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クリーンルーム監視システム
富士クリーンルーム 富士クリーンルーム機器 クリーンルーム機器 クリーンルーム監視 クリーンルーム監視システム 監視システム クリーンルームの クリーンルームの“見える化 える化” クリーンルームシステムにおける クリーンルームシステムにおける豊富 における豊富な 豊富な実績で 実績で培ったノウハウ ったノウハウと ノウハウと、富士電機システムズ 富士電機システムズの システムズの確 かな技術 かな技術で 技術で、クリーンルームの クリーンルームの目に見える管理 える管理を 管理を実現します 実現します。 します。 FFU監視制御 FFU監視制御 FFUの状態を集中監視し、運転／停止や回転数の遠隔制御でクリーンルームの最適運転 や、運用の効率化、省エネルギーを実現できます。 環境監視 環境センサー（F-Planet）との組合せで、クリーンルームのパーティクル、温湿度などの環境 を常時モニタリングできます。 傾向を把握して早期に警報したり、歩留り悪化要因検討をサポートします。 見える化 える化 FFU等のクリーン機器類の監視制御と、パーティクル等の環境監視による“クリーンルーム の見える化”で、生産性、品質、歩留りを向上させ、省エネルギーを達成できます。 高信頼性 豊富な経験に培われたノウハウに基づくソフトウエアと、メーカーならではの高信頼性ハード ウエアがクリーンルームにふさわしい確かな信頼性を実現します。 クリーンルーム監視 クリーンルーム監視システム 監視システム クリーンルームのキーコンポーネントであるＦＦＵの集中監視制御により、生産効率向上や省エネ ルギーに寄与します。 品質や歩留りに直結する清浄度（パーティクル）、温湿度などを常時モニタリングし、クリーンルー ムを最適に管理することで、品質、歩留り、コストパフォーマンス、省エネルギーを同時に向上させ ることができます。 クリーンルームの クリーンルームのリアルタイム監視 リアルタイム監視 DC-FFU等の機器・設備、清浄度・温湿度等のクリー ンルーム環境を一元的に常時モニタリングします。 傾向の 傾向の確認と 確認と､早期警告の 早期警告の提供 センサーを分散設置し、トレンドで傾向をつかみ、 環境変化を早期に対策することができます。 歩留り 歩留り悪化要因検討の 悪化要因検討のアシスト トレンド、警報履歴画面で歩留まり悪化時のデータを 参照できるので要因検討をアシストします。 クリーンルームの クリーンルームの最適運転管理の 最適運転管理の実現 ・清浄度（パーティクル）、温（湿）度等のクリーンルーム環境をリアルタイム監視します。 ・FFU等の機器を集中制御することで、クリーンルームを最適運転できます。 ・生産効率、歩留り、品質の向上と省エネルギーを両立させることができます。 システム構成例 システム構成例 FFU台数が数万台の大規模システムから百台未満の小規模システムまで、高機能で高信頼性 のシステムを提供いたします。 上位側には汎用性の高いEtherNETを採用しています。 LONWORKS対応のシステムも可能です。 中大規模 （FFU台数 FFU台数 ： ～30,000台 30,000台） 中小規模 （FFU台数 FFU台数 ： ～200台 200台） 監視パネル （タッチパネル式） ※ＬＯＮＷＯＲＫＳにも 対応可能です。 SW-HUB SW-HUB EtherNET (100BASE-TX) EtherNET (100BASE-TX) LSI ・・・・・・ LSI F-Site RS-485 RS-485 EtherNET (100BASE-TX) LSI ・・・・・・ LSI 1 1 RS-485 1 1 2 ･ ･ FFU ･ ･ 31 2 ･ ･ FFU ･ ･ 31 2 ･ ･ FFU ･ ･ 31 2 ･ ･ FFU ･ ･ 31 FFU FFU監視制御 FFU F-Planet 環境監視 FFU FFU監視制御 FFU クリーンルーム統合監視 クリーンルーム統合監視システム 統合監視システム画面例 システム画面例 操作性に優れた監視画面がお客様の運用管理をしっかりサポートします。 システム系統監視機能 FFU監視機能 FFU監視機能 （拡大表示） 警報履歴表示画面 個別設定機能 トレンド画面 機能一覧例 充実した機能が、クリーンルームの見える化を実現します。 