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C10G-0076F 太陽電池材料・セル・モジュール開発・製造と分析評価機器
C10G-0076F −次世代エネルギーの発展に貢献する− Analytical Instruments for PV R&D and Manufacturing Process 太陽電池材料・セル・モジュール開発・製造と 分析評価機器 Shimadzu’s wide solutions for PV R&D and manufacturing process contributes to product’s higher conversionefficiencies, reliability and yields. 材料評価装置 セル 工 程 評 価 装 置 結晶Si CIS/ CIGS/ C d Te 薄膜Si 有機系 （色素増感・ 有機薄膜） モジュー ル 工程評価装置 太 陽 電 池 開 発 、製 造 に お ける 材 料 、セ ル 、モ ジュー ル 分 析・評 価 材料評価 評価装置 分析・評価内容 結晶Si ワイヤーソー細線化に伴う引っ張り強度試験 ● Siウェハ薄化に伴う曲げ試験 ● 超微小硬度計 光吸収層薄膜、 Ag配線硬度 ● 微小圧縮試験機 スペーサー圧裂強さ試験 粒子径測定装置 Siインゴッド切断研磨剤、 酸化Ti、金属ナノパウダー粒径評価 ● ワイヤーソー細線化に伴う引っ張り疲労試験 ● 引張、圧縮、曲げ、剥離試験装置 疲労試験装置 薄膜Si ● 有機系 CIS/CIGS/CdTe （色素増感・有機薄膜） ● ● ● フレキシブル基板材料強度試験・引っ張り疲労試験 ● ● ● ● ● ● ● レオロジー評価装置 金属ペースト材料、 ゲル化電解液の粘度、 流動性、 体積変化評価 ● 熱分析装置 フィルムの結晶性、 耐熱性評価 ガラス、 フィルムの熱膨張試験 ● ● ● ● 赤外分光光度計 EVAフィルム、ポリマー基板、 材料の成分解析、 劣化解析 ● ● ● ● EVAなど透明封止フィルムの成分解析、 劣化解析 ● ● ● ● 結晶Si 薄膜Si （紫外線照射）ガスクロマトグラフ質量分析計 セル 工 程 評 価 評価装置 ラマン分光光度計 X線回折装置 分析・評価内容 μc -Si膜の結晶化率評価 （インライン・オフライン） ● μc -Si膜の結晶化率評価 ● 薄膜配向評価 ● バンドギャップ評価 分光光度計 赤外分光光度計 有機系 CIS/CIGS/CdTe （色素増感・有機薄膜） 紫外−可視−近赤外範囲での反射率・透過率測定 （310 mm × 310 mmまでの試料マッピング測定） ● ● ● ● ● ● ● ● 有機異物、 成分分析、 Si-H結合強度評価 （マッピング対応） ● ● 多結晶Si中カーボン測定 ● 集束イオンビーム／ 走査電子顕微鏡 電子線マイクロアナライザ Ag配線焼結過程観察、 CIGS膜組成分析(表面/深さ方向) ● ● ● ● 走査型プローブ顕微鏡 ナノレベル表面構造観察、表面電位・電流など各種物性評価 ● ● ● ● 走査電子顕微鏡 電子線マイクロアナライザ 微小エリア表面観察、 元素分析 ● ● ● ● レーザー顕微鏡 レーザ/メカニカルパターニング、Ag配線3次元形状計測、 Si/TCO表面テクスチャ形状評価 ● ● ● ● 光電子分光装置 CIGS・CIS膜、バッファ層の表面／深さ方向の 化学結合状態、 組成分析 ● ● ● 蛍光X線分析装置 CIGS・CIS膜、バッファ層の組成分析、 膜厚測定 ● プラズマ発光分光分析装置 CIGS・CIS膜、バッファ層の組成分析 ● 色素・ポリマー分取 高速液体クロマトグラフ質量分析計 有機化合物成分分析、 シングルナノ粒子径測定装置 酸化Ti粒子などナノオーダー粒子の粒子径・粒度分布測定 