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ハイソルプローブシステム総合カタログ
解析用プローブシステム 総合カタログ Manual Prober 超微小信号からハイパワー DC，I-V，C-V測定からRF測定まで Semi‐Automatic Prober ハイソルが提供する、半導体・FPD向け解析用プローブシステムです。 お求めやすい価格帯で提供する研究室向け小型マニュアルプローバーから、-65℃～+300℃サーマル テストに対応した300mmハイエンドセミオートプローブシステムまで、お客様の測定アプリケーションに 最適なプロービングソリューションを提供します。 微小信号測定、ノイズ評価からハイパワーテスト、DCパラメトリック測定からRF測定、ウェハレベル信頼性 試験、磁場印加測定やオプトデバイスの測定など幅広いアプリケーションに対応し、お客様の研究開発の 発展、技術革新をサポートします。 Probe System for FPD ハイソルが提供するプロービングソリューション Vacuum probe system ● ウエハサイズ 2インチ～12インチ ● 1/f ノイズ, RTN（ランダムテレグラフノイズ）評価 ● マニュアルおよびセミオート ● 超高速I-V試験、パルスI-V試験 ● fAレベルの微小電流測定 ● 大電流プロービング (～200A pulse) ● fFレベルの超微小容量測定 ● 高電圧プロービング (～10kV) ● 高周波測定（～67Ghz） ● ESD試験、TLP試験 ● -65℃ ～ +400℃ サーマルテスト(大気圧) ● 故障解析 ● 4k ～ +500℃高低温テスト(真空下) ● 磁場印加測定 ● オプトデバイス(VCSEL、PD等.)測定 Specialty Probe system ● ウエハレベル信頼性試験 (EM/TDDB/HCI/NBTI/BT) Applications ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー合同会社の 認定ソリューションパートナーです。 Accessories 2 4inch 6inch ■ 小型マニュアルプローバー Manual Prober Model HMP-400 / HMP-600 ベストセラー コンパクトマニュアルプローバー ・ Model HMP-400： 4インチ対応 ・ Model HMP-600： 6インチ対応 個片から4インチ、または6インチまでのウェハの測定に対応した、研究開発用小型マニュアルプローバーです。 オプションを適切に選択することにより fA レベルの微小電流測定や、sub-pF レベルの微小容量測定に対応可能です。 また、室温～+300℃のホットチャックを搭載することにより高温試験に対応できます。 アプリケーション ・ 微小信号 I-V測定（fA レベル） ・ 各種C-V測定（Quasi-Static C-V，HF-CV） ・ 4端子抵抗測定 拡張アプリケーション ・ 室温 ～ +200℃または、+300℃ 範囲の温度特性試験 ・ グローブボックス内への設置 ・ プローブカード対応 ・ RF測定（～40GHz） ・ 超高速 I-V測定 ・ ハイパワーデバイス測定（100A Pulse，±3kV triaxial，±10kV coaxial） ・ オプティカルデバイス（LED，LD，VCSEL，PDなど）の受発光特性評価 HMP-400 対応ウエハサイズ ステージXY移動範囲（租動） ステージXY移動範囲（微動） HMP-600 ～ φ100 mm ～ φ150 mm X：105mm，Y：150mm X：155mm，Y：200mm XY：13mm / マイクロメータヘッド ステージθ移動範囲 粗動 ±30°, 微動 ±2.5° プラテンZ軸アクション 0 - 20mm フリー プラテンZ軸調整範囲 外形寸法（W×D×H）※ 重量※ 0～15mm 350×390×450mm 390×450×450mm 28kg 36kg ※システムの構成により変動します。 3 8inch 12inch ■ スタンダードマニュアルプローバー Manual Prober Model HMP-800 / HMP-1200 マニュアルプローバーのスタンダードモデル ・ Model HMP-800： 8インチ対応 ・ Model HMP-1200： 12インチ対応 8インチウェハまたは12インチウェハに対応するスタンダードマニュアルプローバーです。 高精度かつシンプルな機構、簡単な操作で、信頼性の高いオン・ウェハ測定をサポートします。 ホットチャック（室温～+200℃ / +300℃）や、サブミクロン分解能ステージ、レーザーカッターなど、幅広いアプリケーションに対応する 拡張性を備えた、マニュアルプローバーのスタンダードモデルです。 アプリケーション ・ +20℃ ～ +300℃ 範囲の温度特性試験 ・ 微小信号 I-V測定（fA レベル） ・ 各種C-V測定（Quasi-Static C-V，HF-CV，RF-CV） ・ RF測定（～67GHz） ・ 超高速 I-V測定 拡張アプリケーション ・ プローブカード対応 （マルチサイトWLR対応可） ・ レーザーカッターの搭載 （ポイントマーキング，保護膜剥離，配線カット） ・ 金属顕微鏡、アクティブ除振台、超高精度ステージ搭載によるサブミクロン精度 プロービング ・ オプティカルデバイス（LED，LD，VCSEL，PDなど）の受発光特性評価アプリケー ション ・ フラットパネルディスプレイデバイスの共通ゲート端子コンタクト ・ ハイパワーデバイス測定（400A Pulse，±3kV triaxial，±10kV coaxial） ・ ウエハレベル信頼性試験（EM，TDDB，HCI，NBTI，BTなど） 対応ウエハサイズ ステージXY移動範囲（租動） ステージXY移動範囲（微動） HMP-800 HMP-1200 ～ φ200 mm ～ φ300 mm X：205mm，Y：300mm X：305mm，Y：400mm XY：13mm/マイクロメータヘッド ステージθ移動範囲 粗動 ±30°, 微動 ±2.5° プラテンZ軸アクション 0 / 0.3 / 10mm プラテンZ軸調整範囲 外形寸法（W×D×H）※ 重量※ ※システムの構成により変動します。 4 0～13mm 550×650×450mm 690×780×450mm 60kg 80kg 8inch 12inch ■ 高低温マニュアルプローバー Manual Prober Model HMP-810SC / HMP-1210SC -60℃～+300℃の温度特性評価、ウエハレベル信頼性試験 ・ Model HMP-810SC： 8インチ対応 ・ Model HMP-1210SC： 12インチ対応 低ノイズ、低リークを追及した次世代半導体デバイス対応マニュアルプローブシステムです。 シールドチャンバー構造による完全なEMIシールド環境内に、プローブおよびチャックが収納されており、温度制御範囲 -65℃～+300℃ （特殊オプション+400℃） において、極限領域での超微小信号測定、1/fノイズ測定、Sパラメータ取得、高速I-V測定などの測定に対応し ます。 またオプションで大電流、高電圧パワーデバイスアプリケーションにも対応可能です。 ※ 6インチウェハ対応モデルのHMP-610SCもご用意しております。 