目次 1 タイムテーブル

目次
1 タイムテーブル
1. タイムテーブル · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 1
2. 会場 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 4
3. フロアマップ · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 5
4. 特別招待講演 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 5
5. ポスターセッション · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 5
6. オーサーズコーナー · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 6
7. イブニングセッション · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 6
8. 商業展示・コマーシャルセッション · · · · · · · · · · · · 6
9. Luncheon Seminar · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 6
10. 参加費 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 6
11. 参加申込要領 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 7
12. キャンセル規定 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 8
13. 宿泊施設のご案内 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 8
14. 最新情報 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 8
15. シンポジウム企画運営委員会 · · · · · · · · · · · · · · · · · 8
16. ナノテスティング学会事務局 · · · · · · · · · · · · · · · · · 9
17. 講演プログラム · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 9
11 月 12 日 (水) 午前 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 9
11 月 12 日 (水) 午後 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 10
11 月 13 日 (木) 午前 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 11
11 月 13 日 (木) 午後 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 14
11 月 14 日 (金) 午前 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 16
11 月 14 日 (金) 午後 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 17
18. 著者索引 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 18
19. 商業展示 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 19
20. 賛助会員一覧 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 22
–1–
2 会場
講演会：
千里ライフサイエンスセンター 5F ライフホール
大阪府豊中市新千里東町 1-4-2 Tel: 06-6873-2010
北大阪急行 (地下鉄 御堂筋線) 千里中央駅 北口出口
すぐ
商業展示：
千里ライフサイエンスセンター 6F 千里ルーム
同上
イブニングセッション：
千里阪急ホテル クリスタルホール
大阪府豊中市新千里東町 2-1-D-1 Tel: 06-6872-2211
–2–
–3–
–4–
3 フロアマップ
6 オーサーズコーナー
発表者の皆様とより活発な議論を行って頂ける場とし
て、講演後にオーサーズコーナーを設けます（特別セッ
ション、コマーシャルセッションの講演は除く）。
7 イブニングセッション
千里ライフサイエンスセンター 5F
イブニングセッションでは、ナノテスティングに関す
る、世界での研究動向の報告と今後の展望について討論
を行います。シンポジウム 2 日目 13 日 (木) の夜、会場は
講演会場から近い千里阪急ホテルです。コース A のシン
ポジウム参加費用には、イブニングセッション参加費も
含まれています。
8 商業展示・コマーシャルセッション
シンポジウムでは、新たに開発した、改良した、ナノ
テスティングに関係する装置等を参加者にご紹介できる、
また、ディスカッションできる商業展示フロア (6 階千里
ルーム) を準備しています (2 日目, 3 日目)。さらに、講
演会場にて新製品をショートプレゼンテーションにて紹
介できる、コマーシャルセッションを準備しています (2
日目)。
9 Luncheon Seminar
千里ライフサイエンスセンター 6F
4 特別招待講演
Prof. Dr. Lothar Pfitzner 氏 (Fraunhofer Institute for
Integrated Systems and Device Technology (IISB)) による特
別招待講演「Yield Enhancement — European Contribution
to a Global Challenge」を、11 月 13 日 (木) 17:00∼18:00
の予定で実施します。
5 ポスターセッション
12 日 (水)、13 日 (木) の両日、昼食休憩時間帯に、日
本電子株式会社 (12 日)、浜松ホトニクス株式会社 (13 日)
により Luncheon Seminar が開催されます。事前申し込み
が必要ですので、シンポジウム参加申し込みの際に申し
込み方法が表示されますので、それに従ってお申し込み
ください。
10
参加費
参加費は、下記のいずれかの方法で 10 月末日までにご
送金下さい。
6F 千里ルームにて、下記の通りポスターセッションを
実施します。
口座番号： 00910-0-16745
加入者名： ナノテスティング学会
• 郵便振替用紙 (払込取扱票) の通信欄に参加者氏名
を記入して、郵便局よりご送金下さい。
• 誠に恐縮ですが、振り込み手数料は、貴方にてご負
担下さい。
《銀行振込》
口座： りそな銀行 千里北支店 普通口座 6843152
加入者名： ナノテステイングガツカイ ナカマエ コ
ウジ
• 送金後、所定の用紙で振込情報をご連絡下さい。連
絡用紙は本会 Web にてダウンロードして頂けます。
《クレジットカード》
本会 Web で参加申し込みをして頂くと、申し込み完了
後、クレジットカードによる参加費支払いのボタンが表
示されます。ボタンをクリックし、画面の指示に従って
お支払いください。
請求書、領収証の発行について
本会 Web で参加申し込みをして頂くと、印影の入った
PDF 請求書が表示されます。請求書の郵送が必要な場合
は、参加申し込み時に、「請求書の郵送」欄をチェックし
てください。
期日までにお支払い頂き、入金確認が完了した場合に
は、シンポジウム受け付けにて領収書をお渡し致します。
それ以外の場合は、参加申込時に「領収証の郵送」欄を
チェックしている場合に限り、後日郵送にてお送りします。
11
参加申込要領
10 月 31 日 (金) までに、本会 Web にてお申し込み下さ
い。申込完了時に表示される参加証をプリントアウトし、
当日、受付にご提出下さい。
http://www-NANOTS.ist.osaka-u.ac.jp/
• 11 月 13 日 (木) 14:00∼15:00：Metrology and
Inspection
• 11 月 14 日 (金) 10:45∼12:00：Failure Analysis II
–5–
《郵便振替》
当日、会場座席に余裕のある場合に限り、当日申し込
みを受け付け致します。満席の場合には受け付けできま
せんので、できる限り、事前にお申し込み下さい。
–6–
–7–
講演者、商業展示担当者の皆様につきましても、全員
参加申し込み手続きが必要です。
16
ナノテスティング学会事務局
ナノテスティング学会事務局
12
キャンセル規定
キャンセルの場合、下記の通り、キャンセル料を申し
受けます。予めご了承ください。
• 11 月 7 日 (金) 17:00 まで：参加費の 10%
• シンポジウム当日まで、あるいは、ご連絡無くご欠
席の場合：参加費の 100%
参加費をお支払い済みの場合、キャンセル料および銀
行振り込み手数料を差し引いて、ご返金申し上げます。
13
14
〒 565-0871 吹田市山田丘 2-1
大阪大学 大学院情報科学研究科
情報システム工学専攻 中前研究室内
Tel/Fax: 06-6879-7813 / 06-6879-7812
E-mail: [email protected]
Web: http://www-NANOTS.ist.osaka-u.ac.jp
17
シンポジウム企画運営委員会
須賀 三雄
寺田 浩敏
二川
清
則松 研二
樋口 裕久
益子 洋治
三好 元介
山崎裕一郎
吉井 一郎
12 日 (水) a.m.
