FIB-SEM - 物質・材料研究機構

文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業
微細加工プラットフォーム
物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム
NIMS微細加工プラットフォームは，最先端微細加工プロセッシング装置およびナノスケール観察・測定評価装置
が完備された450m2のクリーンルームを中心に微細加工を担う共用施設として4年間運用されてきました。ナノネッ
ト事業においては，電子材料・素子，光学材料・素子，ナノ・マイクロ構造作製，環境・エネルギー，および医工連
携・バイオ工学などの多様な分野への研究支援を実施してきました。NIMS微細加工プラットフォームにおいても，
半導体材料，酸化物材料，誘電体材料，磁性材料，金属材料，有機材料，生体材料，および複合材料等様々な材
料のナノからマイクロスケール，更にはミリスケールにわたる3次元的な微細加工の支援や電子デバイス，光デバ
イスの作製を支援いたします。自然科学から生命科学にわたる学際的融合研究や産学官連携の共同研究，技術
代行，技術補助，技術相談および機器利用を積極的に推進します。
一貫した研究支援を可能とする微細加工・評価・計測装置群
【その他の装置】
 スピンコータ（ミカサ / MS-A150）
 プラズマアッシャー（ヤマト科学 / PB-600）
 UVオゾンクリーナー（サムコ / UV-1）
 シリコン酸化・熱処理炉（光洋サーモシステム / MT-2-6X20-A）
 イオンスパッタ（日立ハイテク / E-1045）
 表面段差計（KLA Tencor / Alpha Step）
 エリプソメータ（ファイブラボ / MARY-102FM）
 3次元測定レーザー顕微鏡（オリンパス / LEXT OLS4000）
 CMP研磨装置（Logitech / PM5）
 ダイヤモンドワイヤーソー（ムサシノ電子 / CS-203）
 X線回折装置（Bruker / D8 Discover）
 極低温プローバーシステム（ナガセテクノエンジニアリング / GRAIL10-308-6-4K-LV-SCM）
 各種光学顕微鏡
 各種ドラフトチャンバー
電子ビーム描画装置
ナノインプリント装置
レーザー露光装置
マスクアライナー
エリオニクス ELS-7000
東芝機械 ST50
ナノシステムソリューションズ DL-1000
ズースマイクロテック MA6 BSA
全自動スパッタ装置
超高真空スパッタ装置
12連電子銃型蒸着装置
超高真空蒸着装置
原子層堆積装置
プラズマCVD装置
アルバック Jsputter
ビームトロン
アールデック RDEB-1206K
エイコーエンジニアリング
Picosun SUNALE R-100B
サムコ PD-220NL
多目的ドライエッチング装置
化合物ドライエッチング装置
シリコン深堀エッチング装置
酸化膜ドライエッチング装置
FIB-SEMダブルビーム装置
急速赤外線アニール炉
サムコ RIE-200NL
サムコ RIE-101iPH
住友精密工業 MUC-21 ASE-SRE
住友精密工業 MUC-21 RV-APS-SE
SIIナノテクノロジー Xvision200DB
アルバック理工 QHC-P410
走査電子顕微鏡
原子間力顕微鏡
ダイシングソー
自動スクライバー
ワイヤーボンダー
室温プローバーシステム
日立ハイテク S-4800
SIIナノテクノロジー L-traceⅡ
ディスコ DAD322
ダイトロンテクノロジー DPS-301R
West Bond 7476D
ベクターセミコン MX-200/B
利用事例
利用方法／利用料金
STEP1
利用相談
STEP2
課題申請
STEP3
課題審査
STEP4
支援実施
STEP5
支援終了
STEP6
課金請求
STEP7
報告書
提出
利用料金（装置毎の利用時間に応じた時間課金制）
機器利用
電子ビーム描画によるナノリソグラフィー，
リフトオフ技術による金属電極形成とドライ
エッチング技術を用いて作製したグラフェン
結合量子ドット素子
高精度な電子ビーム描画技術とドライエッ
チング技術により作製した金属ホールアレ
イを用いた表面プラズモンカラーフィルタ
NIMS微細加工PF
FIB-SEMダブルビーム装置を用いて作製し
た透過電子顕微鏡（TEM）観察用試料
検索
利用者が自ら装置操作を行う支援形態
技術補助
支援員が操作指導・補助しながら，利用者が
装置操作を行う支援形態
技術代行
支援員が代行して装置操作を行う支援形態
共同研究
利用者と支援員が共同で試料作製を実施
する成果公開型共同研究
技術相談
専門スタッフが高度な作製技術相談に応じる
支援形態
機器利用
他の支援形態
電子ビーム描画装置
FIB-SEMダブルビーム装置
1,500円／時
2,250円／時
酸化膜ドライエッチング装置
1,000円／時
1,750円／時
500円／時
1,250円／時
上記以外の装置
※民間企業利用者は，「上記単価×2.0」となります。
問い合わせ：物質・材料研究機構 NIMS微細加工プラットフォーム 事務局
E-mail: [email protected]，Phone: 029-851-3354 （ex. 3960）
ホームページ http://www.nims.go.jp/nfp/