レーザー光による透明固体内部の微細加工

レーザー光による透明固体内部の微細加工
徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部エコシステムデザイン部門
准教授
松尾 繁樹
キーワード ： フェムト秒レーザー，内部加工，エッチング，微細加工，光ピンセット
ナノテク・材料
本加工技術は，
・透明固体材料の内部に空洞を作製する
・そのデザインは自由で，三次元的な（複雑な）形状を加工できる
・空間分解能数マイクロメートルの，微細加工である
という特徴を持っており，従来技術では不可能な加工を実現します。
どのようにして加工するのか？
下図のような二段階の加工です。
フェムト秒レーザー
パルスの集光照射
エッチング
エッチングにより
焦点部分が除去
される
なぜ加工できるのか？
フェムト秒レーザーパルスの集光照射によ
り，試料を局所的に『改質』します。改質点
は自由に配置することができます。改質に
よって試料がエッチングされやすくなれば，
選択的に除去することができます。
どんな材料を加工できるのか？
どんな加工ができるのか？
例（１） 立体交差型の
マイクロチャンネル
これまでに，シリカガラス，パイレックスガラス，
サファイア，水晶，フッ化カルシウムなどを加
工しています。
例（２） ガラス基板内の空洞内にある可動構造
物（光圧回転体）。光ピンセットという非接触操
作技術を使うと回転させることができます。
■ 想定される用途（応用分野）
表面加工と貼り合せを用いる一般的な加工と異なり，本加工技術では，貼り合せ無しでマイクロチャンネ
ル等を作製することができます。そのため，液漏れがなく，また高温や高圧などの極端環境に強いマイク
ロチップが得られます。
■ パートナー（産業界）への要望
この加工技術を応用した製品の開発に関心のあるパートナーを希望。
徳島大学
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国立大学法人
徳島大学 産学官連携推進部
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