座長
(1)
9:05
最新情報
中前 幸治
後藤 安則
小瀬 洋一
小山
徹
. . . . . . . . . . . . . . . . 12:35∼14:05 昼食休憩 . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . 9:00∼9:05 オープニング . . . . . . . . . . . . . . .
(2)
9:30
(大阪大学)
(トヨタ自動車)
(日立ハイテクノロジーズ)
(ルネサス セミコンダクタマニュ
ファクチャリング)
(日本電子)
(浜松ホトニクス)
(金沢工業大学)
(東芝 セミコンダクター&スト
レージ社)
(日立パワーデバイス)
(大分大学)
(東京大学)
(NGR)
(DCG システムズ)
(3)
9:55
招待講演: 高分子ナノ粒子 DDS の機能の視覚的
解析
高分子ナノ粒子ドラッグデリバリーシステムの設
計を目的とするイオン液体観察法の確立
SPM でナノ表面物性を観る∼真空中の電磁気物
性観察と SEM・ミリング技術連携
山岡武博(a , 岩佐真行(a , 蓮村 聡(b , 安藤和徳(b ,
廣瀬龍介(b , 水口勝利(c / a) 日立ハイテクサイエンス
分析応用技術部, b) 日立ハイテクサイエンス 分析技
術部, c) 日立ハイテクサイエンス 営業部
. . . . . . . . . 10:20∼10:50 オーサーズコーナー&休憩 . . . . . . . . .
X-ray Nanotomography
12 日 (水) a.m.
座長
(日本電子 Luncheon Seminar ※要事前登録)
11 月 12 日 (水) 午後
後藤安則
高橋知里, 小川法子, 川嶋嘉明, 山本浩充 / 愛知学院
大学 薬学部 製剤学講座
http://www-NANOTS.ist.osaka-u.ac.jp/
委員長
委 員
. . . . . . . . . . . 12:05∼12:35 オーサーズコーナー . . . . . . . . . . .
山本浩充, 高橋知里, 小川法子, 川嶋嘉明 / 愛知学院
大学 薬学部, 製剤学講座
シンポジウムに関する最新情報は、下記 Web に随時掲
載致します。適宜ご参照下さい。
15
P. Bleuet(a , D. Laloum(a , L. Kwakman(b , H. Mace(b /
a)
CEA, LETI, MINATEC Campus, b) FEI Electron Optics
講演プログラム
Nano Testing for New Fields
大須賀慎二(a , 大庭 昌(a , 小野田忍(a , 中本勝大(a ,
中野知康(c , 三好元介(b , 早田敬太(b , 浜窪隆雄(b /
a)
浜松ホトニクス, b) 東京大学 先端科学技術研究セン
ター, c) レイフォーカス
(6)
SEM-hosted x-ray nanotomography combined
11:40 to plasma-FIB to investigate materials and
components in microelectronics
11 月 12 日 (水) 午前
宿泊施設のご案内
会場から徒歩約 5 分の位置に千里阪急ホテルがござい
ます。千里阪急ホテルは、イブニングセッションの会場
にもなっています。宿泊ご希望の方は、下記、千里阪急
ホテル Web サイトにてご予約下さい。満室になり次第、
締め切りとなりますので、お早めにご予約下さい。
http://www.senri-htl.co.jp/
三浦克介・御堂義博
(5)
ウォルター鏡を使ったラボサイズの水の窓 X 線
11:15 3D 顕微鏡
後藤安則
Power Device Analysis I
座長
佐川雅一, 安井 感 / 日立製作所 中央研究所
(8)
時間分解エミッション顕微鏡を用いた Chip 表面
14:30 からの Power MOSFET アバランシェ降伏電流の
観察
遠藤幸一(a , 則松研二(a , 中嶋克徳(b , 瀬戸屋孝(a ,
長峰真嗣(a , 中村共則(c , 越川一成(c , 中前幸治(d /
a)
東芝 セミコンダクター&ストレージ社, b) 東芝情報
システムテクノロジー, c) 浜松ホトニクス システム
事業部, d) 大阪大学 大学院情報科学研究科
(9)
ラマン分光法を用いた SiC パワー素子の応力の
14:55 温度依存性計測
杉江隆一, 内田智之, 小坂賢一, 遠藤 亮 / 東レリ
サーチセンター
. . . . . . . . . 15:20∼15:50 オーサーズコーナー&休憩 . . . . . . . . .
