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That is firstly: from the deterrnination of the depositior-r parameters (Temperature-T,Pressure-P and time-t ) and secondly: study the physical and mechanical properties of the carbon coated especially on graphite substrate duc to its high temperature resistance. An investigation has been carried out to study the effect of substrate temperature (T) and hydrocarbou gas pressure (P) on the deposition process of coated layer formation, its microsh'ucture features and other properties such as apparent porosity, real density, roughness, hardness and adhesion with the substrate - The couclusion of the present work is first, increasing the substrate temperature and hydrocarbon gas pressLlre; resulting in a relative ilcreasing of deposition rate (i.e. ilcrease ip thickness of え乃嘱酔化 θF coLJ%E θFED6ζ cイ `vθ θ ・ユ2θ θ9 … coating). second, i.creasing in substrate temperatr.rre (at constant P and t); resulting in decreasing the apparent porosity and increasi,g in density, hanlnesJ and adhesion. Third, increasing in hydrocarbon gas pressure (at constant T and t- ); resulting in a decreasing in density, hardness, porosity and increase in porosity. This work shows also results of a nricrostructures and X- Ray Diffraction which confirm the formation of the pyrolytic carbon coated. V 名劇 園 仏詞 IJメ │ひ JメL二 (pyrOlytic carbO→ げ」_メ │ビ 炒 υ国 │ル 」 りLし ぃ もり11パ 1く Jl、 く1lLぃ っもり、ぃ 。五 1.ポ ひ 4く L^` 4卜 YJ叩 口 16り │メ │● ` り」 41^ヽ ■ → リバ 1'ハ ミ‖。 ゝ ´ │ひ J`メ YI 等 ‐ 口 │■ J脚 ぃ │ヽ ミlJ Jメ IJメ1許 Lほ ■ ,Ж LIoe… Jゝ」IJ[1]尋 ぃυ脚 1尋 沖 り 160も ぅよ 。Jメ │… ♂ :Y」 "│メ │お 1ヽ 翻 ヽ [2],_■ 」 lt,Jく _JJ“ バ J(多 Ⅲ 1、 ヴ」ン 」 │。 メリ国 │● L静 CLIJ=‖ メ ニ _メ Jツ ロ ンユヽ■」lι “ ι_も LJ fJ_メ │ .[4,3]Ⅲ 出 │● YI錮│♂ るLIヽ ミlJ 1]褐 _メニ ご,3 L∴ く ψ Jい 二 中 メ IⅢ 典 ミ lJヽメリ:いL(subStrate)も ェ国icL“ 。非"│]■ が` い メリ3ッ 1鳳 6,1踪 』●ぃ」 ヽ挙 ごたL凸 │二 │め鼻 り 」 墜メ│■Ⅲメ ∼ "げ ● LL』 L』 ふ 1亀 t島 YI・ 」 [6,5]え ヽ日 i3ェ ロ│♂ ■ い中 力 ^‖ l … j日 (thermal decompOsition)げ υ ヨ くn tl鼻 “ ‐^ LメJI【 ぃ J`」 ヽ ・ “ Gljlバ む 脚 IJ● 嘔 メ IJぉ い ミ J』 玉 │が ` J[8,7]● り =ylJ ou口 3り │_ ● 1 ヽυ。 、1_ヴ υlジ 」1● t」 l,1い ,長 “」 Ⅲ Jυ K,り 乎 1・ J」 ド 」 │ 'υ │´ 出 ≦ J[9](1・ 8-2grゴ cm3)電 厖 J(1200° C-1400° C) IⅢ 出 J` ミ1_ぃ 増 メ ← →J出 IJeJ叩 1出 い pcぃ 」 │.メ リ国 1颯非 ミ Jθ ろ鳴 ⅣИι θr COι ttECE θFEDきQAROヽ 'い ` lJ」 (gloW dlSChargc)げ ■」 υ■り ぅ■ て ■ 己 Jり │バ [10]ム 」 ‐L`・ ヽミ 坤 (RF‐ 310W d` charge)た キ tSI・ 、 │ジ 釧 し ‖麟 」 ..Jタ ヴ 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Martinis "Technology today" Southwest Research Institute, (1999). 5- W. A. Bryant "Review the fundamentals of the Chemical Vapor Deposition "J. of Material Science 12 (1977) 1285- - A .S 1306.6 .John "Introduction to manufacturing process" 3'dEdition (2000) 808-829. 7- R . G . Brown &W . Watt "The preparation and properlies of high temperature pyrolytic carbon "Industrial Carbon and Graphite, (1958 ) 86-91. 8- N. II .Shamoon "Self-diffusion in pyrolytic carbon "A radiochemical Investigation, University of Dundee, M.Sc Thesis, (1981). 9- R . J Bard "Pyrolytic carbon depositior-r in fluidized beds at (1200-1400'C) fiom various hydrocarbons" Carbon (1968) 603-616. 6 JOURNAL OF COLLEGE OF EDa1AT\OUJVO.3.2kLL l0- R. Williamson & D.S. Whitrnell ,TL".l"position of hil surfhce Iayers by hydrocarbons cracking in a Glow Discharge "Thin Solid Film 35 (tg76) 255_261. 11- L. P .Anderson & S.Ojha ,,properties and coating rate of diarnond like carbon film produced by R.F Glow Discharge of hycrrocarbons gases ,,Thin sorid Firm 63 (1979) ts5_160. - 12- c' J'crren & iv{.