比表面積/細孔分布測定装置 酸化Ti粒子の比表面積、細孔分布(細孔体積、平均細孔径、密度)測定 ● ● ● ● モジュール 工 程 評 価 評価装置 分析・評価内容 結晶Si 薄膜Si 有機系 CIS/CIGS/CdTe （色素増感・有機薄膜） X線透視装置 電極の接合部評価 ● ● ● ● 材料試験装置 電極の接合部強度評価 ● ● ● ● EVAフィルム、バックシート、 タブストリング剥離試験／引っ張り試験 ● ● ● ● モジュール荷重試験 ● ● ● ● モジュール曲げ試験 ● ● ● ● モジュール疲労試験 ● ● ● ● レオロジー評価装置 高分子材料レオロジー評価 ● ● ● ● 熱分析装置 封止膜熱硬化評価 ● ● ● ● 万能試験装置 上記以外にも材料、 セル （結晶Si、 薄膜Si、 CIGS/CIS薄膜、 色素増感・有機薄膜） やモジュール開発、 製造において対応可能な各種分析、試験装置をご用意しております。 詳しくは弊社営業までお問い合わせください。 結晶Siセル製造工程 工程 工程 1 Si基板表面洗浄 工程 2 表面ダメージ層除去 工程 3 光閉じ込め効果の為のテクスチャ形成 4 p拡散により n型層形成 n型 Si p型Si基板 p型Si基板 8 表面有機汚染測定、 p型Si基板 3 ダメージ層除去後表面形状観察 Siウェハ面内カーボン偏析／FTIR N p型Si 基板 3 テクスチャ凹凸形状観察／OLS 8 n型Si基板表面のP定量／FTIR ／OLS 9 エッチング液不純物測定／ ICP 薄膜Siセル製造工程 工程 工程 1 透明導電膜形成 （光閉じ込めテクスチャー） 工程 2 P1パターンニング 工程 3 a-Si光吸収層形成 （p、i、n層） 4 微結晶Si光吸収層形成 （p、 i、 n層） n型微結晶Si TCO TCO 観察／OLS 5 TCO中フッ素測定／EPMA EDX-720 【用途】 ・CIGS/CIS、バッファ層、TCO薄膜 の（非破壊） 組成・膜厚分析に。 【特長】 ・Na-Uまで幅広い元素の組成・ 膜厚測定が可能。 ・コリメーターによりX線照射エ リア変更可能。 4 TCO ガラス基板 7 a-Si／微結晶Si膜の透過・反射率測定／SolidSpec 10 微結晶Si膜配向測定／XRD ／SolidSpec 1 i型a-Si p型a-Si 8 a-Si／微結晶Si膜Si-H結合分析／FTIR 7 （導電膜付）基板透過・反射率測定 エネルギー分散型 蛍光X線分析装置 i型a-Si p型a-Si ガラス基板 （高さ・幅） 3 パターンニング形状 2 テクスチャ凹凸形状観察／SPM i型微結晶Si p型微結晶Si n型a-Si TCO ガラス基板 ガラス基板 n型a-Si 18 微結晶Si膜の結晶化度評価／顕微ラマン分光光度計 走査型プローブ顕微鏡 3D測定レーザー顕微鏡 走査電子顕微鏡 電子線 マイクロアナライザ SPM-9700 OLS4000 シリーズ Quanta シリーズ EPMA-1720/1720H 2 3 4 5 【 途】 【用途】 ・各種薄膜の成膜前後、特殊処 理 前 後 の ナノ領 域 三 次 元 計 測、物性測定に。 【特長】 ・表面電位、磁気力、粘性、弾性など形 状以外の物理量測定が可能。 ・特殊測定環境中(温度、湿度、 ガ ス雰囲気etc)での原子レベル形 状観察が可能。 【用途】 ・Si基板、TCO表面テクス チャー凹凸形状や各種薄膜の表 面形状・ラフネス評価に。 【特長】 ・mm∼μm台の視野での表面観察 とμm∼nm台の高さ測定が可能。 ・試料の冷却・加熱による変化（融解・ 移転・結晶化・軟化・膨張・分解・酸化 etc）観察可能（オプション）。 ・大型基板にも対応（オプション）。 【用途】 ・Si/金属化合物/有機薄膜など各種 薄膜の表面・界面状態観察、元素・ 結晶方位・光学的解析に。 