機上計測＞事例1 超精密加工における機上計測とその利用技術

特集
金型づくりの高精度化に向けた
3 次元計測・機上計測の活用技術
機上計測
事例 1
超精密加工における機上計測と
その利用技術
㈱ナガセインテグレックス
当社は、1986 年に世界で初めて全 3 軸油静圧案内
面の小型平面研削盤を開発し、超精密加工の先駆けと
新藤
良太＊
常識であるため、その詳細な説明は割愛させていただ
く。
なった。その圧倒的な機械精度と、精度劣化しない耐
左右テーブルはリニアモータ駆動方式を採用してい
久性は、機械を導入したほとんどのユーザーから絶賛
るが、送りの滑らかさを重視し独自開発した特別なモ
していただき、これまで評価を得てきた。
ータを採用している。油静圧案内面とこのリニアモー
この基本を忠実に守りながら、さらに最新の制御技
術と計測技術を組み込んだ、次世代の超精密成形平面
タの組合せは、当社が誇る 1 nm 分解能のハイエンド
機に採用している究極の構造である。
研削盤「SGC―630αS4―Zero3（チャックサイズ 600
さらに、このリニアモータを前後送りにも採用する
×300 mm）
」
（図 1）および「SGC―840αS4―Zero3 チ
ことにより、平面研削の命である左右・前後の平面ト
ャックサイズ 800×400 mm）
」を開発した。
レース動作をこれまでとは次元の異なる極めて高精度
で滑らかに送ることが可能になった。
機械的な特徴
2．上下切込み軸の追従性
1．左右・前後送りのリニアモータ化
この機械の最小設定単位は 0．
1μm であるが、全軸
上下・前後・左右・砥石軸のすべての案内面に油静
圧軸受を採用していることは、もはや超精密研削盤の
において分解能 10 nm 以下の高精度リニアスケール
によりフィードバック制御している。
スティックスリップがまったく発生しない定評ある
＊
Ryouta Shindo：取締役 技術部 副部長
〒501―2697 岐阜県関市武芸川町跡部 1333―1
TEL（0575）
46―2846
油静圧案内面との相乗効果により、極めて高精度な位
置決め精度を実現している。
上下軸を特殊な方法によ
＋80m
り、最小設定単位の 1／10
（V）
15nm/div
CH1（10mV/div）
である 10 nm でステップ
送りした場合の測定結果を
図 2 に示す。
こ の よ う に、10 nm の
精度で位置決めできる能力
があり、0．
1μm の最小設
−20m
0s
図 1 「SGC―630αS4―Zero3」の外観
０４６
25s
50s
75s
図 2 SGC―630αの上下軸 10 nm
ステップ送り精度
定単位からは計り知れない
送り精度を有していること
が理解いただけると思う。