VG Series

プロセスガス排気用バキュームジェネレータ
VG Series
●チューブ内径：●●●●●●●●●●●●●●●●
特　長
●
3個以下
プロセスガス用バルブ
•供給流体の消費を大幅に低減
•一次側の圧力変動に強い
カタログNo.CB-031
形番表示方法
VG
05
A
F
B
形番
標準価格
Aノズル径(mm)
BOリング材質
VG-05F
61,600
φ0.5
FKM
VG-05P
68,900
φ0.5
カルレッツ®
仕様
項目
VG
使用流体
不活性ガス・プロセスガス
流体温度
℃
供給流体
MPa
窒素、ドライエア
供給流体圧力
MPa
0.4〜0.6（作動時）
供給流体消費量
到達真空度
排気量
外部漏れ
耐圧力
周囲温度
ℓ/min（ANR）
16以下　※1
kPa（abs）
13.3以下
ℓ/min（ANR）
6　※1 ※2
Pa・m3/s（He）
2.8×10-12以下
MPa
℃
3
0〜80
IN　：1/4"JXRオス継手（VCR継手と接続可能）
VAC. ：1/4"JXRメス継手（VCR継手と接続可能）
VENT：3/8"JXRオス継手（VCR継手と接続可能）
接続方式
質量
0〜80
kg
0.2
※1 ：0.5MPa 加圧時
（作動時）
※2 ： 使用流体が空気において
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外形寸法図
●VG-05※
IN
VENT
3/8″JXRオス継手
32.5
1/4″JXRオス継手
VAC.
1/4″JXRメス継手
26.5
●到達真空度
31.5
●供給流体消費量・排気量
（ℓ/min（ANR））
（kPa（abs））
100
20
10
消費量・排気量
到達真空度
13.3kPa（abs）
15
消費量
10
排気量
5
1
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8
（MPa）
供給圧力
0
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8
（MPa）
供給圧力
注：上記特性の到達真空度がピーク値となる少し手前の供給圧力（0.4MPa付近）にて異音（ブツブツ音）が出ることがあります。この異音が出ている状態
は特性が不安定となっており、騒音も大きくなります。また、センサなどに影響を与えトラブルの原因となることがありますので、仕様の範囲内で供給圧
力を上げてご使用ください。
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