第 60 回応用物理学会春季学術 講演会参加報告

特集
学生の研究活動報告−国内学会大会・国際会議参加記 18
ッションタイプの二種類の積層構造の素子を作製し
第 60 回応用物理学会春季学術
講演会参加報告
野
中
俊
た．構造は「縦型電界構造」となる．また，電界シ
ミュレーターを用いて電界分布を調査し，さらに作
宏
Toshihiro NONAKA
電子情報学専攻修士課程
製した素子の上部電極と下部電極間に交流電圧
（1.8 kHz）を印加して輝度特性を調査した．
2012 年度修了
4．実験結果
1．はじめに
くし型電極に交流電圧 100 V を印加した時の電
2013 年 3 月 27 日（水）から 3 月 30 日（土）に
界分布を図 1 に示す．その結果，電界はくし型電極
かけて神奈川県にある神奈川工科大学にて開催され
の端部に集中していることが分かった．輝度の測定
た第 60 回応用物理学会春季学術講演会に参加し，
結果を図 2 に示す．Au 電極を用いた素子は蛍光層
口頭講演を行った．発表テーマは「ストライプ構造
側から観察することで輝度の減衰なく光を取り出せ
型電極を用いた無機 EL の輝度特性」である．
ることが分かった．
下部電極に WG 型電極を用いた素子の電界分布
2．研究内容
を図 3 に示す．図 3（b）の L/S＝5 μ m の場合は電
分散型無機 EL は塗布型の工程を用いることで低
界が不均一であったが，図 3（a）の下部電極に WG
コストの生産が可能である．しかし，近年 ITO に
型電極を用いた場合と，一面に成膜された Al 金属
使われているインジウムの枯渇・値段の高騰が問題
薄膜を用いた場合では電界強度と電界分布に大きな
になっている．本研究では，ITO を使わず金属電極
差は見られなかった．したがって，図 4（a）の輝
で発光する素子の開発を行った．ストライプ構造の
度測定の結果，トップエミッション構造では下部電
一種である「くし型」と「ワイヤーグリッド
極に WG 型電極を用いた場合と金属薄膜を用いた
（WG）型」電極に金属材料を用いることで，均一
場合で差は見られなかった．また，図 2（c）で Au
電極で均一な面光源が得られたが，輝度は約 100 cd
な発光源を得ることを目的とした．
/m2 であった．しかし図 4（b）で積層構造の下部電
3．実験方法
極に WG 型電極を用いると，全面均一に発光し，
ガラス基板に，くし型電極を成膜する．ZnS 蛍光
体に樹脂を一定の割合で混合した蛍光層をスピンコ
ートで成膜し，乾燥させる．最終的な構造は「蛍光
輝度は 300 cd/m2 以上になった．
5．まとめ
Au のくし型電極を用いた素子は蛍光層側から観
層／くし型電極／基板」となり，「横型電界構造」
となる．SILVACO 社の電界シミュレーターを用い
察することで，全面で均一に発光した．WG 型電極
て電界分布の調査を行った．Line and Space（以下
L/S）は 5, 10 μ m の 2 種類である．くし型を用いた
無機 EL の輝度も評価した．L/S の条件は 10, 50 μ m
の二種類，電極の材料は ITO と Au の二種類を用
いて素子の基板側と蛍光層側の両面から輝度を測定
した．
ガラス基板に下部電極として WG（L/S＝60 nm）
を成膜し，トップエミッションタイプとボトムエミ
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図1
くし型電極を用いた無機 EL の電界分布
図3
WG 型電極を用いた無機 EL の電界分布
図4
WG 型電極を用いた無機 EL の輝度特性
ができた．質疑応答では，予め用意していた補助資
料のデータを活用しながら答えた．
7．謝辞
この度の学会発表という貴重な機会を与えて頂い
た指導教官の山本伸一教授に深く感謝致します．
また，共同研究でお世話になった，奈良先端科学
図2
くし型電極を用いた無機 EL の輝度特性
技術大学院大学の浦岡行治教授，有限会社イメージ
を積層構造の無機 EL の下部電極に用いることで
2
テックの田口信義さんに深く感謝致します．そし
て，日頃の研究においてご協力して頂きました山本
300 cd/m 以上の均一な発光源を得た．
研究室の方々にお礼申し上げます．
6．感想
事前に練習を行ったことで冷静に発表を行うこと
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