真空仕様自動ステージ VSGSP-(X) - OptoSigma Global Top

Motion Control Products
真空仕様自動ステージ
VSGSP-(X)
真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。
アプリケーション
システム
◦直動系は35～200mmのロングストロークを実現し、
従来のSGSPシリーズと同様でコンパクト化を実現しました。
ご案内
光学素子
▶モータケーブルとセンサケーブルは、
バラ線1ｍとなっています。
ホルダー
■リミットセンサ（高真空度対応型スイッチ）
ベース
直動ステージシリーズノーマルクローズ仕様
手動ステージ
アクチュエータ
回転ステージシリーズノーマルオープン仕様
注3
注3 真空仕様自動回転ステージはコントローラの設定をノーマルオープンにしてください。
自動ステージ
光源
索引
ガイダンス
コントローラ/ドライバ
ソフトウェア
仕様
価格
〔￥〕
750,000
移動量
〔mm〕
ステッピングモータ
200
60×60
80×80
ボールネジ径φ6　リード1
ボールネジ径φ6　リード1
ボールネジ径φ8　リード2
アウターレール構造
アウターレール構造
アウターレール構造
アルミ
・ステンレス
アルミ
・ステンレス
アルミ
・ステンレス
表面処理
無
無
無
質量
〔kg〕
1.0
1.1
2.5
4
移動ガイド
分解能
精度仕様
（Full）
〔μm〕
2
2
（Half）
〔μm〕
1
1
2
10
10
20
MAXスピード
〔mm/sec〕
繰返し位置決め精度
〔μm〕
耐荷重
〔N〕
ロストモーション
〔μm〕
直動系
回転系
センサ
ゴニオ
800,000
60×60
ステージ材質
ピエゾ
VSGSP26-200(X)
760,000
85
送りネジ
〔mm〕
メカ仕様
VSGSP20-85(X)
35
テーブル面サイズ
〔mm〕
ACサーボ
ケーブル
VSGSP20-35(X)
品番
5
5
10
39.2
（4.0kgf）
39.2
（4.0kgf）
58.8
（6.0kgf）
3
3
10
センサ品番
GN-PT5M3B-1
（㈱メ
トロール）
GN-PT5M3B-1
（㈱メ
トロール）
GN-PT5M3B-1
（㈱メ
トロール）
リミットセンサ
真空タッチセンサ
（NORMAL CLOSE）
真空タッチセンサ
（NORMAL CLOSE）
真空タッチセンサ
（NORMAL CLOSE）
原点センサ
無
無
無
近接原点センサ
無
無
無
真空
オプション
□40mm
□60mm
モータ/センサ仕様
タイプ
モータ　真空仕様5相ステッピングモーター　0.75A/相
（オリエンタルモーター㈱）
A7298-90215KV
（□28mm）
ステップ角
□80mm
センサ
□120mm
A7298-90215KV
（□28mm）
ー
消費電流
ー
制御出力
接点式
出力論理
その他
A7298-90215KV
（□28mm）
0.72°
電源電圧
□85mm
□100mm
モータ品番
NORMAL CLOSE
NORMAL CLOSE
NORMAL CLOSE
適応ドライバ/コントローラ
制御系
G094
適応ドライバ
適応コントローラ
SG-5M､SG-55M､SG-514MSC､MC-7514PCL
GSC-01、
GSC-02、
SHOT-702、
GIP-101、
SHOT-302GS､SHOT-304GS、
HIT-M・HIT-S、
PGC-04
WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected]
カタログ
コード
W9082
外形図
VSGSP20-85(X)
259
6-M4×0.7 深6
モータケーブル 1m
50
リード線PTFE電線 AWG26
5本リード むき出し
センサケーブル 1m
リード線PTFE電線 AWG27相当
60
2-M4×0.7 深5
モータケーブル 1m
リード線PTFE電線 AWG26
5本リード むき出し
16 16
25 25
ホルダー
2-M4×0.7 深5
50
34
8-φ4.5取付穴
ベース
手動ステージ
移動量42.5
60
34
20
34
5 25 25 25 25 5
8-M3×0.5 深6
センサケーブル 1m
リード線PTFE電線 AWG27相当
移動量42.5
7
8-φ4.5取付穴
光学素子
6-M4×0.7 深6
移動量17.5
34
20
移動量17.5
φ20
φ20
16 16
25 25
60
□28
8-M3×0.5 深6
160
60
25 25
16 16
5
50
50
50
5
アクチュエータ
7
110
60
25 25
16 16
50
□28
209
アプリケーション
システム
六角穴付ボルト M4×12…4本
60
六角穴付ボルト M4×12…4本
50
VSGSP20-35(X)
8-φ4.5
自動ステージ
VSGSP26-200(X)
六角穴付ボルト M4×12…8本
光源
5
4-M3×0.5 深6
索引
8-M4×0.7 深6
4-M4×0.7 深6
ガイダンス
80
70
310
80
70
25 25
1616
16 16
25 25
70
φ20
□28
417
コントローラ/ドライバ
モータケーブル1m
リード線PTFE電線 AWG26
5本リード むき出し
センサケーブル 1m
リード線PTFE電線 AWG27相当
移動量100
80
ソフトウェア
ステッピングモータ
移動量100
10-φ4.5取付穴
15 35
70
70
70
35 15
8
38
24
41
ACサーボ
ケーブル
70
ピエゾ
直動系
回転系
■結線図
■適応コントローラ/ドライバとケーブル
Controller
5相ステッピング
モータ
E相
1
1
モーターリード
2
2
モーターリード
3
3
モーターリード
4
4
モーターリード
5
5
モーターリード
6
6
GND
（0V）
7
7 原点センサ
（未使用）
8
8 ＋VS
（未使用）
9
（未使用）
9 N.C.
10
（未使用）
10 N.C.
11
11
LS
（＋）
12
12
LS
（ー）
13
14
13 GND
（未使用）
14 原点近接センサ
（未使用）
15
15 ＋VS
（未使用）
D相
B相
C相
注1
モータ側
（＋）
リミットセンサ
反モータ側
（−）
リミットセンサ
注1 回転ステージには＋リミッ
トセンサは、
取り付けられておりません。
注2 モータケーブル・センサケーブルはバラ線となっています。
A相
GSC-01
〔1軸〕
〔2軸〕
GSC-02
SHOT-702 〔2軸〕
〔1軸〕
GIP-101
SHOT-302GS〔2軸〕
SHOT-304GS〔4軸〕
HIT-M・HIT-S 〔8軸〕
〔4軸〕
PGC-04
G098∼G105
Driver
ゴニオ
Cable
Stage
真空
オプション
□40mm
D15RP-CA
G108
Cable
□60mm
※
VSGSP20-35(X)
VSGSP20-85(X)
VSGSP26-200(X)
□80mm
□85mm
□100mm
□120mm
その他
各種ドライバ
G020∼G021
MINI-CA-SG
G108
※ご購入いただいた後、
お客様自身でバラ線仕様に変更お願いします。
TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310
G095