Transpector® XPR3

Transpector
XPR3
Gas Analysis System
®
H I G H - S E N S I T I V I T Y I N - S I T U G A S A N A LY S I S
AT E X T E N D E D P R E S S U R E S
PVD process monitoring
without complex pressure conversion
LOWER COSTS,
H I G H E R P R O F I TA B I L I T Y
ION SOURCE REDESIGNED
FOR LONGER LIFE
トランスペクターXPR3をプロセス監視に活用することで、汚
INFICON特許のデュアルイオンソースは、汚染物質の影響を
染レベル、アウトガスレベル、プロセスガス純度、装置の動
最小にするために改良が加えられました。これによってイオン
作などのリアルタイムデータを得ることができます。得られ
ソースの寿命が延長されています。
た情報は、生産性の向上、問題点の特定と診断による歩留ま
このデュアルイオンソースから供
りの改善、より効果的かつ効率的な予防整備の実施による
給されるイオン流の1つは、分圧
ツール稼働時間の改善などのために役立てることができます。
測定のために四重極フィルタへ供
給され、もう1つのイオン流は全
TRANSPECTOR XPR3 FEATURES AT A GLANCE
圧のコレクターに送られます。こ
■ イオンソースの再設計により汚染物質の影響を抑え、寿命の延
れにより、イオンゲージよりも高
長とクリアーな信号の提供を実現
い精度で連続的に全圧を測定する
■ PVDプロセス圧で動作する新しいEM（2次電子増倍管）により、
ことができます。この革新的なア
迅速でクリーンなデータ収集が可能になるとともに、FCからEM
プローチによって高圧域での感度
への変更が不要になったためデータ変換も容易
■ 新に延長された新四重極により低質量範囲でのフィルタ性能と
アバンダンス感度が改善され、水素検知感度も向上
The new ion source in the
Transpector XPR3 minimizes
contamination and extends
the life of the sensor.
損失が改善され、0.1 Pa単位での測定精度が実現されています。
従来のシングルイオンソースセンサーは応答が非直線的で、高
圧域で精度が低下するという問題がありましたが、2つのイオ
ンソース間の相互作用によってこの問題も解決されています。
トランスペクターXPR3は、四重極をベースとした次世代の
新しいイオンソース構造により、トランスペクターXPR3は、
高圧プロセスモニタです。XPR3は、過去の弊社システムの
よりクリアーな（S/N比）信号を実現しました。
経験を基に設計されており、前例のない感度と精度、および
スペクターXPR3は、一連の技術革新により、そのコンパク
NEW HIGH-PRESSURE
E L E C T R O N M U LT I P L I E R Y I E L D S
FA S T E R , C L E A N E R D ATA
トな外見にもかかわらず2.6Paから高真空まで、広い範囲で
新しいINFICONの2次電子倍増管（EM）は、1.3Pa（10mTorr）
使用することができます。大型で複雑な差動排気装置は必要
までのすべての範囲で直線的に動作します。これによって、高
ありません。
圧域での測定にファラデーカップ（FC）を使用する必要がな
柔軟性で、PVDプロセスを監視することができます。トラン
くなりました。また、EMモードとFCモードの切り替えがない
TRANSPECTOR XPR3 APPLICATIONS
■ PVDプロセスモジュール
ため、プロセスモニタからインターウェハーモニタへの移行
（またはその逆）も非常にスムーズで、データ変換も容易です。
■ プレクリーンモジュール
さらに、プロセスおよびポンプダウン全体を通じてEMをONに
■ デガスモジュール
しておくことにより、比較的短い滞留時間でもクリアーな信号
を得ることができます。
Simulated PVD process
showing 10 ppm
detection of process contaminants during Argon ON
time.
NEW QUADRUPOLE IMPROVES
HYDROGEN DETECTION
DIMENSIONS
四重極が延長されたことによって低質量域でのフィルタ性能
とアバンダンス感度が改善されたため、ゼロブラストが低減
4.9"/124 mm
し水素検知レベルも向上しています。
INFICONでは、独自の製造工程採用によって四重極フィル
2.6"/
66 mm
ターロッドの機械的組み立てを廃止したため、正確なアラ
5.6"/
143 mm
イメントが保証され、未完成な四重極設計で起こりがちな
擬似ピークやピークの乱れもなく、優れた質量分解能を実
現できるようになりました。
INTERLOCK PROTECTION
INFICONのピラニゲージは、トランスペクターXPR3の圧力を
直接監視し、圧力が上限値を超えた場合はフィラメントをOff
2.7"/
69 mm
にして保護します。圧力が安全な動作範囲に戻れば、フィラ
メントを自動的にOnすることもできます。
2.6"/
66 mm
1.8"/
46 mm
T O TA L S U P P O R T
6.9"/175 mm
1.7"/
43 mm
INFICONは、半導体用質量ガス分析計の世界的リーダーとし
て、生産性向上に寄与する革新的で信頼性の高いモニタリン
グシステムの開発を行う体制を整えています。さらに、アプ
リケーションおよびサポートのエキスパートで構成する世界
的なネットワークにより、必要なときはいつでも、またどこ
でもお客様を支援することができます。
9.3"/237 mm
Dimensions do not include Pirani interlock (not shown).
S P E C I F I C AT I O N S
質量範囲（amu）
1–100
分解能（1993 AVS推奨方法による）
< 1 @ 10%、質量4、20、28、40で測定
質量フィルタータイプ
四重極
検出器タイプ
Off-axis FC および マイクロチャンネルプレートEM
温度係数（FC信号 Ar 1.3E-2 Pa時）
ピーク高さとして1℃あたり< 1%
質量ピーク安定性
（FC信号 Ar 1.3E-2 Pa時、STP一定）
24時間で< 0.1 amu
質量ピーク比安定性（2/40、4/40、20/40、28/40）
24時間で< 2%
感度（公称）
FC ＠ 40 eV/200 µA
EM ＠ 40 eV/200 µA
≧ 3E-9 amps/Pa
≧ 3E-5 amps/Pa
最小検出分圧
FC ＠ 40 eV/200 µA
EM ＠ 40 eV/200 µA
≧ 1.3E-7 Pa
≧ 8E-10 Pa
最大動作圧
FCまたはEM
FCまたはEM（Linear operation）
2.6 Pa
1.3 Pa
センサー最大動作温度
150°C
最大焼き出し温度（SCU取り外し）
200°C
PPM検出限度（@ 0.13 - 0.65 Pa プロセス圧力）
10 ppm
動作温度
20-50°C
入力電源
20-30 V DC、9ピンDコネクタ（オス）、システムGNDとは
内部で絶縁
RS232シリアル通信インターフェイス
非絶縁、ボーレート1200∼9600ボー、9ピンDコネクタ
（メス）
RS485通信インターフェイス（アドレス可能）
絶縁、ボーレート固定（57,600）、半二重、固定アドレス
1-31、9ピンDコネクタ（メス）
リレー出力
4系統、24V-0.5A（動作ステータス×1、
リミット設定点×3）
入力
非絶縁TTL入力×2、接点入力、差動アナログ入力×2、
0-10V DC
注： すべての仕様値は、30分間暖機を行った後の値です。
MDPPは、ノイズ（最小検出分圧）の標準偏差を、滞留時間4秒で測定したときのセンサー感度で除して求めたものです。
インフィコン株式会社
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W E B サ イ ト w w w. i n f i c o n . c o m
本カタログの記載内容について性能向上のため予告なく変更する事がありますのでご了承下さい。
aibc02a1 ©2003 INFICON Inc.
FRM-5-225 Rev. 0, NOV.2003