アプリケーション ・ +25℃ ～ +300℃ / +400℃ または -65℃ ～ +300℃範囲の温度特性試験 ・ 微小信号 I-V測定（fA レベル） ・ 各種C-V測定（Quasi-Static C-V，HF-CV，RF-CV）[Sub pFレベル] ・ 1/fノイズ評価 ・ RTN（ランダムテレグラフノイズ）評価 ・ 高周波ノイズ評価（～800MHz） ・ RF測定（～67GHz）/ Sパラメータ取得 ・ 超高速 I-V測定 拡張アプリケーション ・ プローブカード対応 （マルチサイトWLR対応可） ・ オプティカルデバイス（LED，LD，VCSEL，PDなど）の受発光特性評価アプリ ケーション ・ フラットパネルディスプレイデバイスの共通ゲート端子コンタクト ・ ハイパワーデバイス測定（400A Pulse，±3kV triaxial，±10kV coaxial） ※8インチモデル ・ ウエハレベル信頼性試験（EM，TDDB，HCI，NBTI，BTなど） HMP-810SC 対応ウエハサイズ HMP-1210SC ～ φ200 mm ～ φ300 mm ステージXY移動範囲（粗動） X：205mm，Y：205mm X：310mm，Y：310mm ステージXY移動範囲（微動） X：205mm，Y：205mm X：310mm，Y：310mm ステージθ移動範囲 ±7.5° プラテンZ軸アクション 0 / 0.3mm プラテンZ軸調整範囲 外形寸法（W×D×H）※ 重量※ 0～13mm 1020×1000×1550mm 1150×1100×1550mm 750kg 1000kg ※システムの構成により変動します。 5 4inch 6inch ■ 小型セミオートプローバー Model HSP-100 / HSP-150 小径ウエハ対応 セミオートプローブシステム ・ Model HSP-100： 4インチ対応 ・ Model HSP-150： 6インチ対応 Semi‐Automatic Prober 4インチウエハまたは、6インチウエハの小径ウエハに対応した、セミオートプローブシステムです。 位置決め精度、繰返し精度に優れた高精度X-Y-Z-θ 4軸クローズドループステージを有しており、確実なプローブコンタクトを保証します。 +20℃～+300℃の範囲のホットチャックを搭載することが可能です。 またオプションで大電流、高電圧パワーデバイスアプリケーションにも対応可能です。 アプリケーション ・ +20℃ ～ +300℃ 範囲の温度特性試験 ・ 微小信号 I-V測定（fA レベル） ・ 各種C-V測定（Quasi-Static C-V，HF-CV，RF-CV） ・ RF測定（～67GHz） ・ 超高速 I-V測定 拡張アプリケーション ・ プローブカード対応 （マルチサイトWLR対応可） ・ レーザーカッターの搭載 （ポイントマーキング，保護膜剥離，配線カット） ・ アクティブ除振台、画像処理パターン認識による超高精度プロービング （精度±1um以下） ・ オプティカルデバイス（LED，LD，VCSEL，PDなど）の受発光特性評価アプリケー ション ・ フラットパネルディスプレイデバイスの共通ゲート端子コンタクト ・ ハイパワーデバイス測定（400A Pulse，±3kV triaxial，±10kV coaxial） ・ ウエハレベル信頼性試験（EM，TDDB，HCI，NBTI，BTなど） 対応ウエハサイズ ステージXY移動範囲 HSP-100 HSP-150 ～ φ100 mm ～ φ150 mm X：105mm，Y：200mm X：160mm，Y：250mm ステージXY繰り返し精度 ＜±2μm ステージXY位置決め精度 ＜±5μm ステージZ移動範囲 20mm ステージZ繰り返し精度 ステージθ移動範囲 ±7.5° ステージθ繰り返し精度 0.002° 装置寸法（W×D×H）※ 重量※ ※システムの構成により変動します。 6 ＜±1μm 1200×900×1550mm 1250×900×1550mm 650kg 700kg 8inch 12inch ■ スタンダードセミオートプローバー Model HSP-200 / HSP-300 セミオートプローバーのスタンダードモデル ・ Model HSP-200： 8インチ対応 ・ Model HSP-300： 12インチ対応 Semi‐Automatic Prober 8インチウエハまたは、12インチウエハに対応した、スタンダードタイプのセミオートプローブシステムです。 位置決め精度、繰返し精度に優れた高精度X-Y-Z-θ 4軸クローズドループステージを有しており、確実なプローブコンタクトを保証します。 +20℃～+300℃の範囲のホットチャックを搭載することが可能です。 またオプションで大電流、高電圧パワーデバイスアプリケーションにも対応可能です。 アプリケーション ・ +20℃ ～ +300℃ 範囲の温度特性試験 ・ 微小信号 I-V測定（fA レベル） ・ 各種C-V測定（Quasi-Static C-V，HF-CV，RF-CV） ・ RF測定（～67GHz） ・ 超高速 I-V測定 拡張アプリケーション ・ プローブカード対応 （マルチサイトWLR対応可） ・ レーザーカッターの搭載 （ポイントマーキング，保護膜剥離，配線カット） ・ アクティブ除振台、画像処理パターン認識による超高精度プロービング （精度±1um以下） ・ オプティカルデバイス（LED，LD，VCSEL，PDなど）の受発光特性評価アプリケー ション ・ フラットパネルディスプレイデバイスの共通ゲート端子コンタクト ・ ハイパワーデバイス測定（400A Pulse，±3kV triaxial，±10kV coaxial） ・ ウエハレベル信頼性試験（EM，TDDB，HCI，NBTI，BTなど） 対応ウエハサイズ ステージXY移動範囲 HSP-200 HSP-300 ～ φ200 mm ～ φ300 mm X：205mm，Y：300mm X：310mm，Y：450mm ステージXY繰り返し精度 ＜±2μm ステージXY位置決め精度 ＜±5μm ステージZ移動範囲 20mm ステージZ繰り返し精度 ＜±1μm ステージθ移動範囲 ±7.5° ステージθ繰り返し精度 0.002° 装置寸法（W×D×H）※ 重量※ 1300×1000×1550mm 1400×1050×1600mm 750kg 950kg ※システムの構成により変動します。 7 8inch 12inch ■ 高低温セミオートプローバー Model HSP-200SC / HSP-300SC -65℃～+400℃の温度特性評価、ウエハレベル信頼性試験 ・ Model HSP-200SC： 8インチ対応 ・ Model HSP-300SC： 12インチ対応 Semi‐Automatic Prober 低ノイズ、低リークを追及した次世代半導体デバイス対応のセミオートプローブシステムです。 シールドチャンバー構造による完全なEMIシールド環境内に、プローブおよびチャックが収納されており、温度制御範囲 -65℃～+300℃（特殊 オプション+400℃）において、極限領域での超微小信号I-V・C-V測定、1/fノイズ測定、Sパラメータ取得、RTN（ランダムテレグラフノイズ）測定、 高速I-V測定などの面内自動測定に対応します。 またオプションで大電流、高電圧パワーデバイスアプリケーションにも対応可能です。 ※ 6インチウェハ対応モデルのHSP-150SCもご用意しております。 