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イオンクリーンボックス取扱説明書

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イオンクリーンボックス取扱説明書
この度は、本製品をお買い上げ頂き、誠にありがとうございます。
本装置を正しくお使い頂く為に この取扱説明書を熟読の上、本機の性能を充分
に発揮できるよう 正しいお取扱いをお願い致します。
また、この取扱説明書は大切に保管して下さい。
1.安全上のご注意
目次
1.安全上のご注意・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P2
2.イオンクリーンボックス概要・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P2
3.操作方法 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P3
4.保守・メンテナンス・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P5
5.トラブルシューティング・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P8
6.イオンクリーンボックス共通仕様・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ P9
● 本装置は防爆認定品ではございません。可燃性ガスや溶剤等を取り
扱う場所で使用しないで下さい。着火、爆発の危険があります。
● 本装置は、水や油が掛かる場所や、高温多湿の場所への設置は避けて
下さい。特に結露する場所は避けて下さい。絶縁劣化による火災の恐れ
があります。
● 放電針の先端が鋭利になっており、身体にケガを負う恐れがありますので
取扱いには十分ご注意して下さい。
● 電源コードのアース線は、必ずアースに接続して下さい。アースが不完全
ですと、装置に人体が触れたとき電気ショックを受けます。
● 保守が不充分ですと、装置の寿命が短くなります。保守点検を充分に行っ
て下さい。
7.外観寸法・仕様一覧
(1)SE シリーズ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P10
(2)SE-□□K シリーズ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P11
2.イオンクリーンボックス概要
(3)SEJ シリーズ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P11
本製品は、ワークに付着しているダストを除去すると同時に再付着の防止を
8.SEB スイングブローシステム・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P12
行なう除塵・除電装置です。搭載しているイオナイザーよりイオンブローを噴き
9.外観寸法・各部名称・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P12
付け帯電物の静電気を中和すると同時に付着した塵埃を噴き飛ばし塵埃
10.操作方法・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P12
回収ブロアまたは、別置集塵機により塵埃を回収しクリーンな空気に変換し
11.主な仕様・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・P15
外部に排出します。
-2-
3.操作方法
(2)タイマー設定
帯電状態や塵埃の付着状態により、タイマーを設定して下さい。 ・SE-02C/100/200/300/400/600/10K/30K/SEJ-R シリーズ
●供給する圧縮エアーは、乾燥したクリーンエアー(ミスト浄化率98%以上)を
ご使用下さい。 供給されない状態が続きますと故障の原因になります。
0
連続(センサー同期)
1
2
1秒
2秒
9
9秒
(1)設置準備
1) 本装置は水、油、塗料等が掛からない場所に設置してご使用下さい。
2) 本装置の電源コードは、アース端子付です。必ず接地を行なって下さい。
アースが不完全な場合、除電性能が低下する恐れがあります。
3) SE-100/300シリーズの場合は、図-1のように同梱のフィルターを取付けて
