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Park NX-Hivac - Park Systems
最も正確な原子間力顕微鏡 Park NX-Hivac 世界で最も正確で操作性の高い 故障解析用真空ＡＦＭ www.parkAFM.co.jp Park NX-Hivac 故障解析アプリケーションに適した真空環境スキャニング 2 1.2 1.6 故障解析担当エンジニアは、Park NX-Hivac型ＡＦＭにより真空SSRM計測の感度と 3 4 5 6 7 またプローブ先端と試料間のダメージも大気中やＮ２環境よりも軽減されるので、 ユーザーはこの故障解析アプリケーションで広範囲のドーパント濃度と優れた信号応答で 0 0.8 2 0.4 1 分解能を向上できます。真空中で測定することにより更に高い精度と優れた再現性が得られ、 0 1 2 3 4 5 計測が可能になります。 ライン プロファイル 真空環境でSSRM計測を行うことにより、チップ-試料間の力を小さくしてチップ及び試料の 1 2 両方のダメージを大幅に削減できます。これにより、それぞれのチップ寿命を伸ばすことで、 3 測定のコストと運用効率を向上させることができ、また同時に、空間分解能とS/N比も改善で 0.75 4 電流 (nA) 1 きる為にもっと正確な測定結果を得ることができます。 したがって、NX-Hivac型を使用した 5 真空SSRM計測は故障解析エンジニアに彼らのスループットを向上させ、コストを削減と 0.5 精度を改善するという素晴らしい選択を与えてくれます。 0.25 7 6 0 0 1 2 3 4 5 走査範囲 (µm) キャリブレーション試料（Ｎタイプ）のSSRM画像 3 2 1 x 10 / Cm 2 x 1019 / Cm3 2 x 1018 / Cm3 1 x 1017 / Cm3 1 x 1016 / Cm3 1 x 1015 / Cm3 2 3 4 5 6 3 1 20 0 1 4 チャンバ 5 0 2 4 6 8 10 12 ライン プロファイル 103 排気 1 2 102 電流 (µA) 3 4 101 ゲート 5 6 100 0 2 4 6 粗びき 8 10 12 走査範囲 (µm) キャリブレーション試料（Pタイプ）のSSRM画像 ターボ ポンプ フォアライン ドライ ポンプ Park NX-Hivac 進化した自動化機能 NX-Hivac型はユーザーの入力パラメータを最小にした装置です。 その為に、ユーザーはより速いスキャンを行い研究のスループットを 上げることができます。 電動ステージによるStepScan自動計測 StepScanでは、ユーザーが複数のエリアの イメージングが行えるように、装置に素早く且つ 簡単にプログラムが行えます。NX-Hivac型では、 スキャン、カンチレバーのリフト、ユーザーの 設定した座標まで電動ステージの移動、 アプローチをする及び繰り返す、というわずか ５ステップでスキャンを行えます。これにより、 生産性を非常に向上させると同時にユーザーの 入力を最小限にします。 電動レーザー アライメント Park社の電動レーザービームアライメント機構により、ユーザーの入力無しで そのまま自動計測ルーティンを継続できます。Park社の最先端のプリアライン されたカンチレバーホルダーを使用することで、交換されたカンチレバー上に レーザービームがフォーカスされます。それから電動ポジションノブによって レーザースポットは、 Ｘ及びＹ軸方向に沿って最適化されます。 ダブテイル-ロック マウント ＡＦＭヘッドは、ダブテイル レールにより数µmの位置再現性で 素早く且つ簡単に取り付けられます。 マルチ サン サンプル チャック これにより、 マグネット チャックにより最大５試料まで固定できます。 チ 真空のポンピングや排気の実施回数を減らし、 生産性を向上できます。 真空 真 のポンピ 大型真空チャンバ NX-Hivac型のチャンバ サイズは、300 mm X 420 mm X 320 mmで、ユーザーは 真空を破ることなく従来の真空ＡＦＭでは出来なかった大きなサイズの試料又は多数の 試料をスキャンすることが可能です。 チップとサンプルの容易な交換性 ユニークなヘッド設計により、側面から簡単にアクセスできる ためにチップの取り付けを素早くでき、また試料のセットも 容易です。カンチレバーホルダー上に予め位置調整して マウントされたカンチレバーを使用することで、カンチレバーの 交換時に厄介なレーザービーム調整作業をしなくてもすぐ スキャンが開始できます。 