}I.Back "The simurtaneous measurement of trre rate of formation of carbons and of hydrocarbons products in the pyrolysis of methane,, Carbon 17 (lg7g) I 75-t 80. l3- J. I-LJe & y .Lee "A study on the deposition carbons from hydrocarbons" Carbon of pyrolytic 22 No.6 (19g4) 563_570. 14- S. M.Oh & H.O.Choon ,,Mechanical properties of isotropic carbons deposited in a turmbling Bed ,,Carbon, 23, No.5 (1985) 447_492. 15- W. S. Baek & J.y.Lee "Mechanism of deposition of larninar pyrolrtic carbon deposited in a tumbling bed ,,J. Analytical and Applied physics g No. 3 (tgil6) 247_ 254. l6- & J.y.Lee ,,A stucly on the formation of soot in pyrolytic carbon deposited in a tumbling bed ancl its S.M.Oh スχ艘磁 θF COL劇 %E OFEDJCA7θ」 ヽ二_コ Ma3.2θ θ9 effects on mechanical properties" Carbon 24 No.4 ( 1986)411-415. 17-K.Kobayashi,No Mutsukura&Yハ 4aclli"Deposition hard cal‐ bon of fllms by thc R.F Glow Dischargc mcdlod" ,Thin Solid Filll1 158(1988)233-238. 18-T.Yasuda&H.Komiyama"Characterization of a mOrphOus carbon f11ln prcptted by photo ― Enhanccd Cllemical Vapor Dcposition at low temperature apanesc J .of Applicd Physics 29 No。 」 “ 2(1990)361- 386. 19- P.Lucas 8ι A. ヽ4archand i:Pyrolytic carbon dcposition from methane: An analytical approch to the chemical proccss"Carbon,墾 No.1(1990)207-219. 20-T.Suzuki and Y.Yoshimoto"Low temperature growtll of pyrolytic carbon with wcll― ordered graphitc Substratc by Cherllical Vapor Deposition methods"Thin Solid Fill■ 162 (1988)273-278. 21-V.Dc Pauw,S.Kalhё fer,D.Gelthsen"Influcncc of the deposition parameters on thc tcxture of pyrolytic carbon layers deposited on planer substrates'!Carbon 42 (2004)279-286. JO URNA I, O F C, OLL E G E o F E D aC A TI o\,{-],{o. 3. 2 OO 9 , M.Fotouhi , D. Gerthsen ,' Structural analysis of pyrolytic carbon deposits on a planer 22- B.R.eznik cordierite substrate " Carbon ,42 (2004 ) l3l l-1313 . 23- Koyo Norinaga, Olaf Deutschmann , Klaus J. Htittinger "Aualysis of gas phase compounds in chemical vapor deposition of carbon from light hydrocarbons " Carbon 44(2006 ) 1790-1800. 24- M. X. Jiang , W.J.Lackey , K. More " Liquid reagent CVD of carbon I. processing and microstructure Carbon 42(20A4 ) 1895 - " 1900. 25- Motoaki Kawase , Kouichi Miura ,' Rate analysis of chcmical vapor deposition by use of the thin tubular reactor " Thin Solid Films 498 (2006 ) 25-29. 26- Y. De Pauw , A. Collin , W. Send , J. Flawecker , D.Gerthsen, A.Pfrang, Th. Schimmel " Deposition rate during the early stages otpyrolytic carbon deposition in a hot - r,vall reactor and the development Carbon 44 (2006 ) 3091 -3101 . 27- R.Shi , I-I.J.Li , Z.Yang and M. of texture " Kang ', f)eposition mechemism of pyrolytic carbons at temperatures behveen 800-1200 "C " Carbon,35 issue 12(lg97 ) 17g9-1792 28- O. Fdron , F'. Langlais , R. Naslain , G. Th6bault " On kinetic and microstructural transitions in CVD of ノθttP劇 二OF COLJ%E θFEDこQA「10N pyrocarbon from propan " Carbon 37 MaJ.2θ ,9 ( 1999 ) " 1343- 1353 Brcndle‖ Rcgenerativc laminar pyrocarbon i'Cttbon 〇一 M 4 X Bourrat,A Filllon,R.Naslain,C Chollon, 29‐ (2002)2931-2945. 30- P.Delhacs, " Chemical vapor deposition and infiltlation processes ofcarbon materials " Carbon 40 (2002) 641- 657. 31- Jean Marie Vallerot , Xavicr Bourat ,Arnaud Mouchon , Georges Chollon assessrnent of spectroscopy , " Quantitative structural and textural laminar pyrocarbor.rs through Raman electron diflraction and techniques " Carbon 44 ( 2006 ) 1 833- l 844 few other . 32- P.Frank Incropera and David P. Dewitt "Fundamentals of heat and mass transfer" John Wiley and Sons (1996). 33- M .Bonijoly , M.Oberlin & A.Oberlin "A possible mechanism for natural graphite forrnation". International J. ofCoal geology, l, (1982)283-321.