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Agilent インピーダンス／ネットワーク解析
Agilent インピーダンス／ネットワーク解析 Application List Agilentの測定／アプリケーションに関する 専門知識を活用したビジネスの加速 はじめに 技術や運用がますます複雑になっています。Agilentの測定およびアプリケーションに関する専門知識を活用すれば、こ のような複雑さに先手を打つことができます。 Agilentインピーダンス・アナライザ、LCRメータ、ENAシリーズ ネットワーク・アナライザは、インピーダンス／ネッ トワーク解析用のさまざまなアプリケーションをサポートしています。このカタログには、製品カタログでは紹介しきれ ない独自の新しいソリューションに関する情報が掲載されています。用途に合ったソリューション、類似したテストの問 題解決に役立つソリューションをご検討ください。計測お客様窓口までお問い合わせいただければ、お客様のビジネスの 加速をサポートいたします。 目次 回路測定 DC-DCコンバータ／電源分配回路（PDN）の測定 ......................................................................................................... 4 リニア・レギュレータ／低ドロップアウト（LDO）レギュレータのPSRR .............................................................. 5 オペアンプ回路の測定 ..................................................................................................................................................... 6 RFIDタグ測定 ...................................................................................................................................................................... 7 無線電力伝送の測定／シミュレーション.................................................................................................................... 8 インサーキット・インピーダンス測定（グランド接続測定）.................................................................................. 9 コンポーネント測定 パッシブ相互変調（PIM）測定 ........................................................................................................................................ 10 USB、HDMI、SATA、DisplayPortのケーブル／コネクタ・アセンブリのテスト ................................................. 11 SATAおよびMIPIのTx（ソース）/Rx（レシーバ）テスト ................................................................................................ 12 PCボードの品質管理のためのデバイスの特性評価................................................................................................. 13 車載用イーサネットのテスト／デバッグ.................................................................................................................. 14 車載用アンテナのテスト ............................................................................................................................................... 15 RF増幅器の測定................................................................................................................................................................ 16 低パワー信号による高利得増幅器の測定.................................................................................................................. 17 パルスドSパラメータの測定......................................................................................................................................... 18 RF同軸ケーブルの測定 ................................................................................................................................................... 19 LAN/通信用ケーブルの測定........................................................................................................................................... 20 高除去比フィルタの測定 ............................................................................................................................................... 21 液晶セルの容量特性 ....................................................................................................................................................... 22 MEMS/NEMSデバイス・モデリング／障害解析／プロセス制御 ......................................................................... 23 実際の動作条件下でのEMCコンポーネントの測定 ................................................................................................. 24 インダクタ、EMIフィルタ、キャパシタ、レジスタの製造テスト ..................................................................... 25 プロービング・システムによるオンチップ・デバイスの測定 ............................................................................ 26 ミキサ／コンバータの測定 ........................................................................................................................................... 27 マルチポート・デバイスの測定（最大40ポート）..................................................................................................... 28 2 目次（続き） オンウェーハ測定 MOSデバイスのオンウェーハC-V特性評価 ................................................................................................................ 29 低周波からマイクロ波までのオンウェーハ・デバイスの特性評価.................................................................... 30 材料測定 テスト・フィクスチャによる固体／液体材料の測定............................................................................................. 31 誘電体プローブを用いたRF材料の測定...................................................................................................................... 32 比吸収率（SAR）テストのためのファントム材料の評価 .......................................................................................... 33 PCボード／サブストレート材料の誘電率測定 ......................................................................................................... 34 誘電測定による食品の品質評価 .................................................................................................................................. 35 汎用 コンポーネントのインピーダンス/Sパラメータ測定 ............................................................................................. 36 コンポーネントのインピーダンス測定 （広いインピーダンス・レンジにわたって最も正確な測定を実現） .................................................................... 37 RFコンポーネント／材料の温度特性評価 ................................................................................................................. 38 付録 1. 製品別アプリケーション・リスト .......................................................................................................................... 39 2. 製品移行ガイド............................................................................................................................................................ 41 3 DC-DCコンバータ／電源分配回路（PDN）の測定 概要 E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ（5 Hz ∼ 3 GHz）にオプション005インピーダンス解析機能を搭載すれば、 DC-DCコンバータ（電圧スイッチング・レギュレータ）や、コンバータのDC出力パワーを負荷デバイス（LSIなどの電子 デバイス）に分配する後続のPCボード・パワー・プレーン （PDN：電源分配回路）の周波数ドメイン特性を評価できる包 括的なソリューションを実現できます。 