アプリケーション ・ +25℃ ～ +300℃ / +400℃ または -65℃ ～ +300℃範囲の温度特性試験 ・ 微小信号 I-V測定（fA レベル） ・ 各種C-V測定（Quasi-Static C-V，HF-CV，RF-CV）【Sub pFレベル】 ・ 1/fノイズ評価 ・ RTN（ランダムテレグラフノイズ）評価 ・ 高周波ノイズ評価（～800MHz） ・ RF測定（～67GHz）/ Sパラメータ取得 ・ 超高速 I-V測定 拡張アプリケーション ・ プローブカード対応 （マルチサイトWLR対応可） ・ アクティブ除振台、画像処理パターン認識による超高精度プロービング （精度±1um以下） ・ オプティカルデバイス（LED，LD，VCSEL，PDなど）の受発光特性評価アプリケーション ・ フラットパネルディスプレイデバイスの共通ゲート端子コンタクト ・ ハイパワーデバイス測定（400A Pulse，±3kV triaxial，±10kV coaxial） ※8インチモデル ・ ウエハレベル信頼性試験（EM，TDDB，HCI，NBTI，BTなど） HSP-200SC 対応ウエハサイズ ステージXY移動範囲 ～ φ300 mm X：205mm，Y：205mm X：310mm，Y：310mm ステージXY繰り返し精度 ＜±3μm ステージXY位置決め精度 ＜±5μm ステージZ移動範囲 20mm ステージZ繰り返し精度 ＜±1μm ステージθ移動範囲 ±7.5° ステージθ繰り返し精度 0.002° 装置寸法（W×D×H）※ 重量※ ※システムの構成により変動します。 8 HSP-300SC ～ φ200 mm 1350×1000×1450mm 1450×1150×1450mm 1050kg 1250kg ■ セミオートプローバー セミオートプローバー制御ソフトウェア Semi‐Automatic Prober マニュアル操作画面 ウエハマップセッティング BINマッピング 特 長 ・ 操作性に優れた多機能セミオートプロービングソフトウェアです。 ・ OSはWindows 8に対応しています。（Windows 7対応も可） ・ ソフトウェアGUIまたはジョイスティックコントローラにより、マニュアルプローバーとしてもご使用いただけます。 ・ 上位測定器からBIN情報を受け取ることでウェハ面内BINマッピング表示に対応可能です。 ・ 高低温試験時の、ウエハ熱膨張補正機能を有しています。 ・ 上位測定器やPCからのGP-IBコマンドによりセミオートプローバーを制御することが可能です。 ・ 各測定器で取得した測定生データを解析のための、データベース化、パラメータ抽出ソフトウェアを提供することも可能です。 （オプション） ・ ソフトウェアは自社開発のため、カスタマイズ要求を組み込むことが可能です。 標準的な自動測定対応ソフトウェア キーサイト・テクノロジー -EasyEXPERT -Desktop EasyEXPERT -WaferPro Express TFF/ケースレーインスツルメンツ -4200-SCS KITE (Keithley Interactive Test Environment) -ACS プロプラスデザインソリューション -Noisepro その他 GP-IB通信対応ソフトウェアで制御可能です。 9 FPD ■ FPD用マニュアルプローバー Model HMP-FPD series フラットパネルディスプレイ対応マニュアルプローバー 小型ガラス基板から大型ガラス基板までFPD（フラットパネルディスプレイ）対応のマニュアルプローバーをカスタム製作でご提供します。 広範囲な顕微鏡可動とプロービングエリアにより、パネル面全エリアでの安定プロービングに対応しています。 角型パネルチャックは加熱タイプ（～+200℃）またはサーマルタイプ（-40℃～+200℃）が選択でき、全温度帯においてfAレベルの微小電流 測定、Sub pFレベルのC-V測定に対応します。 また、ソーラシミュレータなどによるパネル表面への光照射、超高輝度白色LEDによるパネル裏面（バックライト）への光照射に対応できます。 小型パネル～中型パネル対応システム 機能例 Probe System for FPD FPDデバイスのレイアウトに対応可能な 広範囲プロービングエリア ソーラーシミュレータなどによる パネル表面光照射 超高輝度LEDによるパネル裏面への光照射 （～40,000cd/cm2）※サブステージ レーザーカッター搭載 （発振波長：1064，532，355，266 nm） サブミクロンパターンへの安定プロービング対応 超高精度モデル 10 FPD ■ FPD用セミオートプローバー Model HSP-FPD series フラットパネルディスプレイ対応セミオートプローバー 小型ガラス基板から大型ガラス基板までFPD（フラットパネルディスプレイ）対応のマニュアルプローバーをカスタム製作でご提供します。 広範囲な顕微鏡可動とプロービングエリアにより、パネル面全エリアでの安定プロービングに対応しています。 角型パネルチャックは加熱タイプ（～+200℃）またはサーマルタイプ（-40℃～+200℃）が選択でき、全温度帯においてfAレベルの微小電流 測定、Sub pFレベルのC-V測定に対応します。 小型パネル～中型パネル対応システム 機能例 Probe System for FPD ・ 広範囲な顕微鏡可動域 ・ 広域プロービングエリア ・ プログラマブル電動ポジショナ ・ 共通ゲート電極プロービング ・ 高低温対応モデル（-60゜C ～ +200゜C） 11 25mm sq. ■ 小型真空プローバー Model HMP-V80 series 研究開発用 小型真空プローバー（極低温 ～ 超高温対応） 5mm□～25mm□サイズのサンプルの、I-V/C-V/RF測定に対応した、研究開発用 小型真空プローバーです。 4k台の極低温から、最高温度 +500℃の温度試験に対応した各モデルを取り揃えています。 共通仕様 General Substrate サイズ 5mm□ ～ 20 mm□ 到達真空度※ 1 x 10E -4 Pa 測定端子数 2 ～ 7 ( 最大6プローブ，バックゲート×1) 測定端子形状※ 標準：トライアキシャル(J)ハーメチックシール Movements プローブX-Y-Z 移動量 X 30mm, Y 50mm, Z 15mm プローブ位置決め調整感度 X-Y-Z ＜0.01mm CCDズームユニット移動方式※ 水平スイングアーム（フリーアクセス） Microscope Vacuum probe system 方式 液晶モニタ投影ズーム式CCDマイクロスコープ 40x ～ 240x モニタ上倍率※ 照明装置※ 白色LEDリング照明装置 ※システムの構成により変動します。 室温 または 極低温モデル モデル名 温度制御範囲 加熱方式 HMP-V80 室温 なし なし 4.2 k ～ 298 k (+25°C) ヒーター 液体ヘリウム移送式 HMP-V80-LHM 8k台 ～ 473 k (+200°C) ヒーター 液体ヘリウム移送式 HMP-V80-LHH 10k台 ～ 573 k (+300°C) ヒーター 液体ヘリウム移送式 HMP-V80-LN 80 k ～ 298 k (+25°C) ヒーター 液体窒素クライオスタット HMP-V80-LNM 80 k ～ 473 k (+200°C) ヒーター 液体窒素クライオスタット HMP-V80-LNH 80 k ～ 573 k (+300°C) ヒーター 液体窒素クライオスタット HMP-V80-PS 80 k ～ 298 k (+25°C) ヒーター スターリングクーラー モデル名 温度制御範囲 加熱方式 冷却方式 HMP-V80 室温 ～ +300 °C 圧縮空気 HMP-V80-LH 室温 ～ +400 °C HMP-V80-LHM 室温 ～ +500 °C ヒーター ヒーター ヒーター HMP-V80-LH 冷却方式 超高温モデル 12 圧縮空気 圧縮空気 6inch 8inch ■ 真空高低温セミオートプローバー Model HSP-V150 / HSP-V200 MEMSデバイスの超高真空環境下、有機半導体デバイスのガス置換環境下 高低温オン・ウエハ特性評価 ・ Model HSP-V150SC： 6インチ対応 ・ Model HSP-V200SC： 8インチ対応 MEMSデバイス RF MEMSデバイスや水晶振動子MEMSデバイスなど、真空環境での動作を必要とするMEMSデバイスの、高低温（-60℃ ～ +300℃） オン・ウエハ測定に対応できます。 