4D InSpec® サーフェスゲージ

4D InSpec
®
4D InSpec® サーフェスゲージ
■ キズ、凹みを瞬時に測定、解析判定
!!
■ 2.5µm∼2,500µmまでの凹み、
キズに
■ 測定ヘッドを測定物にかざして測定
!!
!!
■ ハンドヘルドまたは、
ロボットオペレーションに
サーフェスゲージ“4D InSpec”は、業界初のハ
ンドヘルド型表面欠陥測定ツールです。
ミクロンレベルの分解能、優れた携帯性、簡単なオ
ペレーションでQC/QA現場での微細な欠陥検査を
強力にサポートします。
測定ヘッドを観察個所にかざすことで、数ミクロン
程度の凹み、キズ、突起などの欠陥個所を計測しま
す。撮像されたイメージと3Dイメージにより詳し
くその場で確認することができるので、時間のロス
なく検査することができます。
4D InSpecは、きつい曲率の表面や広いサンプル
表面にも使用になれます。
オプションのミラーアクセサリを装着することでボ
アスコープ（内視鏡）のように穴の側面や狭いス
ペースにもアクセスが可能です。
The 4D InSpec quantifies damage, wear and corrosion directly on parts with
complex geometries, such as this turbine blade section. Arbitrary 2D traces
and 3D plots make it easy to analyze surface features and defects.
4D InSpec
®
4D InSpec サーフェスゲージ
® 仕様
基本仕様
測定
測定範囲（深さ）
測定範囲（エリア）
空間分解能（XY方向）
空間分解能（Z方向）
マウント
ワークディスタンス
非接触 3Dサーフェスプロファイラ
2.5 µm ∼ 2500 µm 程度、キズ、凹み
7.6 mm × 7.6 mm
5.6 µm
2.5 µm
ハンドヘルド もしくは スタンドマウント
42 mm
ソフトウェア
解析
不具合検出
不具合計算
データ表示
データ出力
4D InSpec ソフトウェア
高さ、エリアのしきい値設定
最大高さ、数、領域、最大傾斜、XY位置
コンター図、XYスライスイメージ
統計データ、3D Map
その他
サイズ
光源
センサ
消費電力
質量
ケーブル長
280 mm × 50 mm × 70 mm
450 nm LED
CMOS
10 W (測定ヘッド)、< 250 W (PC システム)
< 900 g (測定ヘッド）
10 m
性能
繰返し精度（Z方向）
ステップ高さ精度
ステップ高さ繰返し精度
フォーカス深度
<
<
<
>
0.6
0.5
0.5
2.5
µm (σ)
%
%
mm
製品構成
測定ヘッド
調整スペーサ（アライメント補助ツール）
タッチスクリーンモニタ + PC
ケーブル類
4D InSpec ソフトウェア