(4)
軽元素サンプルの X 線 CT による観察
10:50 三好元介 / 東京大学 先端科学技術研究センター
–9–
吉井一郎
(7)
LIT によるパワー半導体内部における欠陥深さの
14:05 計測
–8–
12 日 (水) p.m.
– 10 –
(16)
9:50
Power Device Analysis II (SiC)
12 日 (水) p.m.
座長
寺田浩敏
(10) 超高次非線形誘電率顕微鏡法によるバイアス印加
15:50 状態における SiC-DMOSFET 断面の空乏層分布
の解析
茅根慎通, 長 康雄 / 東北大学
電気通信研究所
(11) HVEM，3D-SEM による SiC MOS デバイスの
16:15 故障解析
畑 秀樹(a , 蕨野和也(a , 藪内康文(a , 田中康太郎(b ,
林 将志(b / a) パナソニック 解析センター, b) パナソ
ニック オートモーティブ&インダストリアルシステ
ムズ社
(12) 多方向走査透過電子顕微鏡観察による 4H-SiC の
16:40 基底面転位解析
佐藤高広(a , 大津喜宏(b , 生頼義久(a , 一色俊之(c ,
福井宗利(a / a) 日立ハイテクノロジーズ アプリケー
ション開発部, b) 日立ハイテクマニファクチャ&サービ
ス 表面評価グループ, c) 京都工芸繊維大学 大学院
工芸科学研究科
(13) SiC 結晶の表面モフォロジーと転位の関係
17:05 生頼義久(a , 渡邉俊哉(a , 佐藤高広(a , 一色俊之(b ,
福井宗利(a / a) 日立ハイテクノロジーズ アプリケー
ション開発部, b) 京都工芸繊維大学
. . . . . . . . . . . 17:30∼18:00 オーサーズコーナー . . . . . . . . . . .
11 月 13 日 (木) 午前
Fault Localization I
13 日 (木) a.m.
座長
(14)
9:00
則松研二
配線ネット長分布を考慮した実効検出率に関する
一考察
(a
(b
a)
塩沢健治 , 伊東久範 / ルネサスセミコンダクタ
マニュファクチャリング 技術統括部 解析評価技術部,
b)
ルネサスエレクトロニクス 第一ソリューション事
業本部 コア技術事業統括部
(15)
9:25
Time Resolved Imaging を用いた ESD 保護回路
の電流挙動可視化
松本賢和(a , 内角哲人(a , 福本晃二(a , 鶴田浩巳(a ,
奥島基嗣(b , 中村共則(c , 平井伸幸(c , 嶋瀬 朗(c /
a)
ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング
技術統括部 解析評価技術部, b) ルネサス エレクトロニ
クス 設計基盤事業推進部, c) 浜松ホトニクス シス
テム事業部
– 11 –
シリコンフォトニクスデバイスのウエハレベルプ
ロービング
堀川 剛, 志村大輔, 椎名明美, 木下啓藏, 最上 徹 /
技術研究組合光電子融合基盤技術研究所 (PETRA) つ
くば研究開発センター
. . . . . . . . . 10:15∼10:45 オーサーズコーナー&休憩 . . . . . . . . .
Commercial Session
13 日 (木) a.m.
座長
須賀三雄
(C1) BFA (Brute-ForceAnalysis) 技術によるスキャン
10:45 解析
浦西義裕(a , 松村 研(b , 入口健太(a , 程島康貴(a /
a)
REVSONIC LSI Test Div., b) REVSONIC LSI
Design Div.
