ここまで出来る！卓上SEMの多彩なアプリケーション

2014　JASIS　小セミナー
ここまで出来る！卓上SEMの多彩なアプリケーション
~Phenom-World社卓上SEM を利用したアプリケーションのご紹介~
ジャスコインタナショナル株式会社
[email protected]
042-643-3201
内容
1.  Phenom-World社のご紹介
2.  温調ホルダ
3.  パーティクルメトリック
内容
1.  Phenom-World社のご紹介
2.  温調ホルダ
3.  パーティクルメトリック
Phenom-World社の歴史
現在
Phenom卓上SEM
 　卓上SEMモデル
G2 Pure G2 Pro   光学顕微鏡
  CeB6電子銃
  最大17,000x
  光学顕微鏡
  CeB6電子銃
  最大 45,000x
proX proX PREMIUM  
 
 
 
 
 
 
 
 
 
光学顕微鏡
CeB6電子銃
最大45,000x
EDS元素分析
Pro Suite アプリ
ケーションシステム
光学顕微鏡
CeB6電子銃
最大100,000x
EDS元素分析
Pro Suite アプリ
ケーションシステム
卓上SEMの特徴
 　六ホウ化セリウム（CeB6）電子銃
高輝度、高画質観察
 
光顕
長寿命（＞1500時間）
 
SEM低倍率
 　光学顕微鏡を内蔵
 　ナビゲーション機能（光顕・SEM低倍率）
 　簡単・スピーディな観察
観察画面
SEM像が得られるまで30秒！
 
 　タッチパネル操作
 　自動ステージ搭載　 　様々な観察に対応する豊富な試料ホルダ
 　多彩なアプリケーションソフト
試料ホルダ
SEM観察例
  proX PREMIUM 観察例
蝶の羽
倍率75,000倍、視野幅3.58µm
バクテリア
倍率90,000倍、視野幅2.98µm
16 内容
1.  Phenom-World社のご紹介
2.  温調ホルダ
3.  パーティクルメトリック
温調ホルダ
  温調ホルダの特長
• 
温度制御範囲　-25
• 
キーパッドによる操作
• 
水分を含む試料
ビームや熱に弱い試料
(食品、生物試料など)
+50 ℃
キーパッド
試料ホルダ
冷却システム
アプリケーション例：チョコレートの観察
  試料：市販のチョコレート
国
①　日本
②　米国
③　スイス
種類
ミルク
ダーク
ダーク
カカオ
表示無し
45 %
99 %
  試料の準備
切断面・割断面
溶かしたもの
：ナイフで薄くカットし、切断面、割断面を作成
：電子レンジで加熱して溶かし、試料台に塗布
  装置：proX
  温調ホルダ使用（-25℃冷却下で観察）
アプリケーション例：チョコレートの観察
  観察画面（日本 ミルク：割断面）
観察位置
倍率1000倍、視野幅268µm、10kV
アプリケーション例：チョコレートの観察
  切断面（倍率1000倍）
日本（ミルク）
・甘い
・口溶けがよい
・なめらか
米国（ダーク）
・とても甘い
・口溶けがよい
・若干ざらつく
スイス（99%）
・渋い
・溶けにくい
・溶けた後はなめらか
アプリケーション例：チョコレートの観察
  割断面（倍率1000倍）
日本（ミルク）
・甘い
・口溶けがよい
・なめらか
米国（ダーク）
・とても甘い
・口溶けがよい
・若干ざらつく
スイス（99%）
・渋い
・溶けにくい
・溶けた後はなめらか
アプリケーション例：チョコレートの観察
  溶かしたもの（倍率1000倍）
日本（ミルク）
・甘い
・口溶けがよい
・なめらか
米国（ダーク）
・とても甘い
・口溶けがよい
・若干ざらつく
スイス（99%）
・渋い
・溶けにくい
・溶けた後はなめらか
アプリケーション例：チョコレートの観察
  スイス（カカオ 99%）: 割断面
倍率4000倍、視野幅67.0µm
内容
1.  Phenom-World社のご紹介
2.  温調ホルダ
3.  パーティクルメトリック
パーティクルメトリック
 　ProSuiteアプリケーションンシステム
 　リモートUI
ネットワーク上のPCでリモート操作
 　自動画像マッピング
SEM像を繋ぎ合わせて広い視野の像を取得
 　EDS分析　点・面分析、マッピング、ラインスキャン
 　ファイバーメトリック　（OP）
繊維径と細孔面積を自動測定
 　3Dラフネス（OP）
3D画像の構築、表面粗さの測定
New!
 　パーティクルメトリック　（OP）　粒子の形状、サイズを解析
11 パーティクルメトリック
  粒子のサイズ・形状解析
  SEM観察
粒子の評価まで一連操作
  様々なパラメータによる粒子の特性評価
  異物、壊れた粒子、凝集した粒子の識別
粒子の検出
  検出画面
  検出された粒子を色付け
  複数の画像から粒子のサイ
ズ・形状解析
  自動画像マッピング機能を
使用することで、数百枚の
画像を短時間で取得可能！
解析結果の表示
  解析画面
スキャッタプロット
ヒストグラム
各パラメータの数値結果
粒子一覧
アプリケーション例：Al2O3＋BaTiO3
  試料：アルミナ（Al2O3）
＋
チタン酸バリウム（BaTiO3)
  試料の準備
アルミナとチタン酸バリウムを混合したものを
試料台の上に分散
  装置：proX、ピンスタブホルダ使用
  観察・測定
  SEM観察
  EDS分析：組成の確認
  パーティクルメトリック：粒度分布の測定
アプリケーション例：Al2O3＋BaTiO3
  結果：SEM観察
反射電子像：組成を反映
原子番号
小
大
Al2O3？　BaTiO3？
倍率10000倍、視野幅26.8µm、10kV
倍率20000倍、視野幅13.4µm、10kV
アプリケーション例：Al2O3＋BaTiO3
  結果：EDS分析
B
A Al2O3
B BaTiO3
+
+
A
視野幅13.4µm　加速電圧15kV
アプリケーション例：Al2O3＋BaTiO3
  結果：パーティクルメトリック
BaTiO3
Al2O3
グレースケール
D50(個数): 1.30µm
D50(体積): 1.94µm
  解析結果
円面積相当径（µm）
個数基準
体積基準
Min
D50
Max
0.19
1.22
2.08
5.01
N=1765
円面積相当径（µm）
D50(個数): 1.06µm
D50(体積): 2.51µm
まとめ
 　温調ホルダ
 　温度制御　-25℃
50℃まで可能
 　シンプル装着・操作で熱やビームに弱い試料（食品・生物試料等）
の観察が可能
 　パーティクルメトリック
 　粒子のサイズ・形状解析　 　SEM観察
粒子の評価まで一連操作
 　様々なサイズ・形状パラメータによる粒子の特性評価
 　異物、壊れた粒子、凝集した粒子の識別が可能
11 ご清聴ありがとうございました。
ジャスコインタナショナル株式会社　[email protected]
042-643-3201