機能分類 機能概要 機能名称 システム系統監視画面 ・ LC/I、FFUのLINK回線毎の接続・故障・動作台数および接続状態を表示 ・ フロア／エリア／グループをグラフィック形式にて表示 表示監視機能 ・ 運転／停止／故障／速度／保守を色替え表示 FFUグラフィック表示 ・ FFU回転数を表示 ・ 複合センサかで測定した温度・湿度・清浄度を表示 制御機能 アラーム／履歴表示 ・ 警報履歴 ・ 最大10,000件表示、最大3年分保存（発生中警報からグラフィック画面遷移） 操作履歴 ・ 機器を操作したユーザ名とともに、操作履歴を最大10,000件保存・表示 警報音 ・ 警報の発生にて、アラーム音鳴動（故障ランク毎に鳴動パターン設定）。出力デバ イスは「内蔵ブザー」「サウンドカード」のいずれか。 ユーザ・パスワード設定／変更 ・ 管理者」「オペレータ」の各種権限を持ったユーザの登録／削除と、パスワード（半 角8文字以内）の設定／変更 設定機能 トレンドグラフ FFUリスト表示画面から、FFUを「個別」「複数一括指定」「グループ一括」「フロア一 括」「エリア一括」「全体一括」で、回転数とともに発停操作 発停操作 トレンド設定 ・ グラフスケールの設定 温度・湿度・清浄度 ・ 最少1分毎の測定値をグラフ表示 FFU回転数 ・ 10分毎の回転数をグラフ表示 高信頼性の 高信頼性の確保 高信頼性のハードウエアに、豊富な実績と経験で培ったノウハウに基づいたソフトウエアを搭載し て極めて高い信頼性を確保しています。 停電時や万一の監視システム異常時には、現状維持を基本とするフェイルセーフとなっています。 停電後の 停電後の復電 停電直前の状態に現状復帰します。 瞬停・ 瞬停・通信停止・ 通信停止・異常発生時 発生前のFFUの状態を維持します。 異常の場所 中央監視PCの異常 中央監視PC～HUB、LSIの異常 LSI～FFU間の異常 FFUの異常 監視PC のアラーム 表示無し 表示有り 表示有り 表示有り FFU 現状維持 現状維持 現状維持 停止※ ※異常の内容によっては運転継続の場合もあります。 環境センサー 環境センサー F-Planet ・ 小型Web 小型Webサーバ Webサーバ F-Site F-Planet は、1台で、パーティクル・温度・湿度などのクリーンルーム環境を計測できます。 通信ポートを標準搭載しているので、監視システムと組合せてクリーンルーム環境の常時モニタ リングを実現します。 はかる わかる 連続計測データを、トレンド で把握できるので、異常等 の早期発見が可能です。 温度 パーティクル 湿度 みえる 差圧 （ｵﾌﾟｼｮﾝ） 計測データをその場で 確認できます。 計測データ 計測データが データが見える液晶画面表示 える液晶画面表示 Ｆ-Planet RS485 Ｆ-Site Ethernet F-Siteは、F-Planet が収集したデータを、Ethernet経由 でWeb配信します。 1台のF-Siteに、F-Planetが 30台まで接続可能です。 エンジニアリングツール 豊富な実績と経験を有する富士電機システムズならではの充実したエンジニアリング ツールを駆使してお客様の課題を解決します。 クリーンルーム実験室 クリーンルーム実験室を保有し、開発品 の検証・評価などが実施できます。 試作・試験 機器や装置の試作、特性・騒音・振 動・放射ノイズ等の様々な測定・評価 が実施できます。 分析・評価 クリーン事業の長年の経験を生かし、 パーティクル・温湿度・ケミカルガスな どの分析・評価を実施できます。 ！ 安全に 安全に関するご注意 するご注意 *ご使用の前に、「取扱説明書」や「仕様書」などをよくお読みいただくか、当社またはお買い上げの販売店にご相談のうえ、正しくお使いください。 *取扱いは当該分野の専門技術を有する人が行ってください。 富士電機システムズ 富士電機システムズ株式会社 システムズ株式会社 営業本部 第五統括部 営業第二部 TEL 03-5435-7265 FAX 03-5435-7435 産業プラント 産業プラント事業本部 プラント事業本部 第二統括部 TEL 042-585-6163 FAX 042-585-6154 本資料の内容は製品改良などのために変更することがありますのでご了承ください。