このコーティングはセラミックス・金属・半導体・有機高分子など合成できる

◎ C V D 三 層 コーティング ( 化学蒸着法 : C h e m i c a l V a p o r D e p o s k i o n )
この コー ティングはセラミックス ・金属 ・半導体 ・有機高分子など合成できる物質が多様 であり、薄膜 ・微粒子 ・バ
ル ク ・コンポジ ッ トなど多様な形状の材料を得 ることができる。このよ うな点か らCVD法 は超 LSIに 代表されるサ
ブミク ロンの微細加工か らメー トル規模の配管材料の コー テ ィングに至るまで幅広い分野で応用されている。
① 弓1抜用ダイス、プラグにはこの コー テ ィングが広 く利用され実績も数多い。
超硬合金の母材の上 にTiC、 TiCN、 TiNの 三 層を計 5∼ 6 μ rln積
層 することによ り、初期焼付 を防止 し、金型
寿命を延ばすことが見込める。
断面 図 (写真)伊 」
各層の色
各層の硬度 (Hヤ)
各層の膜厚 (μ)
TiN
金色
2400
2
TiCN
紫/灰 色
3000
1∼ 2
TiC
灰色
3200
2
金属色
1800
WC― Co
RaO.05に 仕上 げた超硬母材を洗浄後、約 1000℃ にて (TiCi4、H2C日 4)の 混合ガス中で超硬 に対 し密着性の
よいTiCを コー テ ィング します。
さ らに洗浄 とN2ガ スを追加 して下iCNを 最後 に (TiCi4、H2、 N2)ガ スによ り黄金色のTiNを コー トし、軽 く仕
上 げラ ップを します。
これ によ り耐摩耗、耐焼付性が格段 に向上 します。
その他の代表的な コーティング
◎ TiCコーテイング
CVD法 によ リガス化 したチタンが高温で金属表面のカー ボンと反応 してできた、硬 く強国 に密着 したチタンカー
バイ ド (炭化チタ ン)膜 の一 層 コー テ ィングです。硬 さと滑 り性の良さが相 まつて、耐摩末
争1生
や耐剥離性が極めて
高 く、複雑形状や小孔内部 へ のつきまわ りも良好。
◎ T D プ ロセス ( T o y o t a D i f f u s i o n C o a t i n g P r o c e s s )
(株)豊 田中央研究所で開発された技術。高温 に保持された溶融塩浴中に、鉄鋼や超硬合金などの材料を浸漬保持
することによ り炭化物 を形成 させる方法。
この処理 は形状 にかかわ らすに均 一被膜でき、処理前後の面粗 さ￨よ
ほとん ど変化な く、マスキ ングによる局部的
被膜が可能で全面承」
離 しな くても再処理可能な為、金型寿命の向上のみな らす耐摩耗性の改善が見込 める。主 と し
て鋼材の処理 と して広 く利用されている。
◎ D L C コ ーティング ( D i a m o n d L i k e C a r b o n )
高真空中での プラズマ プ ロセスであるイオ ンプ レー テ ィング法 によ り成膜 され、ダイヤモ ン ドに類似 した高硬
度 。電気絶縁性 ・赤外線透過性などを持 つカー ボン薄膜の総称 。構造 ￨ よ
非晶質 ( アモル フアス) 構 造でダイヤモ ン
ド結合やグラ フアイ ト結合などを持 つ ものと言われています。
この コー テ ィングはアルミナや超硬合金などバインダ ー を用いた粉末成形 において金型表面の鏡面性を維持 し肌
荒れを防 ぐため成形品の品質が向上 ししかも金型寿命が見込めます。
◎ T i A I N コーティング
高硬度で耐熱性 に優れてお り、超硬合金 へ の コー テ ィングに最適。特 にエン ドミルなど切削加工 に適 している。