手で素早く取付け Park NX-Hivac 生産性向上の為の設計 NX-Hivac型は、他の先端ＡＦＭ群に比べて、操作性においてより便利で有効な特徴を たくさん持っています。 Park SmartScan™ 進化した自動化機能 ＡＦＭのニーズが学術的研究、工業用形状計測又は故障解析等どの場合にフォーカスされていても、 NX-HivacのSmartScan自動モードにより、外部公開できる高い品質のＡＦＭデータを直ぐに取得 することができます。更にSmartScanにより、初心者の方でもＡＦＭ熟練者と同等の高品質データ を、非常に短時間で得られます。 Park Hivac Manager NX-Hivac自動真空制御 Hivacマネージャーの制御により、最適な真空状態までのポンピングと排気プロセスが、ワンボタン 操作だけで論理的及び視覚的に制御されます。それぞれの工程は色と図式の変化により視覚的に モニタリングができるので、ワンボタン操作の後は真空操作の手順について心配の必要があり ません。より高速で簡単な真空制御ソフトウエアにより、真空ＡＦＭにおける操作の簡便性と高い 生産性が実現されました。 Park Hivac Manager NX-Hivac自動真空制御 自動真空引きと排気 NX-Hivac型は真空引きと排気の自動制御を設定できるので、人間の入力作業を削減して計測の工程を迅速に してくれます。平均ポンピングスピードは、ターボ ポンプとドライ ポンプを使用することで、 約10-5Torr/5分以下です。 ユーザーフレンドリ インターフェース 大きな光学窓によりPSPD上のレーザービームアライメントにおけるレーザースポット、チップ及びサンプル位置の確認が容易です。また、 ＣＣＤ画像により、視野、 ＸＹステージ、 Ｚステージ、光学ステージ及び光長等の制御が簡単です。 1 2 SmartScan™自動モードで ワンクリック イメージング ＡＦＭのイメージングにおいてオペレータが決めなければいけないことは、 3 品質―速度の選択、画像ピクセル及びスキャンサイズです。この条件以外のＡＦＭ 測定パラメータについては、自動測定モードの SmartScan に任せられます。 システムは、ワンボタンのクリック操作で自動的にイメージング条件の最適化を 4 して測定を開始してくれます。 Park NX-Hivac 精度と生産性の向上 NX-Hivac型は世界で最も正確且つ高性能なＡＦＭの1台でありながら、同時に、故障解析において最も操作が簡単で利便性の 高いＡＦＭの一台です。Park NX-Hivacにより、生産性と測定結果の確実性による信頼性を向上できます。 クローズド ループ ＸＹスキャナとＺスキャナ 試料走査用クローズドループ ＸＹスキャナとプローブ走査用クローズドループ Ｚスキャナが分離している為に、非常に正確に スキャンを行うことができます。NX-Hivac型は、ボウイングエラーが小さく平坦且つ直交動作のＸＹスキャナにより、全スキャン 範囲において1nm未満の平坦動作が可能です。NX-Hivac型は、15µmのスキャンレンジで0.5%のノンリニアリティの Ｚスキャナを装備します。これにより、ユーザーがソフトウエアによる画像処理をしなくても、正確な２Ｄ及び３Ｄ測定が行えます。 低ノイズＸＹＺ位置センサー NX-Hivac型は、低ノイズＸＹスキャナによりその往復スキャンにおいて 0.15%という最小誤差の性能を持つと同時に、Park ＡＦＭが業界を リードする低ノイズＺ検出器を装備し、正確な試料形状の計測が行えます。 ２４ビット デジタル エレクトロニクス NX-Hivac型は、 トレードマ―クのＮＸシリーズ コントローラにより不必要な時間を最小にして、正確性を最大にすることができます。 このコントローラは、ノンコンタクトモードを含む広範囲な計測モードを可能にした、全デジタル制御の２４ビット高速デバイスです。 低ノイズ設計と高速処理機構により、ナノスケール イメージングと同様に高分解能による電圧及び電流計測も可能です。 内蔵エレクトロニクスのデジタル処理機能により、計測データや画像データを簡単に解析できます。 