RF マグネトロンスパッタリング装置マニュアル

RF マグネトロンスパ ッタリング装 置マニュアル
RF 発振源
RF 調節部
真空計(左:高真空計、右:低真空計)
操作パネル
アーク電流、バイアス電圧調節部
ガス流量調節部
メインバルブ
冷却ファンコンセント
チャンバー
本体 裏の 配 電盤
冷却 水バ ル ブ
1.入 室前
1. ボンベ室(奥)にて、使用するガスの元栓を開ける。(元栓は、90
程度回す)
(一番奥のボンベがアルゴン、中央が窒素)
※ガスを導入する直前に開けても良い。
2.ク リー ンル ーム
前室
1. 空調機及び循環冷却水チェック表を記入。
2. 配電盤左[MZ-1]：循環水 2 を「入」、チラー用リモコンを「運転」。
※1.2 の操作はクリーンルームを最初に使う場合のみ。
3. 配電盤中央[LZ-107A(1)]：AIP⑧を ON。
4. 配電盤右[LZ-107A(2)]：AIP(A, C, 一番下)を ON。
室内
1. 除湿機(3 機)の水を捨てる。
※水は、前室の流し場に捨てる。
3.装 置の 立ち 上げ ∼ 真空 引き
1. 冷却水バルブを全開にする。(装置に向かって右隅の床にある青いバルブ)
2. 本体裏の配電盤：制御系, TMP 電源, 粗引きポンプ, バイアス電圧, NO.1 アーク電源の順に ON。
3. 操作パネル：キースイッチを「自動」。(右の写真の向き)
4. メインバルブが閉まっていれば開ける。
5. 操作パネル：ベントを ON。(チャンバードアが開く)
※ドアのネジが外れていることを確認してから押すこと。
6. ターゲットの交換。(前回とは異なるターゲットを用いる時のみ)
7. 成膜したい基板を基板台に乗せる。
※基板の準備(例)
glass, Si 基板：アセトンで 5 分間超音波洗浄する。この操作をアセトンを交換しつつ 3 回行った
後、ドライヤーで乾燥させる。(廃液入れはドラフトの下)
SUS 基板：水を流しながら研磨紙(#800→#1200→#1500)で研磨後、蒸留水で洗い流す。
8. ドアを閉め、ネジを均等に締める。
※閉める際、O-リング部の真空グリースを薄く均一に延ばすこと。
(時々、O-リング部の真空グリースを拭き取って新しく塗り直すこと)
9. 操作パネル：真空排気を ON。
10. 1 時間半程度待つ。
※ドアのネジが緩み始めたら外しておくと良い。
11. 高真空計の電源を ON。2∼4
10-4 Torr であることを確認後、OFF。
※高真空計の電源は、つけっぱなしにしないこと。
4.ガ ス導 入∼ 成膜 終 了
1. 冷却ファンのコンセントを挿す。
2. ガス調節部：用いるガスのスイッチを ON。(NO.1 ガス：窒素、NO.2 ガス：アルゴン)
3. ダイヤルを回し、ガス流量を調節する。(例：100 sccm)
4. メインバルブを回し、真空度を低真空計にて微調整する。(例：1
10-2 Torr)
5. RF 調節部：POWER を ON。
6. RF-ON を ON。
7. POWER SET で目的とする出力まで FORWARD を見ながら調節する。(成膜開始)
※REFLECT は 0 になるように自動調節される。
8. 成膜終了時は POWER SET を 0 にする。(成膜終了)
※基板バイアス電圧を印加する場合
1. 操作パネル：サブストレートバイアス電圧の電源を ON。
2. 電圧調整を回して電圧をかける。
5.基 板の 取り 出し ∼ 立ち 下げ
1. RF 調節部：RF-OFF を ON。
2. ガス調節部：ダイヤルを回してガス流量を 0 にした後、スイッチを OFF。
※基板バイアス電圧を印加した場合は、電圧調節を 0 にしてから電源を OFF。
3. 1 時間程度チャンバー内を冷却。
4. 操作パネル：ベントを ON。
5. 基板を取り出す。
※続けて成膜したい場合は、3.装置の立ち上げ∼真空引きの 7 から再度行う。
6. チャンバードアを閉める。
※閉める時に真空グリースを均一に延ばすことを忘れない。
7. 操作パネル：真空排気を ON。
8. 高真空計で 5
10-3 Torr くらいまで引く。
※引いている間に、冷却ファンのコンセントを抜き、RF 調整部の POWER を OFF。
9. 操作パネル：キースイッチを「手動」。
10. 高真空バルブ⑩のスイッチを OFF。
11. TMP⑪のスイッチを OFF(長押し)。
12. TMP が止まるまで 30 分程度待つ。
⑩ ⑪
⑬
13. TMP 粗引きバルブ、粗引きポンプ⑬のスイッチを OFF(後者は長押し)。
14. 本体裏の配電盤：NO.1 アーク電源, バイアス電圧, 粗引きポンプ, TMP 電源, 制御系の順に OFF。
15. 冷却水バルブを閉める。
※装置の使用記録を書いておく。
16. 2.クリーンルームの逆の操作をする。(チェック表は書く必要なし)
※循環水は最後にクリーンルームを出る者が止める。(チラー用リモコンを「停止」、循環水 2 を「切」)
17. ボンベ室のボンベの元栓を締める。
※IBS 装置とボンベを共有しているので、IBS 装置が使用中の場合は注意すること。