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真空スイッチ - キヤノンアネルバ

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真空スイッチ - キヤノンアネルバ
真空スイッチ
■概要
本真空スイッチは単極双投接点を備え、作動圧力の上限ま
たは下限において、同時に ON・OFF2 点制御信号が得られ、
しかも、作動圧力の変化もわずかです。
また真空側はすべてSUS-304を使用しており、
大気とのシー
ルは溶接構造ですので高真空に接続可能です。そのため、
自動化真空装置等の保護及び安全回路用スイッチとしても
使用できます。
■特長
5. 954-7720 真空スイッチはφ15 ゲージアダプタに差し込む
1. 単極双投接点を備えているため、作動圧力の上限または
下限において、同時に ON・OFF2 点制御信号が得られ
タイプですので取付け取外しが容易にできます。
6. 954-7730 真空スイッチは 250℃まで加熱可能ですので超
高真空装置に使用できます。
ます。
2. 真空側はすべて SUS-304 を使用しており、大気とのシー
■用途
ルは溶接構造ですので、超高真空に接続可能です。
3. 寿命が 10,000 回以上と長く、作動圧力の変化もわずか
です。
各種自動化真空装置等の保護および安全回路用スイッチと
しての使用。各種真空系の制御信号が取り出せます。
4. 真空スイッチ内が加圧される場合でも、0.2MPa まで使
用できます。
型
名
954-7700
作 動 圧 力
(黒−黄リード線にて)
使 用 真 空 度
リ
ー
ク
流
耐
量
10 − 8Pa 程度
1.33 × 10
Pa・m /sec 以下
− 11
3
空気・ガス(SUS-304 を侵す腐食性ガスを除く)
力
※ 0.2MPa
許 容 加 熱 温 度
40℃
250℃
− 10℃〜+ 40℃
使 用 周 囲 温 度
材
質
真空側はすべて SUS-304
寿
命
10,000 回以上
954-7806 φ15 アダプタ
954-7832 ゲージアダプタ
954-7833 ゲージアダプタ
954-7834 ゲージアダプタ
220g
接 続 フ ラン ジ
質
量
954-7730
OFF
大気圧マイナス 2.7 ± 2.7 × 103Pa
ON
大気圧マイナス 14 ± 2.7 × 103Pa
10 − 7Pa 程度
体
圧
954-7720
OFF
大気圧マイナス 2.7 ± 2.7 × 103Pa
ON
大気圧マイナス 16 ± 2.7 × 103Pa
φ70ICF
510g
φ70ICF
580g
※ 954-7720 真空スイッチの内部を加圧状態にする際はφ15 アダプタから飛び抜けぬように対策して下さい。
222
キヤノンアネルバ株式会社 真空機器総合カタログ Vol.8.9
キヤノンアネルバ株式会社
1
■仕様
●電気定格
954-7700、7720 真空スイッチ
無誘導負荷(A)
954-7730 真空スイッチ
誘導負荷(A)
無誘導負荷(A)
誘導負荷(A)
定格電圧
(V)
抵抗負荷
ランプ負荷
誘導負荷
電動機負荷
定格電圧
(V)
抵抗負荷
ランプ負荷
誘導負荷
電動機負荷
DC125
0.6
0.1
0.6
0.1
DC125
0.4
0.05
0.4
0.05
DC250
0.3
0.05
0.3
0.05
AC125
1
0.45
1
0.75
AC125
15
3
10
4
AC250
1
0.3
1
0.3
AC250
15
2
10
3
誘導負荷とは、力率 0.5 以上(交流)
、時定数 7msec 以下(直流)
ランプ負荷とは、10 倍の突入電流を有するもの。
電動機負荷とは、6 倍の突入電流を有するもの。
12
12
器外長さ100±5
12
器外長さ100±5
器外長さ100±5
(圧着端子内径φ4)
(圧着端子内径φ4)
黒
(COM)
赤
(N.O)
黄
(N.C)
黒
(COM)
赤
(N.O)
黄
(N.C)
φ46±1
φ72.1±1
69.5±3
47±1
18.5±1
78.2±2
12.7
φ15±0.1
(φ70)
(ID12)
(φ70)
φ70 ICF
図図1 954-7700の外形寸法図
1 954-7700 の外形寸法図
図2 954-7720の外形寸法図
図
2 954-7720 の外形寸法図
●接点構成
COM COM
(黒線)
(黒線)
COM COM
(黒線)
(黒線)
