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ファインエッチ

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ファインエッチ
精密洗浄剤セミクリーンシリーズ:FINE ETCH
ファインエッチ
Crエッチング液
横浜油脂工業株式会社
セミクリーングループ
精密洗浄剤セミクリーンシリーズ:FINE ETCH
ファインエッチ技術資料
特
徴
・ カラーフィルターの Cr ブラックマトリックス、石英・ガラスマスクの Cr 膜のエッ
チング専用に開発したエッチング液です。
・ 優れた浸透力、エッチング力があり、短時間でのパターニングが可能です。
・ 発泡性がなく、泡の絡みによるエッチング抜けが起こりません。
用
途
・ Cr 膜のエッチング
使 用 法
・ 使用濃度
:
原液
・ 使用温度
:
20~30℃
・ 使用条件
:
浸漬
洗浄後、清浄度によって2~5 槽のリンスが必要です。
成
分
・ 硝酸塩
・ 過塩素酸
・ 水
性
状
・ 外観
:
橙色透明液体
・ pH
:
2 以下(25℃、原液)
・ 比重
:
1.17(25℃、原液)
・ PRTR 法
:
非該当
・ 消防法
:
非危険物
精密洗浄剤セミクリーンシリーズ:FINE ETCH
性能比較試験
Cr 基板のジャストエッチ時間を比較する。
■ 試験方法
・ テストピース :
Cr 膜付ガラス基板(40mm×50mm×1.1t)
・ 洗浄液
ファインエッチ
:
他社製エッチング液(比較対照)
・ 浸漬方法
:
液温 25℃、静置浸漬
・ 評価方法
:
エッチング完了時間を測定する。
■ 試験結果
使用液
エッチング時間(秒)
ファインエッチ
62
比較品
75
80
時間(秒)
75
70
65
60
55
50
ファインエッチ
比較品
精密洗浄剤セミクリーンシリーズ:FINE ETCH
ライフ比較試験
Cr 基板を複数処理した時のエッチング時間の比較を行う。
■ 試験方法
・ テストピース :
Cr 膜付ガラス基板(40mm×50mm×1.1t)
・ 洗浄液
ファインエッチ 40mL
:
他社製エッチング液 40mL(比較対照)
・ 浸漬方法
:
液温 20℃、静置浸漬
・ 評価方法
:
エッチング枚数及び処理時間を測定する。
■ 試験結果
1 枚目
5 枚目
10 枚目
15 枚目
20 枚目
25 枚目
30 枚目
35 枚目
40 枚目
45 枚目
50 枚目
エッチング時間(秒)
ファインエッチ
比較品
65
74
67
80
72
87
77
93
84
106
93
111
103
125
114
150
132
181
151
218
185
295
300
エッチング時間(秒)
ファインエッチ
250
比較品
200
y = 3.8172x + 42.443
150
100
y = 2.2224x + 48.15
50
0
5
10
15
20
25
30
処理枚数
35
40
45
50
精密洗浄剤セミクリーンシリーズ:FINE ETCH
オーバーエッチ試験
パターニングされ、レジスト未剥離の Cr 基板に対し、さらに浸漬することでオーバ
ーエッチの進行度を測定する。
■ 試験方法
・ テストピース: パターン済み、レジスト未剥離 Cr マスク(40mm×50mm×1.1t)
・ 洗浄液
:
ファインエッチ
他社製エッチング液(比較対照)
・ 浸漬方法
:
液温 25℃、静置浸漬
・ 評価方法
:
浸漬時間毎に Cr、レジストパターン幅を測定する。
■ 試験結果
・ エッチング前のレジストのパターン幅
エッチング前
パターン幅(μm)
n=1
n=2
19
18
・ エッチング後の Cr のパターン幅
30 秒後
60 秒後
90 秒後
120 秒後
パターン幅(μm)
n=1
n=2
21
21
20
19
19
18
19
18
精密洗浄剤セミクリーンシリーズ:FINE ETCH
液管理方法
・ 均一したエッチング力を維持するため、定期的にエッチング液の交換を行ってくだ
さい。
注意事項
・ 高温、低温、直射日光を避け、冷暗所にて保管してください。
・ 使用時はゴム手袋、保護メガネ等を着用してください。
・ ご使用の前には必ず MSDS をご参照ください。
・ 本液により鉄、ステンレス等は腐蝕されます。エッチング槽には必ずグラスライニ
ングもしくはプラスチック(PE槽など)の材質のものをご使用下さい。
廃液処理
・ 廃液中には重金属が含まれますので、ご使用後の液の処理は、必ず産業廃棄物業者
に委託してください。
その他
・ 引火性は無く、消防法上での危険物に該当しません。
・ 毒物および劇物取締法に該当しません。
・ PRTR 法に該当しません。
・ オゾン層破壊物質を含有せず、オゾン層保護法に該当しません。
・ 内分泌撹乱物質、いわゆる環境ホルモンを含みません。
この技術資料は弊社研究室において行った結果を
元に作成されています。
製品の御使用に際して必ずしも結果が一致するとは
限りません。
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