仕様 スキャナ 光学系 ＸＹスキャナ: 50 µm × 50 µm (100 µm x 100 µm オプション) 対物レンズ: 10 倍 Ｚスキャナ: 15 µm CCDピクセル：5M 試料ステージ 寸法 ＸＹステージ移動距離: 22 mm x 22 mm 真空チャンバ (内部寸法): 300 mm x 420 mm x 320 mm 試料サイズ: 50 mm x 50 mm, 厚さ20 mm（最大） 真空チャンバ(外部寸法、定盤＆ポンプを含む): 800 mm x 950 mm x 730 mm ソフトウエア エレクトロニクス SmartScan: Park AFM オペレーティング ソフトウエア ADC: 18 チャンネル XEI: AFM データ解析ソフトウエア 4 チャンネル高速ADC (50 MSPS) Hivac マネージャー: 自動真空制御ソフトウエア 24ビットADC（ Ｘ、 Ｙ及びＺポジションセンサー用） 真空 DAC: 12 チャンネル 2 チャンネル高速DAC (50 MSPS) 真空レベル: 1 x 10-5 torr以下 （公称値） 20ビットDAC（Ｘ、 Ｙ及びＺ位置制御用） 真空引きスピード: 10-5 torr /5分以内 3 チャンネル 内蔵ロックイン アンプ 最も正確で最も使い勝手のよい原子間力顕微鏡をご提供するために パークシステムズの基礎はスタンフォード大学 にあります。パークシステムズの創設者である The global headquarters is located at Sang-il Park博士は、1/4世紀以上前に世界 Korean Advanced Nanotechnology Center (KANC) in Suwon, Korea. で最初のAFM技術を開発したグループの一員 でした。博士は大学での技術完成後、最初の商 用AFMを作り上げ、パークシステムズを誕生さ せました。 パークシステムズは、今でも当初の革新的な精 神にしたがって日々努力をしています。当社の 長い歴史と共に、真の非接触モード™、そして 多くの自動化ソフトウェアのような革新的な機 能により、最も正確でかつ非常に使い勝手のよ い原子間力顕微鏡装置を提供できることを光 栄に思っています。私たちは、過去の成功の上 に漫然としているわけではありません。私達の 製品すべては、皆様自身が装置に気をつかうこ とがないよう、またよりよい結果を得るために、 会社創設当初の細心の注意と創造性をもって 設計されています。 パーク・システムズ・ジャパン株式会社 〒101-0054 東京都千代田区神田錦町1-17-1 NK第一ビル TEL: 03-3219-1001 FAX: 03-3219-1002 E-MAIL: [email protected] www.parkAFM.co.jp HEADQUARTERS ASIA EUROPE AMERICAS GLOBAL HEADQUARTERS: +82-31-546-6800 China: +86-10-6401-0651 France: +33-1-6953-8023 USA: +1-408-986-1110 AMERICAS HEADQUARTERS: +1-408-986-1110 India: +91-40-655-88-501 Germany: +49-6103-30098-0 Canada: +1-888-641-0209 JAPAN HEADQUARTERS: +81-3-3219-1001 Indonesia: +62-21-5698-2988 Italy: +39-02-9009-3082 Brazil: +55-11-4178-7070 SE ASIA HEADQUARTERS: +65-6634-7470 Malaysia: +603-8065-3889 Israel: +972-3-923-9666 Chile: +56-2-2245-4805 Pakistan: +92-51-4444-112 Romania: +40-21-313-5655 Colombia: +57-347-0060 Philippines: +632-239-5414 Russia: +7 (495) 22-11-208 Ecuador: +593-2-284-5287 Saudi Arabia: +966-2-640-5846 Spain and Portugal: +34-902-244-343 OCEANIA Singapore: +65-6276-8884 Switzerland: +41-22-788-9186 Taiwan: +886-2-8227-3456 Turkey: +90-312-236-42-0708 Australia and New Zealand: +61-2-9319-0122 Thailand: +662-668-2436 UK an Ireland: +44(0)1372-378-822 UAE: +971-4-339-2603 Benelux, Scandinavia, and Baltics: +31-184-64-0000 Vietnam: +844-3556-7371 NXHivac150730J12AB Park Systems