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透明体の - OMRON
正反射式CCD変位センサ 形Z4M-T30V/T30V2 この商品は、品質システムの国際規格ISO9001およ び環境管理システムの国際規格ISO14001の認証を 取得したオムロン綾部工場で生産されています。 透明体の表面変位を確実にキャッチ！ 厚み測定やエッジ位置決めなどの新機能搭載！ 2次元CCDで透明体の変位測定を実現 形Z4M-Tは、2次元CCDを採用。 いままで測定が困難であったガラスなどの透明体の 表面変位測定を可能にしました。 さらにラインビームを採用。 ワーク表面の凹凸（ヘアラインなど） やムラの影響を受けずに 安定測定できます。 （特許出願中） 半導体レーザ 2次元CCD 受光レンズ 投光レンズ 裏面や背景の影響なく 表面変位を測定できます 表面の凹凸（ヘアラインなど）、 ムラに影響されません ワークが透明体（ガラス板など）の場合、従来の位置検出素子（PSD）を用 いた変位センサでは表面からの反射光と裏面や背景からの反射光が平均化 され、表面変位が正しく測定できませんでした。 形Z4M-Tは、2次元CCDで表面からの反射光のみを抽出し、透明体の表面 変位測定を可能にしました。さらに裏面からの反射光も抽出できるので、 透明体の厚みも測定できるようになりました。 従来の変位センサは、 投光ビームがスポットビーム のため表面の凹凸やムラの影響をうけることが ありました。 形 Z4M-T はラインビームを用い てビーム内の変位量を平均化して測定するので、 表面の凹凸やムラの影響をうけにくくなりました。 しかもラインビーム内の最大高さ測定やエッジ 位置の測定も可能になりました。 ■ 従来センサの場合 ■ 形Z4M-Tの場合 誤差 見かけの位置 表面変位 表面変位 受光分布 受光分布 投光ビーム 2次元CCD PSD上の重心 投光ビーム PSD 反射光 投光ビーム CCD 受光レンズ 受光レンズ 反射光 反射光 ガラス板 0.1×5mm ガラス板 拡がるワーク、拡がるアプリケーション 表面変位測定 ※透明体に限らず、不透明体も測定できます。 透明体の表面変位 半透明体の表面変位 透明体厚み測定 透明ガラスの厚み測定 金属板の表面変位 樹脂 圧延板 透明ガラス板 ガラス ガラス板などの表面の高さが測定可能 プリント基板など半透明の材質でも 光のしみこみの影響を受けずに 測定可能 ラインビームにより表面の凹凸 （ヘアラインなど）やムラに対して 安定測定可能 T30V2のみ BACK 最大高さ測定 ポッティングの高さ測定 エッジ位置測定 オリフラの位置決め ワークのエッジを高精度に 位置決め可能 T30V2のみ P-P 透明板の裏面変位 段差測定 透明板の裏面の変位測定 ウエハ ラインビーム内の最大高さ測定可能 一台でガラス板の厚みが計測可能 ラインビーム内のピークとピーク間測定 透明ガラス基板 ※検出幅を0.1㎜と0.5㎜の2種類より 選択可能。 （透明体では裏面の影響 を受ける場合があります。） ※測定ワークの屈折率や厚みの変化に 出力は影響を受けます。 ご注意：形Z4M-T30V2では、 トリガ機能は使用することができません。 リモート光量設定機能搭載 反射率の大きく異なるワークが混在する場合でも測定できます。 外部入力により、それぞれのワークに対して最適な光量に設定 可能です。 T30V2のみ HOLD機能搭載 T30V2のみ 測定ワークのキズや穴などによる測定不能状態時に直前のデータに ホールドします。 CLAMPモード時 リモート光量設定と リモートバンク切替 （2バンク）の 選択ができます。 透明ガラス基板 変 位 量 HOLDモード時 測定不能状態時、直前のデータに ホールドします。 時間 透明フィルム ITO膜付きガラス基板 ビデオ出力により反射光の状態をモニタ可能 ■ 動作状況 透明ガラス板の測定例 変位方向（遠い） 市販モニタ 表面からの反射光 裏面からの反射光 外部同期入力装備 測定したいタイミングに応じてワークの変位量を測定可能。 Z4M-T30V/T30V2 形 正反射式CCD変位センサ 透明体の表面変位を確実にキャッチ！ 12ページの 「■正しくお使いください」を ご覧ください。 ■種類／標準価格 （◎印の機種は標準在庫機種です。無印 （受注生産機種） の納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。 ） ◆本体 赤色レーザ光 検出距離 30±2㎜ 分解能 セット形式 2μm（83.5ms） 5μm（16.7ms） ◎形Z4M-T30V 2μm（83.5ms） 4μm（16.7ms） 形Z4M-T30V2 標準価格（￥） 400,000 ◆アクセサリ（別売） 名称 延長コード 4 形式 形Z49-C11 コード長 標準価格（￥） 3m 13,500 8m 17,000 注. 発注時には形式以外にコード長を ご指定ください。 