・SE-01P/02P/03P/04P/06P/SEJ-2/SEB-2 シリーズ
下さい。それ以外は装着済みです。
4) エアー配管接続口にエアーチューブを接続して下さい。
5) エアー機器(お客様設置)の元弁を開きレギュレーターのハンドル(当社設置)
を図-2のように調整 して圧縮空気を供給して下さい。
タイマー運転ON
使用圧力範囲 :SE-01P/-02P/-03P/-04P/-06Pの各シリーズは、0.05~
0.5Mpa上記以外の型式は、0.05~0.7Mpa を基本に設定して下さい。
設定は、除塵・除電状態をご確認の上、都度調整を行なって下さい。
SW_1
SW_2
2秒
7秒
3秒
10秒
SW 2 拡大図
(3)動作モード設定
メッシュ板
減圧
増圧
・SE-200/400/600 シリーズ パルス対応の場合 (オプション)
ロック 解除
フィルター
パルス
パルス① 50ms
連 続
パルス② 70ms
ロック
メッシュ板
【図 - 1】
【図 - 2】
拡大図
-3-
-4-
5秒
・SE-01P/02P/03P/04P/06P/SEJ-2/SEB-2 シリーズ
4) 放電針の先端は鋭利になっている為、取扱いには十分ご注意願います。
破損した場合は、除電性能が十分に発揮しませんので交換が必要となります。
パルス
パルス 70ms
また、清掃を行なっても性能が回復しない場合は放電針の交換を行なって
下さい。(交換の目安 約10,000時間)
5) 放電針の清掃時にワイヤーブラシ等の硬い材質の物を使用しないで下さい。
SW_1
放電針が破損し故障の原因となります。
SW_2
連 続
パルス 50ms
6) 下図参考に清掃を行なって下さい。
SW 1 拡大
(4)操作
1) 電源を入れると同時に塵埃回収ブロアが動作します。
ワンタッチ式
(SE-100/SE-300はセンサー同期で動作します。)
2) ワークを投入して下さい。
3) ワーク検出センサーが検知するとイオンブローを開始します。
4) タイマー設定した場合は、設定した時間イオンブローを行ないその後
停止し、待機状態になります。
5) 連続設定した場合は、ワーク検出センサーが検知している間、連続して
イオンブローを行ないます。
コネクターを外す
6) パルス設定した場合は、間欠動作を行ないます。
ロック用つまみを
回転させる
矢印の方向に
引き抜く
放電針を清掃
4.保守・メンテナンス
ネジ込み式
● 保守・点検清掃時は必ず電源およびエアーを切ってから行って下さい。
● 放電針の先端が鋭利になっていますので、取扱いには十分注意して
下さい。身体にケガを負う恐れがあります。
(1)イオナイザー
1) 本装置は水、油等が掛からない場所に設置して下さい。
万一、汚れた場合にはウエス等で拭き取って下さい。
2) イオナイザーには放電針があり、先端に汚れが付着しますと除電効果が低下
しますので、定期的に清掃を行って下さい。(清掃目安 50~100時間)
ノズル部
スパナ等で
ノズルを取外す
ノズルを清掃
3) 清掃は綿棒等にアルコールをしみ込ませ、先端部の汚れを拭き取って下さい。
-5-
-6-
放電針を清掃
(2)塵埃回収ブロア
7)塵埃回収ブロア交換要領 (機種代表例:SE-01P)
1) ご使用していると排気フィルターにチリやホコリが付着すると集塵能力が低下
しますので、定期的にフィルターの清掃を行なって下さい。
2) フィルターの汚れが落ちない場合は、交換して下さい。
3) フィルターが詰まった状態での使用は、故障の原因となりますのでご注意下さい。
4) フィルター交換は下記要領で行なって下さい。 (機種代表例:SE-01P)
取付ビスを外す
フィルターカバーを
外す
フィルターを取外す
取付ビスを外す
新しいフィルターを
装着する。
コネクターを外す
5) 排気ダクト(オプション)に集塵機を接続して使用される場合は、塵埃回収ブロ
塵埃回収ブロアを
手前に引き抜く
ナットを外す(4ケ所)
塵埃回収ブロア寿命目安
アを取り外してご使用下さい。そのまま使用されると 塵埃回収ブロアに負荷が
シロッコファン ・・・40,000時間 (SE-100/200/300/400/600)
掛かり故障の原因となります。
軸流ファン
・・・40,000時間 (SE-01P/02C/02P/03P/04P/06P)
5.トラブルシューティング
6) 塵埃回収ブロアを取り外して使用される場合は、下図を参考にリード線の黄色
と黒色を短絡してご使用下さい。
37303-3163-000 FL(3M)
37103-3163-000 FL(3M)
赤
赤
(+)
出力
(-)
塵埃回収ブロア
● 点検時は必ず電源およびエアーを切ってから行って下さい。
