PowerPoint プレゼンテーション

Ｔ
echnical News 0170108
ナノオーダーの精度で表面形状がわかります
透明導電性フィルムは、抵抗膜方式タッチパネル用電極、静電電波シールド、表示用電極等の用途に使用され、
LCDの軽量化に貢献しています。一方ＡＦＭは極微細な凹凸をナノスケールで数値化評価する事が可能です。
スパッタ蒸着法で成膜したITO膜表面を相対比較した事例を紹介します。
分析事例1：ITOフィルムのAFM分析
ITOスパッタ蒸着膜の表面粗さは、
ITOフィルムの抵抗値に影響を及ぼす
ので、ナノメートルオーダーの微細な凹
凸を評価することは、非常に重要です。
ここでは、PETフィルムにITOを成膜した
もの〔図1〕とPETフィルムにアンカー処
理を施し成膜したもの〔図2〕を示します。
この様に、アンカー処理したITOフィル
図1 PETに成膜したITOフィルム
図2 アンカー処理したPETに
成膜したITOフィルム
ムの方が未処理ITOフィルムより平滑で
あることが明らかとなりました。
分析事例2： ITOフィルムの表面観察
ITO表面のAFM像では、大きさ10nm程度の粒状
物が表面全面に存在していることが判明しました
〔図3〕。一方、TEM像では、高さ情報があまり得ら
れません〔図4〕 。これは、「AFMはZ方向の分解能
が極めて高い！」という現れです。また、画像はど
の場所においても、（x,y,z）の座標の集合体ですの
で、様々な画像処理が行なえ、例えば、「平均面粗
さによる試料間での数値比較」が可能です。
図3 ITO表面のAFM像
図4 ITO表面のTEMレプリカ像
その他の応用
・フィルム表面の微小形状の観察
・LCDパネル配向膜の観察
・セラミック材料，複合材料，ポリマーアロイ等の微細形状や形状分布 など
大阪府茨木市下穂積1-1-2
TEL 072-623-3381
東京営業所
名古屋営業所
大阪営業所
TEL 03-6631-1658
TEL 052-221-9198
TEL 072-623-3381
URL http://www.natc.co.jp
E-mail [email protected]