【特長】 ・含水/油試料の観察や加熱（最 大1300度）/冷却状態、引張/圧 縮試験などをIn-Situで観察、 ムービー録画可能。 ・FIBによる深さ方向・断面観察。 【用途】 ・表面形状観察、元素分布解析、 電極界面の解析、その他、微小 部の定性・定量分析 【特長】 ・試料のミクロン領域を高感度 で元素分析が可能。 工程 工程 5 PSG除去 工程 6 反射防止膜形成 7 表面・裏面電極印刷後、焼結 3 4 5 7 10 12 表面 表面 電極 反射防止膜 電極 反射防止膜 n型Si n型Si n型Si p型Si基板 p型Si基板 p型Si基板 p+層 裏面電極 焼結前後電極形状（高さ・幅）観察、断面積測定／OLS 表面電極焼結過程観察／SEM 反射防止膜中異物分析 ／EPMA 透過・反射率測定／SolidSpec 銀電極材料の結晶構造評価／XRD 表面電極硬度試験／DUH 7 透過・反射率測定／SolidSpec 8 パッシベーション評価 （Si-H結合強度測定）／ FTIR 工程 工程 5 P2パターンニング 工程 6 裏面電極形成 P3パターンニング n型微結晶Si 裏面電極 n型微結晶Si 裏面電極 n型微結晶Si i型微結晶Si p型微結晶Si n型a-Si i型微結晶Si p型微結晶Si n型a-Si i型微結晶Si p型微結晶Si n型a-Si i型a-Si p型a-Si i型a-Si p型a-Si i型a-Si p型a-Si TCO TCO TCO ガラス基板 ガラス基板 ガラス基板 3 パターンニング形状(高さ・幅) 1 電極膜厚測定／EDX （高さ・幅）観察／OLS 3 パターンニング形状 7 透過・反射率測定／SolidSpec 観察／OLS X線光電子分析装置 SolidSpec-3700/3700DUV 7 フーリエ変換 赤外分光光度計 マルチタイプ ICP発光分光分析装置 IRPrestige-21 ICPE-9000 8 9 MAP300 X線回折装置 XRD-7000 製品番 号 ESCA-3400 6 紫外・可視・近赤外 分光光度計 7 10 ∼ 11 20 【用途】 ・薄膜表面/深さ方向組成・化学 結合状態分析 【特長】 ・基本性能を重視した超コンパ クトサイズのESCA。 ・品質管理分析、製造管理分析 に最適。 【用途】 ・基 材 や 各 薄 膜 材 料 の ヘ イズ 率、透過・反射率評価に。 【特長】 ・紫外から赤外まで、幅広い波長範 囲での分光光度測定が可能。 ・入射角を変えながら透過及び 反射測定が可能。 ・XYステージによる面内透過率 マッピング測定に対応。 【用途】 ・EVAなどの有機材料劣化状態 分析、 Si-H結合分析 【特長】 ・固体/液体/気体の全ての物質の 定性や構造情報が得られる。 ・顕微鏡システムとの組み合わせに より微小有機異物の測定可能。 ・オプション（MAP300）により面 内マッピング測定可能。 【用途】 ・CIGS/CIS、バッファ層などの組 成分析に。 【特長】 ・高感度と同時に、同時多元素 測定 により優 れ た 処 理 能 力 を実現。 【用途】 ・Agペースト粒子、酸化Ti粒子の 結晶構造解析 ・薄膜の結晶粒径、 配向測定 【特長】 ・物質の定性・定量分析、格子状 数の決定、応力測定から粒子 系・結晶化度・精密X線構造解 析まで対応可能。 ・試料加熱測定に対応。 