(C2) レイアウト解析プラットフォームのカスタマイズ
10:51 環境
二階堂正人, 澤村佳美, 平井一寛 / TOOL EDA 製品
事業部
(C3) 磁気電流画像解析によるショート、リーク箇所特
10:57 定法
八島 滋(a , J. Gaudestad(b / a) 東陽テクニカ 営業第
一部, b) Neocera, LLC Magma products, Global Sales &
Applications
(C4) 高出力・高分解能 X 線 CT 装置の紹介
11:03 清宮直樹(a , 田畑慎一郎(a , 川田真也(a , F. Maur(b ,
R. Sommer(b / a) エクスロン・インターナショナル
営業統括部 エレクトロニクス課, b) エクスロン・イン
ターナショナルゲーエムベーハー エレクトロニクス
ファインフォーカスプロダクトライン
(C5) 先端プロセスノードに対応した最新型 SEM 一体
11:09 型ナノプロービング装置「nProber II」の紹介
吉井一郎 / DCG システムズ合同会社
(C6) 自己検知型 AFM 式ナノプローバ
11:15 塩田 隆, 天野佳之 / Wafer Integration CTO
(C7) 精密研磨装置 Bni20 シリーズ
11:21 高崎敏行, 吉田浩之, 野村 誠 / ビーエヌテクノロ
ジー ナノテクソリューション事業部 精密研磨装置グ
ループ
(C10) 画像検証用ソフトウェアの紹介
11:39 伊佐 敏, 山本盛一, 松尾裕二, 伊藤 淳, 若林正浩,
小西圭一, 中村 愛 / アストロン ソリューショング
ループ
(C11) 電子線照射による試料汚染 (コンタミネーション)
11:45 の予防・除去
神田憲一, 舟岡宏樹 / アド・サイエンス
(C12) プラズマ FIB によるラージボリューム観察
11:51 村田 薫 / FEI Company Material Science Business
Unit
(C13) 新型トリプルビーム装置「NX2000」の紹介
11:57 酉川翔太 / 日立ハイテクサイエンス 解析技術部 解
析応用技術課
(C14) 日立走査透過電子顕微鏡 HD-2700 Dual SDD シ
12:03 ステムによる超高感度 EDX 分析のご紹介
鈴木裕也(a , 大津喜宏(b , 佐藤高広(a , 金村 崇(a ,
橋本隆仁(c / a) 日立ハイテクノロジーズ アプリケー
ション開発部, b) 日立ハイテクマニファクチャ&サービ
ス ラボ技術支援センタ, c) 日立ハイテクノロジーズ
電子顕微鏡第二設計部
(C15) 走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡 (sMIM)
12:09 の紹介
出口 匡 / オックスフォード・インストゥルメンツ
アサイラム リサーチ事業部
(C16) 最新型 3 次元アトムプローブ LEAP5000 による
12:15 シングルデバイスの分析
D.F. Lawrence(a , R.M. Ulfig(a , D.J. Larson(a ,
D.P. Olson(a , D.A. Reinhard(a , I.Y. Martin(a ,
S. Strennen(a , P.H. Clifton(a , 射場 忠(b / a) カメカ イ
ンスツルメンツ アトムプローブ テクノロジー セン
ター, b) アメテック カメカ事業部
(C17) 連続傾斜元素マップ自動取得システムと 3 次元再
12:21 構成
中野和俊(a , 古河弘光(a , 青山佳敬(b , 遠藤徳明(b /
a)
システムインフロィア, b) 日本電子
. . . . . . . . . . . . . . . . . . 12:27∼12:35 写真 . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . 12:35∼14:00 昼食休憩 . . . . . . . . . . . . . . . .
(浜松ホトニクス Luncheon Seminar ※要事前登録)
(C8) 新製品紹介 故障解析汎用プラットフォーム 倒立
11:27 型エミッション顕微鏡 iPHEMOS-MP
久米俊浩, 鈴木浩司, 鈴木伸介 / 浜松ホトニクス シ
ステム事業部 システム営業推進部
(C9) 両面観察微細レーザーマーキングシステム
11:33 中島義文 / 東機通商
– 12 –
– 13 –
Metrology and Inspection (poster)
13 日 (木) p.m.
座長
須賀三雄
. . . . . . . . . . . 14:00∼15:00 会場：6F 千里ルーム . . . . . . . . . . .
(17)
EUVL マスクブランクス検査装置
(a
(a
(b
写像投影型電子顕微鏡の画像歪解析
飯田 晋, 平野亮一, 寺澤恒男, 天野 剛, 渡辺秀弘 /
EUVL 基盤開発センター (EIDEC) 先端マスク研究部
(19)
集束イオンビームによる多層膜の照射ダメージの
シミュレーション
大宅 薫 / 徳島大学 大学院ソシオテクノサイエンス
研究部
(20)
モンテカルロ SEM シミュレーションを用いた帯
電現象の研究
飯田悠介(a , 御堂義博(b , 濱口 晶(a , 井田知宏(a ,
阿部秀昭(a , 中前幸治(b / a) 東芝 四日市工場 解析・
検査計測技術部, b) 大阪大学 大学院情報科学研究科
(21)
分水嶺アルゴリズムと機械学習を利用した半導体
電子顕微鏡画像計測の為のライン抽出法
三浦克介(a , 御堂義博(a , 豊田康隆(b , 牛場郭介(b ,
篠田伸一(b , 中前幸治(a / a) 大阪大学 大学院情報科
学研究科, b) 日立製作所 日立研究所 スマートシステ
ム研究部
(22)
離散コサイン変換を用いた単一 SEM 画像の学習
型超解像度化
御堂義博, 中前幸治 / 大阪大学
究科
(23)
大学院情報科学研
TEM 動画像を用いた電子線トモグラフィーの
検討
三津屋陽介(a , 御堂義博(a , 西 竜治(b , 中前幸治(a /
a)
大阪大学 大学院情報科学研究科, b) 大阪大学 超高
圧電子顕微鏡センター
(24)
吉田裕司(a , 本窪田昌也(b , 廣瀬佑介(b , 渡辺友希(b ,
濱口 晶(a , 伊藤俊彦(a / a) 東芝 セミコンダクター
&ストレージ社 四日市工場 解析・検査計測技術部,
b)
東芝 生産技術センター 光技術研究センター
. . . . . . . . . . . . . . . . . . 15:00∼15:10 休憩 . . . . . . . . . . . . . . . . . .