テスト上の問題 - ループ利得を測定する際に、アナライザのソース信号を確実に注入する必要があります。 - DC-DCコンバータ、バイパス・コンデンサ、PCボード・パワー・プレーンのm Ωインピーダンスを測定する必要が あります。 - DC-DCコンバータの測定では、10/100 Hzまでの低周波レンジをカバーする必要があります。さらに、高速LSIの PDNを評価するには、GHzレンジまでの高周波レンジをカバーする必要があります。 解決方法 - E5061B-3L5のゲイン・フェーズ・テスト・ポートには1 MΩ入力（5 Hz ∼ 30 MHz）が組み込まれているので、インサー キット・プロービングを簡単に行って、ループ利得測定を実行できます。また、Picotest社製の注入トランスによりルー プに確実にソース信号を注入できます（推奨：Picotest J2110A）。 - E5061B-3L5/005がサポートしているシャント・スルー測定法により、正確なmΩインピーダンス測定を実行できます。 - E5061B-3L5の5 Hz ∼ 3 GHz（Sパラメータ・テスト・ポートで）という広い周波数レンジは、DC-DCコンバータ、 バイパス・コンデンサ、PDNに必要なテスト周波数をフルにカバーしています。 対象分野 研究開発、教育 製品リソース/Webリソース E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ＋オプション005 www.agilent.co.jp/find/e5061b 参考資料 Application note：Evaluating DC-DC converters and PDN with the E5061B LF-RF network analyzer（5990-5902EN） 技術論文：Accuracy improvements of PDN Z measurements in the low to middle freq range テスト・アクセサリ情報（picotest社製トランスを含む）：Configuration Guide：Agilent E5061Bネットワーク・アナライザ （5990-4391JAJP） Picotest社のインジェクタのホームページ：https://www.picotest.com/products_injectors.html 4 リニア・レギュレータ／低ドロップアウト（LDO）レギュレータの PSRR 概要 E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ（5 Hz ∼ 3 GHz）とpicotest J2120Aライン・インジェクタを使用すれば、DCバイアス電流によってゲイ ン／フェーズ測定を低周波レンジから測定できます。これにより、リニア・レ ギュレータ/LDO（低ドロップアウト・レギュレータ）、携帯電話用のPMIC（電 源管理IC）のPSRR測定が可能です。 テスト上の問題 - リニア・レギュレータ/LDOに対しては、アナライザのAC信号と1 Adc以上のDC電流を結合する必要がありますが、 E5061B-3L5の内蔵DCバイアス電源（最大100 mAdc）では対応できません。 - 低周波レンジで80 dB以上を除去する高減衰測定は、レシーバがグランド接続されている従来のLF VNAではグラン ド・ループ誤差が生じるため困難でした。 解決方法 - picotest J2120Aライン・インジェクタ（10 Hz ∼ 10 MHz、最大50 Vdc/5 Adc）を使用すれば、アナライザのAC信 号と外部DC電流（最大5 Adc）を簡単に結合できます。 - E5061B-3L5のゲイン・フェーズ・テスト・ポート（5 Hz ∼ 30 MHz）のセミフローティング・レシーバにより、低周 波レンジで確度の高い高減衰測定を実現し、グランド・ループに関連する測定誤差を低減できます。 対象分野 研究開発、教育 製品リソース/Webリソース E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ www.agilent.co.jp/find/e5061b 参考資料 Configuration Guide：Agilent E5061Bネットワーク・アナライザ（picotest社製インジェクタを含むテスト・アクセサリ情報） （5990-4391JAJP） Application note：アジレントE5061B LF-RFネットワーク・アナライザを用いた周波数特性解析（5990-5578JAJP） （E5061B-3L5のセミフローティング・レシーバの詳細） Picotest社のインジェクタのWebサイト：https://www.picotest.com/products_injectors.html Picotest社のアプリケーション・ノート：Measuring the PSRR of voltage references（登録が必要） 5 オペアンプ回路の測定 概要 オペアンプ回路は、超音波センサなど、センサ・システムの低周 波アナログ・シグナル・コンディショニングに広く使用されてい ます。システムが高い信頼性で動作することを保証するには、利 得／位相応答やCMRRなど、周波数応答の評価が不可欠です。 E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ（5 Hz ∼ 3 GHz）は、 オペアンプ回路を評価できる簡単かつ正確な測定ソリューション を提供します。 テスト上の問題 - ダイナミック・レンジ、周波数レンジ、最大許容入力容量（Cin）の要件に応じて、適切な高インピーダンス・プロー ビング法を選択する必要があります。 - 場合によっては、低周波レンジのDCバイアス測定も必要です。 - CMRR/PSRRを評価するための90 dB以上を除去する高減衰測定は、レシーバがグランド接続されている従来のLF VNAではグランド・ループ誤差が生じるため困難でした。 解決方法 - E5061B-3L5は、1 MΩ入力（5 Hz ∼ 30 MHz、Cin：テスト・ケーブル／プローブに依存）が組み込まれたゲイン・フェー ズ・テスト・ポートと、41800Aアクティブ・プローブ（5 Hz ∼ 500 MHz、Cin＝3 pF）を使用できるSパラメータ・ テスト・ポートを備えているので、アプリケーションに最適なプロービング方法を選択できます。 - E5061B-3L5はDCバイアス信号源を内蔵しているので（最大40 Vdc、最大100 mAdc）、外部DCバイアス回路を作成 しなくても、DCバイアス・ゲイン／フェーズ測定を簡単に実行できます。 - E5061B-3L5のゲイン・フェーズ・テスト・ポートのセミフローティング・レシーバにより、低周波レンジで確度の 高い高減衰測定を実現し、グランド・ループに関連する測定誤差を低減できます。 センサ素子 （超音波共振器やアンテナ・コイルなど）のインピーダンス特性も評価したい場合は、E5061B-005インピー ダンス解析機能が最適です。次のページの「RFIDタグの測定」を参照してください。 対象分野 研究開発、教育 製品リソース/Webリソース E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ www.agilent.co.jp/find/e5061b 参考資料 Application note：アジレントE5061B LF-RFネットワーク・アナライザを用いた周波数特性解析（5990-5578JAJP） 6 RFIDタグの測定 概要 RFIDタグを構成するL/C/Rの基本コンポーネントの電気特性を測定するコンポーネント・レベルの測定には、E4990A インピーダンス・アナライザまたはE5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ （オプション005 インピーダンス解 析機能搭載）が最適です。パッケージ型RFIDタグの評価では、ENAシリーズ ネットワーク・アナライザを使用して、ルー プ・アンテナを備えたRFIDタグの共振周波数を測定できます。 テスト上の問題 - 完成したRFIDタグの通信性能を高めて歩留まりを改善するには、RFIDタグ の各構成要素を測定する必要があります。 - パッケージ型RFIDタグを評価する必要があります。 - ループ・アンテナから伝送されるRFパワーによって頻繁に変化する共振特性 を評価する必要があります。場合によっては、最大約＋20 dBmの高い信号 ループ・アンテナ 源パワー・レベルを供給できるネットワーク・アナライザが必要です。 このタグをアンテナの前にかざします 解決方法 - E4990Aインピーダンス・アナライザ、E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・ アナライザ（オプション005搭載）は、L/Cコンポーネント（ループ・アンテナ、 測定用ループ・ アンテナ 被試験RFID カード材料、外部チップ・コンデンサ）の特性を測定するのに最適です。 - E4990A、E5061B-3L5（オプション005搭載）は、L/C測定だけでなく、完成したタグ全体の共振特性測定、構成要 素ごとの抵抗値測定にも最適なソリューションです。 - ENAシリーズ ネットワーク・アナライザでは、ループ・アンテナを用いた非接触測定法により、パッケージ型RFID タグの共振周波数を測定できます。 - E5072Aネットワーク・アナライザは、非接触測定に約＋20 dBmのハイ・パワー信号源が必要な場合に最適です。 対象分野 研究開発、製造、品質保証、調達 製品リソース/Webリソース RFIDテスト www.agilent.co.jp/find/rfid 参考資料 Application note：Using a network and impedance analyzer to evaluate 13.56 MHz RFID tags and readers/writers（5990-3442EN） 7 無線電力伝送の測定／シミュレーション 概要 多くの有線接続が、 「無線接続」に置き換えられています。電力伝送も例外ではありません。無線電力伝送は、携帯電話、 PC、民生用エレクトロニクスだけでなく、自動車業界も含む多くの業界で、大きな課題となっています。Agilent E5061Bは、無線電力伝送のコア素子であるアンテナのインピーダンスやSパラメータを正確に測定できます。アンテナ の正確なモデルを使用して、Agilent ADSシミュレータにより信頼性の高いデザイン・シミュレーションが行えるので、 回路／システムのデザインの生産性が向上します。 電源回路 出力ZO＝0 Ω LC共振回路（アンテナ）、 50 Ω環境で測定 パワー・シンク回路 任意負荷Z＝R＋jX テスト上の問題 - 正確で信頼性の高いアンテナ・モデルは、無線電力伝送を設計するために最も重要な要素ですが、これを実現する方 法がありませんでした。 - Sパラメータは50 Ω環境で測定されるため、電圧ドライブ回路の設計には有効ではないと誤解されています。 解決方法 - E5061Bは、インピーダンスとSパラメータの両方を測定することができます。このため、デザイナは、アンテナ、回 路モデル （ホワイト・ボックス） 、Sパラメータ・モデル （ブラック・ボックス）を2通りの方法で正確にモデリングでき ます。 - 回路モデルは、インダクタンス、直列抵抗（Q値）、結合係数など、アンテナのコンポーネント・レベルの情報を提供 します。回路モデルをADSシミュレータで使用すれば、個々のコンポーネント・パラメータが変化した場合の影響を 知りたい場合に非常に有用です（例えば、「アンテナの直列抵抗がより小さくなった場合（Q値が大きくなった場合）の 影響」など）。 - Sパラメータ・モデルは、電圧ドライブ回路にも非常に有用なモデルであることが実証されています。Sパラメータ・ モデルをADSシミュレータで使用すれば、シンプルな回路モデルでは実現できない実環境における使用状況の影響を 知りたい場合に非常に有用です （例えば、「2つのアンテナの間に導電性材料を挿入した場合の影響」など）。 対象分野 研究開発 製品リソース/Webリソース E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ Advanced Design Systems（ADS） www.agilent.co.jp/find/e5061b www.agilent.co.jp/find/ads 8 インサーキット・インピーダンス測定（グランド接続測定） 概要 自動平衡ブリッジ法では信号電流がバイパスされるため、グランド接続された コンポーネントの測定は本質的に困難です。