5 CIS／CIGS薄膜セル製造工程 工程 工程 1 裏面電極形成 工程 2 P1パターンニング Mo裏面電極 ガラス基板 Cu/In/Ga （p型光吸収層）形成 3 パターンニング形状測定 CIG,Se,S Mo裏面電極 ガラス基板 1 組成・膜厚測定／EDX 4 アニール過程観察・深さ方向組成分析／SEM 6 表面・深さ方向化学結合状態／XPS（ESCA） （深さ・幅）／OLS （Na拡散）／SPM 4 セレン化・硫化 CIG Mo裏面電極 ガラス基板 Mo裏面電極 ガラス基板 1 裏面電極膜厚測定／EDX 2 Mo裏面電極表面状態観察 工程 3 7 透過・反射率測定／SolidSpec 9 組成測定／ICP 10 CIGS膜配向測定／XRD 有機系太陽電池セル製造工程 色素増感太陽電池 工程 工程 1 酸化Tiペースト印刷、 焼成 工程 2 3 白金などの触媒電極を別途形成した 基板と対向 色素を含む溶液中に浸漬、 色素をナノ構造酸化Tiに吸収 色素 ガラスorポリマーフィルム 透明導電膜 白金 酸化Ti電極 TCO ガラスorポリマーフィルム 7 （導電膜付）基板材料透過・反射率測定／SolidSpec 10 酸化Ti材料の結晶構造評価／XRD 12 酸化Ti膜の硬度評価／DUH 16 酸化Ti粒子サイズ、粒度分布測定／IG-1000 17 酸化Ti比表面積・細孔分布測定／アサップ、トライスター、オートポア 19 酸化Ti材料の流動特性評価／CFT 精密万能試験機 製品番 号 AG-Xplusシリーズ 酸化Ti電極 TCO ガラスorポリマーフィルム 酸化Ti電極 TCO ガラスorポリマーフィルム 2 色素吸着状態観察／SPM 14 色素吸着後酸化Ti密度評価／アキュピック 18 色素化学吸着イメージング／顕微ラマン分光光度計 20 有機色素分析／LCMS 1 6 8 12 白金触媒の分散状態確認／EDX 触媒の状態分析・構造解析(価数評価)／XPS 触媒の状態分析・吸着種の評価・反応解析／FTIR スペーサー破壊強度と試験力・変位評価 ／MCT ダイナミック超微小硬度計 微小圧縮試験機 DUH-211/211S／MCTシリーズ 12 【用途】 ・材 料 強 度 、ガ ラ ス 基 板 、モ ジュールなど、小型部品の引張 強度や曲げ強度評価など。 ・EVA、バックシート、 タブストリ ングの剥離試験。 【特長】 ・制御分解能が8倍アップ、試験結果 の信頼性が高まりました。手軽に応 力制御・ひずみ制御が可能。 【用途】 ・Si/ガラス基板、TCO膜、 （化合物）金属薄膜/ 有機薄膜や表面処理層の硬度評価に。 【特長】 ・電磁力による微小力での硬さ/ ヤング率評価。 ・押し込み深さ分解能1 nm ・250度までの高温システムにも対応。 ・導電微粒子の強度評価用として微小圧縮試験 機MCT-Wも(高温システムオプション)。 マイクロサーボMMT マイクロメリティックス 乾式自動密度計 アキュピックⅡ1340シリーズ マイクロフォーカス X線透視装置 SMX-1000/1000L 13 14 15 【用途】 ・モジュールの圧縮、引張り、剥離 試験に。 【特長】 ・変位測定分解能20 nm。 ・高温/低温/腐食/真空などの特 殊環境での圧縮耐久試験等豊 富なオプション。 【用途】 ・ナノ材料の混合比の変化や機 能性微粒子のコーティング層 の厚み評価。 【特長】 ・ナノオーダーの微細な構造や形状 を持つナノ材料・ナノ粒子の密度 を高精度・高感度に測定可能。 ・固体/ペースト/液体など幅広い 対象物が測定可能。 【用途】 ・長 期 耐 久 性 が 要 求 さ れ る モ ジュールの電極部接合評価に。 【特長】 ・内部を非破壊で高倍率・高解 像度での透視観察や寸法計測 が可能。 ・解析・評価目的や試料の大きさ に適合した各機種をご用意。 ∼ 11 電磁力式微小材料試験機 1 10 MCT-211 6 工程 工程 5 n型高低抗バッファ層形成 工程 6 P2パターンニング バッファ層 CIGSS Mo裏面電極 ガラス基板 上面電極形成 8 P3パターンニング ZnO(Al or B doped) バッファ層 CIGSS Mo裏面電極 ガラス基板 ZnO(Al or B doped) バッファ層 CIGSS Mo裏面電極 ガラス基板 5 9 Al or BドープZnO組成測定 3 パターンニング形状（高さ・幅） バッファ層 CIGSS Mo裏面電極 ガラス基板 3 パターンニング形状（高さ・幅） 工程 7 観察／OLS ／EPMA、ICP 観察／OLS 7 透過・反射率測定／SolidSpec 12 薄膜硬度測定／DUH （パターンニング最適化） 有機薄膜太陽電池 工程 高分子系 4 低分子系 電解液注入 ガラスorポリマーフィルム 透明導電膜 白金 電解液 酸化Ti電極 TCO ガラスorポリマーフィルム 7 13 19 20 モジュール透過・反射率測定／SolidSpec 2 7 8 他 モジュール圧縮、引張り、剥離試験／MMT 電解質の流動性特性評価／CFT 電解液分析、高分子ゲル電解液開発／LC、GCMS シングルナノ粒子径 測定装置 IG-1000 封止 Al LiF （バッファ層） C60 （n型） CuPc （p型） PED OT:PSS 透明導電膜 ガラス基板 （or フィルム） 封止 Al LiF （バッファ層） P3HT+PCBM混合層 （pn） PED OT:PSS 透明導電膜 ガラス基板 （or フィルム） 高機能比表面積/ 細孔分布測定装置 アサップ2020 pn共分散状態の観察（凹凸像、電位像）／SPM 透過・反射率測定／SolidSpec 透明導電膜上有機物汚染測定／FTIR MALDI TOFMSによる高分子ポリマーの構造解析 顕微ラマン分光光度計 inViaシリーズ フローテスタ （キャピラリレオメーター） CFT-500D/100D 超高速液体クロマトグラフ 高速液体クロマトグラフ質量分析計 高速液体クロマトグラフ分取システム Nexera/LCMS-8030 16 17 18 19 20 【用途】 ・酸化Ti粒子や、ナノパーティク ル材料の粒子サイズ・粒度分 布測定に。 【特長】 ・独自に開発した画期的な粒子 径測定技術「IG法」を採用によ り、液体中の10 nm以下の微粒 子（シングルナノ粒子）の粒子径 とその分布測定が可能。 【用途】 ・酸化Ti膜の比表面積や細孔分布測定に。 【特長】 ・担持金属触媒の評価用として化 学吸着システムなどもご用意。 ・マイクロポアシステムにより直径 0.4 nmまでの細孔測定が可能。 ・他に3 nm∼500 μmまでの細孔径 範囲の高速自動測定が可能な自 動ポロシメーターもご用意。 【用途】 ・微結Si薄膜の結晶化率評価。 【特長】 ・面方向で最小約φ1 μm、深さ方向で 最小約2 μmの高空間分解測定が可能。 ・紫外から近赤外域までの励起レーザを3本まで搭載可能。モデルに より励起レーザ光路を最適化するオートアライメント機構を内蔵。 ・高速イメージング測定が可能（inVia Reflex/StreamLine）。 ・最大100 mまで光学系を延長可能なファ イバープローブ測定タイプもご用意。 【用途】 ・配線ペーストや樹脂などの流 動性材料などの流動特性（溶融 温度・粘度・硬化時間など） を評 価。 【特長】 ・昇温試験が可能。 ・熱可塑性樹脂や熱硬化樹脂の 成形性や硬化反応性の評価が 可能。 【用途】 用途】 ・各種有機材料、色素の開発・分 析に。 【特長】 ・質量分析計と組み合わせれば より高感度な測定も可能。 ・高分子ではTOFMS分析装置 も。 7 結晶Si 工程⑦ 結晶Si太陽電池表面Ag電極焼結過程観察 印刷・乾 燥 後 のAg表面電極を室温から8 0 0度まで昇温しながら Ag 粒子がネッキングしていく状 態を観 察。 527度 697度 801度 フィンガーライン Siウェハ表面 走査電子顕微鏡Quanta-FEG ・ウェットな試料の観察 ・試料の加熱･冷却状態観察 ・試料形態変化を動画取得 薄膜Si 工程① 色素増感用TCO付きガラス基板の面内透過率マッピング測定 紫外・可視・近 赤 外 の 各 領 域において面内で 透 過率のわずかな差が 生じていることがわかります。 