Fault Localization II
– 14 –
国際会議報告
• 2014 IEEE International Reliability Physics
Symposium, IRPS 2014 (東芝 遠藤幸一)
• 18th International Microscopy Congress,
IMC 2014 (大阪大学 御堂義博)
• 25th European Symposium on Reliability of
Electron Devices, Failure Physics and
Analysis, ESREF 2014 (大阪大学 中前
幸治)
V.K. Ravikumar(a , L. Phoa(a , 吉井一郎(b ,
P. Sabineni(c , D.S. Skvortsov(c / a) Advanced Micro
Devices Device Analysis Lab., b) DCG Systems G. K.,
c)
DCG Systems Inc.
内角哲人(a , 佐伯光章(a , 松本賢和(a , 福本晃二(a ,
鶴田浩巳(a , 中村共則(b , 平井伸幸(b , 嶋瀬 朗(b /
a)
ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング
技術統括部 解析評価技術部, b) 浜松ホトニクス シス
テム事業部
(28) A new way for the electrical activities mapping
16:00 inside VLSI devices
K. Melendez(a , K. Sanchez(a , P. Perdu(a , D. Lewis(b /
a)
National french space agency Expertise Lab.,
b)
Universit de Bordeaux IMS Lab.
. . . . . . . . . 16:25∼17:00 オーサーズコーナー&休憩 . . . . . . . . .
特別招待講演
11 月 14 日 (金) 午前
Failure Analysis I
(S1) Yield enhancement — European contribution to
17:00 a global challenge
14 日 (金) a.m.
座長
(29)
9:00
小山 徹
マルコフ連鎖モデルによる半導体素子劣化・寿命
予測
桃田 快, 遠藤幸一, 御堂義博, 三浦克介, 中前幸治 /
大阪大学 大学院情報科学研究科
(30)
9:25
半導体パッケージにおける非破壊解析手法の検討
(31)
9:50
STEM-WDX による極系元素の高感度組成分布評
価技術
大野博文, 則松研二, 村上浩明 / 東芝 セミコンダク
ター&ストレージ社 解析・検査計測技術部
高口雅成(a , 阿南義弘(a , 中前幸治(b / a) 日立製作所
中央研究所基礎研究部, b) 大阪大学 大学院情報科学
研究科
13 日 (木) p.m.
座長 山崎裕一郎
千里阪急ホテル
20:30 ○プログラム：
三好元介
(27) Electro Optical Probing / Electro Optical
15:35 Frequency Mapping による 40nm プロセス製品
の裏面タイミング解析
13 日 (木) p.m.
18:30 ○会場：
(26) Continuous-wave 1064nm laser for
15:10 laser-voltage imaging and probing applications
. . . . . . . . . 10:15∼10:45 オーサーズコーナー&休憩 . . . . . . . . .
Failure Analysis II (poster)
14 日 (金) a.m.
座長
L. Pfitzner, M. Pfeffer / Fraunhofer Institute for
Integrated Systems and Device Technology (IISB)
小瀬洋一
. . . . . . . . . . . 10:45∼12:00 会場：6F 千里ルーム . . . . . . . . . . .
非線形 Total Variation に基づく TEM 像の雑音低
減法と電子線トモグラフィーへの応用
御堂義博, 中前幸治 / 大阪大学
究科
イブニングセッション
13 日 (木) p.m.
座長
a)
宮井博基 , 鈴木智博 , 渡辺秀弘 / レーザーテッ
ク 技術五部, b) EUVL 基盤開発センター 先端マス
ク研究部
(18)
電子線トモグラフィにおけるマーカー法の最適化
(三次元再構成シミュレーション技術と検証)
–
(25)
11 月 13 日 (木) 午後
(32)
大学院情報科学研
荷電粒子ビームプロービングによる電流経路形成
に関する研究
朝長俊也, 増富智明, 馬 晶鴻, 則松研二, 益子洋治 /
大分大学 大学院工学研究科
– 15 –
– 16 –
(33)
2 電極への FIB 同時プロービング計測についての
検討
花田昌大, 垣副大輝, 鈴木界人, 則松研二, 益子洋治 /
大分大学 大学院工学研究科
(34)
Dependence of quantum error correction
selection criteria on qubits concentration in an
ion trap quantum computer
福田尚稀, 中前幸治 / 大阪大学
究科
(35)
大学院情報科学研
14 日 (金) p.m.
座長
茅根慎通(a , 後藤安則(b , 長 康雄(a /
b)
トヨタ自動車 第 3 電子開発部
a)
東北大学 電気通信研究所,
ソフトウェア故障診断結果とそれに基づく局所的
なレイアウト抽出回路を用いた発光解析支援シス
テムの検討
(a
(b
(a
a)
三浦克介 , 則松研二 , 中前幸治 / 大阪大学 大
学院情報科学研究科, b) 東芝 セミコンダクター&スト
レージ社
. . . . . . . . . . . 12:00∼12:30 オーサーズコーナー . . . . . . . . . . .