E4990Aインピーダンス・アナラ イザ （ZA）と専用の42941A Zプローブ・キットを用いれば、自動平衡ブリッジ 法と内蔵フローティング電源を使用して、広いインピーダンス・レンジにわっ て正確な「グランド接続」測定が行えます。回路のデザインではコンポーネン トの特性を実際の動作条件下で評価することが重要ですが、研究開発／品質保 証の分野では、回路自体の動作を広い周波数／レベル全体で評価することも重 要です。増幅器やフィルタ回路などの回路ブロックの特性は、出力／入力イン ピーダンスを測定して評価できます。コンポーネントを実装する際にはプリン ト基板（PCB）の評価も必要で、通常は、パターン・インダクタンスやパターン 間の浮遊容量を評価します。 E4990Aインピーダンス・ アナライザ＋42941Aインピーダンス・ プローブ・キット テスト上の問題 - プリント基板に実装されているコンポーネント／回路ブロックのグランド接続測定が必要です。 - パターン・インダクタンスや浮遊容量が非常に小さいため、広いインピーダンス・レンジ（例：1 Ω ∼ 1 MΩ）が必要 です。 - DUTへの接触、さまざまなDUTピッチに対する再現性の高い測定が困難です。 - テスト効率（主にDUTとの接続）、誤差をなくすための校正／補正が必要です。 解決方法 - E4990Aの内蔵フローティング電源を使用すれば、42941Aプローブ・キットまたは42942Aターミナル・アダプタを 使用して、グランド接続デバイスを測定できます。 - E4990Aと42941Aプローブ・キットを使用すれば、広いインピーダンス・レンジ（100 m Ω ∼ 100 M Ω）を実現でき ます。 - 42941Aプローブのピッチは0.5 mm ∼ 13.5 mmの範囲で可変で、中心ピンがばね式（ポゴ）ピンになっています。 - 42941Aには、ピン・プローブの他に、BNCアダプタやクリップ・リードが含まれており、さまざまなDUT（大型デ バイスなど）に対応できます。 - フィクスチャは、SMDなどのコンポーネント・テスト用、PCボード材料などの材料テスト用のものを、追加ソリュー ションとして取り揃えています。 対象分野 研究開発、製造、教育 製品リソース/Webリソース E4990Aインピーダンス・アナライザ、20 Hz ∼ 10/20/30/50/120 MHz www.agilent.co.jp/find/e4990a 参考資料 Technical Overview：Reliable electronic component evaluation and circuit design with the 4294A impedance analyzer（5968-4505E） Application note：インピーダンス測定ハンドブック（5950-3000JA） 9 パッシブ相互変調（PIM）測定 概要 パッシブ相互変調（PIM）とは、2つ以上の周波数の信号の入力によってパッシブ・デバイスで発生する不要な信号、すな わち相互変調信号です。通信システムの絶え間ない進化に伴い、BTSシステムに低PIMコンポーネントを搭載すること がますます重要になってきているため、アンテナ、ケーブル、コネクタ、デュプレクサなど、あらゆるパッシブ・デバ イスのPIMを評価／テストする必要性が高まっています。 ENAベースのPIM/Sパラメータ・ソリューションは、BTSパッシブ・コンポーネントの製造業界の製造／品質保証／研 究開発の分野で、コスト・パフォーマンスの高いテストを実現するトータル・システムです。 テスト上の問題 Sパラメータ - さまざまなタイプのDUTを最小限の投資で測定するには、よ り柔軟性の高いテスト・システムが必要です。 - PIM/Sパラメータ・テストで、総合的なスループットを高める 必要があります。 - 柔軟な構成が可能です（1台でPIM測定とSパラメータ測定、マ Sパラメータ 解決方法 Sパラメータ - より信頼性の高い測定テスト結果が必要です。 ルチバンド構成） - 高速測定を実現します（1回の接続でPIMとSパラメータを同時 測定、PIM測定速度の向上） - 正確な測定を行えます（ユーザ校正） E5072A ENAシリーズ ネットワーク・アナライザを使用したこの革新的なソリューションは、低い投資コストであり ながら、従来のソリューションより高い性能でPIM測定とSパラメータ測定を実行できます。このソリューションは、柔 軟な構成で、高速かつ正確な測定を提供し、既存のテスト・システムに代わるパッシブ・コンポーネントのテスト・ソリュー ションとして利用できます。 お客様の地域で、複数のソリューション・パートナーがトータル・テスト・ソリューションを提供しています。PIM測 定のトータル・ソリューションをお探しの場合は、Agilentまたは各ソリューション・パートナーまでお問い合わせくだ さい。 対象分野 研究開発、製造、品質保証 製品リソース/Webリソース E5072A ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ PIMソリューション・ページ www.agilent.co.jp/find/e5072a www.agilent.co.jp/find/PIM 参考資料 Application note：Innovative passive intermodulation（PIM）and S-parameter measurement solution with the ENA（5991-0332EN） 10 USB、HDMI、SATA、DisplayPortのケーブル／コネクタ・ アセンブリのテスト 概要 AgilentのE5071C ENAオプションTDRはMOI（実装方法）を提供します。MOIは測定手順ガイドで、USB、HDMI、 SATA、DisplayPortなどの各規格のコンプライアンス・テストをサポートしています。高速通信規格では、仕様を策 定して、製品のケーブル／コネクタの品質を保証しています。コンプライアンスを検証するために、コンポーネントは この仕様に従ってテストされます。MOIとステート・ファイルを使用することにより、コンプライアンス・テストを効 率的に実行できます。 テスト上の問題 - 測定手順だけでなく、準備も煩雑です。 - 複数の測定パラメータと測定器が必要です。 - テストの品質と性能を維持するには時間／コストがかかります。 解決方法 フィクスチャ X フィクスチャ Y - MOIによって各規格に準拠したコンプライアンス・テストの実行手順が ガイドされ、それに従うだけでテストを実行できます。 - E5071C ENAオプションTDRは、Sパラメータ（周波数ドメイン）とイン ピーダンス／アイ・ダイアグラム （タイム・ドメイン）の両方のドメイン の複数のパラメータをサポートしています。 - E5071C ENAオプションTDRは、ESDに対する耐性が高く、高速かつ正確な測定を実行できるので、測定スループッ ト／コスト・パフォーマンスが向上します。 対象分野 研究開発、製造、品質保証、調達 製品リソース/Webリソース E5071C ENAオプションTDR E5071C-TDR 高速デジタル・アプリケーション用のMOI www.agilent.co.jp/find/ena-tdr www.agilent.co.jp/find/ena-tdr_compliance 参考資料 Technical Overview：E5071C ENAオプションTDRエンハンスド・タイム・ドメイン解析（5990-5237JAJP） White Paper：ベクトル・ネットワーク・アナライザとオシロスコープによるTDR測定の相関の検証と性能の比較（5990-5446JAJP） 11 SATAおよびMIPIのTx（ソース）/Rx（レシーバ）テスト 概要 AgilentのE5071C ENAオプションTDRはMOI（実装方法）を提供します。MOIは測定手順ガイドで、SATAやMIPIなど の各規格のコンプライアンス・テストをサポートしています。高速通信規格では、仕様を策定して、Tx（ソース）とRx （レ シーバ）の品質を保証しています。コンプライアンスを検証するために、コンポーネントはこの仕様に従ってテストされ ます。MOIとステート・ファイルを使用することにより、コンプライアンス・テストを効率的に実行できます。 テスト上の問題 - 測定手順だけでなく、準備も煩雑です。 - 複数の測定パラメータと測定器が必要です。 - 実際の動作条件下でアクティブ・デバイスのインピーダンスを解 析する必要があります。 チャネル 解決方法 - MOIによって各規格に準拠したコンプライアンス・テストの実行手順がガイドされ、それに従うだけでテストを実行 できます。 - E5071C ENAオプションTDRは、Sパラメータ（周波数ドメイン）とインピーダンス／アイ・ダイアグラム（タイム・ ドメイン）の両方のドメインの複数のパラメータをサポートしています。 - ホットTDR測定機能を使用すれば、電源投入時の状態のアクティブ・デバイスのTDR/リターン・ロスを測定できます。 対象分野 研究開発、品質保証、製造 製品リソース/Webリソース E5071C ENAオプションTDR E5071C-TDR 高速デジタル・アプリケーション用のMOI www.agilent.co.jp/find/ena-tdr www.agilent.co.jp/find/ena-tdr_compliance 参考資料 Technical Overview：E5071C ENAオプションTDRエンハンスド・タイム・ドメイン解析（5990-5237JAJP） Application note：ENAオプションTDRを使用したアクティブ・デバイスの効果的なホットTDR測定（5990-9676JAJP） White Paper：ベクトル・ネットワーク・アナライザとオシロスコープによるTDR測定の相関の検証と性能の比較（5990-5446JAJP） 12 PCボードの品質管理のためのデバイスの特性評価 概要 Agilent E5071C ENAオプションTDRは、3つの画期的な特長（複数の測定機能、高いR&R（反復測定精度と再現性）、 優れたESD耐性）により、プリント基板 （PCB）のシグナル・インテグリティを評価／検証でき、より適切な品質管理を 行えます。 テスト上の問題 - PCボードの特性評価には、複数の測定パラメータと多くの測定器が 必要です。 - 合否マージンが狭くなるため、R&Rの高い測定器が必要です。 - 従来のTDRオシロスコープはESDに弱いため、測定器が故障した場 合には高い修理費用が発生します。 解決方法 - ENAオプションTDRは、PCボードの特性評価に必要な測定機能をすべて1台に統合しています。 - ENAオプションTDRは、広いダイナミック・レンジとさまざまな校正方法により、高い反復測定精度（代表値：0.05 Ω） と再現性（代表値：0.8 Ω）を実現します。 - ENAオプションTDRは、各テスト・ポートに独自の保護回路を実装しているので、ESDによる損傷（代表値：3,000 V） から測定器が保護されます。これにより、RF性能が低下することはありません。 ENAオプションTDRは、TDR、挿入損失、アイ・ダイアグラムの必要なすべてのパラメータを1台で測定できるので、 テスト機器を簡素化できます。このため、PCボードの品質管理に最適です。 対象分野 研究開発、品質保証、製造 製品リソース/Webリソース E5071C ENAオプションTDR www.agilent.co.jp/find/ena-tdr 参考資料 Technical Overview：E5071C ENAオプションTDRエンハンスド・タイム・ドメイン解析（5990-5237JAJP） White Paper：ベクトル・ネットワーク・アナライザとオシロスコープによるTDR測定の相関の検証と性能の比較（5990-5446JAJP） 13 車載用イーサネットのテスト／デバッグ 概要 車載用イーサネットは、制御系と情報系の両方をカバーできるため、注目を集めています。車載用イーサネットの仕様は、 IEEE802.3 100BASEイーサネット規格に基づいて検討が進んでいます。Agilent E5071C ENAオプションTDRは、 100BASE物理層評価（ケーブル測定、リターン・ロス測定）用ソリューションを提供します。 テスト上の問題 - ケーブルのインピーダンス測定にはTDRオシロスコープ（タイム・ド メイン解析）を使用し、リターン・ロス、挿入損失、近端クロストー クの測定にはネットワーク・アナライザ （周波数ドメイン解析）を使用 する必要があります。 - インピーダンス不整合による複数の反射が原因で伝送波形品質が劣化 するため、実際の動作条件下でインピーダンス不整合システムを評価 する必要があります。 解決方法 - E5071C ENAオプションTDRは、周波数ドメインとタイム・ドメイン（インピーダンス／アイ・ダイアグラム）の両 方のドメインで複数のパラメータをサポートしています。 - ホットTDR測定機能を使用すれば、電源投入時の状態のアクティブ・デバイスのインピーダンス整合を解析できます。 通常、インピーダンスはオフ状態と動作状態で大きく異なります（ホットTDR）。 被試験デバイスへの接続には、U7237Aイーサネット・テスト・フィクスチャを使用します。