TCO付きガラス基板面内5ポイント透過率マッピング測定 波長 (nm) 波長 Point Point Point Point 300 6.68 6.3 6.52 7.1 Point 6.52 700 77.8 77.77 76.25 75.44 76.78 1000 69.96 71.99 70.88 69.62 70.34 1500 31.38 35.61 34.02 30.95 31.68 紫外・可視・近赤外分光光度計 SolidSpec-3700 ・任意の入射角度設定 ・面内マッピング測定(Max310 mm□) ・大型試料登載可能(400*500 mm□) 結晶Si 工程③ テクスチャ形状の異なる多結晶Siウェハの反射率測定 テクスチャ形状正常品のほうがより低い反射率が得られていることがわかります。 面内5点測定 テクスチャ形状が正常な 多結晶Siウェハの反射率 8 面内5点測定 テクスチャ形状が不良な 多結晶Siウェハの反射率 結晶Si 工程⑦ 結晶Si太陽電池表面Ag電極・Si表面テクスチャ3次元形状測定 焼結後表面 Ag 電極：印刷方向にわずかなうねり Si 基板表面テクスチャ ： が観察されています。配線断面積計算も可能。 平均粗さだけではなく、より微視的な形状の観察・計測が可能。 【配線幅】 最小130 um 最大230 um デジタルズームによる テクスチャー形状計測 【配線高さ】 最小17.737 um 最大23.917 um 平均高さ:17.868 um 50倍対物レンズ使用 【配線断面積】 1705.449 um2 共焦点レーザー観察像3D 【平均粗さ】 Ra 0.950 um 高さ:6.060 um 幅:6.453 um 長さ:8.853 um 角度:43.201度 角度(交角):95.262度 CIGS 工程② CIGS太陽電池Mo裏面電極の洗浄前後レーザーパターニング形状観察 洗浄前に発生していた金属バリが洗浄後に除去されていることがわかります。 またレーザーショットによるマイクロクラックも明瞭に観察されています。 洗浄前 洗浄後 洗浄前 洗浄後 洗浄前 洗浄後 レーザーショットによる マイクロクラックの発生 結晶Si 工程⑥ FTIRによる結晶Si太陽電池の水素パッシベーション評価 水素プラズマ処理によって水素を Si 表面近傍の Si 未結 多結晶 Si ウェハ面内（9 point 測定）でカーボンの偏析が 合手と結合させることで結晶粒、粒界における特性が向 あることがわかります（オプションの R-theta マッピング 上することが知られています。ここでは FTIR によって、 ユニット MAP300 使用）。 成膜条件を変化させたときのパッシベーションの効果 を Si-H 結合強度を測定することで評価しています。 9 モジュール材料 FTIRによる太陽電池封止材（EVAフィルム）のUV劣化評価 透明封止接着フィルム 1回反射ATR装置を用いたEVAフィルム赤外スペクトル例 （時間を変えながらのキセノンランプ照射による劣化評価） Ethylene-Vinyl Acetate EVA_0hr2 EVA_2hr2 EVA_5hr2 CH2 CH2 ｎ CH2 CH 【紫外線照射、温度条件】 ランプ種類：キセノン 波長範囲：240∼450 nm 照射強度：＞700 mW/cm2 温度：60℃ m OCOCH3 0.3 Abs 0.15 C O O H 4000 3500 3000 2500 EVA, 60℃, UV:5 hr 2000 1750 1500 1250 1000 750 1/cm UV照射前後のEVAの赤外スペクトル モジュール材料 UV/Py-GC/MSによるEVAフィルム熱・紫外線劣化評価 透明封止接着フィルム