図図3 954-7730の外形寸法図
3 954-7730 の外形寸法図
N.O N.O
(赤線)
(赤線)
N.O N.O
N.C
N.C (赤線)
(赤線)
(黄線)
(黄線)
N.C N.C
(黄線)
(黄線)
N.O N.O
(赤線)
(赤線)
N.O N.O
N.C
N.C (赤線)
(赤線)
(黄線)
(黄線)
N.C N.C
(黄線)
(黄線)
COM COM
(黒線)
(黒線)
COM COM
(黒線)
(黒線)
交流の場合
直流の場合
COM COM
(黒線)
(黒線)
COM COM
(黒線)
(黒線)
N.O N.O
(赤線)
(赤線)
N.O N.O
N.C
N.C
(赤線)
(赤線)
(黄線)
(黄線)
N.C N.C
(黄線)
(黄線)
負荷
負荷
負荷
負荷負荷
負荷
負荷
負荷
N.O N.O
(赤線)
(赤線)
N.O N.O
N.C
N.C
(赤線)
(赤線)
(黄線)
(黄線)
N.C N.C
(黄線)
(黄線)
負荷
負荷
負荷
負荷負荷
負荷
負荷
負荷
COM COM
(黒線)
(黒線)
COM COM
(黒線)
(黒線)
φ70 ICF
954-7700、7720 真空スイッチ
大気圧マイナス13.3 × 103Pa 以下(真空状態)
954-7730 真空スイッチ 大気圧マイナス11.3×103Pa 以下(真空状態)
954-7700、7720、7730 真空スイッチ
大気圧マイナス 5.4 × 103Pa 以上(大気圧状態)
●結線方法
φ41±0.5
50±1
φ41±0.5
119.5±3
φ46±1
(18.8)
61.5±2
(12.7)
93±2
黒
(COM)
赤
(N.O)
黄
(N.C)
φ41±0.5
(圧着端子内径φ4)
●使用上の注意
ご使用の際には現品に添付してあります「使用上の注意」を必ずお読みの上、正しくご使用下さい。
■オーダリングインフォメーション
製品コード
2
商 品 名
型 名
備 考
品 名
29200
954-7700
真空スイッチ
φ70ICF 付、
29201
954-7720
真空スイッチ
φ15 ゲージポート用
29202
954-7730
真空スイッチ
ベーカブル 250℃加熱可能
キヤノンアネルバ株式会社 真空機器総合カタログ Vol.8.9
キヤノンアネルバ株式会社
223
2011年9月作成
東日本エリア 〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1
・エレクトロンデバイス製造装置
TEL 044-980-5155
・半導体製造装置および研究開発・小規模生産装置 TEL 044-980-5132
・パネルデバイス製造装置
TEL 044-980-5131
・真空コンポーネント
TEL 044-980-3503
〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33
・各種装置関係
・真空コンポーネント
FAX
FAX
FAX
FAX
無断転載禁止
044-986-4236
044-986-4236
044-986-4236
044-986-4236
西日本エリア
九州エリア
TEL 06-6821-9701
TEL 06-6821-9708
FAX 06-6821-9702
FAX 06-6821-9702
〒862-0924 熊本県熊本市帯山3-3-10 キヤノンMJ TEL 096-385-3111
FAX 096-385-3061
※ 輸出・移転・処分に関する注意
本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規定に基づく判定が必要となりますので、
弊社営業部門にお問合せください。又、国内移転・処分の際にも、移転・処分先にご留意願います。
※ 本カタログに掲載してある、デサイン、仕様、寸法等は、性能向上等のため予告なく変更する場合があります。
※ 写真は印刷のため実際の商品の色と多少異なる場合があります。
※ 禁無断転載・複写
本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。
掲載内容は発行(2011年9月)時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。
http://www.canon-anelva.co.jp/
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