● 放電針の先端が鋭利になっていますので、取扱いには十分注意して
下さい。身体にケガを負う恐れがあります。
本装置は、塵埃回収ブロアの異常とイオナイザーの異常放電を検出します。
異常が発生した場合は、以下の内容を確認下さい。
黒
黄
コネクタ
短絡(塵埃回収ブロアを取外し、線のみを短絡)
-7-
黄 黒
1) 塵埃回収ブロアのNGランプ(赤色)が点灯した場合
本装置の電源を切り、塵埃回収ブロア本体及び周辺部の確認を次のように
行って下さい。
-8-
① 異物が混入してる場合は、異物を取り除き再度電源を入れ異常がないか
確認して下さい。
7.外観寸法・仕様一覧
(1)SE シリーズ
② 復帰しない場合は当社または、購入先に連絡して下さい。
2) イオナイザーのNGランプ(赤色)が点灯した場合
本装置の電源を切り、イオナイザーの放電針の確認を行って下さい。
① 異常放電の可能性がありますので、放電針の先端の欠け又は、汚れがない
か確認し、更に内部に異物が無いか確認を行って下さい。
② ノズル部が正常に取付けられているか確認下さい。
ノズル部がネジ込み式の場合、緩んだ状態になりますと正常に動作し
ませんのでご注意下さい。
③ 再度電源を入れ異常がないか確認して下さい。
④ 復帰しない場合は当社または、購入先に連絡して下さい。
※その他詳しい内容につきましては、付属のイオナイザーまたは、集塵機の
取扱説明書をご覧下さい。
6.イオンクリーンボックス共通仕様
入力電源 ※1
AC100V~240V ±10% 50/60Hz
使用流体
浄化された圧縮空気(ミスト浄化率99%以上)
エアー圧力範囲 ※2
0.05Mpa~0.7Mpa
配管接続口径
∅6/∅8 クイック継手
エアー流量
110ℓ ~ 190ℓ/min 0.3Mpa時 連続モード
イオン発生方式
交流式高周波コロナ放電
イオンバランス
±15Ⅴ以下
除電性能 ※3
1秒以下(1,000V⇨100V)
オゾン発生量
0.05PPm以下 0.3Mpa
使用温度/湿度
0℃~40℃ 35%~65%RH(但し結露無き事)
メインフィルター 捕集能力 ※4
SEシリーズ 10µm 85% SE-Kシリーズ 10µm 99%
測定距離300mm
※1 集塵機本体の電圧は単相 AC100Vまたは220V選択
※2 イオナイザーにより異なります。
※3 連続モード時の値です。エアパージ0.4Mpa /測定距離100mm
弊社測定条件のため、保証値ではありません。
※4 集塵機仕様については、別途クリーンルーム対応機種もございます。
(HEPAフィルタ能力 0.3μm 99.97%以上)
-9-
寸法
A×B×C 【mm】
SE-100
Series
SE-200
Series
SE-300
Series
SE-400
Series
SE-600
Series
SE-01P
Series
SE-02C/P
Series
SE-03P
Series
SE-04P
Series
SE-06P
Series
寸法
集塵能力 消費電力 本体重量
D×E 【mm】 【m 3/min】
【W】
【kg】
200×295×285
130×230
1.65
25
7
200×400×285
130×230
3.30
34
9
400×350×380
230×290
1.65
25
11
400×425×380
220×305
4.95
50
17
600×530×450
275×410
6.60
66
26
200×280×280
185×185
3.88
21
6
200×362×280
130×230
3.88
21
9
300×380×333
217×268
7.76
39
9.5
400×415×385
255×315
7.76
39
11
600×500×455
330×380
11.64
54
17.5
付属品
予備フィルター1枚
メッシュ板1組
予備フィルター1枚
メッシュ板1枚
予備フィルター1枚
メッシュ板1組
予備フィルター1枚
- 10 -
予備フィルター1枚
メッシュ板1枚
予備フィルター1枚 (2)SE-□□Kシリーズ
8.SEB スイングブローシステム
本製品は、スイングブローとイオナイザーの制御を行うことができる装置です。
エアーの噴き付けを連続または、間欠に切り替えることが可能で、高周波式の
イオナイザーやエアーガンなどをエアー配管接続口に接続して使用する事が可
能です。また、センサーや外部入力端子に、フットスイッチなどを接続することに
より、エアー機器と連動した制御が可能です。
9.外観寸法・各部名称
寸法
A×B×C 【mm】
寸法
D 【mm】
寸法
E 【mm】
SE-10K