UV/Py-GC/MS システムの構成 加熱・空気中での UV 照射過程によ 光ファイバー り生成した揮発性劣化生成物の迅 ダブルショット・ パイロライザー 速なオンライン GCMS 分析や、劣化 した変性ポリマーの構造変化を発 He/Air切替_迅速 圧力安定装置 試料カップ He Air 分離カラム 液体窒素 生 ガ ス 分 析（EGA）と 瞬 間 熱 分 解 UV光源 Xeアークランプ （水銀入り/250∼450 nm） GC CO2 D7 D3 D3: Hexamethylcyclotrisiloxane D4: Octamethyltetrasiloxane D6: Dodecamethylcyclohexasiloxane D7: Tetradecamethylcycloheptasiloxane D8: Hexadecamethylcyclooctasiloxane D4 D8 D3 D6 D7 D4 D8 10 GCMS 法が可能です。 色素増感 工程① 色素増感電極材料の酸化Ｔi粒度分布・比表面積、細孔分布測定 A-B : No.A 1-2 : No.B 2.0 dV/dlog(w) Pore Volume (cm3/g·Å) 相対粒子量 粒子径分布（体積基準） 相対粒子量 粒子径分布（体積基準） 粒子径（nm） 粒子径（nm） 1.5 No.A No.B (g) 0.091 0.485 Total Pore Volume (cm3/g) 0.62 0.31 BET Surface Area (m2/g) 302 68 BJH Desorption Average Pore Diameter(4V/A) (Å) 83 199 Sample Weight 1.0 0.5 0.0 20 40 60 80 100 200 400 600 800 Pore Width (Å) CIGS 工程④ CIGS光吸収層組成分析 エネルギー分散型蛍光X線によるCIGS（Cu、In、Ga、Se）膜の組成分析例です（FP法）。 CIGS膜 742 μg/cm2 Cu In Ga Se 19.1 wt% 31.5 wt% 3.9 wt% 45.5 wt% Mo膜 499 μg/cm2 モジュール材料 精密万能試験機によるEVAフィルム、バックシート剥離試験 透明封止接着フィルム 太陽電池モジュールの性能・信頼性評価規格であるIEC61215、IEC61646で要求 されている「ねじり試験」、 「荷重試験」にも対応します。 EVA剥離試験 バックシート剥離試験 11 太陽電池モジュールで使用される各種材料の性能・信頼性向上でお役に立つ分析・評価装置をラインナップしています。 評価装置 万能試験機 疲労試験機 衝撃試験機 X線透視装置 材料試験機 熱分析装置 分析・評価内容 EVAフィルム/バックシート剥離試験 アルミフレーム モジュール荷重試験 白板強化ガラス (カバーガラス) インターコネクタ 太陽電池セル モジュール曲げ試験 打ち抜き試験 受光面 インターコネクタ （加速試験後） 接合部評価 インターコネクタ接合部強度評価 透明封止接着フィルム （EVA） 熱硬化評価 (他：熱履歴、 転移、 結晶化、 収縮評価など) 封止透明接着樹脂 （EVA） フィルム劣化評価 （UV/Py）GCMS 紫外線/熱分解による光・熱・酸化劣化過程での 高分子材料の化学変化を解析、 耐候性を迅速に評価。 紫外・可視・近赤外 カバーガラス、透明封止接着フィルム透過・ 反射率評価 分光光度計 ガスクロマトグラフ質量分析計 UV/Py-GCMS QP2010 Ultra UV(紫外線照射)/Py（多機能型ダブルショットパ イロライザー）装置との組みあわせにより光・ 熱・酸化劣化過程での高分子材料の化学変化 が解析でき、耐候性を迅速に評価することが できます。 