当システムの導入により、非常に高価なプロセスであるパッケージングコストを削減することが可能になります。 インピーダンスアナライザや、RFネットワークアナライザ等を組み合わせることにより、オン・ウエハで、等価定数やトランスミッション特性 シミュレーション、SパラメータなどのMEMSデバイス特性を自動取得することができます。 有機半導体デバイス 対応ウエハサイズ 到達真空度 ステージXY移動範囲 HSP-V150 HSP-V200 ～ φ150 mm ～ φ200 mm 1 x 10E -3Pa （1 ｘ 10E-5 Pa オプションl） X：160mm，Y：160mm X：310mm，Y：310mm ステージXY繰り返し精度 ＜±2μm ステージXY位置決め精度 ＜±5μm ステージZ移動範囲 20mm ステージZ繰り返し精度※ ＜±1μm ステージθ移動範囲l ±7.5° ステージθ繰り返し精度 0.002° 装置寸法（W×D×H）※ 重量※ 2500×1800×1900mm 2700×2000×1900mm 1300kg 1600kg ※システムの構成により変動します。 13 Vacuum probe system OFET，OTFT，OEL，OLEDなどの有機半導体デバイス の研究開発段階では、大気中の水分や酸素による 特性劣化を避けるために、高純度な不活性ガス環境 下で測定を行う必要があります。 当システムの導入により、真空引き－ガス置換による 高純度不活性ガス（N2やAr）環境下で有機半導体 デバイスの高低温（-60℃ ～ +300℃）測定に対応 できます。 システムは微小信号測定に対応しており、各種有機半 導体デバイスの高精度I-V・C-V測定要求にお応えしま す。 ■ 用途別プローブシステム 磁場印加型プローブシステム 各種スピントロニクスデバイス（磁気センサー, MRAM, Fram, FeRam）や、ホールデバイス評価用の、高度な磁場印加型プローブシステムを 設計製作にてご提案させていただきます。 要素技術 ・ ・ ・ ・ ・ 高度な非磁性構造 優れた磁気ヒステリシス特性 超低残留磁界電磁石対応 面内磁界、垂直磁界に対応 磁場印加、測定アプリケーションソフトウェアの提供 ・ トレーサブルな磁場キャリブレーションツール、 補正ソフトウェアの提供 ・ 温度特性評価 -65℃ ～ +200℃対応 ・ 高精度抵抗測定、RF測定（～67GHz） ・ マニュアル、セミオート対応 面内磁場マニュアルプローバー ( -3000 Oe ～ +3000 Oe) Specialty Probe system 垂直磁場セミオートプローバー ( ± 1500 Oe , -60℃ ～ +200℃ ) 垂直磁場印加電磁石を搭載した製品に関しては、東栄科学産業株式会社殿 の特許技術を採用しています。 （特許公開出願番号 2010-212453） 14 ■ 用途別プローブシステム オプトデバイス評価用プローブシステム 各種発光素子・受光素子の光学的特性、電気的特性をオンウエハで測定可能なシステムを設計製作でご提供させていただきます。 （各種受光測定、光照射測定に対応できます。） アプリケーション ・ VCSEL、LED等、発光素子のウエハレベル光学特性/電気特性評価 ・ フォトダイオード、アバランシ-フォトダイオード等、受光素子のウエハレベル光学特性/電気特性評価 VCSEL・LD・LED測定 ・ ・ ・ ・ I-L-V特性（電流-電圧/光出力） C-V特性（容量-電圧） Pulsed I-V特性 波長測定，波長線幅測定 積分球 PD・APD測定 ・ ・ ・ ・ NFP（近視野発光像） FFP（遠視野発光像） 変調周波数特性 RIN特性 PMT 暗電流測定 I-V特性（電流-電圧） C-V特性（容量-電圧） 変換効率 各種照射光源 ・ ・ ・ ・ 波長-変換効率プロファイル カットオフ周波数 変調周波数特性 過渡応答特性 モノクロメータ Specialty Probe system 顕微測光鏡筒搭載セミオートプローブシステム VCSEL，PD/APD評価用（2インチφ対応） ・ ・ ・ ・ 光ファイバ直接結合型マニュアルプローバー VCSEL評価用（3インチφ対応） 4探針プローバー 4探針法による、シリコンウエハ、太陽電池セル、LCD基板等のシート抵抗値、体積抵抗率のマニュアル測定システムです。 マニュアル4探針プローバーおよび、KEITHLEY 2401型 ソースメータを標準測定器としてご用意しています。 また、付属のKEITHLEY 2401対応測定ソフトウェアにより、シート抵抗値、体積抵抗率を自動算出することができます。 4探針プローブ 15 ■ アプリケーション 微小信号I-V・C-V測定 微小信号I-V測定 下記のプロットは、オープン状態のプローブおよびチャックにスイープ電圧を印加し、その際の電流値を測定した結果です。 その測定結果はプローブは±10fA未満、300mmサーマルチャックでは-60℃～+300℃の全温度帯において、±20fA未満のノイズ およびリーク電流を示しており、弊社の提供するプローブシステムが、1pA以下の測定確度を必要とする微小信号測定アプリケーション に対応していることを証明しています。 -65℃ ～+200℃ ：＜±10fA +300゜C：＜±20fA ＜±3fA A74CJ 1tip/kelvin同軸プローブ 電圧スイープ範囲：-200V ～ +200V C300-60UL 高低温チャック（-60℃～+300゜C） 電圧スイープ範囲：-10V ～ +10V 微小信号C-V測定 右のプロットは、ダイオードデバイスの逆方向電圧-容量測定の測 定データです。 OPEN/SHORT/LOAD 補正を適切に行なうことにより、fFレベルの C-V測定を安定して行うことが可能です。 注） 上記の測定値は弊社測定環境における実測値であり保証値ではありません。 高周波・RF 測定 Applications 弊社のプローブステーションは、高剛性かつ安定性の高い構造設計により、DC ～ 67GHzの測定周波数帯域をカバーできます。 ベクトルネットワークアナライザ(VNA)や高周波プローブ、高周波ケーブル、校正基板 等のシステムインテグレーションにより、高精度かつ 再現性に優れた高周波・RFテストをサポートします。 2ポートからマルチポート測定、温度範囲 10k ～ +250゜C、また大気圧 ～ 超高真空(10e-6Pa)の環境下での特性評価に対応できま す。 16 ■ アプリケーション 雑音特性評価 弊社のシールドチャンバー付きプローブシステム（HMP-810SC/1210SC，HSP-200SC/300SC）には、超低フロアノイズモデル(-UL） のオプション設定があります。 この –UL オプションを選択することにより、-65℃ ～ +200℃の温度範囲にて、1/fノイズやランダム・テ レグラフ・ノイズ（RTN）、RFノイズなどのオン・ウエハ雑音特性試験に対応することができます。 Keysight 有機半導体デバイス評価 OFET，OTFT，OEL，OLEDなどの有機半導体デバイスの研究開発段階では、大気中の水分や酸素によるデバイスの特性劣化を回避 するために、高純度な不活性ガス環境下で測定を行う必要があります。 弊社は、グローブボックス内への設置用に設計された省フッ トプリントかつ、グローブ操作でのオペレーションに配慮したマニュアルプローバーおよびセミオートプローバーを提供することができます。 