正反射式CCD変位センサ Z4M-T30V/T30V2 ■定格／性能 形式 項目 測定範囲 測定中心距離 光源（発光波長） ビーム形状 ＊1 リニアリティ ＊2 温度特性 ＊3 変位出力 NORMAL THICK 測定 BACK モードと EDGE 分解能 PEAK （FAST/ SLOW）PEAK（0.1）＊5 PEAK（0.5）＊5 ＊4 P-P（0.1）＊5 P-P（0.5）＊5 測定周期 2-P出力 イネーブル出力 レーザオフ入力 トリガ入力 ＊6 外部光量設定入力 ビデオモニタ出力 電源電圧 消費電流 使用周囲照度 周囲 センサ部 温度 アンプ部 周囲湿度 振動（耐久） 耐電圧 材質 保護構造 接続方式 質量 ※梱包状態 付属品 形Z4M-T30V 形Z4M-T30V2 ±2㎜ 30㎜ 可視光半導体レーザ（波長670nm、1.2W以下、クラス2） 0.1×5㎜TYP.（測定中心） ±0.5％F.S. センサ部：0.03％F.S./℃、アンプ部：0.02％F.S./℃ 4∼20mA/28∼32㎜ 負荷インピーダンス300Ω以下 5μm/2μm 4μm/2μm 10μm/4μm 8μm/4μm ―― 8μm/4μm 20μm/10μm 20μm/10μm 20μm/10μm ―― ―― 16μm/8μm ―― 8μm/4μm ―― 32μm/16μm 16μm/8μm ―― 16.7/83.5ms切替 2 で NPNオープンコレクタ出力 DC30V 100mA以下 残留電圧1V以下 ＊1. ビーム形状：中心光強度の1/e（13. 5％） 定義。定義域外にも漏れ光があり、対象物の NPNオープンコレクタ出力 DC30V 100mA以下 残留電圧1V以下 周囲の状況が対象物に比べて光の反射率が ON時（ON電圧 10.2V以上/15mA以下）：レーザOFF 高い場合は、 測定値に影響がある場合があり 開放時（OFF電圧 3V以下）：レーザON ます。 （レーザオフ時、変位出力ホールド機能つき） ＊2. リニアリティ：弊社標準の無色透明ガラス測定 ON時（ON電圧 10.2V以上/15mA以下） 時におけるNORMALモードの変位出力の理 ―― ：計測開始 想直線に対する誤差。対象物によって直線性 開放時（OFF電圧 3V以下）：待機 が変わることがあります。 ON時 出 力 20mA ―― （ON電圧 10.2V以上/15mA以下） 電 流 開放時（OFF電圧 3V以下） NTSC DC21.6∼26.4V リップル （p-p）10％以下 ±0.5％以下 4mA 200mA以下 3,000rx以下（白熱ランプ） 28㎜ 32㎜ 距離 動作時：0∼＋50℃、保存時：−15∼＋60℃ （ただし、 氷結しないこと） 動作時：0∼＋40℃、保存時：−15∼＋60℃ （ただし、 氷結しないこと） ＊3. 温度特性：センサ部と対象物の間をアルミ 動作時・保存時：各35∼85%RH（ただし、 結露しないこと） の治具で固定した場合の値です。 ＊4. 分解能：変位出力のpeak to peakの変位換 10∼55Hz 複振幅0.7㎜ X、 Y、 Z各方向 32min 算値（当社標準の測定対象物を測定中心で AC1,000V 50/60Hz 1min 測定時、当社標準測定対象物：ソーダガラス センサ部：アルミダイカスト、アンプ部：ABS t＝1.1㎜、 P-Pモードでは白色セラミック板）。 センサ部：IEC60529規格 IP40、アンプ部：IEC60529規格 IP20 強い電磁界内では、 分解能の性能を満足でき コネクタ式（センサコード 標準長2m） ない場合があります。 約650g（本体センサ部：約250g、本体アンプ部：約250g） ＊5.（ ） 内の数値はラインビーム上の検出幅を示す。 取扱説明書 1部、抵抗器（250Ω、 1/2W） 1個、 （例 PEAK（0.1） では0.1㎜） CLASS 2 警告説明ラベル （EN60825：1997） 1枚 ＊6. トリガ入力：1ms以上ONにしてください。その後、 FDA CLASSⅡ警告ラベル、FDAレーザ放出開口ラベル、 投光パルスが発光されその間の変位を測定し FDA証明ラベル ます。 注. F.S.＝4㎜ 5 Z4M-T30V/T30V2 正反射式CCD変位センサ ■特性データ （代表例） ●リニア出力−検出距離関係図 形Z4M-T30V/T30V2 〈NORMALモード、PEAKモード、P-Pモード〉 ア ナ ロ グ 出 力 ︵ mA ︶ 測定範囲（4㎜） リ 28 ニ ア 出 24 力 ︵ mA ︶ 20 16 12 28 29 30 31 〈THICKモード〉 32 検出距離（㎜） 8 4 〈EDGEモード〉 ア ナ ロ グ 出 力 ︵ mA ︶ 30 28 24 20 30 28 24 20 16 16 12 12 8 8 4 4 0 1 2 3 4 5 6 約3.7㎜ 1 0 2 3 4 厚さ （㎜） ●角度特性 角度特性とは、測定中心距離において、被測定物の傾斜と変位出力に出る誤差の関 係をプロットしたものです。 