透明封止接着フィルム 端子ケーブル 端面シール 端子ボックス マイクロフォーカスX線透視装置 SMX-1000/1000L （加速試験後の） モジュール内部インターコネクタの 接合状態を非破壊、高倍率・高解像度で透視観 察、寸法計測が行えます。 耐候性フィルム (バックシート) 精密万能試験機 AGS-X バックシート、EVAなどの透明封止接着フィルム の90度、180度剥離試験が可能です。 モジュール圧縮、曲げ試験等につきましては、 別途ご相談ください。 (&- 本社地区事業所認証取得 トラブル解消のため補修用部品・消耗品は純正部品をご採用ください。 外観および仕様は改良のため、予告なく変更することがありますのでご了承ください。 分析計測事業部 604-8511 京都市中京区西ノ京桑原町1 東 京 支 社 101-8448 東 京 都 千 代 田 区 神 田 錦 町 1 丁 目 3 （03）3219-（官公庁担当）5631・ （大学担当）5616・ （会社担当）5685 関 西 支 社 530-0012 大阪市北区芝田1丁目1-4 阪急ターミナルビル14階 （06）6373-（官公庁・大学担当）6541・ （会社担当）6556 札 幌 支 店 060-0005 札幌市中央区北五条西6丁目2-2 札幌センタービル8階 （011）205-5500 東 北 支 店 980-0021 仙台市青葉区中央2丁目9-27 プライムスクエア広瀬通12階 （022）221-6231 郡 山 フ コ ク 生 命 ビ ル 2 階 （024）939-3790 郡山営業所 963-8877 郡 山 市 堂 前 町 6 - 7 つくば支店 305-0031 つ く ば 市 吾 妻 3 丁 目 17 - 1 （会社担当）8515 （029）851-（官公庁・大学担当）8511・ 北関東支店 330-0843 さいたま市大宮区吉敷町1丁目41 明治安田生命大宮吉敷町ビル8階 （048）646-（官公庁・大学担当）0095・ （会社担当）0081 横 浜 支 店 220-0004 横浜市西区北幸2丁目8-29 東武横浜第3ビル7階 （045）312-（官公庁・大学担当）4421・ （会社担当）311-4615 静 岡 支 店 422-8062 静岡市駿河区稲川2丁目1-1 伊伝静岡駅南ビル2階 （054）285-0124 名古屋支店 450-0001 名古屋市中村区那古野1丁目47-1 名古屋国際センタービル19階 （052）565-（官公庁・大学担当）7521・ （会社担当）7531 京 都 支 店 604-8511 京 都 市 中 京 区 西 ノ 京 桑 原 町 1 （会社担当）1603 （075）823-（官公庁・大学担当）1604・ 松 岡 ビ ル 8 階 （078）331-9665 神 戸 支 店 650-0034 神 戸 市 中 央 区 京 町 7 0 岡山営業所 700-0826 岡山市北区磨屋町3番10号 住友生命岡山ニューシティビル6階 （086）221-2511 四 国 支 店 760-0017 高松市番町1丁目6番1号 住友生命高松ビル9階 （087）823-6623 広 島 支 店 730-0036 広島市中区袋町4-25 明治安田生命広島ビル15階 （082）248-4312 九 州 支 店 812-0039 福 岡 市 博 多 区 冷 泉 町 4 - 2 0 島 津 博 多 ビ ル 4 階 （会社担当）3334 （092）283-（官公庁・大学担当）3332・ 島津コールセンター（操作・分析に関する電話相談窓口） 7 0120-131691 （075）813-1691 http://www.an.shimadzu.co.jp/ 3656-12102-20ANS 太陽電池材料・セル・モジュール開発・製造と分析評価機器 ■ 太 陽 電 池 モ ジュー ル 材 料 分 析・評 価 装 置