グローブボックス内設置対応マニュアルプローバー グローブボックス内設置対応セミオートプローバー ウエハレベル信頼性試験 +300℃ 高温対応マルチサイトプローブカード Applications EM、TDDB、HCI、NBTI、BTなどの、ウエハレベル信頼性試験に対応するプローブシステムを提供します。 +300℃までの高温対応、数週間にわたる長期間試験、高温環境下での安定したコンタクト、マルチサイトプローブカードの搭載、窒素 ガスパージによる酸化防止環境など、ウエハレベル信頼性試験で要求される困難な課題にも対応することができます。 チャンバー内酸素濃度計およびマスフローコントローラ （MFC）による残留酸素濃度100ppm以下のプロービング 17 ■ アプリケーション ハイパワーデバイス測定 安全対策 危険な高電圧・大電流を扱うハイパワーデバイス評価では、あらゆるケースを想定した対人安全性が求められます。 弊社が提供するハイパワーデバイス測定用プローブシステムには、感電・火傷・酸欠による事故を防止する各種インターロックシステム が標準装備されています。 セーフティライトカーテンによる高電圧印加遮断インターロック 外気酸素モニタによる酸欠防止インターロック （窒素パージ機能付きシステムに適用） 高電圧測定( ～ 10kV)，大電流測定( ～ 200A pulse） 最大10kV 200A pulse に対応したプローブアクセサリ および、最大 5ｋV 40A pulse に対応したチャックを提供します。 車載用デバイスなどの広域温度動作試験に対応すべく、温度制御範囲 -60℃ ～ +300゜Cでのデバイス特性評価をサポートしていま す。 高電圧プロービング 高電圧対応プローブユニット （±3kV，-60゜C～+300゜C） 大電流プロービング 放電防止 絶縁液浸漬カップ 大電流対応プローブユニット （最大200A pulse，-60゜C～+300゜C） パワーデバイス用 チャック ハイパワーデバイス専用に設計されたチャックユニットを提供します。 ・ 室温チャックおよび、高温チャック（室温～+200℃/+300℃）、 高低温チャック（-40℃/-60℃ ～ +200℃/+300℃） ・ 5kV 40A pulse ・ Kelvin接続 ・ 極薄ウエハ吸着 ・ TAIKOプロセスウエハ +300℃ 高温試験 酸化防止環境 GaNやSiCハイパワーデバイスの評価では+300℃での高温試験への対応が求められます。 弊社のシールドチャンバー付きモデルでは、 チャンバー内への窒素ガスパージにより、残留酸素濃度100ppm以下の酸化防止環境でのプロービングを実現できます。 Applications チャンバー内酸素濃度計およびマスフローコントローラ （MFC）によるクローズドループ制御対応 フィードスルーコネクタ・測定ケーブル 各社ハイパワーデバイス用測定器と弊社プローブシステムを接続する、測定ケーブルやフィードスルーコネクタを提供します。 キーサイト・テクノロジー B1505A HV-TRIAX 18 TFF / ケースレーインスツルメンツ 2600-PCT / 4200-PCT HV-TRIAX SHVコネクタ・ケーブル （～10kV） 岩通計測 CS-3000 / 5000 ■ アプリケーション 故障解析・不良ダイマーキング レーザーカッターの搭載 弊社が提供する全てのプローブシステムにレーザーマイクロカッターを搭載することができます。 FIBやSEM観察前のポイントマーキン グ、保護膜の剥離、配線カット等の故障解析向けアプリケーションに対応できます。 レーザーの発振波長は、1064 / 532 / 355 / 266 nmから選択できます。（複数波長可） ポイントマーキング 保護膜剥離 パターン切断 TFTパネルカット 微細パターンへの安定プロービング 故障解析やフラットパネルディスプレイの測定で要求される、サブミクロンオーダーの微細パターンへのプロービングに対応するための オプション・アクセサリーをご用意しております。 高倍率金属顕微鏡、サブミクロンレベルの位置決めが可能なポジショナ、回路プロービング用のウィスカープローブ、アクティブ除振台 などの組合せにより、レーザーカッターで保護膜を剥離したサブミクロンホールに、回路の損傷なく安定プロービングを行なうことができ ます。 アクティブ除振ユニット アクティブ除振コントローラ 高倍率金属顕微鏡 サブミクロン精度ポジショナ 回路プロービング用ウィスカー プローブ（左） *右は標準プローブ アクティブ除振台 エミッション解析・OBIRCH / TIVA 不良ダイマーキング（インカー） エミッション顕微鏡・OBIRCHシステムとのインテグレーション に対応したプローブステーションを提供可能です。 ドットサイズ 最小125μmφ ～ 最大2150μmφの範囲で、不良 ダイへのインクマーキングに対応できます。 弊社セミオートプローバーHSP-100/150/200/300に搭載可能で す。 Applications インカーヘッド 各種インクカートリッジ 19 ■ アクセサリー Accessories 各種ポジショナ（マニピュレータ） HP50 小型ポジショナ コンパクトなリードスクリュー送り式ポジショナ。 特殊ガイド機構により、50μm～のPAD（電極）に安定コンタクトが可能です。 型式 HP50/R (右配置用) HP50/L (左配置用) 移動量 ( X,Y,Z ) 5 / 5 / 5 mm 移動分解能 ( X,Y,Z ) 0.5mm / 回転 調整感度 10μm マウントベース ON・OFF切替式マグネットベース（標準） 外形寸法 W36×D85×H56 mm 重量 約200g - HMP-400/600 - HMP-800/1200 - HMP-FPD series 対応プローブステーション ◆ 外形図（単位：mm） HP65 小型高精度ポジショナ コンパクトなマイクロメータ送り式高精度ポジショナ。 バックラッシュがなく10μm～の配線やPAD（電極）に素早くアクセスできます。 型式l HP65 移動量 ( X,Y,Z ) 6.5 / 6.5 / 6.5 mm 移動分解能 ( X,Y,Z ) 0.5mm / 回転. 調整感度 3μm マウントベース ON・OFF切替式マグネットベース（標準） 外形寸法 W38×D93×H68 mm 重量 約320g - HMP-400/600 - HMP-800/1200 - HMP-FPD series 対応プローブステーション ◆ 外形図（単位：mm） 外形図（単位：mm） ◆ Accessories 20 ■ アクセサリー Accessories 各種ポジショナ（マニピュレータ） HP80 小型ポジショナ 汎用タイプの小型ポジショナ。 バックラッシュが僅少で、70μm～程度のPAD（電極）に安定コンタクト可能です。 HP80/L-M ラバーマグネットベースタイプ 型式 HP80/R (右配置用) HP80/L (左配置用) 移動量 ( X,Y,Z ) 12 / 8 / 12 mm 移動分解能 ( X,Y,Z ) 0.635mm / 回転 調整感度 15μm マウントベース [ -M ] ラバーマグネット [ -E ] ON・OFF切替式マグネットベース 外形寸法 [ -M ] W46×D74×H55 mm [ -E ] W41×D83×H69 mm 重量 対応プローブステーション [ -M ] 約160g [ -E ] 約240g - HMP-400/600 - HMP-800/1200 - HMP-FPD series HP80/R-E ON・OFF切替式マグネットベースタイプ ◆ 外形図（単位：mm） HP80/L・R-M ラバーマグネットベースタイプ Accessories HP80/L・R-E ON・OFF切替式マグネットベースタイプ 21 ■ アクセサリー Accessories 各種ポジショナ（マニピュレータ） HP120 高精度ポジショナ 精密リードスクリュー送り式高精度ポジショナ。 