二川 清
(40) 多機能ナノマニピュレーション装置による電気接
15:45 点評価
清水哲夫(a , 堀江智之(a , 渡邉騎通(a , 宮脇 淳(a ,
藤井俊治郎(a , 山形由紀(b , 大沼雅則(c , 近藤貴哉(c /
a)
産業技術総合研究所 ナノシステム研究部門, b) 矢崎
総業 技術研究所, c) 矢崎部品 車載技術開発センター
(講演取り下げ)
SIMS 及び SNDM，SCM，SSRM を用いた SiC エピタキ
シャル層中のイオン打ち込み層内ドーパント分布評価
(36)
Physical Analysis & Fault Localization III
(41) ロックインサーモグラフィによるパワーデバイス
16:10 内の故障部位深さを特定する方法に関する研究
長友俊信, 吉井一郎 / DCG システムズ合同会社 ソ
リューション部
(42) Magnetic current imaging for electrical fault
16:35 isolation
J. Gaudestad(a , 金子佳由(b , 八島 滋(b , D. Vallett(c /
a)
Neocera Global Sales & Applications, b) 東陽テクニ
カ 営業第 1 部, c) PeakSource Analytical
. . . . . . . . . . . 17:00∼17:30 オーサーズコーナー . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . 12:30∼14:00 昼食休憩 . . . . . . . . . . . . . . . .
18
11 月 14 日 (金) 午後
Physical Analysis
サ行
佐伯光章 . . . . . . . . 27
酒井忠司 . . . . . . . . 38
佐川雅一 . . . . . . . . . 7
佐久間尚志 . . . . . . 38
佐藤高広12, 13, C14
澤村佳美 . . . . . . . C2
椎名明美 . . . . . . . . 16
塩沢健治 . . . . . . . . 14
塩田 隆 . . . . . . . C6
篠田伸一 . . . . . . . . 21
嶋瀬 朗 . . . . 15, 27
清水哲夫 . . . . . . . . 40
志村大輔 . . . . . . . . 16
馬 晶鴻 . . . . . . . . 32
杉江隆一 . . . . . . . . . 9
鈴木界人 . . . . . . . . 33
鈴木浩司 . . . . . . . C8
鈴木伸介 . . . . . . . C8
鈴木智博 . . . . . . . . 17
鈴木裕也 . . . . . . C14
清宮直樹 . . . . . . . C4
瀬戸屋孝 . . . . . . . . . 8
早田敬太 . . . . . . . . . 5
※ アルファベット無しの番号は技術セッション講演番号を、’C’ ＋番号はコマー
シャルセッション講演番号を示します。
14 日 (金) p.m.
座長
益子洋治
(37) ナノプローブを用いた局所赤外分光法 nanoIR の
14:00 現状と課題
藤田高弥, 叶 際平 / 日産アーク
(38) 導電性原子間力顕微鏡 (C-AFM) による配線向け
14:25 多層グラフェンの微視的抵抗二次元分布及び配線
抵抗評価
張 利, 石倉太志, 和田 真, 片桐雅之, 宮崎久生,
西出大亮, 松本貴士, 佐久間尚志, 梶田明広, 酒井忠司
/ 超低電圧デバイス技術研究組合 (LEAP) 三次元ナ
ノカーボン配線技術研究グループ
(39) 特定箇所高空間分解能 SSRM による Si デバイス
14:50 の評価とその課題
張 利(a , 小池三夫(a , 原 啓良(b , 早瀬洋平(b / a) 東
芝 研究開発センター LSI 基盤技術ラボラトリー,
b)
東芝 セミコンダクター社
. . . . . . . . . 15:15∼15:45 オーサーズコーナー&休憩 . . . . . . . . .
– 17 –
著者索引
久米俊浩 . . . . . . . C8
小池三夫 . . . . . . . . 39
高口雅成 . . . . . . . . 31
小坂賢一 . . . . . . . . . 9
越川一成 . . . . . . . . . 8
小西圭一 . . . . . . C10
近藤貴哉 . . . . . . . . 40
英文
Bleuet, P. . . . . . . . . . 6
Clifton, P.H. . . . . C16
Gaudestad, J. . C3, 42
Kwakman, L. . . . . . 6
Laloum, D. . . . . . . . 6
Larson, D.J. . . . . C16
Lawrence, D.F. . C16
Lewis, D. . . . . . . . . 28
Mace, H. . . . . . . . . . 6
Martin, I.Y. . . . . . C16
Maur, F. . . . . . . . . . C4
Melendez, K. . . . . 28
Olson, D.P. . . . . . C16
Perdu, P. . . . . . . . . . 28
Pfeffer, M. . . . . . . . S1
Pfitzner, L. . . . . . . S1
Phoa, L. . . . . . . . . . 26
Ravikumar, V.K. . 26
Reinhard, D.A. . C16
Sabineni, P. . . . . . . 26
Sanchez, K. . . . . . . 28
Skvortsov, D.S. . . 26
Sommer, R. . . . . . C4
Strennen, S. . . . . C16
Ulfig, R.M. . . . . . C16 浦西義裕 . . . . . . . C1
Vallett, D. . . . . . . . 42 遠藤幸一 . . . . . . 8, 29