より正確な測定を行うた めに、校正キット（RJ-45タイプのオープン／ショート／ロード標準器）を用いて校正を実行できます。 対象分野 研究開発、製造 製品リソース/Webリソース E5071C ENAオプションTDR E5071C-TDR 高速デジタル・アプリケーション用のMOI www.agilent.co.jp/find/ena-tdr www.agilent.co.jp/find/ena-tdr_compliance 参考資料 Technical Overview：E5071C ENAオプションTDRエンハンスド・タイム・ドメイン解析（5990-5237JAJP） Application note：ENAオプションTDRを使用したアクティブ・デバイスの効果的なホットTDR測定（5990-9676JAJP） White Paper：ベクトル・ネットワーク・アナライザとオシロスコープによるTDR測定の相関の検証と性能の比較（5990-5446JAJP） 14 車載用アンテナのテスト 概要 Agilent ENAシリーズ ネットワーク・アナライザは、車載用アンテナ、フィルタや増幅器などの周辺コンポーネントの デザイン／テストで威力を発揮します。これらのコンポーネントは、使用する国によって50 kHzまたは150 kHzまで測 定する必要があります。ENAシリーズはアナログ性能に優れ、測定速度が高速で、PCとの接続も容易な上に、スター ト周波数が低く、価格も手頃です。このため、低コストで高品質のアンテナや周辺コンポーネントを製造するのに役立 ちます。 テスト上の問題 - 50 kHz（他の通信を妨害しないようにバンド外ノイズ除去を確認）ま たは150 kHzレンジ（欧州で使用されているAM無線、キーレスエント リ用のISM周波数バンドなど）まで測定する必要があります。 - 高速で正確な合否判定テストが必要です。 解決方法 - Agilent ENAシリーズ ネットワーク・アナライザは、5 Hz ∼ 20 GHzの広い周波数レンジを備えています。 - ENAシリーズはアナログ性能に優れているので、高い確度とスループットを実現します。 - 豊富なリミット・テスト機能、内蔵VBAプログラミング環境、ハンドラ・インタフェースにより、外部PCがなくて も内部で合否判定を解析できるので、テスト・コストを削減できスループットが向上します。 100 kHz ∼ 1.5 GHz/3 GHz（RFオプション）または5 Hz ∼ 3 GHz（LF-RFオプション）の周波数レンジを選択できる E5061Bネットワーク・アナライザは、低価格の理想的なソリューションです。E5072Aは、30 kHz ∼ 4.5 /8.5 GHz の広いRF周波数レンジをカバーしているので、アクティブ・デバイスの測定に最適です。E5071Cは、9 kHz ∼ 4.5/6.5/ 8.5 GHzまたは300 kHz ∼ 14/20 GHzという最大の周波数レンジをカバーしています。低トレース・ノイズと高速測定 により、評価誤差が縮小され、テスト・マージンが最小になり、スループットも向上します。各ENAモデルは、豊富な リミット・テスト機能、内蔵VBAプログラミング環境、LAN/USB/GPIBインタフェースを備えています。合否判定結 果は、ハンドラ・インタフェースを使用して自動テスト装置に出力できます。 対象分野 研究開発、製造 製品リソース/Webリソース ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ www.agilent.co.jp/find/ena 15 RF増幅器の測定 概要 Agilent E5072A ENAシリーズ ネットワーク・アナライザは、幅広い業界で用いられている汎用のRF増幅器の測定に 最適な、コスト・パフォーマンスの高いソリューションです。E5072Aを使用すれば、DUTのインタフェースのパワー・ レベルを調整できるので、増幅器の非線形動作を正確に測定できます。 テスト上の問題 - 特に圧縮領域の増幅器は入力パワーの影響を非常に受け やすいため、デバイスの特性を正確に評価するためには、 外部レベリングが必要です。 - ラック積み上げ型の複雑なテスト・システムを簡素化し て、維持コスト全体を削減する必要があります。 - 市場投入までの時間を短縮するためには、測定時間全体を 短縮する必要があります。 基本波 2次 4次 5次 3次 高調波（dBc） 解決方法 - E5072Aは、DUTのインタフェースのパワー・レベルを、 測定の許容範囲／仕様範囲内に調整するレシーバ・レベ リング機能を備えています。 - E5072Aは、高調波歪み/IMD測定用のテスト・システム の代わりに使用できます。これらの測定は従来、信号発 生器とパワー・センサ （またはスペクトラム・アナライザ） を使用して行われていました。 - E5072Aは増幅器測定用のウィザード・プログラムを備えているので、時間のかかる測定のセットアップや校正に要 する時間を最小限に抑えられます。 増幅器測定用の多くの有用な機能の中でも、E5072Aのレシーバ・レべリング機能などのパワー校正手法は、正確な絶 対パワー・レベルを実現します。これにより、アクティブ・デバイスの非線形動作領域におけるパワー依存特性を評価 できます。 対象分野 研究開発、製造、品質保証、調達、教育 製品リソース/Webリソース E5072A ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ、30 kHz ∼ 4.5 /8.5 GHz www.agilent.co.jp/find/e5072a 参考資料 Application note：Basics of RF amplifier measurements with the E5072A ENA series network analyzer（5990-9974EN） 16 低パワー信号による高利得増幅器の測定 概要 Agilent E5072A ENAシリーズ ネットワーク・アナライザは、超低パワー信号を用いたSパラメータ測定用のハードウェ ア機能を備えています。無線通信システムのフロントエンドのレシーバ経路内にある高利得増幅器/RFコンポーネント を測定して、実際の動作条件をシミュレートできます。 ATT＝40 dB （ポート1） ATT＝0 dB （ポート2） 高利得増幅器 テスト上の問題 - 測定で超低パワー信号を扱う場合は、S/N比を最適化する必要があります。 解決方法 - E5072Aは、最小−85 dBmの信号源出力レベル仕様を備えています。 - E5072Aではポート・パワーを非同期で設定できるため、DUTに超低パワーの信号を入力して高利得増幅器を測定す る場合に有効です。 E5072Aの内部ブリッジ間には信号源アッテネータが内蔵されているので、反射測定（S11またはS22）で最大のS/N比を 実現しながら、低パワー信号で測定を実行できます。E5072Aは出力パワーが非常に低いので （仕様値：−85 dBm、代 表値：−109 dBm）、DUTへの入力パワー・レベルを減衰させる外部アッテネータは不要です。 対象分野 研究開発、製造、品質保証、調達 製品リソース/Webリソース E5072A ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ、30 kHz ∼ 4.5 /8.5 GHz www.agilent.co.jp/find/e5072a 参考資料 Application note：Basics of RF amplifier measurements with the E5072A ENA series network analyzer（5990-9974EN） 17 パルスドSパラメータの測定 概要 Agilent E5072A ENAシリーズ ネットワーク・アナライザは、パワーアンプやトランスミッタなどRFコンポーネント のCW/パルスド動作特性の評価に使用される一般的なツールです。 ポート1 ポート2 アッテネータ （オプション） パルス カップラ 変調器 テスト上の問題 - GSMパワーアンプなどの一部のパワーデバイスは、バースト動作用に設計されているので、CW信号では正しく動作 しません。 - 正確なSパラメータ測定を実現するには、パルスドRF手法を採用する必要があります。 解決方法 - E5072Aには、測定とパルスドRF信号を同期できるトリガ機能があります。 - E5072Aには、信号経路で使用されているパルス変調器の短期ドリフトを除去するレシーバ・レベリング機能があり ます。 E5072Aのレシーバ・レベリングは、信号経路内のパルス変調器で温度ドリフトが生じている場合にお勧めです。レシー バ・レべリング機能で、温度ドリフトによるDUTの入力パワーの変動が自動的に除去されるため、測定確度が向上し、 パワーに敏感なデバイスのパルスド動作特性を正確に評価できます。 対象分野 研究開発、製造、品質保証、調達、教育 製品リソース/Webリソース E5072A ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ、30 kHz ∼ 4.5 /8.5 GHz www.agilent.co.jp/find/e5072a 参考資料 Application note：Basics of RF amplifier measurements with the E5072A ENA series network analyzer（5990-9974EN） 18 RF同軸ケーブルの測定 概要 ENAシリーズ ネットワーク・アナライザは、優れたダイナミック・レンジ／ノイズ・フロア性能、高度な解析機能を備 え、豊富な製品／周波数ラインナップからテスト・ニーズに最適なソリューションを選択できるため、RF同軸ケーブル のテストにも対応できます。 テスト上の問題 - 広いダイナミック・レンジ／低いノイズ・フロアを実現する必要があります。 - タイム・ドメインで障害位置検出を解析する必要があります。 - CATVケーブルを75 Ωのシステム・インピーダンスでテストする必要があり ます。 解決方法 - ENAシリーズはダイナミック・レンジ性能に優れ（代表値：130 dB）、 871x/8753/8720などの旧世代のRF VNAの性能を大幅に上回っています。 - E5072Aは、ハイパワー出力機能を備え、ダイレクト・レシーバ・アクセスの 採用により超低ノイズ・フロアを実現しているため、長いケーブルの測定やシールド伝送インピーダンス測定など、 超低ノイズ・フロアが必要な、減衰が非常に多い測定に最適です。 - ENAシリーズのタイム・ドメイン解析オプションを使用すれば、周波数ドメイン測定データをタイム・ドメイン応答 に変換することによって、障害位置解析を実行できます。 - E5061B RFオプション（100 kHz ∼ 1.5/3 GHz）は、75 Ωテスト・セットをサポートしています。 対象分野 研究開発、製造、品質保証、調達 製品リソース/Webリソース ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ www.agilent.co.jp/find/ena 参考資料 DCM Industries社は、ケーブルのシールド伝送インピーダンスのテスト・ソリューションを提供しています。 DCM Industries社のWebページ：http://dcmindustries.com DCM社の伝送インピーダンス測定システム：（http://www.dcmindustries.com/uploads/images/PDF/NEW-TI3000%20data%20 sheet%20032910.pdf） 19 LAN/通信用ケーブルの測定 概要 AgilentのENAシリーズ ネットワーク・アナライザは、LAN/通信ケーブルの測定を包括的にサポートし、研究開発環 境だけでなく、テスト・システム・ベンダが提供するソリューションを組み合わせた製造環境にも対応します。 差動 コモン テスト上の問題 - 差動Sパラメータの測定が必要です。 - 低い周波数（100 kHz以下）からテストする必要があります。 - 製造テストでマルチペア・ケーブルを効率的にテストする必要があります。 解決方法 - E5071C 4ポート・オプションでは、バラン・トランスを使用してシングルエンドSパラメータを差動Sパラメータに 数学的に変換でき、従来のテスト手法より正確な測定と広い周波数レンジを実現できます。 - LAN用ケーブルのテスト向けに、E5061B RFオプションとE5071Cは100 kHzまでカバーしています。より低い周 波数が必要な電気通信用ケーブルのテスト向けには、E5061B-3L5が5 Hzまでカバーできます。 - これらのマルチペア平衡ケーブルの製造テスト用として、以下の企業が、2ポートENA、スイッチ・マトリクス、バ ランを備えたケーブル・テスト・システム（または4ポートENAを使用したバランなしのテスト・システム）を提供し ています。 