450×470×970
850
670
SE-30K
520×570×1,070
850
685
集塵能力
【m 3/min】
5.5 (一般環境用)
4.0 (クリーンルーム用)
9.5 (一般環境用)
7.0 (クリーンルーム用)
本体重量
【kg】
42
36.5
60
53.5
(3)SEJ シリーズ
10.操作方法
【SEJ-2B】
【SEJ-2】
センサー検出
アーム長さ
樹脂チューブ長さ 本体重量
【mm】
【kg】
【mm】
【mm】
SEJ-2
150
133×133
600
3.5
一体型
SEJ-2B
150
133×133
1,000
3.9
セパレート型
- 11 -
備考
●供給する圧縮エアーは乾燥したクリーンエアー(ミスト浄化率98%以上)を
ご使用下さい。供給されない状態が続きますと故障の原因になります。
(1)設置準備
1) 本装置は水、油、塗料等が掛からない場所に設置してご使用下さい。
- 12 -
2) 本装置の電源コードは、アース端子付です。必ず接地を行なって下さい。
(2)動作モード設定
3) エアー配管接続口(IN側)にφ10のエアーチューブを接続して下さい。
1) 連続モードまたは、パルスモードを選択し、ご使用になられる設定に切り替えて
4) エアー機器(お客様設置)の元弁を開き、本装置のスイングブロー及び
下さい。
イオナイザー用の各圧力調整ハンドルを調整して圧縮空気を供給して下さい。
5) スイングブローとイオナイザーを併用してご使用になられる場合は、
パルス 70ms
パルス
イオナイザーの圧力は、0.2Mpa以下でご使用下さい。
6) 使用圧力範囲は、0.05Mpa~0.7Mpaで設定を行なって下さい。
7) エアー配管接続口(OUT側)にエアーチューブを接続して下さい。
SW_1
片側でご使用の場合は、ワンタッチ継手部に市販のプラグを挿入し配管を塞
SW_2
いで下さい。
連 続
パルス 50ms
SW 1 拡大図
スイングブロー用 圧力調整
レギュレータ
減
増
減
(3)タイマー設定
1) 帯電状態や塵埃の付着状態により、タイマーを設定して下さい。 増
イオンブロー用 圧力調整
タイマー運転ON
5秒
レギュレータ
2秒
7秒
3秒
10秒
SW_1
モード設定用ディップスイッチ
SW_2
SW 2 拡大図
端子台
(4)操作
1) ワーク検出センサーが検知した時や、外部入力信号により動作を開始します。
電源スイッチ
電源インレット
2) タイマー設定した場合は、設定した時間動作を行ないその後、停止し待機状
態になります。
3) 連続設定した場合は、ワーク検出センサーが検知している間、連続して動作
エアー配管接続口 ∅10(IN
イオン
ブロー
スイングブロー(OUT側) ∅ 8
- 13 -
を行ないます。
4) パルス設定した場合は、間欠動作を行ないます。
- 14 -
(5)端子台
センサー接続
イオナイザー
①接続
イオナイザー
外部
F,G
COM(-)
1,本製品は、弊社の製品検査に合格したものです。保証期間中に、
正常なご使用のもとで弊社の設計、製作上の不備により故障や
破損が発生した場合には、故障または破損箇所を無償にて修理
致します。
+24V
0V
出力
+24V
+24V
0V
0V
異常信号
(OUTPUT)
異常信号
(OUTPUT)
放電停止信号
(INPUT)
放電停止信号
(INPUT)
2,保証期間 : 納入日から 1 年間
3,次の原因に依る故障、破損の修理、交換は有償とさせて頂きます。
① 正常でないご使用、または保管による故障、破損。
② 弊社および弊社指定以外の修理、改造による故障、破損。
③ 火災、天災、地変などの災害及び不可抗力による故障、破損。
④ その他、当社の責任とみなされない故障、破損。
製
名
品
型
製
式
造
番
号
納 入 年 月 日
※1 イオナイザー②を未使用の場合は、端子番号6番と10番を短絡させて
本装置に対するご意見・ご質問等は、下記にお問合せ下さい。
下さい。
11.主な仕様
入力電源 AC100V~240V ±10% 50/60Hz
使用流体
浄化された圧縮空気(ミスト浄化率99%以上)
エアー圧力範囲 ※2
0.05Mpa~0.7Mpa
配管接続口径
∅10 クイック継手
供給エアー流量(max) 600ℓ/min 0.3Mpa時 連続モード
使用温度/湿度
0℃~40℃ 35%~65%RH(但し結露無き事)
本体重量
3.9kg
【kg】
※2 イオナイザーまたは、接続機器により異なります。
- 15 -
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