遠藤徳明 . . . . . . C17
ア行
遠藤 亮 . . . . . . . . . 9
大須賀慎二 . . . . . . . 5
青山佳敬 . . . . . . C17 大津喜宏 . . . 12, C14
阿南義弘 . . . . . . . . 31 大沼雅則 . . . . . . . . 40
阿部秀昭 . . . . . . . . 20 大野博文 . . . . . . . . 30
天野 剛 . . . . . . . . 18 大庭 昌 . . . . . . . . . 5
天野佳之 . . . . . . . C6 大宅 薫 . . . . . . . . 19
安藤和徳 . . . . . . . . . 3 生頼義久 . . . . 12, 13
飯田 晋 . . . . . . . . 18 小川法子 . . . . . . . 1, 2
飯田悠介 . . . . . . . . 20 奥島基嗣 . . . . . . . . 15
伊佐 敏 . . . . . . C10 小野田忍 . . . . . . . . . 5
石倉太志 . . . . . . . . 38
井田知宏 . . . . . . . . 20
カ行
一色俊之 . . . . 12, 13
伊藤 淳 . . . . . . C10 垣副大輝 . . . . . . . . 33
伊藤俊彦 . . . . . . . . 25 梶田明広 . . . . . . . . 38
伊東久範 . . . . . . . . 14 片桐雅之 . . . . . . . . 38
射場 忠 . . . . . . C16 金子佳由 . . . . . . . . 42
入口健太 . . . . . . . C1 金村 崇 . . . . . . C14
岩佐真行 . . . . . . . . . 3 川嶋嘉明 . . . . . . . 1, 2
牛場郭介 . . . . . . . . 21 川田真也 . . . . . . . C4
内角哲人 . . . . 15, 27 神田憲一 . . . . . . C11
内田智之 . . . . . . . . . 9 木下啓藏 . . . . . . . . 16
– 18 –
タ行
高崎敏行 . . . . . . . C7
高橋知里 . . . . . . . 1, 2
田中康太郎 . . . . . . 11
田畑慎一郎 . . . . . C4
茅根慎通 . . . . . . . . 10
張 利 . . . . . . . 38, 39
長 康雄 . . . . . . . . 10
鶴田浩巳 . . . . 15, 27
寺澤恒男 . . . . . . . . 18
出口 匡 . . . . . . C15
朝長俊也 . . . . . . . . 32
豊田康隆 . . . . . . . . 21
19
日時：
場所：
酉川翔太 . . . . . . C13 堀川 剛 . . . . . . . . 16
ナ行
マ行
中嶋克徳 . . . . . . . . . 8
中島義文 . . . . . . . C9
中野和俊 . . . . . . C17
中野知康 . . . . . . . . . 5
中前幸治 . . 8, 20, 21,
22, 23, 24, 29, 31, 34,
36
中村 愛 . . . . . . C10
中村共則 . . 8, 15, 27
中本勝大 . . . . . . . . . 5
長友俊信 . . . . . . . . 41
長峰真嗣 . . . . . . . . . 8
二階堂正人 . . . . . C2
西出大亮 . . . . . . . . 38
西 竜治 . . . . . . . . 23
野村 誠 . . . . . . . C7
則松研二 . . 8, 30, 32,
33, 36
益子洋治 . . . . 32, 33
増富智明 . . . . . . . . 32
松尾裕二 . . . . . . C10
松村 研 . . . . . . . C1
松本貴士 . . . . . . . . 38
松本賢和 . . . . 15, 27
三浦克介 . 21, 29, 36
水口勝利 . . . . . . . . . 3
三津屋陽介 . . . . . . 23
御堂義博 20, 21, 22,
23, 24, 29
宮井博基 . . . . . . . . 17
宮崎久生 . . . . . . . . 38
宮脇 淳 . . . . . . . . 40
三好元介 . . . . . . . 4, 5
村上浩明 . . . . . . . . 30
村田 薫 . . . . . . C12
最上 徹 . . . . . . . . 16
本窪田昌也 . . . . . . 25
桃田 快 . . . . . . . . 29
ハ行
橋本隆仁 . . . . . . C14
蓮村 聡 . . . . . . . . . 3
畑 秀樹 . . . . . . . . 11
花田昌大 . . . . . . . . 33
浜窪隆雄 . . . . . . . . . 5
濱口 晶 . . . . 20, 25
林 将志 . . . . . . . . 11
早瀬洋平 . . . . . . . . 39
原 啓良 . . . . . . . . 39
平井一寛 . . . . . . . C2
平井伸幸 . . . . 15, 27
平野亮一 . . . . . . . . 18
廣瀬佑介 . . . . . . . . 25
廣瀬龍介 . . . . . . . . . 3
福井宗利 . . . . 12, 13
福田尚稀 . . . . . . . . 34
福本晃二 . . . . 15, 27
藤井俊治郎 . . . . . . 40
藤田高弥 . . . . . . . . 37
舟岡宏樹 . . . . . . C11
古河弘光 . . . . . . C17
程島康貴 . . . . . . . C1
堀江智之 . . . . . . . . 40
ヤ行
八島 滋 . . . . C3, 42
安井 感 . . . . . . . . . 7
藪内康文 . . . . . . . . 11