たて方向の傾斜に対する角度特性 よこ方向の傾斜に対する角度特性 誤 1.2 差 ︵ ％ Ｆ 0.8 Ｓ ︶ 誤 1.2 差 ︵ ％ Ｆ 0.8 Ｓ ︶ ガラス 白色セラミック アルミ 0.4 0.4 0 0 −0.4 ビーム断面図 R2 R1 L（㎜） 28 30 32 R（μm） 1 90 95 100 2 R（㎜） 5 5 5 2 傾斜角度− 0 2 4 6 8 10 傾斜角度（ °） ●材質によるリニアリティ特性 誤 1.6 差 ︵ ％ 1.2 Ｆ Ｓ ︶ 0.8 ガラス 白色セラミック アルミ 0.4 0 −0.4 ー0.8 ー1.2 29 30 31 32 検出距離（㎜） 6 ガラス 白色セラミック アルミ 傾斜角度＋ 傾斜角度− ー1.2 ー10 ー8 ー6 ー4 ー2 −1.6 28 注. 中心光強度の1/e（13.5％）で定義。 ー0.8 傾斜角度＋ 6 ●スポット径 L −0.4 ー0.8 5 位置（㎜） ー1.2 ー10 ー8 ー6 ー4 ー2 0 2 4 6 8 10 傾斜角度（ °） 正反射式CCD変位センサ Z4M-T30V/T30V2 ■各部の名称 ●センサ部 ●アンプ部 動作表示灯 ボタンスイッチ 表示灯 スライドスイッチ ディップスイッチ レーザ出射マーク 受光部 投光部 （レーザ出射口） 注. パネル面は形Z4M-T30Vのものです。 ■機能 ●形Z4M-T30V/T30V2共通 名称 機能 ・センサ前面と対象物の距離が測定範囲のとき、距離に応じてNEAR灯/FAR灯が点灯します。 ・測定範囲外のとき、あるいは、光量不足時には、NEAR灯/FAR灯がフラッシングします。 ・電源投入後、2∼6秒間は、NEAR灯/FAR灯がフラッシングし、レーザ光が消灯状態であることを示します。 ・レーザオフ入力中は、レーザオフ入力直前の点灯状態をホールドします。 NEAR灯、FAR灯（緑） 表 示 灯 約28㎜ フラッシング 測定中心距離 30㎜ NEAR灯 点灯 BRIGHT灯（橙）、 STAB灯（緑）、 DARK/2-P灯（橙） 動作表示灯（緑） ス MODEスイッチ ラ イ ド ス イ SETTINGスイッチ ッ チ 約32㎜ 点灯 フラッシング FAR灯 ・光量設定時に点灯します。光量適性時にSTAB灯が点灯し、光量過不足のときBRIGHT/DARK灯が点灯します。 ・測定時、測定範囲内に透明ガラスが2枚あるときDARK/2-P灯が点灯します。 ・ディップスイッチのBANK/SENSEがBANKの場合、BANK/SENSE入力がON時にBRIGHT/BANK灯が点灯します。 （形Z4M-T30V2のみ） ・電源投入時点灯します。 ・オフセット/スパン/光量を設定する場合、SETにします。 ・測定状態にする場合、RUNにします。 ・MODEスイッチがSETの場合、調整対象を決定します。 オフセット調整をする場合…OFFSET スパン調整をする場合………SPAN 光量設定をする場合…………SENSE 7 Z4M-T30V/T30V2 正反射式CCD変位センサ ■機能 ●形Z4M-T30V/T30V2共通 名称 ボ タ ン ス UP/DOWN イ ッ チ 機能 ・MODEスイッチがSET状態の場合、ボタンスイッチの入力が有効となります。 ボタンスイッチの入力条件は、SETTINGスイッチによって決定されます。 ・SETTINGスイッチがOFFSETの場合、UP/DOWNボタンを押すことで、変位出力をオフセット調整することができます。 調整範囲は、距離に換算して±0.2㎜（±0.8mA） です。 THICKモードの場合は、オフセット調整は機能しません。 ・SETTINGスイッチがSPANの場合、UP/DOWNボタンを押すことですべての変位出力のフルスケールを調整することができます。 調整範囲は12mAを中心に±5％です。THICKモードとEDGEモードは（形Z4M-T30V2の場合、P-Pモードを含む）4mAを中心に±5 ％です。 ・SETTINGスイッチがSENSEの場合、UP/DOWNボタンを押すことで投光光量の自動設定と微調整ができます。 SETTINGスイッチがSENSEの状態で、MODEスイッチをSETにしUPボタンかDOWNボタンのいずれかを1回だけ押すと自動光量 設定されます。光量設定の結果は、DARK、STAB、BRIGHT灯に反映されます。 その後、続けてUPボタンを押すと投光光量が上がり、DOWNボタンを押すと投光光量が下がります。 オフセット調整 スパン調整 リ 24 ニ ア 出 20 力 ︵ ｍＡ ︶ 16 リ 24 ニ ア 出 20 力 ︵ ｍＡ ︶ 16 12 27 28 29 アナログ出力 端 子 台 2-P出力 入 出 力 レーザオフ入力 12 30 31 8 ＋5％ −5％ 32 33 検出距離 （㎜） 27 28 29 30 8 4 4 0 0 31 32 33 検出距離（㎜） ・測定距離に応じた変位信号が4∼20mAの電流出力として、出力されます。 4∼20mA/28∼32㎜ （負荷インピーダンス300Ω以下） ・測定範囲外や光量過不足のとき、出力は、21∼26mAにロックされます。 ・光沢物体や金属では、測定範囲外でも、測定状態となり、4∼20mAの範囲の値が出力される場合があります。ご注意ください。 ・測定範囲内に透明ガラスが2枚ある場合、出力がONします。 ・半透明物体の場合は動作しない場合があります。ご注意ください。 ・出力形態は、オープンコレクタ（DC30V 100mA以下） です。 ・開放時、レーザが発光します。 