Agilent 4284A, E5250A

Agilent 4284A, E5250A
業界標準器による自動 CV 測定
Case Study
2003 年 8 月
概要
半導体デバイスの高集積化、微細
化に伴い、特性の正確な評価がま
すます重要になってきています。
酸化膜や不純物濃度などを評価す
るために、正確な容量測定を行う
ことが必要です。アジレント･テ
クノロジー株式会社では、
Agilent 4284A を使用した、ソフ
トウェアによる自動測定に対応し
た高精度容量測定を提供しており
ます。
特長
高確度な測定
4284A プレシジョン LCR メータを
使用することにより、１MHz での
容量測定確度は 0.05%を実現して
います。
高分解能 CV 測定
低信号レベルでの小容量デバイスの
精密な測定や、CV 特性の急峻な変化
部分を正確に測定できます。また、
測定ケーブルや、スキャナを含めた
測定系の誤差補正を簡単に行える測
定システムを容易に実現できます。
プローバと PC を用いた自動化測定
環境を提供します。測定シーケンス
の制御やプロービング・パターンの
設定が可能です。
特性解析
データ解析機能
測定結果や、解析結果はグラフやテ
キスト形式で表示されます。
Microsoft Excel などの Windows ア
プリケーションで利用することも可
能です。
測定した任意のチップについて、解
析項目を任意に指定し、データ解析
を行うことができます。
データ解析機能をお客様の仕様にあ
わせてカスタマイズ
自動測定システムを構築
CSV ファイル
動作環境
オペレーティング・システム
Microsoft Windows 2000
CPU
Pentium III 500MHz 以上
お客様のご要望にあわせて機能追加
やカスタマイズをすることができま
す。
解析機能に関する主な仕様
解析機能
酸化膜厚、基板不純物濃度、
フラットバンド電圧、表面電荷密度、
しきい値電圧
CV 特性例
データ出力形式
ハードディスク
100MB 以上の空き容量
メモリ
256MB 以上
制御用インターフェース
GP-IB インターフェース：
q Agilent Technologies 製
q National Instruments 製
・
記載事項は変更になる場合が有ります。ご
発注の際はご確認ください。
・
Microsoft および Windows は、Microsoft
Corporation の米国における登録商標です。
Copyright 2003
アジレント・テクノロジー株式会社
Aug 20, 2003
サポートされる測定器
q
q
4284A プレシジョン LCR メータ
E5250A 低リークスイッチ・メイ
ンフレーム
サポートされるプローバ
Cascade Microtech
Summit 12k シリーズ
ソリューション提供内容
5988-9979JAJP
システム一式
取り扱い説明書
Y ソフトウェア使用権
Y 納入後 3 ヶ月の無償サポート
Y 出張納入トレーニング
Y ソフトウェアのカスタマイズ
（オプション）
Y 計測システムのコンサルティング
（オプション）
Y
Y
SUSS MicroTec
PA200
東京エレクトロン
P-8、19S、20S
東京精密
UF200、UF300
お問い合わせ先
上記以外の測定器、プローバも対応
が可能です。
自動計測本部 サービス・サポート部門
TEL： ０４２６－６０－８６１５
FAX： ０４２６－６０－８６１７
お客様個別のサポート要求につきましては、弊社担当営業、
または 担当エンジニアへご相談ください。
認証番号： 81840