超音波映像装置

分析・計測・試験機器
4.内部観察装置
超音波映像装置
Scanning Acoustic Tomograph FineSAT type3
FS100Ⅲ/FS200Ⅲ/FS300Ⅲ
高速かつ高精度での検査が可能な超音波映像装置
超音波映像装置
（SAT）とは、半導体、セラミックス、樹脂などの内部ボイド、クラック、剥離を超音波を使って映像化
し、解析・評価する装置です。
※写真はオプション品を装備しています。
■特長
●Fine
高分解能、高解像度で微小欠陥を検出
広帯域周波数、高感度超音波ユニットを搭載、高精度スキャナは最小ピッチ0.5μmを実現
●Fast
短時間測定で評価判定が迅速
最大1,000mm/sの高速スキャナとグリッドスキャン(連続自動測定)で短時間映像表示
イメージインデックスからワンクリックモードで自動評価・判定が可能
●Flexible
測定支援、解析ソフト充実
マルチゲート、欠陥面積・率などの表示、解析ソフトが充実、反射法と透過法を同時に測定可能
■適用分野
超音波はさまざまな分野の検査・解析・評価に適用されています。
半導体
Semiconductor
電子部品
Electron element
コンデンサ、フィルタ、積層構造品
モールドIC、FCBGA、WLP
研究・開発
R&D
Low-K膜、スタックドCSP燃料電池
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ヤマト科学
樹脂
Plastic
フィラー、射出成形品
FS100 Ⅲ /FS200 Ⅲ /FS300 Ⅲ
車載デバイス
Power module
IGBT、車載電装品
金属製品
Metal products
各種溶接・溶着、ロウ付け部のボイド・剥離
ＭＥＭＳ
センサー、SOI
www.yamato-net.co.jp
0120-405-525
ダイジェスト
イントロ
ダクション
科学・
産業機器
恒温・乾燥器/
恒温恒湿器
高温炉・
パージガス
産業機器
超音波は固体や液体の物質内を伝わる周波数 20kHz 以上の音 ( 波 ) です。
伝搬途中に空気層や異種材があると反射波 ( エコー ) が得られます。
このエコー信号の特性を利用して内部を映像化します。
X 線が被検体の線量透過量を原理に画像化しますが、深さ方向の情報は得らません。
超音波 (SAT) は深さ位置が得られ、剥離やボイドの欠陥検出性は X 線より優れて
います。
超音波とは？
プラズマ装置
恒温培養器
凍結乾燥・
冷却トラップ
滅菌器
純水製造
装置
恒温液槽
恒温水
循環装置
加熱器
濃縮器
減圧・加圧
ポンプ
貼り合せウエハの剥離映像例
（プローブ周波数140MHz）
乳化・撹拌・
振とう器
造粒
乾燥装置
■仕様
型　式
FS100Ⅲ
FS200Ⅲ
FS300Ⅲ
装着プローブ周波数
有効ストローク
（X×Y×Z）
走査最少ピッチ
外形寸法
重さ
電源
（電圧/電流/周波数）
5〜75MHz
350×350×80mm
0.5μm
幅1,590×奥行940×高さ1,340mm
約380kg
AC100V/15A　50/60Hz
5〜140MHz
5〜300MHz
価　格
ご照会ください
洗浄器
送液ポンプ
フィルター
分析・計測・
試験機器
天秤
pH 計
■装置ラインナップ
表面観察
装置
■超音波プローブ
内部観察
装置
分光・発光・
蛍光装置
液体／ガス
クロマトグラフ
物性計測
装置
細胞関連
装置
遠心
分離機
新製品
FineSAT Ⅴ
測定時間を最大25%短縮
64bit処理システムで大容量データを処理
FineSATハイブリッド
電子スキャン方式一体型装置
冷凍庫・
冷蔵庫
高分解能プローブ
環境・プロセス
関連装置
合成・
前処理装置
試験機器
電池・半導体・
LED 関連装置
計測機器
研究施設
システム
エンジニアリング
ヒューム
フード
FS LINE/FS LINEハイブリッド
ターゲット材や大型ワークの検査装置
Wafer LINE
インライン、ウエーハ自動検査装置
汎用プローブ
粉体封じ込め
システム
給排気
システム
実験台
保管・カート・
実験台用付属器具
環境制御・
実験施設
●仕様および外観は改良のため予告なく変更されることがありますのでご了承下さい。製品カラーは、撮影・印刷インキの関係で実際の色と異なって見えることがあります。
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