レーザOFF用電源入力端子に12∼24Vを入力し、この入力を外部電源のGNDと短絡すると、レーザの発光が停止します。 ・レーザ発光停止時、変位出力がホールドされます。 ・レーザ発光停止・再発光に要する時間は、33.3msです。 ビデオ出力 ・センサからのビデオ信号が出力されています。ビデオ入力（NTSC） をもつビデオモニタに受像させることができます。 そ の 他 の 機 能 ・電源を入れると2∼6秒間、NEAR/FAR灯がフラッシングして安全のため、その後、レーザが発光します。 この間、アナログ出力は3mA以下に、イネーブル出力、2-P出力はONに、それぞれ固定されます。 レーザ発光遅延機能 ●形Z4M-T30V 名称 機能 NORMAL/THICK ・透明体の厚みを測定する場合THICKにします。変位を測定する場合、NORMALの設定にします。 ・NORMALモード使用時のアナログ出力は、4∼20mA/28∼32㎜で出力されます。 ・NORMALモード使用時の分解能は、2μm （83.5ms時） /5μm （16.7ms時） になります。 （分解能は当社標準ガラスにて測定時の値です。 ） ・THICKモード使用時のアナログ出力は、4∼20mA/0∼4㎜で出力されます。 ・THICKモード使用時の分解能は、4μm （83.5ms時） /10μm （16.7ms時） になります。 （分解能は当社標準ガラスにて測定時の値です。 ） 透明体は表面と裏面とも測定範囲内となるよう設置ください。測定できるガラスの厚さは、0.5∼2㎜です。 表面と裏面の反射率が異なる場合、測定できない場合があります。また、不透明･半透明の物体は測定不可能です。ガラスの屈折 率に応じて目的の値となるようにスパン調整してお使いください。 デ ィ ッ NORMAL/PEAK プ ス ス イ ッ NORMAL/EDGE チ 端 子 台 入 出 力 8 ・ラインビーム内の測定面でもっとも近距離の変位を測定する場合、PEAKにします。 ・PEAKモード使用時の分解能は、10μm （83.5ms時） /20μm （16.7ms時） になります。 （分解能は弊社標準の金属棒にて測定時の値です。 ） ・最小検出物体は約1㎜です。 ・ラインビーム上の物体の位置を測定する場合EDGEにします。 ・EDGEモード使用時の分解能は、10μm （83.5ms時） /20μm （16.7ms時） になります。 （分解能は弊社標準ガラスにて測定時の値です。 ） ・アナログ出力は、4∼20mAで出力されます。 ・背景物体を50㎜以上離してご使用ください。 FAST/SLOW ・測定周期を設定します。 測定周期16.7ms時…FAST、83.5ms時…SLOW CONT/TRIG ・通常CONTの設定にしますが、外部同期信号（トリガ入力）のタイミングで物体を測定する場合TRIGにします。 ・TRIG使用時の分解能は、FAST（16.7ms時） の状態となります。ご注意ください。 ・トリガ入力のパルスは、1ms以上のパルスを入力ください。 ・TRIGモード使用時は、周辺の外乱光の影響にご注意ください。 イネーブル出力 ・CONTモード使用時は、測定可能状態のとき、出力がONします。 対象物がないときや、測定範囲外・光量過不足状態のとき、OFFします。 ・出力形態は、オープンコレクタ（DC30V 100mA以下） です。 ・光沢物体や金属では、測定範囲外でも、測定状態となり、出力がONする場合があります。ご注意ください。 ・TRIGモード使用時はストローブ信号として機能します。タイミングについては、接続の項を参照ください。 トリガ入力 ・ディップスイッチのCONT/TRIGがTRIGになっている場合、機能します。 ・開放時、測定待機状態となります。 トリガ入力用電源入力端子に12∼24Vを入力し、この入力を外部電源のGNDと短絡すると、測定を始めます。 ・開放時、すべての変位出力、表示がホールドされます。 ただし、レーザ光はパルス点灯しています。 正反射式CCD変位センサ Z4M-T30V/T30V2 ■機能 ●形Z4M-T30V2 名称 機能 ・ディップスイッチのON/OFFの組み合わせにより表1のように測定モードを変えることができます。 表1 ディップスイッチ1、2、3の選定 1 2 3 モード OFF OFF OFF NORMAL ON OFF OFF THICK ON OFF ON BACK OFF OFF ON EDGE OFF ON ON PEAK（0.1） OFF ON OFF PEAK（0.5） ON ON OFF P-P（0.1） ON ON ON P-P（0.5） 1、2、3 分解能（FAST/SLOW） 4μm/2μm 8μm/4μm 8μm/4μm 20μm/10μm 16μm/8μm 8μm/4μm 32μm/16μm 16μm/8μm ※PEAK （0.1） 、P-P （0.1） とはラインビーム上の検出幅が0.1㎜であることを示します。 （当社標準ガラス使用時にて測定。P-Pモードは、白色セラミック板で測定） デ ィ ッ プ ス ス イ ッ チ ・NORMALモードは、表面変位を測定する場合に使用します。 ・THICKモードは、透明ガラスの厚みを測定します。 ・BACKモードは、透明ガラスの裏面変位を測定します。 ・EDGEモードはラインビーム上の物体の侵入量を測定する場合に使用します。 ・PEAKモードは、ラインビーム上の測定面でもっとも近距離の変位を測定する場合に使用します。 PEAK （0.1） は、測定幅が0.1㎜、PEAK（0.5） は、測定幅が0.5㎜です。 ・P-Pモードは、ラインビーム上の測定面でもっとも近距離の変位と遠距離の変位の差を測定する場合に使用します。 PEAK （0.1） は、測定幅が0.1㎜、PEAK（0.5） は、測定幅が0.5㎜です。 FAST/SLOW ・測定周期を設定します。 FAST…16.7ms、SLOW…83.5ms BANK/SENSE ・SENSEに設定した場合、RUN状態で、光量設定入力（BANK/SENSE） をONにすると、自動光量設定状態となります。 電源投入時は、最大光量が設定されます。 ・BANKに設定した場合、光量設定はボタンスイッチのDOWN/OFF、UP/ONのいずれかを押すことで2種類の光量を設定できます。 ボタンスイッチUP/ONとボタンスイッチDOWN/OFFを引き続いて押すと、光量の微調整が可能です。 微調結果に対して、それぞれ、光量が記憶されます。 CLAMP/HOLD ・測定範囲外・光量過不足のときの変位出力の状態を選択できます。 ・通常CLAMPにしますが、一時的に発生する光量過不足状態を無視する場合、HOLDにします。 ・CLAMPにすると、アナログ出力は、21∼26mAにロックされます。 ・HOLDにすると、すべての出力が直前の状態をホールドします。 （EDGEモードはHOLDにしても、アナログ出力はホールドされずに、21∼26mAにロックされます） イネーブル出力 （ENABLE） 端 子 台 入 出 光量設定入力 力 （BANK/SENSE） ・測定可能状態のとき、出力がONします。 ・対象物がないときや、測定範囲外・光量過不足のとき、および光量設定状態の場合、OFFします。 ・出力形態は、オープンコレクタ（DC30V 100mA以下）です。 ・光量設定をします。 ・ディップスイッチのSENSE/BANKの設定状態により、機能が異なります。 ・SENSEの場合、光量設定用電源入力端子に12∼24Vを入力し、この入力を外部電源のGNDと短絡すると光量設定動作を開始します。 （微調整はできません）光量設定動作に最大67ms必要とします。 ・BANKの場合、光量設定用電源入力端子に12∼24Vを入力し、この入力を外部電源のGNDと短絡するか開放するかで、ボタンスイ ッチで光量設定した光量に設定することができます。 光量設定動作に最大670ms必要とします。 ・BANKの場合、短絡すると、BRIGHT/BANK灯が点灯します。 ■入出力段回路図 ●端子台 ●ビデオ端子 （7）DC24V DC24V （1）0V （8）4∼20mA ビデオ出力 シールド 負荷 300Ω以下 （2）0V （9）＋V IN 内 部 回 路 0V DC12∼24V （3）LD OFF （10）＋V IN ビデオ出力 0V DC12∼24V （4）TRIG ＊ （11）ENABLE 内 部 回 路 負荷 （5） （12）2-P DC30V以下 負荷 （6） ＊ 形Z4M-T30Vの場合 ：TRIG 形Z4M-T30V2の場合：BANK/SENSE 9 Z4M-T30V/T30V2 正反射式CCD変位センサ ■接続 ●端子台（形Z4M-T30V/T30V2共通） 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 1 2 3 LD OFF 4 TRIG 9 ＋V IN ENABLE 10 ＋V IN 11 7 SOURCE 24VDC 8 ＊ 5 6 2-P 12 ANALOG 4 to 20mA FAP ＊ 形Z4M-T30Vの場合 ：TRIG 形Z4M-T30V2の場合：BANK/SENSE u電源入力：DC24V 200mA以上の電源を接続ください。 q0V：電源0V端子。 iアナログ出力：変位に応じて、4∼20mAの電流が出力さ れます。 w0V：アナログ出力のグランドとして入力機器に接続くだ さい。 oレーザOFF用電源入力：レーザ発光を停止させたい場合、 DC12∼24V 15mA以上の電源 を接続ください。 eレーザOFF入力：o−e間が10.2V以上でレーザが停止し ます。 o−e間が開放あるいは3V以下でレー ザが発光します。 （オープンコレクタ入 力） ⑫2-P出力：透明ガラスが測定範囲内で2枚ある場合にONし ます。 ⑤∼⑥判別出力コモン：判別出力とイネーブル出力のCOM 端子です。 10 ●端子台（形Z4M-T30V） ⑩トリガ入力用電源入力：トリガ入力動作をさせたい場合、 DC12∼24V 15mA以上の電源を 接続ください。 ④トリガ入力：⑩−④間が10.2V以上で入力ONです。 ⑩−④間が開放あるいは3V以下で入力OFF です。 （オープンコレクタ入力） ⑪イネーブル出力：センサが測定可能状態のときに、ON状 態になります。 （オープンコレクタ出力） 以下は、TRIGモード使用時の変位出力 とイネーブル出力のタイミングです。 