山岡武博 . . . . . . . . . 3
山形由紀 . . . . . . . . 40
山本浩充 . . . . . . . 1, 2
山本盛一 . . . . . . C10
叶 際平 . . . . . . . . 37
吉井一郎 . C5, 26, 41
吉田浩之 . . . . . . . C7
吉田裕司 . . . . . . . . 25
ワ行
若林正浩 . . . . . . C10
渡邉俊哉 . . . . . . . . 13
渡邉騎通 . . . . . . . . 40
渡辺秀弘 . . . . 17, 18
渡辺友希 . . . . . . . . 25
和田 真 . . . . . . . . 38
蕨野和也 . . . . . . . . 11
商業展示
11 月 13 日 (木)、14 日 (金)：10:00∼17:00
6F 千里ルーム
– 19 –
13. 日本サイエンティフィック株式会社:
IC プラスチックモールドオープナー PS105 他各種開
封装置
14. 株式会社アストロン: (C10)
画像重ね合わせ検証用ソフト AZblend、 セルカウン
トシステム Marrive、CAD ナビゲーションシステム
AZSA SEM 像 3D 構築/断面表示ソフトウエア
SEM3D の紹介
15. 丸文株式会社:
ロックインサーモグラフイーと 3 次元 X 線斜め CT
のコンビネーション
(展示フロアマップは、予告無く変更される場合があります)
※ 企業名の後の ’C’ ＋番号は、コマーシャルセッションの講演番号を示します。
16. DCG システムズ合同会社: (C5)
微細加工技術の歩留まりと効率を最大化する革新的な
ソリューション
17. 日本バーンズ株式会社:
1. ハイソル株式会社:
解析用マニュアル劈開装置、次世代型パッケージ開封
装置
2. 株式会社ダイナコム:
立体像可視化の自動化・省力化を実現するソフト
HawkC
3. アメテック株式会社: (C16)
3 次元アトムプローブ LEAP 4000、二次イオン質量分
析計 IMS 7f-Auto のご紹介
4. 日本エフイー・アイ株式会社: (C12)
FIB/SEM/TEM 解析装置および回路修正装置
5. オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社:
(C15)
走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡
6. MultiProbe Inc./阪和トレーディング株式会社:
Measurements you trust.
7. 東機通商株式会社: (C9)
両面観察微細レーザーマーキングシステム
8. 浜松ホトニクス株式会社: (C8)
半導体故障解析装置シリーズ
9. TOOL 株式会社: (C2)
レイアウト解析プラットフォームのカスタマイズ環境
10. 日本電子株式会社: (C17)
最新 FE-SEM JSM-7800 Prime の紹介 と EDS トモグ
ラフィー
11. 株式会社ビーエヌテクノロジー: (C7)
精密研磨装置 Bni20 シリーズ
12. 株式会社テクノラボ:
パッケージ開発における最新解析装置
18. 株式会社東陽テクニカ: (C3)
新型 FIB-SEM CrossBeam 340/540, 走査型 SQUID 顕
微鏡 Magma, 走査型マイクロ波顕微鏡, マルチスケー
ル高分解能 X 線 CT SkyScan2211
19. REVSONIC 株式会社: (C1)
BFA (Brute-ForceAnalysis) 技術によるスキャン解析
20. エクスロン・インターナショナル株式会社: (C4)
高出力・高分解能 X 線 CT 装置
21. アイトランス株式会社:
マイクロプラズマ装置，ナノマニピュレーションス
テージ
22. 株式会社日立ハイテクノロジーズ: (C13), (C14)
ショットキー走査電子顕微鏡 SU5000
23. 株式会社アド・サイエンス: (C11)
プラズマアッシャー (コンタミネーション予防・除去
ツール)、SEM/FIB 用マイクロマニピュレータ (プ
ローバー)、スパッタ&カーボンコーター
24. 沖エンジニアリング株式会社:
ロックイン発熱解析を用いたプリント基板の故障解析
ソリューション
25. エイビーム・テクノロジーズ・ジャパン株式会社:
電子線散乱・SEM 画像解析シミュレータ
26. Wafer Integration 株式会社: (C6)
自己検知型 AFM 式ナノプローバ WI3000
20
賛助会員一覧
(平成 26 年 10 月 1 日現在、50 音順)
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アイトランス (株)
(株) アストロン
(株) アド・サイエンス
(株) アドバンテスト
アプライド マテリアルズ ジャパン (株)
(株) アポロウエーブ
アメテック (株)
Wafer Integration(株)
エイビーム・テクノロジーズ・ジャパン (株)
ATE サービス (株)
エクスロン・インターナショナル (株)
エクセルテクノロジー (株)
オックスフォード・インストゥルメンツ (株)
沖エンジニアリング (株)
ケーエルエー・テンコール (株)
(株) ダイナコム
TOOL(株)
DCG システムズ (株)
(株) テクノラボ
東機通商 (株)
(株) 東陽テクニカ
日本エフイー・アイ (株)
日本サイエンティフィック (株)
日本シノプシス (同)
日本電子 (株)
日本バーンズ (株)
ハイソル (株)
浜松ホトニクス (株)
(株) ビーエヌテクノロジー
(株) 日立ハイテクサイエンス
(株) 日立ハイテクノロジーズ
MultiProbe Inc.
丸文 (株)
ルネサスエンジニアリングサービス (株)
REVSONIC(株)
27. 株式会社アポロウエーブ:
プローバー、プローブカード
新型デコンタミネーター Evactron-25 Zephyr
(平成 26 年 11 月 1 日版)
– 20 –
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