高電圧DC重畳インピーダンス 測定システム

高電圧DC重畳インピーダンス
測定システム
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最大600 VのDC電圧重畳
100 kHz～500 MHzの周波数範囲
測定手法を使い分け、広いインピーダンス測定範囲
近年、大電力環境下で使用するデバイスの需要が高まってきております。これらデバイスでは
効率や電磁波ノイズに関する性能が重要であり、インピーダンスを測定することにより効率や電
磁波ノイズを評価することができます。
デバイスにはDC電圧依存性があり、DC電圧を印加していないときとDC電圧を印加しているとき
でインピーダンスが変化するものがあります。実環境でのデバイスの性能を評価するためには
実環境に近いDC電圧を印加した状態でインピーダンスを測定する必要があります。
アジレント・テクノロジーでは、最大600 VのDC電圧を印加できるバイアス・ティーとネットワーク・
アナライザを組み合わせて、高電圧DCバイアスを重畳して高周波のインピーダンスを測定でき
るシステムを開発しました。（図1. 高電圧重畳インピーダンス測定システム）
本システムのDC電圧、DC電流、測定
周波数の範囲は次の通りです。
DC電圧：
-600 V ～ 600 V
DC電流：
-2 A ～ 2 A
測定周波数： 100 kHz ～ 500 MHz
インピーダンス測定可能範囲はイン
ピーダンス測定手法によって異なりま
す。大よそのインピーダンス絶対値の
測定可能範囲は次の通りです。
反射法：
1 Ω ～ 1 kΩ
シャントスルー法： 10 mΩ ～ 100 Ω
シリーズスルー法： 10 Ω ～ 10 kΩ
次ページの図2に各手法での被測定
物の接続図を示します。
図1. 高電圧重畳インピーダンス測定システム
図2. 反射法、シャントスルー法、シリーズスルー法での被測定物の接続図（DC電圧印加）
図3. 220nF 高誘電率系 多層セラミックコンデンサ（X7R, 定格630V） 静電容量の特性
アジレント・テクノロジー株式会社
図3に高誘電率系の多層セラミックコンデンサの静電
容量を周波数100k-500MHz、DC電圧0V-600Vの範囲で
測定した結果を示します。定格が630Vのコンデンサです
が、600VのDC電圧を印加すると静電容量が1/5以下に
なりました。
このようにDC電圧依存性があるデバイスを正しく評価
するためには、実環境と同じDC電圧を印加した状態で
インピーダンスを測定する必要があります。
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©Agilent Technologies. Inc. 2014
Published in Japan, February 28,2014
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