バックラッシュがなく、10μm～の配線やPAD（電極）に安定コンタクト可能です。 型式 HP120 移動量 ( X,Y,Z ) 12 / 12 / 12 mm 移動分解能 ( X,Y,Z ) 0.254mm / 回転 調整感度 2μm マウントベース ON・OFF切替式マグネットベース（標準） 外形寸法 W52×D107×H91 mm 重量 約690g - HMP-400/600 - HMP-800/1200 - HMP-FPD series - HSP-100/150 - HSP-200/300 - HSP-FPD series 対応プローブステーション ◆ 外形図（単位：mm） HP130A 高精度ポジショナ ファインピッチマイクロメータ送り式高精度ポジショナ。 数μmレベルの配線やPAD（電極）に安定コンタクトが可能です。 型式 HP130A / R (右配置用) HP130A / L (左配置用) 移動量 ( X,Y,Z ) 13 / 13 / 13 mm 移動分解能 ( X,Y,Z ) 0.25mm / rev. 調整感度 1μm マウントベース [ -M ] ON・OFF切替式マグネットベース [ -V ] バキュームベース 外形寸法 [ -M ] W71×D159×H124 mm [ -V ] W66×D159×H124 mm 重量 対応プローブステーション ◆ 外形図（単位：mm） Accessories 22 [ -M ] 約1230g [ -V ] 約1190g - HMP-800/1200 - HMP-FPD series - HSP-100/150 - HSP-200/300 - HSP-FPD series ■ アクセサリー Accessories 各種ポジショナ（マニピュレータ） HP130S サブミクロン精度ポジショナ スチール製 超高精度ポジショナ。 剛性および送り精度に優れており、サブミクロン配線へのコンタクトが可能です。 スピンドル（マイクロメータヘッド）は0.25mm/回転 または 0.1mm/回転を選択でき ます。 HP130S/R-M ON・OFF切替式マグネットベースタイプ 型式 HP130S / R (右配置用) HP130S / L (左配置用) 移動量 ( X,Y,Z ) 13 / 13 / 13 mm (標準) 6.5 / 6.5 / 6.5 mm ( HR オプション ) 移動分解能 ( X,Y,Z ) 0.25mm / 回転 (標準) 0.1 mm / 回転 ( HR オプション ) 調整感度 ＜0.5μm マウントベース [ -M ] ON・OFF切替式マグネットベース [ -V ] バキュームベース 外形寸法 [ -M ] W71×D159×H124 mm [ -V ] W66×D159×H124 mm 重量 対応プローブステーション [ -M ] 約3200g [ -V ] 約3160g - HMP-800/1200 - HMP-FPD series - HSP-100/150 - HSP-200/300 - HSP-FPD series HP130S/L-V バキュームベースタイプ ◆ 外形図（単位：mm） HP130S/L・R-M ON・OFF切替式マグネットベースタイプ Accessories HP130S/L・R-V バキュームベースタイプ 23 ■ アクセサリー Accessories 各種ポジショナ（マニピュレータ） HP130-SC シールドチャンバー対応ポジショナ シールドチャンバーシステム専用ポジショナ。 型式 HP130-SC/R (右配置用) HP130-SC/L (左配置用) 移動量 ( X,Y,Z ) 13 / 13 / 13 mm 移動分解能 ( X,Y,Z ) 0.25mm / 回転 調整感度 5μm マウントベース [ -M ] ON・OFF切替式マグネットベース [ -V ] バキュームベース 対応プローブステーション - HMP-810SC/1210SC - HSP-200SC/300SC HAP300 プログラマブル電動ポジショナ ステッピングモーター駆動のプログラマブル電動ポジショナです。 ハイソル セミオートプローバー制御ソフトウェアより、プロービング位置を自動制御 することができます。 I-V・C-V・RF測定アプリケーションに対応しています。 型式 HAP300/R (右配置用) HAP300/L (左配置用) 移動量 ( X,Y,Z ) 30 / 30 / 10 mm プログラム分解能( X,Y,Z ) 0.1μm X-Y-Z 繰り返し精度 ±1.5μm X-Y-Z 位置決め精度 ±10μm (補正なし、＞10mm移動時) ±5μm (補正後) X-Y-Z 最大移動速度 5mm / sec 平均サイクルタイム 0.5 sec ( X-Y 500 μm , Z 30μm ) マウントベース [ -M ] ON・OFF切替式マグネットベース [ -V ] バキュームベース [ -B ] ボルト固定ベース 外形寸法 W157×D264×H183 mm 重量 約6100g - HSP-100/150 - HSP-200/300 - HSP-FPD series 対応プローブステーション ◆ 外形図（単位：mm） Accessories 24 ■ アクセサリー Accessories 各種プローブ・プローブアーム 豊富なラインナップから、お客様が要求する測定アプリケーションに最適な、プローブを提案させていただきます。 また、記載のプローブ以外にも、ご要求仕様に合わせてカスタマイズ対応が可能です。 DC用プローブ HP40 スタンダードプローブ 同軸・トライアキシャルプローブ HP40S サスペンションプローブ HCP40 高精度プローブ A74KS 1tip/Kelvin プローブ A73-TK True Kelvinプローブ HCP40LP 低入射角高精度プローブ Kelvin プローブ A74CJ 1tip/Kelvin プローブ RFプローブ, アクティブプローブ ハイパワーデバイス 対応プローブ 各種RFプローブ GGB ピコプローブ （アクティブ・プローブ） HCP40-HV 高電圧プローブ HCP40U ユニバーサルプローブ （角度調整付き） A73-UL ノイズ測定用プローブ HCP-SHC 大電流プローブ その他 用途別プローブ Accessories HCP40NM 非磁性プローブ 25 ■ アクセサリー Accessories 各種プローブ・プローブアーム 各種プローブ 代表仕様 最大電圧（DC ±）*1 使用可能温度範囲 ディスポプローブ対応 HP40 周波数帯域（3dB）*1 DC ～ 30 kHz 500V -65℃～+300℃ ● 非同軸 HP40S DC ～ 30 kHz 500V -65℃～+250℃ ● 非同軸，ソフトコンタクト HCP40 DC ～ 10 MHz Coax 500V，Triax 1.2kV 4k～+300℃ ● 微小電流測定（fAレベル） HCP40LP DC ～ 10 MHz Coax 500V，Triax 1.2kV 4k～+300℃ ● 微小電流測定（fAレベル），ロープロファイル A74CJ DC ～ 100 MHz 500V 10k～+200℃ △*2 A74KS DC ～ 10 MHz 500V 4k～+300℃ ● 1tip/Kelvin，I-V・C-V測定，ディスポプローブ対応 A73TK DC ～ 100 MHz 500V 10k～+200℃ － True kelvin，超微小信号I-V・C-V，LCR HCP40-HV DC ～ 10 MHz Coax 10kV，Triax 3kV 4k～+300℃ ● 高電圧，ディスポプローブ対応 HCP-SHC DC ～ 30 kHz 200V 50k～+300℃ － 大電流 最大 DC20A，200A pulse対応 HCP40-NM DC ～ 10 MHz 500V 4k～+300℃ ● 非磁性，磁場印加プローバー用 A73-UL DC ～ 300 MHz 500V 10k～+200℃ － 1/fノイズ、RTN、TLP 型式 備考 超微小信号I-V・C-V測定，1tip/kelvin Note *1 周波数帯域および、最大電圧はプローブに接続するケーブル種により変動します。 *2 先端の専用同軸セミリジッドプローブのみを交換できます。 交換用プローブチップ（ディスポプローブ） ハイソルが提供するプローブの種類 タングステン (W) 電気特性、弾性係数、機械的強度、コストのバランスに優れており、最も一般的に使用されているプローブ材質です。 他のプローブ材質と異なり先端部の形状加工をエッチングで行なえるため、機械加工では実現できない極細先端加工に対応しており、また先端形状 のバリエーションが豊富です。 特にアルミパッドとの相性に優れています。 全長・軸部直径（mm） 25mm（標準） ・ 0.5mm 先端半径（μm） 0.6 / 1.2 / 2.4 / 5 / 7 / 12 / 25 形状 ストレート または 45度ベンド 金めっきタングステン タングステンプローブの表面に金めっき処理を行ったプローブです。 タングステンとの密着強度を上げるため、特殊な工法で製作されています。 金パッドや銅パッドに対して低接触抵抗でオーミック性に優れています。 下地にNiめっき層を使用していないため、非磁性です。 全長・軸部直径（mm） 25mm（標準） ・ 0.5mm 先端半径（μm） 5 / 7 / 10 / 12.5 / 20 / 25 形状 ストレート または 45度ベンド Paliney® 7 プローブ用に開発された、パラジウムをベースとした貴金属合金です。（Pd 35 / Ag 30 / Pt 10 / Au 10 / Cu 14 / Zn1 ％） 特に、接触抵抗が小さくかつ安定しており、また大気中・高温下での表面酸化が僅少です。 大電流の印加や高温での連続試験のアプリケーションに 適しています。 ただし、先端径が細いものはタングステンプローブより変形しやすいため注意が必要です。（20μm以上を推奨） 全長・軸部直径（mm） 25mm（標準） ・ 0.5mm 先端半径（μm） 5 / 7 / 10 / 12.5 / 20 / 25 / 50 / 100 形状 ストレート または 45度ベンド Paliney® はDeringer-Ney社の登録商標です。 ベリリウム銅（Be-Cu） 電気特性、弾性係数に優れた銅合金のプローブ材質です。（Cu 98 / Be 2 ％） タングステンより接触抵抗が小さく安定しており、銅パッドや金パッドへのコンタクトに適しています。 またスクラブによるパッドのダメージを軽減できます。 ただし、表面が酸化しやすい材質のため、大気中での高温連続試験には不向きです。 Accessories 26 全長・軸部直径（mm） 25mm（標準） ・ 0.5mm 先端半径（μm） 5 / 7 / 10 / 12.5 / 20 / 25 形状 ストレート または 45度ベンディング ■ アクセサリー Accessories 各種プローブ・プローブアーム タングステンカーバイト（TC） 硬度が非常に高く、耐摩耗性に優れたプローブ材質です。 その特性を活かし、電気測定での使用以外に、スクライブ、酸化膜の剥離、配線パターン のカット、タッチダウンセンサ用のプローブとして使用されます。 尚、シャンク（軸部）を曲げることはできません。 全長・軸部直径（mm） 25mm（標準） ・ 0.5mm 先端半径（μm） 5 / 7 / 10 / 12.5 / 20 / 25 形状 ストレートのみ ウィスカープローブ φ0.5mmのニッケル軸の先端に極細のタングステンワイヤーを接合した、極小先端半径の回路内部コンタクト用プローブです。 タングステンワイヤーの弾性が適度なバネ圧力となり、プロービング時の回路損傷を抑えることができます。 φ0.5mmのシャンク（軸部）は自在にカットや曲げることができ、ワイヤー径は、127μm、76μm、25μmから選択できます。 全長・軸部直径（mm） 34mm ・ 0.5mm ワイヤー部長さ（mm） 5mm ワイヤー直径・先端半径（μm） 直径 127μm ： 0.35 / 0.75 / 1 直径 76μm ： 0.1 / 0.35 / 0.5 直径 25μm ： 0.25 / 0.5 / 0.75 形状 ストレート のみ（軸部は曲げ・カット自在） A74CJ専用 交換用同軸プローブチップ A74CJ専用の交換用セミリジッド同軸プローブです。 針先が露出している先端約2.5mmを除き、50Ω同軸構造ですので高周波特性に優れています。 針先の材質はタングステン（W）で、各種先端半径を選択することができます。 プローブコンダクタ径・シールド径 0.2mm ・ 0.86mm 先端半径（μm） 0.5 / 1.5 / 5 / 10 / 12.5 / 15 / 20 / 25 / 35 / 50 形状 ロープロファイル ダブルベンド プローブカード・プローブカードアダプタ 各種プローブカードアダプタ お客様のご要求仕様に合わせた形で、プローブカードアダプタを設計製作で対応いたします。 標準タイプ 4.5インチ幅対応 プローブカードアダプタ 円形プローブカード対応 プローブカードアダプタ シールドチャンバー(SC）対応 プローブカードアダプタ 大口径WLR用プローブカード 対応アダプタ +300゜C 高温対応 高性能プローブカード 米国 Celadon systems社のプローブカードを提供します。 -65℃～+350℃の温度範囲で低ノイズ・低リーク測定に対応できます。 Accessories 27 ■ アクセサリー Accessories 各種ウエハチャック 豊富なラインナップから、お客様が要求する測定アプリケーションに最適な、チャックを提案させていただきます。 記載のチャック以外にも、ガラスサブストレート用角型チャックや、圧力センサー用チャック、高周波用チャック、パワーデバイス用チャック プリント基板用チャックなど様々なラインナップをご用意しております。 詳細は弊社までお問い合わせください。 室温チャック ウエハ用室温チャック。スタンダード（Coaxial）モデルとトライアキシャルモデルを ご用意しております。 トライアキシャルチャック スタンダードチャック（Coaxial） 型式 HC20 HC40 HC60 HC80 HC120 型式 HTC20 HTC40 HTC60 HTC80 HTC120 対応ウエハサイズ 2インチ 4インチ 6インチ 8インチ 12インチ 対応ウエハサイズ 2インチ 4インチ 6インチ 8インチ 12インチ 汎用高温チャック・加吸熱チャック ウエハ用汎用高温チャックおよび加吸熱チャック。 スタンダード（Coaxial）モデルと トライアキシャルモデルをご用意しております。 また、下記以外の温度範囲での製 作にもカスタマイズ対応可能です。 