DCM Industries社：http://www.dcmindustries.com AESA Cortaillod社：http://www.aesa-cortaillod.com 対象分野 研究開発、製造、品質保証、調達 製品リソース/Webリソース ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ www.agilent.co.jp/find/ena 参考資料 FAQ：4ポートENAを使用したマルチペア差動ケーブルの評価の基本について http://www.home.agilent.com/upload/cmc_upload/All/BalancedCable_FAQ.pdf 20 高除去比フィルタの測定 概要 Agilent E5072A ENAシリーズ ネットワーク・アナライザに拡張可能テスト・セット機能を追加すれば、順方向測定の ダイナミック・レンジを151 dBまで拡張できます。この優れた性能により、高除去比フィルタの正確な測定が可能にな り、BTSフィルタの阻止帯域などの高減衰特性を備えたデバイスの測定時間を短縮できます。 テスト上の問題 - VNAのIF帯域幅を広く設定して高速掃引測定を行い、BTSフィルタの阻止帯域（−110 dB）をテストする必要があり ます。 - 製造テストで求められる高いスループットを実現するには、従来のVNAのダイナミック・レンジでは不十分です。 解決方法 - E5072Aには、内蔵レシーバに直接アクセスできる拡張可能テスト・セットを追加できます。内蔵ブリッジに起因す る損失が除去されるため、E5072Aで151 dBまで順方向測定（S21）のダイナミック・レンジを拡大できます。 - 拡張ダイナミック・レンジ構成ではより広いIF帯域幅を選択できるので、テストの測定速度が向上します。この構成 によってダイナミック・レンジが20 dB広がると、同じトレース・ノイズで100倍高速に測定を実行できます。 対象分野 研究開発、製造、品質保証、調達 製品リソース/Webリソース E5072A ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ、30 kHz ∼ 4.5 /8.5 GHz www.agilent.co.jp/find/e5072a 参考資料 Technical Overview：E5072A ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ（5990-8004JAJP） 21 液晶セルの容量特性 概要 容量測定は、液晶材料の誘電特性の一般的な評価方法です。液晶分子の動的挙動は、容量の周波数依存性から判断でき ます。Agilent E4990Aは、120 MHzまでの容量を正確に測定できます。Agilent E4980Aにオプション001を搭載すれ ば、高いAC電圧（最大20 Vrms）を使用できます。 E4980A/E4990A 16047E テスト・フィクスチャ 液晶セル リード線 （最短の長さ） ワニ口クリップ （ロー側） ワニ口クリップ （ハイ側） 導電性 エラストマ テスト上の問題 - 動的挙動、誘電緩和などのLC材料の特性を評価するには、広い周波数レンジにわたる正確な容量／誘電正接測定が必 要です。 - C//（配向ベクトルと同一方向の容量）測定に対応できる大きさのテスト信号電圧が必要です。 - 電圧-容量特性を評価するには、電圧材料に印加される実際の電圧を把握する必要があります。 解決方法 - E4980AプレシジョンLCRメータは、20 Hz ∼ 2 MHzの周波数レンジを備え、基本確度は0.05 ％です。オプション 001を搭載してテスト信号のレベルを20 Vrmsまで拡張すれば、より高い電圧で容量-電圧特性を測定できます。外部 パワーアンプは不要です。 - E4990Aインピーダンス・アナライザは、20 Hz ∼ 120 MHzのより広い周波数レンジをカバーし、広いインピーダン ス・レンジでクラス最高の確度（0.08 ％の基本確度）を実現します。 - E4990A/E4980Aは、DCバイアス、レベル・モニタ、フィクスチャ補正などの高度な機能を備えているので、測定 セルに起因する誤差がなくなります。 対象分野 研究開発、教育 製品リソース/Webリソース E4980AプレシジョンLCRメータ、20 Hz ∼ 2 MHz E4990Aインピーダンス・アナライザ、20 Hz ∼ 10/20/30/50/120 MHz www.agilent.co.jp/find/e4980a www.agilent.co.jp/find/e4990a 参考資料 Application note：Measurement of capacitance characteristics of liquid crystal cell（5950-2994） 22 MEMS/NEMSデバイス・モデリング／障害解析／プロセス制御 概要 MEMS/NEMSセンサ、アクチュエータ、マイクロフォンに、Agilent E4980AプレシジョンLCRメータとE4990Aイン ピーダンス・アナライザを使用すれば、より正確なモデリング、より効率的な障害解析が可能になり、さらに、最新の インピーダンス手法を用いたより適切なプロセス制御を実現できます。MEMS共振器などを応用したデバイス （ジャイ ロ・センサなど）には、E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザを用いることによって、共振器の高い減衰（S21 周波数応答）や、共振器とI-Vコンバータ・アンプを合わせた全体の応答を測定できます。 テスト上の問題 - 製造コストを低減するには、プロセスのできるだけ早い段階でテストする必要があります。 - 圧力、加速度、音波などの機械的な入力が安定するように制御するのが困難な一方で、歩留まりやスループットを高 める必要があります。 - 共振器のDCバイアス依存性を評価するには、S21の評価時に高い減衰を測定する必要があります。 解決方法 - インピーダンス測定などの電気テストでは機械的な入力が不要なので、スループットが向上します。 - E4980A/E4990Aによる電気入力や測定は、メンテナンスがより簡単で、再現性が向上します。 - E5061B-3L5は、kHz ∼ GHzレンジで優れたダイナミック・レンジ（実際の性能で120 ∼ 130 dB）を実現し、掃引可 能なDCバイアス信号源を内蔵しているので、MEMS共振器の評価に最適なトータル・ソリューションを提供します。 E4980AプレシジョンLCRメータは、クラス最高の確度（0.05 ％）、高い再現性（σ＜1 fF）、高速な測定を実現しています。 E4980Aは、以下に最適なソリューションです。 - 静電容量センサ／アクチュエータ／マイクロフォンのC-Vテスト - 電磁アクチュエータのインダクタンス/DC抵抗テスト E4990Aインピーダンス・アナライザは、共振／反共振評価、Q値評価、等価回路解析用の機能を備えています。 E4990Aは、以下に最適なソリューションです。 - 圧電型センサ／アクチュエータの圧電素子のテスト - センサ／アクチュエータ／シリコン・マイクロフォンの周波数応答テスト E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ（5 Hz ∼ 3 GHz）は、共振器の評価に最適なソリューションです。 対象分野 研究開発、製造、品質保証、調達、教育 製品リソース/Webリソース E4980AプレシジョンLCRメータ、20 Hz ∼ 2 MHz E4990Aインピーダンス・アナライザ、20 Hz ∼ 10/20/30/50/120 MHz MEMS/NEMSデバイス測定ソリューション 参考資料 Application note：MEMSデバイス開発／製造効率の改善（5989-7517JAJP） 23 www.agilent.co.jp/find/e4980a www.agilent.co.jp/find/e4990a www.agilent.co.jp/find/mems EMC（電磁環境適合性）コンポーネント測定 概要 EMC（電磁環境適合性）は、広帯域無線通信や車載用エレクトロニクスにおける重要な仕様です。このような分野では、 規格の厳しい要件を満たすために、EMCコンポーネントが重要な役割を果たします。Agilent E5071C ENAシリーズ ネットワーク・アナライザおよびE4991Bインピーダンス・アナライザの高度な解析機能を用いれば、製品の真の性能 を実際の動作条件で評価できます。 インピーダンス （Ω） 周波数 （Hz） テスト上の問題 - コンポーネントの特性を実際の動作条件下で識別する必要があります。 - EMC/ノイズ規制は、GHzバンドを含むさらに高い周波数をカバーするように拡張し続けています。 解決方法 - E5071Cは、内部バイアス・ティーだけでなく、外部バイアス・ティーもサポートしているので、EMCコンポーネン トの周波数応答を実際の動作条件で評価できます。 - E4991Bを使用すれば、コンポーネントを正確に測定できるだけでなく、コア材料を包括的に測定できます。 - E4991Bの温度特性テスト・キット（E4991B-007）は、高度な温度ドリフト補正機能を備え、−55 ℃∼＋150 ℃の広 い温度範囲で、非常に確度の高い温度特性解析を行えます。 対象分野 研究開発、教育 製品リソース/Webリソース E5071C ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ E4991Bインピーダンス・アナライザ、1 MHz ∼ 500 MHz/1 GHz/3 GHz www.agilent.co.jp/find/e5071c www.agilent.co.jp/find/e4991b 参考資料 Application note：DCバイアス重畳によるEMC対策部品の評価（5989-9887JAJP） Application note：ENAシリーズRFネットワーク・アナライザ フィクスチャ・シミュレータ機能の紹介、平衡・不平衡変換、 マッチング回路付加及びネットワーク除去（5988-4923JA） Application note：8 Hints for successful impedance measurements（5968-1947E） Application note：LCRメータおよびインピーダンス・アナライザを用いた誘電率／透磁率の測定ソリューション（5980-2862JAJP） 24 インダクタ、EMIフィルタ、キャパシタ、レジスタの製造テスト 概要 AgilentのLCRメータ、キャパシタンス・メータ、レジスタンス・メータは、インダクタ、EMIフィルタ、キャパシタ、 レジスタなどのパッシブ・コンポーネントの製造に最適な性能を備えています。 テスト上の問題 - 歩留まりを改善するには、より正確で再現性のある測定が必要です。 - スループットを改善するには、測定速度を高速化する必要があります。 - エンド・ユーザにトレーサブルなデータを提供する必要があります。 解決方法 - Agilentのソリューションは、測定の変動を最小限に抑え、最高確度の再現性 のある測定を実現します。 - Agilentのソリューションは、最高の測定速度で、スループットを最大化し ます。 - Agilentのソリューションは、さまざまなテスト・フィクスチャやテスト標準器により、確度の高い測定結果を保証 します。また、コンポーネント製造側とエンド・ユーザ側の両方でトレーサブルなテストが行えます。 E4980A LCRメータ（20 Hz ∼ 2 MHz）と4285A LCRメータ（75 kHz ∼ 30 MHz）は、正確で信頼性の高い高速ソリュー ションで、さまざまなタイプのコンポーネント・テストをサポートしています。 E4982A LCRメータは、1 MHz ∼ 3 GHzの広い周波数レンジをサポートし、製造ラインにおけるSMDインダクタや EMIフィルタのテストで、高速かつ信頼性の高い測定を実現します。E4982Aは、高度なリスト測定機能を備えている ので、研究開発や品質保証の分野にも最適です。 E4981Aキャパシタンス・メータは、製造ラインにおけるセラミック・コンデンサのテストで、高速かつ信頼性の高い 測定を実現します。 対象分野 製造 製品リソース/Webリソース ベンチトップLCR/レジスタンス・メータ www.home.agilent.co.jp/find/benchtop_lcr 参考資料 Selection guide：LCRメータ、インピーダンス・アナライザ、テスト・フィクスチャ（5952-1430JA） 25 プロービング・システムによるオンチップ・デバイスの測定 概要 E4991Bインピーダンス・アナライザ（オプション010プローブ・ステーション接続キット搭載）とプロービング・システ ム（cascade microtech社）を統合すれば、3 GHzまでのRF-IC/LTCC回路のインダクタ／キャパシタを非常に正確に測 定できます。 テスト上の問題 - プロービング・システムの構成にリソース／時間が浪費され ます。 - プロービング・システムの校正の実行方法が困難です。 - 高Qデバイスの正確な測定が必要です（高Qを正確に測定する には低ESR測定が重要です）。 解決方法 - オプション010プローブ・ステーション接続キットを使用すれ ば、プローブ・ステーションに簡単に接続できます。 - オンウェーハ校正用のインピーダンス標準サブストレート（ISS）が用意されています（Cascade Microtech社）。 - RF-IV手法により、3 GHzまでの高Qデバイスの等価直列抵抗（ESR）を正確に測定できます。 対象分野 研究開発、品質保証、教育 製品リソース/Webリソース E4991Bインピーダンス・アナライザ、1 MHz ∼ 500 MHz/1 GHz/3 GHz www.agilent.co.jp/find/e4991b 参考資料 Application note：カスケード・マイクロテック社プローブ・システムを用いた高確度インピーダンス測定（5988-3279JA） Configuration Guide：E4991B Impedance Analyzer（5991-3894EN） Application note：インピーダンス測定ハンドブック（5950-3000JA） Cascade microtech社のWebサイト：www.cascademicrotech.com 26 ミキサ／コンバータの測定 概要 ミキサやコンバータなどの周波数変換デバイス （FTD）は、入力と出力の周波数が異なるため、測定の際に特有の問題が あります。E5071C ENAシリーズ ネットワーク・アナライザでは、高度な使いやすい機能により、セットアップ／測 定／操作時間を短縮できます。さらに、E5071Cは、Agilentの特許取得済みのベクトル・ミキサ校正（VMC）などの高 度な校正手法により、より正確な測定を実現できます。 テスト上の問題 - 入力ポートと出力ポートで周波数が異なるため、複雑なテ スト構成のセットアップ／操作が必要です。 - 正確な測定を行うために最適な校正手法を選択する必要が あります。 解決方法 - E5071Cには、周波数オフセット・モード（FOM）オプショ ン、平衡ミキサ測定、絶対群遅延測定など、高度なソフト ウェア機能が内蔵されているので、セットアップ／測定時 間を短縮できます。 - ミキサ測定ウィザード・プログラムやベクトル・ミキサ評 価プログラムなど、E5071C用の使いやすい解析ソフトウェアにより、操作時間を短縮できます。 - E5071Cは、最新の校正手法を導入しているため、周波数変換デバイスの特性を正確に評価できます。 E5071Cには、位相／絶対群遅延測定に加えて、パワー／レシーバ校正、整合補正振幅測定向けのスカラ・ミキサ校正 （SMC）、ベクトル・ミキサ校正 （VMC）の3種類の校正手法が実装されています。ミキサ測定ウィザード・プログラムは、 変換損失／群遅延測定（ENAオプション008 FOMが必要）、利得圧縮測定（CW/掃引）、リターン・ロス測定、校正支援 （パ ワー・メータ校正、SMC、VMC）などの高度な機能を備えています。 対象分野 研究開発、製造、教育 製品リソース/Webリソース E5071C ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ www.agilent.co.jp/find/e5071c 参考資料 Application note：周波数オフセット・モードを使用した、周波数変換デバイスの高確度測定（5989-1420JAJP） ENAミキサ測定ウィザード：www.agilent.co.jp/find/enavba 27 マルチポート・デバイスの測定（最大40ポート） 概要 4ポートE5071C ENAシリーズ ネットワーク・アナライザとE5092A拡張可能マルチポート・テスト・セットにより、 20 GHzまでの周波数に対応する完全なマルチポート・ソリューションを構成でき、携帯電話ハンドセットのフロントエ ンド・モジュール（FEM）や無線LANアプリケーションなどのマルチポート・デバイスの他、汎用マルチポート・デバイ スをテストできます。E5092Aとメジャメント・ウィザード・アシスタント（MWA）ソフトウェア（E5092Aオプション 790）を使用すれば、複雑なマルチポート・テスト・セットアップを簡素化でき、テスト・ステーションの効率と測定の 生産性が向上します。 テスト上の問題 - 多くのコンポーネントが複数のRF入出力ポートを備えているので、マルチポー ト測定によるデバイス全体の特性評価が必要です。 - マルチポート・ネットワーク解析では、通常、実際のテストよりも、測定セッ トアップに非常に長い時間がかかります。 解決方法 - E5071Cのテスト・ポート数を、E5092Aにより22ポートまで拡張でき、 E5092Aをカスケード接続すれば40ポートまで拡張できます。 - MWAソフトウェア（E5071Cオプション790）により、複雑なマルチポート測定を簡素化できます。 4ポートE5071CとE5092Aにより、最大10ポートのフル・クロスバー測定または最大22ポートの測定に対応できます。 2台のE5092Aをカスケード接続してテスト・ポート数を拡張すれば、最大16ポートのフル・クロスバー測定または最 大40ポートの測定が可能になります。E5092AとE5071CのMWAソフトウェアを使用することによって、複雑なマルチ ポート測定のセットアップ時間が短縮されるので、マルチポート測定を大幅に簡素化できます。 対象分野 研究開発、製造、教育 製品リソース/Webリソース E5071C ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ E5092A拡張可能マルチポート・テスト・セット www.agilent.co.jp/find/e5071c www.agilent.co.jp/find/e5092a 参考資料 Application note：Comprehensive multiport solution for the ENA network analyzer（5989-8737NE） Application note：ENA用メジャメント・ウィザード・アシスタント（MWA）ソフトウェア（5989-4855JAJP） Configuration Guide：ENA RFネットワーク・アナライザ（5989-5480JAJP） 28 MOSデバイスのオンウェーハC-V特性評価 概要 C-V特性の測定は、MOS FETの製造プロセスを評価したり、ウェーハ・プロセスにおける酸化膜厚、不純物濃度、界面 トラップ密度などのMOSデバイス・パラメータを解析したりする標準的な方法です。Agilent E4980Aプレシジョン LCRメータとE4990Aインピーダンス・アナライザは、広い周波数レンジにわたって広いインピーダンス・レンジをカバー し、DCバイアス電圧を正確に制御して、高い測定確度で信頼性の高いC-V測定を実行します。 Agilentの BNCケーブル8120-1839など BNC-トライアキシャルBNCアダプタ1250-2650 Cascade社の トライアキシャル・ケーブル（104-330-LC） ガード経路 トップ・デッキ チャック テスト上の問題 - 高確度、高分解能（1 fFの分解能）で非常に小さいキャパシタンスを測定する必要があります。 半導体デバイスの特性を正確に評価するには、低周波から高周波までの測定が必要です。 延長ケーブルやプローバに起因する追加誤差により、測定の信頼性が低下します。 再現性の高いC-V測定を行うのに十分な確度が、DCバイアス電圧で得られません。 解決方法 - E4980Aは、20 Hz ∼ 2 MHzの周波数レンジをカバーしながら、0.05 ％の基本インピーダンス確度、1 fFのキャパシタ ンス分解能という優れた性能を備えています。 - 高速測定と低雑音の内部デザインにより、スループットが向上し、半導体プロセスの評価段階のテスト・コストを削 減できます。 - E4990Aの最先端テクノロジーにより、120 MHzまで機能を拡張できます。これにより、グランド接続デバイスも、 標準の4端子対（4TP）構成も測定できます。 - E4980AおよびE4990Aは、DCバイアス電源を内蔵しているため、C-V測定を非常に正確に高い効率で実行できます。 - Agilentインピーダンス・アナライザ/LCRメータの高度な校正機能とフィクスチャ補正機能により、使用するテスト・ フィクスチャに起因する残留誤差を除去できるので、確度が向上します。 対象分野 研究開発、製造、品質保証、教育 製品リソース/Webリソース E4980AプレシジョンLCRメータ、20 Hz ∼ 2 MHz E4990Aインピーダンス・アナライザ、20 Hz ∼ 10/20/30/50/120 MHz www.agilent.co.jp/find/e4980a www.agilent.co.jp/find/e4990a 参考資料 Product note：Agilent Technologies E4990AによるMOSキャパシタのゲート酸素化膜のC-V特性評価（5988-5102JA） Application note：半導体のマルチ周波数C-V測定（11278） 29 低周波からマイクロ波までのオンウェーハ・デバイスの特性評価 概要 C-V特性の測定は、MOS FETの製造プロセスを評価したり、ウェーハ・プロセスにおける酸化膜厚、不純物濃度、界面 トラップ密度などのMOSデバイス・パラメータを解析したりする標準的な方法です。Agilent E4980Aプレシジョン LCRメータとE4990Aインピーダンス・アナライザは、広い周波数レンジにわたって広いインピーダンス・レンジをカバー し、DCバイアス電圧を正確に制御して高い測定確度で、信頼性の高いC-V測定を実行します。 テスト上の問題 - 低い周波数レンジまでカバーする、フル2ポートSパラメータ測定機能が必要です。 - マイクロ波ネットワーク・アナライザのダイナミック・レンジが低下する10/100 MHzより低い周波数レンジで、広 いダイナミック・レンジを実現する必要があります。 - 高い周波数レンジだけでなく低い周波数レンジでも、同じTRLタイプの校正を実行して、低周波レンジと高周波レン ジの間で測定の不連続が生じないようにする必要があります。 解決方法 - E5061B-3L5のSパラメータ・テスト・ポートは、5 Hz ∼ 3 GHzの周波数レンジをカバーしています。 - E5061B-3L5は、10 MHz未満の周波数レンジで、Agilentのネットワーク・アナライザの中でも最大のダイナミック・ レンジを実現します。 - E5061B-3L5（ファームウェア・リビジョン2.06以降）は、Cascade Microtech社のWinCalXETM校正ソフトウェア でサポートされており、これにより、E5061B-3L5でTRLタイプの校正を実行できます。1 対象分野 研究開発、教育 製品リソース/Webリソース E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ PNAネットワーク・アナライザ www.agilent.co.jp/find/e5061b www.agilent.co.jp/find/ena www.agilent.co.jp/find/pna 参考資料 Cascade microtech社のWebサイト：http://www.cmicro.com Cascade WinCalXETMのデータシート：http://www.cmicro.com/file/wincal-xe-specification-sheet 1. PNAやE5071C/72Aと違って、E5061Bはファームウェアの機能でTRL校正をサポートしていません。 TRL校正を実行するには、Cascade社のWinCalXETMソフトウェアが必要です。 30 テスト・フィクスチャによる固体／液体材料の測定 概要 材料の電気特性の評価は、新しいデバイスの開発や性能の向上に、非常に重要です。また、研究分野において、物理／ 化学特性の調査にも用いられています。Agilentインピーダンス・アナライザ/LCRメータと材料測定用のテスト・フィ クスチャを使用すれば、これらのアプリケーションに対応するソリューションを実現できます。 テスト上の問題 - 実際に材料を使用する低周波から高周波のレンジで誘電特 性／磁気特性を評価する必要があります。 - さまざまな材料を評価するため、より広いインピーダンス・ レンジと十分な確度が必要です。低損失の材料を測定する 場合は、位相確度が重要です。 - 被試験材料を固定する専用のテスト・フィクスチャと、測 定したインピーダンスを材料パラメータに変換するソフト ウェアを使用する必要があります。 解決方法 - Agilent Technologiesでは、20 Hz ∼ 3 GHzの周波数レ ンジをカバーし、クラス最高の確度を備えた、インピーダ ンス測定ソリューションを豊富に取り揃えています。 - Agilent 16451B誘 電 材 料 テ ス ト・ フ ィ ク ス チ ャ と 16452A液体材料テスト・フィクスチャは、30 MHzまでの固体材料または液体材料の誘電率測定に対応しています。 - 16453A誘電材料テスト・フィクスチャと16454A磁性材料テスト・フィクスチャは、1 GHzまでの誘電率／透磁率を 正確に測定できるように設計されています。 - E4991Bにオプション002を搭載すれば、材料パラメータ（複素誘電率／複素透磁率）を直接読み取ることができます。 オプション007温度特性テスト・キットを追加すれば、機能が拡張され、−55 ℃∼＋150 ℃の広い温度範囲に対応で きます。 対象分野 研究開発、教育 製品リソース/Webリソース E4980AプレシジョンLCRメータ、20 Hz ∼ 2 MHz E4990Aインピーダンス・アナライザ、20 Hz ∼ 10/20/30/50/120 MHz E4991Bインピーダンス・アナライザ、1 MHz ∼ 500 MHz/1 GHz/3 GHz 材料テスト機器 www.agilent.co.jp/find/e4980a www.agilent.co.jp/find/e4990a www.agilent.co.jp/find/e4991b www.agilent.co.jp/find/materials 参考資料 Selection guide：インピーダンス測定アクセサリ・ガイド（5965-4792JA） Application note：Agilent LCRメータおよびインピーダンス・アナライザを用いた誘電率／透磁率の測定ソリューション （5980-2862JAJP） Application note：E4991Aを用いたRF部品および材料の効率的な温度特性評価 （5988-9772JA） 31 誘電体プローブを用いたRF材料の測定 概要 Agilent ENAシリーズ ネットワーク・アナライザと85071E材料測定ソフトウェアを使用すれば、低価格でRF材料測定 ソリューションを構築できます。このソリューションは、新材料を開発する際の誘電パラメータ（誘電率）の評価から、 誘電体パラメータの測定によるプロセスのモニタまで、幅広いアプリケーションに対応しています。 テスト上の問題 - RF材料の誘電率／透磁率を低周波で正確かつ高速に低コストで評価する必要が あり、低周波レンジと高周波レンジの間で測定の不連続が生じないようにする 必要があります。 解決方法 - Agilent ENAシリーズ ネットワーク・アナライザは、広い周波数レンジで ベクトル・ネットワーク解析を行うことができます。85071E材料測定ソフ トウェアや85070E誘電体プローブ・キットと組み合わせて使用すれば、液 体や半固体の材料に反射法を使用できます（最大20 GHz）。 - 85071Eオプション300と組み合わせて使用すれば、薄膜やサブストレート 材料などの低損失の材料に共振キャビティ法を使用できます （最大20 GHz） 。 E5061Bは、1.5 GHzまたは3 GHzまでの周波数に対応する、低価格のネット ワーク・アナライザをベースにした材料測定に最適なソリューションです。 E5072Aは、30 kHz ∼ 4.5 GHz/8.5 GHzの広いRF周波数レンジをカバーし ています。E5071Cは、300 kHz ∼ 14 GHz/20 GHzのレンジをカバーしてい ます。 対象分野 研究開発、教育 製品リソース/Webリソース ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ 85071E材料測定ソフトウェアおよび85070E誘電体プローブ・キット 参考資料 Technical Overview：Agilent 85071E材料測定ソフトウェア（5988-9472JA） Technical Overview：Agilent 85070E誘電体プローブ・キット（5989-0222JAJP） 32 www.agilent.co.jp/find/ena www.agilent.co.jp/find/materials 比吸収率（SAR）テストのためのファントム材料の評価 概要 Agilent ENAシリーズ ネットワーク・アナライザと85070E誘電体プローブ・キットを使用すれば、ファントム材料の SAR（比吸収率）テスト時に誘電特性を確認する最適なソリューションを実現できます。人体のRFエネルギーによる被 爆を防止して、携帯電話を安全に利用できるようにする配慮から、SARテストの要件が近年高まっています。ファント ム材料はSARテストの主要なコンポーネントですが、時間に伴って劣化するため、テストする前に、ファントム材料の 誘電特性が仕様に適合しているかどうかを確認する必要があります。Agilentのソリューションは、優れた性能を手頃な 価格で提供するため、正確でコスト・パフォーマンスの高いSARテスト・ソリューションを構築できます。 テスト上の問題 - ファントム材料の誘電パラメータを正確かつ容易に評価する必要があります。 解決方法 - Agilent ENAシリーズ ネットワーク・アナライザは、広い周波数レンジでベクトル・ネットワーク解析を行うことが できるため、業界標準のRFネットワーク・アナライザとして高く評価されています。85070E誘電体プローブ・キッ トと使用すれば、信頼性の高い誘電パラメータ測定結果が得られ、正確なSARテスト結果が保証されます。 ENAシリーズでは、幅広い周波数レンジの中から選択できます。E5061Bは、100 kHz ∼ 1.5 GHz/3 GHzの周波数レ ンジに対応する、低価格のネットワーク・アナライザをベースとする材料測定に最適なソリューションです。E5071Cは、 9 kHz ∼ 4.5/6.5/8.5 GHzまたは300 kHz ∼ 14 GHz/20 GHzの周波数レンジをカバーします。E5072Aは、30 kHz ∼ 4.5 GHz/8.5 GHzの周波数レンジをカバーし、ハイ・パワー出力、拡張可能テスト・セットをサポートしています。 対象分野 SARテストの認証試験会社またはシステム・プロバイダ、研究開発 製品リソース/Webリソース ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ 85071E材料測定ソフトウェアおよび85070E誘電体プローブ・キット 参考資料 Technical Overview：Agilent 85070E誘電体プローブ・キット（5989-0222JAJP） 33 www.agilent.co.jp/find/ena www.agilent.co.jp/find/materials PCボード／サブストレート材料の誘電率測定 概要 回路が複雑になり、密度やビット・レートが高くなっているため、プリント基板（PCB）やサブストレート材料の複素 比誘電率（誘電率と誘電正接）が、回路の性能に影響を及ぼす重要なパラメータになっています。Agilent E4991Bイ ンピーダンス・アナライザと16453A誘電材料テスト・フィクスチャを使用すれば、1 GHzまでのシート材料の誘電率 を測定できる最適かつシンプルな高確度のソリューションを実現できます。 電極（エリア＝A） 等価回路 テスト上の問題 - RFレンジで薄いシート材料の誘電率を測定するのは、適切なフィクスチャがなく、また確度や周波数レンジが不足し ていたため、困難でした。 - 測定結果（インピーダンスまたはSパラメータ）から材料パラメータを計算するには、サンプルの寸法を正確に把握す る必要があります。サンプルの寸法が計算に直接影響するためです。 解決方法 - E4991Bと16453Aを使用すれば、1 MHz ∼ 1 GHzの周波数レンジでPCボード／サブストレートを測定できる最適 なソリューションになり、複素比誘電率を正確に測定でき、操作も簡単です。被試験サンプルをフィクスチャの電極 の間に挟むだけなので、材料以外に大がかりな準備は不要です。 - E4991Bにオプション002を搭載すれば、複素誘電率を直接読み取ることができます。エッジ容量の影響を補正し、 測定誤差も低減できます。 対象分野 研究開発 製品リソース/Webリソース E4991Bインピーダンス・アナライザ、1 MHz ∼ 500 MHz/1 GHz/3 GHz www.agilent.co.jp/find/e4991b 16453A誘電材料テスト・フィクスチャ www.agilent.co.jp/find/impedance-accessory 参考資料 Application note：Agilent LCRメータおよびインピーダンス・アナライザを用いた誘電率／透磁率の測定ソリューション （5980-2862JAJP） Application note：E4991Aを用いたRF部品および材料の効率的な温度特性評価（5988-9772JA） 34 誘電測定による食品の品質評価 概要 誘電特性による食品（肉、フルーツ、野菜など）の品質測定は、主要な研究分野の1つで、複素インピーダンスの周波数変 化を測定して行います。まだ確立はされていませんが、将来のアプリケーション向けに、対象を破壊せずに高速に測定 できる手法の実現を期待されています。Agilentインピーダンス・アナライザ/LCRメータは、これらの研究を加速し、 広い周波数レンジで、確度と効率の向上を実現します。 テスト上の問題 - 食品の品質を評価するための確立された方法／機器はありません。電気 測定器だけでなく測定方法も研究する必要があります。 - 測定結果は通常、温度やサンプルの違いなど、さまざまな条件で変化す るため、安定性／再現性の優れた測定器が必要です。 - 多くのサンプルをさまざまな条件で評価するため、効率的に測定する必 要があります。 解決方法 - E4990Aインピーダンス・アナライザは、20 Hz ∼ 120 MHzの周波数レンジで、再現性の高い測定を正確かつ柔軟に 実行できる、このアプリケーションに最適なソリューションです。 - E4980Aは、より低い周波数（＜2 MHz）に対応できる別のソリューションで、優れた性能をより安い価格で提供します。 - Agilentはすべてのアプリケーションにそのまま対応できる専用ソリューションを必ずしも提供できませんが、幅広い フィクスチャ／アクセサリと、電子計測の分野での経験を活かして、これらの研究分野に携わっているお客様をサポー トします。 対象分野 研究開発、教育 製品リソース/Webリソース E4980AプレシジョンLCRメータ、20 Hz ∼ 2 MHz E4990Aインピーダンス・アナライザ、20 Hz ∼ 10/ 20/ 30/ 50/ 120 MHz www.agilent.co.jp/find/e4980a www.agilent.co.jp/find/e4990a 参考資料 Application note：インピーダンス測定ハンドブック（5950-3000JA） , Measurement techniques and application of electrical properties for nondestructive quality evaluation of 論文：S.N. Jha, et.al. “ foods̶a review,”journal of food science and technology, vol. 48, pp. 387–411, 2011. 論文：G. M. Castro, et.al.“Low- frequency dielectric spectrum to determine pork meat quality,”innovative food science and emerging technologies, vol.11, pp. 376–386, 2010. 35 コンポーネントのインピーダンス/Sパラメータ測定 概要 1ポートのパッシブ・コンポーネントだけでなく、フィルタや増幅器などの2ポート・コンポーネントを含むさまざまな 種類のコンポーネントを評価する必要のある一般的な研究開発環境では、専用のインピーダンス・アナライザ （ZA）より も、ネットワーク・アナライザ（NA）ベースのインピーダンス測定ソリューションの方が適しています。E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ（5 Hz ∼ 3 GHz）にオプション005インピーダンス解析機能を搭載すれば、NAの機能 とZAの機能を1台で得られ、この要件に最適なソリューションを実現できます。 テスト上の問題 - 非常に高い確度は必要ないものの、低インピーダンス・レンジから高インピーダンス・レンジまでのさまざまなコン ポーネントのインピーダンスを測定する必要があります。 - 従来のNA/ZAコンビネーション・アナライザ（4192A、4194A、4195A、4395A、4396A/B）から移行する場合は、 これらの主要機能を、新しいアナライザでカバーする必要があります。 解決方法 - E5061B-3L5/005は、mΩから約100 kΩまでの広いインピーダンス・レンジをカバーするために、3種類のインピー ダンス測定手法（反射法、直列スルー法、シャント・スルー法）をサポートしています。 - E5061B-3L5/005は、上記の従来のアナライザの主要なNA/ZA機能をすべてカバーしています。