50Hz)、外部:II (0) 3G IIC T3 (50Hz)。
TRIVAC ポンプモデルとアクセサリーの全種類については、弊社の総合カタログを参照ください。
ここに記載されているポンプとアクセサリー以外の仕様については、別途お問合せください。
日本エリコンライボルト株式会社
本社
横浜市港北区新横浜 3-23-3
〒222-0033(新横浜 AK ビル)
Tel: 045-471-3330
Fax: 045-471-3323
[email protected]
大阪支社
筑波 技術・サービスセンター
大阪市淀川区西宮原 1-5-28
茨城県つくば市上横場 1959
〒532-0004(新大阪テラツキ第 3 ビル)〒305-0854
Tel: 06-6399-6271
Tel: 029-839-5480
Fax: 06-6399-6273
Fax: 029-839-5485
[email protected] [email protected]
2013/12Rev.0
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