1ms以上 パルス幅Tw（3ms以下） ON トリガ入力 OFF ON レーザ発光 （測定タイミング）OFF 変位出力 イネーブル出力 ON OFF レーザ発光遅れ時間 （2ms＋Tw以下） 出力確定時間 （33.3ms以下） トリガ入力に応じて、レーザ発光タイミングが変化し、レ ーザ光が発光するとき変位量を測定します。 変位出力は、最大33.3ms後に更新されます。 外部同期入力は1ms以上ONにしてください。その後3ms以 下の投光パルスが発光されその間の変位を測定します。 トリガ入力を受け付ける最小間隔は、40msです。 トリガ入力を入力していない場合もレーザ光は発光してい ますが、測定は行っていません。 ●端子台（形Z4M-T30V2） ⑩BANK/SENSE入力用電源入力：BANK/SENSE入力動作をさ せたい場合、DC12∼24V 15mA以上の電源を接続くだ さい。 ④BANK/SENSE入力：⑩−④間が10.2V以上で入力ONです。 ⑩−④間が開放あるいは3V以下で入 力OFFです。 ⑪イネーブル出力：センサが測定可能状態のときに、ON状 態になります。 正反射式CCD変位センサ Z4M-T30V/T30V2 ■リニアセンサコントローラとの接続例 ●コントローラの選択 形Z4Mのリニア出力を表示したり、 判別する用途でお使いの場合には、 下記のデジタルパネルメータと組み合わせてご使用ください。 外観 品名 リニアセンサコントローラ リニアセンサデジタル パネルメータ スケーリングメータ デジタルパネルメータ 形式 形K3AS-□-FLK□ DC24V 形K3TS-SD□□□-□□ 形K3TJ-V11□□ 形K3NX-VD□□-□□ 149,000 94,500∼107,000 23,000∼25,000 31,500∼56,500 標準価格（￥） 特長 ・5,000回/秒の高速・高精度 ・1.04msの高速サンプリング ・ドットマトリクス液晶対話式で ・2入力演算可能 抜群の操作性 ・強制ゼロなど便利な機能を搭載 ・トリガ機能、入力フィルタ機能 ・2入力個別にスケーリング可能 ・表示LEDの色はお好みに合わせ て選べる赤、緑の2タイプ ・マイナスの傾きもスケーリング できる自由自在なスケーリング 設定 ・最長4秒間の単純／移動平均値計 測機能 ・±0.1％高精度デジタル パネルメータ ・5段階判別 ・スケーリング、強制ゼロ機能 ●スケーリングメータ（形K3TJ）との接続 ●デジタルパネルメータ（形K3TS）との接続 距離表示と高速・高精度、5段階判別が可能。 形K3TS-SD12B 10 1 11 2 12 3 13 4 14 5 15 6 16 7 1 17 8 9 DC24V シールド線 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 2 ア ナ ロ グ 出 力 3 4 5 シ ー ル ド 線 6 形K3TJ-A116R 7 8 9 DC24V 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 形Z4M-T30V 形Z4M-T30V ●デジタルパネルメータ（形K3NX）との接続 形K3NX-AD2A 10 1 11 2 シールド線 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 12 3 13 4 14 5 15 6 16 7 17 8 9 DC24V 形Z4M-T30V 11 Z4M-T30V/T30V2 正反射式CCD変位センサ ■正しくお使いください 警告 レーザ光が直接、または鏡面の物体に反射して、 目に入らないようにご注意ください。 レーザから放出されたレーザ光はパワー密度が高 く、目に入ると失明する恐れがあります。 ●レーザ安全について ・レーザ機器に関しては国内・外でレーザ安全対策が規定さ れています。国内で使用される場合、国内にて組付けられ て海外輸出される場合、これらを2つのケースに分けて次 に簡単に説明します。 a国内 JIS C6802規格で、レーザ製品のクラスに応じて使用者が行 わなければならない安全予防対策が規定されています。 （概 要を下表に示します。 ） 使用者の安全予防対策要求の要約 クラス 項目 クラス1 クラス2 クラス3A クラス3B 3B ＊ 3B クラス4 リモート インタロック の使用 不要 レーザのリモートイン タロックを非常用主イ ンタロック、部屋、 ドア のインタロックなどに 接続すること。 鍵による 制御 不要 レーザを使用しないと きは鍵をはずしておく。 ビーム遮断器 または減衰器 不要 周囲の人に対する不 注意な露光を防止す るため、 使用する。 警告標識 ビーム光路 レーザ製品が設置された場所の 入り口に適切な警告標識を掲示。 不要 不要 WARNUNG LASER RADIATION ビームを終端すること、 原則としてビームを閉じ込める。開 放する場合はビームは目の高さを避ける。 鏡面反射 光学素子を確実に取りつけ、 レー ザ放射中は光学素子類の動作 を制御下に置くこと。 不要 目の保護 規定された特別な場 所を除き、 使用するこ と。 不要 保護着衣 不要 皮膚に対するMPEを超える放射にさらされる 危険性があるとき着用。 