（4195A/439xのス ペクトラム解析機能が必要な場合は、EXA/MXAなどの専用のスペクトラム・アナライザをご検討ください）。 対象分野 研究開発、教育 製品リソース/Webリソース E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ＋オプション005 www.agilent.co.jp/find/e5061b 参考資料 プレゼンテーション：Migrating 419x/439x to E5061B LF-RF VNA with new impedance analysis function （5990-7501EN） プレゼンテーション：E5061B LF-RFネットワーク・アナライザを使用したインピーダンス測定 36 コンポーネントのインピーダンス測定 （広いインピーダンス・レンジにわたって最も正確な測定を実現） 概要 インピーダンスは、電子回路／コンポーネント／材料の特性を評価する重要なパラメータです。実環境のコンポーネン ト（キャパシタ／インダクタ／共振子／ダイオードなど）にはすべて寄生成分が含まれ、純粋な抵抗またはリアクタンス ではないため、実際の動作条件では複雑な回路のような動作をします。このため、研究開発や品質保証の分野では、さ まざまな測定条件におけるコンポーネント特性の正確な評価が不可欠です。コンポーネント依存因子対周波数、AC信号 レベル、DCバイアス・レベルなどは、LCRメータやインピーダンス・アナライザを用いて評価できます。LCRメータ ／インピーダンス・アナライザは、高度な自動平衡ブリッジ法またはRF-IV法を用いて、広いインピーダンス・レンジ にわたって最高の確度（トレーサブル）を実現します。 テスト上の問題 - 非常に高い確度は必要ないものの、低インピーダンス・レンジから高インピー ダンス・レンジまでのさまざまなコンポーネントのインピーダンスを測定す る必要があります。 - 従 来 のNA/ZAコ ン ビ ネ ー シ ョ ン・ ア ナ ラ イ ザ（4192A、4194A、4195A、 4395A、4396A/B）から移行する場合は、これらの主要機能を、新しいアナ ライザでカバーする必要があります。 解決方法 - 自動平衡ブリッジ方式により、広いインピーダンス・レンジ（mΩ ∼約100 MΩ） で非常に高い確度を実現できます。 - RF-IV方式により、3 GHzまでの広いインピーダンス・レンジ（m Ω ∼ M Ω） で非常に高い確度を実現できます。 - 最新のE4990A/E4991Bは、3/4/5要素回路モデルを使用した等価回路解析機 能を備えています。 - リード付きデバイス用、0402（mm）SMD用、高温特性評価用など40種類を超えるアクセサリを使用できます。 - 材料テスト・フィクスチャやインサーキット・テスト用のインピーダンス・プローブ・キットも追加ソリューション として用意されています。 対象分野 研究開発、製造、品質保証、教育 製品リソース/Webリソース LCRメータ／インピーダンス測定製品 LCRメータ／インピーダンス測定製品アクセサリ www.agilent.co.jp/find/lcr www.agilent.co.jp/find/impedance-accessory 参考資料 プレゼンテーション：Migrating 419x/439x to E5061B LF-RF VNA with new impedance analysis function （5990-7501EN） プレゼンテーション：E5061B LF-RFネットワーク・アナライザを使用したインピーダンス測定 37 RFコンポーネント／材料の温度特性評価 概要 E4991Bインピーダンス・アナライザにオプション007温度特性テスト・キットを搭載すれば、コンポーネントや材料の 温度特性測定用のソリューションを実現できます。ESPEC SU-261などの外部温度チャンバと統合すれば、VBAサンプ ル・プログラムにより、−55 ℃∼＋150 ℃の範囲の温度特性評価を効率的に実行できます。 テスト上の問題 - システムの構成、制御プログラムの開発、測定の実行に、リソース／時間が 浪費されます。 - 温度ドリフトにより、測定結果が変動します。 - 温度チャンバを制御するためのサブルーチン・プログラムを開発するのに、 リソース／時間が浪費されます。 解決方法 - オプション007には、延長ケーブル、耐熱ケーブル、テスト・ヘッド・スタ ンド、テスト・フィクスチャ・ステーション、VBAサンプル・プログラムが 付属し、−55 ℃∼＋150 ℃の温度特性測定に対応できます。 - 16194A高温コンポーネント用テスト・フィクスチャ、16453A誘電材料テ スト・フィクスチャ、16454A磁性材料テスト・フィクスチャは、温度特性 の測定に対応しています。 - 温度ドリフト補正機能により、ドリフト誤差を大幅に低減できます。 - VBAサンプル・プログラムにより、USB/GPIBインタフェースを介してチャ ンバをシステムに容易に統合できます。 対象分野 研究開発、品質保証、教育 製品リソース/Webリソース E4991Bインピーダンス・アナライザ、1 MHz ∼ 500 MHz/1 GHz/3 GHz www.agilent.co.jp/find/e4991b 参考資料 Application note：E4991Aを用いたRF部品および材料の効率的な温度特性評価（5988-9772JA） Configuration Guide：E4991B Impedance Analyzer（5991-3894EN） Application note：インピーダンス測定ハンドブック（5950-3000JA） 38 付録-1：製品別アプリケーション・リスト E5061B ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ RF同軸ケーブルの測定 LAN/通信用ケーブルの測定 E5061B-3L5 LF-RFネットワーク・アナライザ DC-DCコンバータ／電源分配回路（PDN）の測定 リニア・レギュレータ／低ドロップアウト（LDO）レギュレータのPSRR オペアンプ回路の測定 MEMS/NEMSデバイス・モデリング／障害解析／プロセス制御 低周波からマイクロ波までのオンウェーハ・デバイスの特性評価 コンポーネントのインピーダンス/Sパラメータ測定 E5071C ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ RF同軸ケーブルの測定 LAN/通信用ケーブルの測定 実際の動作条件下でのEMCコンポーネントの測定 ミキサ／コンバータの測定 マルチポート・デバイスの測定（最大40ポート） E5071C ENAオプションTDR USB、HDMI、SATA、DisplayPortのケーブル／コネクタ・アセンブリのテスト SATAおよびMIPIのTx（ソース）/Rx（レシーバ）テスト PCボードの品質管理のためのデバイスの特性評価 車載用イーサネットのテスト／デバッグ E5092A拡張可能マルチポート・テスト・セット マルチポート・デバイスの測定（最大40ポート） E5072A ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ パッシブ相互変調（PIM）測定 RF増幅器の測定 低パワー信号による高利得増幅器の測定 パルスドSパラメータの測定 高除去比フィルタの測定 ENAシリーズ ネットワーク・アナライザ RFIDタグ測定 車載用アンテナのテスト 誘電体プローブを用いたRF材料の測定 比吸収率（SAR）テストのためのファントム材料の評価 39 付録-1：製品別アプリケーション・リスト（続き） E4980AプレシジョンLCRメータ 液晶セルの容量特性 MEMS/NEMSデバイス・モデリング／障害解析／プロセス制御 MOSデバイスのオンウェーハC-V特性評価 テスト・フィクスチャによる固体／液体材料の測定 誘電測定による食品の品質評価 E4990Aインピーダンス・アナライザ RFIDタグ測定 インサーキット・インピーダンス測定（グランド接続測定） 液晶セルの容量特性 MEMS/NEMSデバイス・モデリング／障害解析／プロセス制御 MOSデバイスのオンウェーハC-V特性評価 誘電測定による食品の品質評価 E4991Bインピーダンス・アナライザ 実際の動作条件下でのEMCコンポーネントの測定 プロービング・システムによるオンチップ・デバイスの測定 テスト・フィクスチャによる固体／液体材料の測定 PCボード／サブストレート材料の誘電率測定 RFコンポーネント／材料の温度特性評価 インピーダンス・アナライザ/LCRメータ インダクタ、EMIフィルタ、キャパシタ、レジスタの製造テスト コンポーネントのインピーダンス測定（広いインピーダンス・レンジにわたって最も正確な測定を実現） 40 付録-2：製品移行ガイド ネットワーク・アナライザ 以前の製品 後継製品 8712/14ET E5061B 8712/14ES E5061B 8719/20C/22C E5071C、E5072A 8719/20/22D E5071C、E5072A 8719/20/22ET E5071C、E5072A 8719/20/22ES E5071C、E5072A 8752A/B/C E5071C、E5072A、E5061B RF NA 8753A/B/C E5071C、E5072A、E5061B RF NA 8753D/E/ET/ES E5071C、E5072A、E5061B RF NA E5061A/62A E5061B RF NA E5070A/71A E5071C、E5072A E5070B/71B E5071C、E5072A 3577A/B E5061B LF-RF NA R&S ZVA、ZVB、ZVL、ZVT、ZVR、ZVC、ZVM E5071C、E5072A、E5061B RF NA、E5061B LF-RF NA マルチポート・テスト・セット E5091A E5092A インピーダンス／ゲイン・フェーズ／ マテリアル・アナライザ 4192A/94A/95A/4294A E5061B LF-RF NA、E4990A LCRメータ 4396A E5061B LF-RF NA、E4991B 4395A/4396B E5061B LF-RF NA、E4990A 4191A E4991B 4291B E4991B 4191A E4991B TDR（サンプリング）オシロスコープ 4261/62A/63A 4263B 4332A 4263B 4274/76/84A E4980A 4275/77A E4980A、4285A 4329/39A 4339B 4268/88A E4981A 4286/87A E4982A Tektronix DSA8200、CSA8200、CSA8000、 CSA8000B、TDS8000、TDS8000B、TDS8200B、 11801、11801A/B/C E5071C ENAオプションTDR より安価に最高の柔軟性で最新テクノロジーに対応 プレミアム・トレードアップ：www.agilent.co.jp/find/trade 41 www.agilent.co.jp myAgilent myAgilent http://www.agilent.co.jp/find/myAgilent お客様がお求めの情報はアジレントがお届けし ます。 契約販売店 www.agilent.co.jp/find/channelpartners アジレント契約販売店からもご購入頂けます。 お気軽にお問い合わせください。 アジレント・アドバンテージ・サービスは、お 客様の機器のライフタイム全体にわたって、お 客様の成功を支援します。また、サービスの品 質向上、サービス内容の充実、納期の短縮に継 続的に取り組みます。こうした取り組みは、機 器の維持管理費の削減にも繋がると信じており ます。このような修理・校正サービスに支えら れたアジレント製品を購入後も安心してお使い ください。機器およびサービスの管理の効率化 に、Infoline Webサービスもご活用いただけま す。修理・校正サービスを通じて、お客様のビ ジネスの成功に貢献できるよう努め、エンジニ アは専門知識を積極的にお客様に提供します。 www.agilent.co.jp/find/advantageservices www.agilent.co.jp/quality アジレント・テクノロジー株式会社 本社〒 192-8510 東京都八王子市高倉町 9-1 計測お客様窓口 受付時間 9:00-18:00（土・日・祭日を除く） TEL ■■ 0120-421-345 (042-656-7832) FAX ■■ 0120-421-678 (042-656-7840) Email [email protected] 電子計測ホームページ www.agilent.co.jp ● 記載事項は変更になる場合があります。 ご発注の際はご確認ください。 © Agilent Technologies, Inc. 2014 Published in Japan, August 11, 2014 5991-1475JAJP 0000-00DEP