高温チャック 型式 HA40 HA60 HA80 HA40H HA60H HA80H 対応ウエハサイズ 4インチ 6インチ 8インチ 4インチ 6インチ 8インチ 温度制御範囲 加熱方式 冷却方式 ヒーター 自然放熱 または 圧縮エア 温度制御範囲 加熱方式 冷却方式 -10℃ ～ +85℃ ペルチェ ペルチェ R.T. ～ +200℃ R.T. ～ +300℃ 加吸熱チャック 型式 HA40 HA60 HA80 対応ウエハサイズ 4インチ 6インチ 8インチ 高性能 高温チャック、高低温チャック 高度な温度制御技術、低ノイズ・低リーク技術を結集した、高性能 高温チャック および高低温チャックシステムです。 高速な温度上昇・下降、優れたチャックトップ平面度、温度分布精度などの特長を 有しており、高精度温度特性試験やウエハレベル信頼性試験に対応できます。 標準チャックサイズ φ 155mm （6インチ），φ205mm （8インチ），φ305mm （12インチ） 仕 様 Accessories 型式 -A -AC -AH -ACH -C -CL -CH -CLH -M -ML -MH -MLH -HH 温度制御範囲 室温 ～ +200℃ +20℃ ～ +200℃ 室温 ～ +300℃ +20℃ ～ +300℃ -40℃ ～ +200℃ -60℃ ～ +200℃ -40℃ ～ +300℃ -60℃ ～ +300℃ -40℃ ～ +200℃ -65℃ ～ +200℃ -40℃ ～ +300℃ -65℃ ～ +300℃ +30℃ ～ +400℃ 加熱方式 ヒーター ヒーター ヒーター ヒーター ヒーター ヒーター ヒーター ヒーター ヒーター ヒーター ヒーター ヒーター ヒーター 冷却方式 圧縮空気 圧縮空気 圧縮空気 圧縮空気 冷凍機+圧縮空気 冷凍機+圧縮空気 冷凍機+圧縮空気 冷凍機+圧縮空気 フッ素系液循環 フッ素系液循環 フッ素系液循環 フッ素系液循環 圧縮空気 超低ノイズ、低リーク、ショートセドリング モデル”-UL”もご用意しております。 28 ■ アクセサリー Accessories 顕微鏡・観察用光学系 実体顕微鏡や、高倍率金属顕微鏡ユニット、カメラ、ディスプレイ等、アプリケーションに合わせて、最適な観察光学系をご提案させて 頂きます。 シールド遮光ボックス （オープンタイプマニュアルプローバー用） pAレベル以下の微小電流測定*に必要なオープンタイプマニュアルプローバー用のシールド遮光ボックスです。 開閉方式はハッチバック式と観音扉式をご用意しております。 全モデル共、ボックス内壁は黒色塗装仕上げになっており、0.01 Lx以 下の遮光レベルを保証しています。 また扉の開閉と測定器のインタロック機能の連動に対応できます。 * トライアキシャル接続時 卓上モデル 型式 外形寸法（W×D×H mm）*3 対応プローブステーション ハッチバック *1 560×670×670 HMP-200 / 400 HEB6070 ハッチバック *1 600×720×720 HMP-400 / 600 HDBA6070 ハッチバック *2 610×720×780 HMP-400 / 600 600×700×1020 HMP-400 / 600 HEBB6070 HDBA8080 HEBB8080 HDBA9595 HEB5565 扉開閉方式 HEB5565 HEBB9595 観音扉 ハッチバック *2 観音扉 ハッチバック *2 観音扉 810×820×850 HMP-800 810×820×1020 HMP-800 950×950×850 HMP-1200 950×960×1020 HMP-1200 架台付モデル（除振台なし） 型式 HDBA6070H HDBA6070H HEBB6070H HDBA8080H HEBB8080H HDBA9595H HEBB9595H HDBB6070 扉開閉方式 ハッチバック 外形寸法（W×D×H mm）*3 *2 観音扉 ハッチバック *2 観音扉 ハッチバック *2 観音扉 対応プローブステーション 610×720×1510 HMP-400 / 600 600×700×1750 HMP-400 / 600 810×820×1580 HMP-800 810×820×1750 HMP-800 950×950×1580 HMP-1200 950×960×1750 HMP-1200 空気ばね式除振台一体モデル 型式 HSA850S HSB850S HSA1000S HSB1000S HSA850S 扉開閉方式 ハッチバック 外形寸法（W×D×H mm）*3 *2 HMP-800 860×870×1850 HMP-800 1050×1050×1690 HMP-1200 1000×1000×1850 HMP-1200 観音扉 ハッチバック 観音扉 *2 対応プローブステーション 850×850×1690 *1 カウンターバランス 折りたたみ式ハッチバック *2 ガスダンパーサポート式ハッチバック *3 扉閉時寸法 突起物は除く オプション ・ ボックス内棚板 ・ 耐震固定金具 ・ 荷重分散板 等 Accessories ・ 遮光チューブ付ケーブルダクト増設 ・ コネクタパネル増設 ・ 測定器インターロック連動 扉スイッチ ・ サイドデスク HDBB8080H 29 ■ アクセサリー Accessories 測定ケーブル ・ フィードスルーコネクタ ・ 変換アダプタ お客様の測定アプリケーションに最適な各種テスト用ケーブル・中継コネクタ・変換アダプタなどのアクセサリを選定して、ご提供いたし ます。 標準対応コネクタ Triaxial, BNC, SMA, SMB, SSMC, QLA, Micro coax, N 50Ω,K（2.92mm), V（1.85mm), 1.0mm, HV-Triaxial, SHV, MHV, 光ファイバ用FC その他 アクセサリ ・ オプション 簡易型 遮光暗幕ボックス レーザー発振器 空冷式レーザー 水冷式レーザー 卓上型除振台 ゴム式除振台 自動レベリング付空気ばね除振台 エアコンプレッサ，真空ポンプ 静音小型エアコンプレッサ Accessories 30 小型真空ポンプ 卓上型アクティブ除振台 システムインテグレーション ハイソル プローブシステムとキーサイト・テクノロジー社製品をインテグレーションし、統合した測定システムとしてご提供させて 頂きます。 各種計測機器、ソフトウェア、計測用ケーブル1本まで、お客様のご要求アプリケーションに合わせた最適なシステム をご提案いたします。 キーサイト・テクノロジー社 製品ラインナップ（抜粋） B1500A 半導体デバイス・アナライザ B2200A/01A 低リーク・スイッチ E4980A プレシジョンLCRメータ ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ B1500A WGFMU RTN評価ソリューション B2900A プレシジョン・ソース・メジャー・ ユニット（SMU） E4990A 20Hz ～ 10/20/30/50/120MHz インピーダンス・アナライザ B1505A パワーデバイス・アナライザ・ カーブトレーサ B2961A / 2962A 6.5桁 低ノイズ・パワー・ソース E4991B 1MHz ～ 500MHz/1GHz/3GHz インピーダンス・アナライザ PNAファミリ ネットワーク・アナライザ ハイソル株式会社は、キーサイト・テクノロジー合同会社の 認定ソリューションパートナーです。 31 〒110-0005 東京都台東区上野1-17-6 TEL：03（3836）2800 FAX：03（3836）2266 Copyright (C) 2014 HiSOL.inc CAT.No. 2014-1623871-GPG-JP002 URL：http://www.HiSOL.jp ※記載の内容は予告なく変更することがございます。予めご了承下さい。