訓練 不要 レーザシステムの制御は適切な教育、 訓練を 受けた者に限定。 3B＊可視域で5mW以下の場合 形Z4M-Tのクラス分け クラス2 レーザに関するラベル表示 センサ部側面に下図の警告説明ラベルが貼られています。 警告 レーザ光 注意―― ここを開くと レーザ光がでます 12 取り扱い上の注意 ・形Z4M-Tは可視光レーザを放射しています。直接見つめな いでください。レーザビームの光路を終端するようにご使 用ください。光路に、鏡面反射体がある場合は、反射光路 に対してビームをとじ込めるようにしてください。開放し て使用しなければならない場合、光路は、目の高さを避け るようにしてください。 安全距離（公称眼障害距離：NOHD）は約1mですが、でき るだけ光路を終端するようにしてください。終端材は反射 の少ないつや消し塗装面が最適です。 ・本センサは、レーザ発光警告灯、レーザオフ入力回路を備 えており、外部回路でインタロック機能を構成することが できます。 s米国 機器搭載して米国へ輸出する場合、米国のレーザ規制FDA （Food and Drug Administrationの規制） を受けます。 形Z4M-TはCDRH（Center for Devices and Radiological Health） に届け出済です。 d米国を除く諸外国 ・国内、米国以外の地域については警告説明ラベルを付属品 の英文ラベルに貼り替えてください。 ・ヨーロッパへの輸出に関しては、欧州EN60825があり、規 定が異なります。 ビームをのぞきこまないこと Max. 1.2mW 4msec 半導体レーザ 670nm クラス2レーザ製品 JIS C 6802 1997 DO NOT STARE INTO BEAM CLASS 2 LASER PRODUCT CAUTIONLASER RADIATION WHEN OPEN MAXIMUM OUTPUT：1.2mW PULSE DURATION ：4msec WAVELENGTH ：670nm MEDIUM：SEMICONDUCTOR LASER （EN 60825：1997） 正反射式CCD変位センサ Z4M-T30V/T30V2 ■正しくお使いください 正しい使い方 ◆設計時 ◆その他 ●互換性について ・センサ部とアンプ部はセットで検査して出荷しておりま す。他のセットとの組み合わせでも動作可能ですが、仕様 の性能を満足させるため、センサ部とアンプ部のシリアル ナンバーを合わせてご使用ください。 ●取り扱い上の注意 センサ部前面のフィルタには、ホコリや油滴などが付かない ような場所に設置してください。万一、付いた場合には、 a大きなごみ、ほこりはブロアブラシ （カメラレンズ用） で吹 きとばしてください。 （呼気で吹きとばすことはさけてく ださい。 ） s小さなごみ、ほこりはやわらかい布（レンズクリーナなど） にアルコールを少量含ませて、ていねいに拭きとってくだ さい。 ●相互干渉について ・本センサを2台以上密着して使用できますが、それ以上ビ ームを接近させて使用することはできません。誤動作の原 因となります。 注. 強く拭くことは避けてください。フィルタにきずがつく と、誤差の原因になります。 ◆配線時 ●配線について ・入力電源は、定格電圧を超えて使用しないでください。破 損の原因となります。 ・オープンコレクタ出力は、負荷を短絡させないでください。 破損の原因となります。 ・高圧線、動力線と形Z4M-Tの配線は別配線としてください。 同一配線あるいは同一ダクトで行いますと誘導を受け、誤 動作あるいは破損の原因となることがありますので避けて ください。 ・コードの延長は、センサ部からのコード、アンプ部からの コード共に10m以内としてください。センサ部からのコー ド延長には、別売の延長ケーブル（形Z49-C11 3mまたは 8m）をご使用ください。アンプ部からの配線には、同種の シールドケーブルをご使用ください。 ・形Z4M-Tの駆動用電源にトランスをお使いの場合、 （注） の ように絶縁トランスをお使いください。オートトランス （単巻変圧器） の使用は故障の原因となりますので避けてく ださい。 オート・ トランス （注） ;;; ;;; ;;; ;;;; ;;;; ;;;; ＋ 商用電源 − 絶縁トランス 商用電源 ●使用環境について ・強い外乱光 （レーザ光、アーク溶接光など） や強い電磁界内 でのご使用は避けてください。 ・対象物の材質、形状によって、測定できない場合や精度が 出ない場合があります。 （透明な材質、反射率の極端に小 さな材質。スポット径よりも小さな対象物、曲率の小さな 対象物、大きく傾斜した対象物など） ＋ − 形Z4M 形Z4M 13 Z4M-T30V/T30V2 正反射式CCD変位センサ CADファイル のマークは、この商品の外形寸法の入ったCADファイル名を表しています。 CADデータは、オムロン インターネットホームページ （http://www. omron. co. jp/ib-info/cad/） からダウンロードできます。 ■外形寸法（単位：㎜） ◆本体 ●センサ部 14 4.8 25 8.6 ビニル絶縁丸形コード φ5.1、標準2m 5-R2 20.7 42.7 ビームシャッタ 取りつけ溝 コネクタ 取りつけ穴加工寸法 1 45 1 4.75 9.2 4.75 32.7 2-M4 46 9.5 35° 光軸 47±0.1 12.5 30 2-φ4.5 取りつけ穴 受光軸 φ15 投光軸 47 55 測定中心 基準面 レンズ（φ16） ガラス レンズ（φ14） ガラス CADファイル Z4M_06 ●アンプ部 取りつけ穴加工寸法 83 74.8 64±2 35.3 4×4＝16 17.5 11 2-M4 25.1 20.1 4 6.2 13 57±0.3 9.6 13.4 39 30.5 46.9 67.4 15 10 11.2 10.5 16.5 80 82.3 CADファイル ◆アクセサリ（別売） ●延長ケーブル 形Z49-C11 46 ＊ 49 φ15 φ15.5 （アンプ側） 14 ＊ 3mタイプは3,000 8mタイプは8,000 ビニル絶縁丸形コード φ5.1、標準2m （センサ側） Z4M_05 ¡本誌に記載の標準価格はあくまで参考であり、確定されたユーザ購入価格を表示したものではありません。 ¡本誌に記載の標準価格には消費税が含まれておりません。 ¡本誌に記載されているアプリケーション事例は参考用ですので、ご採用に際しては機器･装置の機能や安全性をご確認の上、ご使用ください。 ¡本誌に記載のない条件や環境での使用、および原子力制御･鉄道･航空･車両･燃焼装置･医療機器･娯楽機械･安全機器、その他人命や 財産に大きな影響が予測されるなど、特に安全性が要求される用途への使用をご検討の場合は、定格･性能に対し余裕を持った使い方や フェールセイフ等の安全対策へのご配慮をいただくとともに、当社営業担当者までご相談いただき仕様書等による確認をお願いします。 営業統轄事業部 東京都品川区大崎1-11-1 ゲートシティ大崎ウエストタワー14F（〒141-0032） AS営業部 北関東営業課／048-647-7559 西 部 営 業 課／06-6282-2698 札 幌 支 店／011-271-7821 仙 台 支 店／022-265-0571 東 京 支 店／03-3779-9031 大宮営業部／048-647-7554 東京営業部／03-3779-9031 長 野 支 店／0263-32-6561 金 沢 支 店／076-233-5000 名古屋支店／052-561-0167 東 部 営 業 課／03-3779-6518 九 州 営 業 課／092-414-3214 静岡営業部／054-253-6181 名古屋営業部／052-561-7171 大 阪 支 店／06-6282-2472 京滋営業部／075-211-5491 大阪営業部／06-6282-2472 中四国支店／082-247-0228 九 州 支 店／092-414-3211 インターネット情報サービス オムロン制御機器の最新情報がご覧いただけます。 Industrial Webホームページ http://www.omron.co.jp/ib-info/ 中 部 営 業 課／052-561-0174 仙台営業所／022-265-0571 山形営業所／023-631-0677 郡山営業所／0249-33-2659 新潟営業所／0258-36-6364 宇都宮営業所／028-633-5424 高崎営業所／027-326-3456 熊谷営業所／048-527-1024 大宮営業所／048-647-7554 水戸営業所／029-226-2355 取手営業所／0297-73-7091 千葉営業所／047-435-8521 東京営業課／03-3779-9031 立川営業所／042-524-6776 横浜営業所／045-411-7202 厚木営業所／046-223-1636 上田営業所／0268-23-1754 松本営業所／0263-32-6561 富山営業所／076-441-4391 金沢営業所／076-233-5000 沼津営業所／0559-62-7611 静岡営業所／054-253-6181 浜松営業所／053-453-6412 豊田営業所／0566-83-1105 名古屋南営業所／0562-48-9721 小牧営業所／0568-75-1171 一宮営業所／0586-72-3266 四日市営業所／0593-51-7733 滋賀営業所／077-565-3498 京都営業所／075-211-5491 大阪営業課／06-6282-2472 和歌山営業所／073-433-1405 神戸営業所／078-361-2511 岡山営業所／086-231-3201 福山営業所／0849-23-2824 広島営業所／082-247-0228 山口営業所／083-973-7860 高松営業所／087-851-7736 松山営業所／089-943-4194 小倉営業所／093-521-7431 福岡営業所／092-414-3211 熊本営業所／096-355-1611 オムロン商品のご用命は カタログ番号 SCHA-013 工 2000年2月現在 ③VN○ C OMRON 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