ナノインプリント・高速転写技術

ナノインプリント・高速転写技術
谷口 淳
准教授
ロール転写により３次元ナノ構造を
高速に作製することが可能
３次元ナノ構造を有する金型からロール転写によりフィルム上に高速に転写することが可能。
基礎工学部・
転写材料としては、樹脂だけでなく金属の転写も可能であり、また３次元ナノ構造の例として
電子応用工学科
は、防汚性を持った反射防止構造フィルムなども作製可能である。 ロール転写による
高速３次元ナノ構造転写技術
WINDER
REWINDER
ロールトゥロール（RTR）ー UV ナノインプリントリ
ソグラフィ（UV-NIL）によって18m/min の速度
でナノパターンを転写することができる。ロール金
型は、マスター金型から起こした樹脂のレプリカ
モールドをロールに巻きつけて用いる。そのため、
Nip pressure
∼0.3MPa
500nm
ロールナノインプリント
装置概観図
100nm
手持ちの平板金型からRTR 化による量産が可能と
なる。従来の RTR−NILでは高アスペクト比構造
の転写は難しかったが、レプリカモールドの工夫に
よりアスペクト比 5 の 100nm 線幅のパターンの
18m/minで
転写可能
転写も可能である。用途としては、プリンテッドエ
レクトロニクス、反射防止構造（モスアイ）フィル
ム、透明電極、ワイヤーグリッド偏光子などがある。
Replica mold
蛍光灯の
映り込み
金型（上面写真）
下の文字が
読める
全部が透明
に見える
金型（斜め写真）
Roll to Roll
反射防止構造金型を用いた
樹脂や金属のナノ構造作製
グラッシーカーボン（GC）に酸素イオンビーム
穴 63.9[nm]
を照射することにより、表面が荒れ反射防止構
ピッチ
44.8[nm]
針の径
30[nm]
高さ
215[nm]
PET
フィルム
PETフィルムに
反射防止構造付き
反射防止構造フィルム
反射防止構造フィルムの外観写真
890mm
造（モスアイ構造）が形成される。この金型を
用いて樹脂だけでなく金属のナノパターンを
フィルム上に転写することが可能である。樹脂
の場合は、UV-NILで転写し、金属の場合は、
金属の酸化膜を離型層として用いることによ
り、金、銀、銅などが転写できる。従来は樹
ピッチ
67.4[nm]
針の径
53.5[nm]
転写樹脂（上面写真）
脂の転写のみであったが、金属材料に関して
高さ
217[nm]
転写樹脂（斜め写真）
反射防止構造
（モスアイ構造）
フィルムの作製
（上：金型、
下フィルム）
940mm
も金型を用いて転写できるようになった。用途
は、反射防止構造、プラズモン素子、配線、
プリンテッドエレクトロニクスなどがある。
201401SA450
本件お問い合わせ先 科学技術交流センター（承認TLO） 〒125-8585 東京都葛飾区新宿6-3-1 TEL（03）5876-1530 FAX（03）5876-1676 E-MAIL [email protected] URL http://www.tus.ac.jp/tlo/