世界最小ながら、流量を高感度、高速応答で計測 質量流量計測・制御用

電子産業分野
企業集
コフロック株式会社
0774-62-4411
http://www.kofloc.co.jp/
世界最小ながら、流量を高感度、高速応答で計測
質量流量計測・制御用センサー
筺体内の上、下流に配置された発 熱・測温素子に生じる電 圧 差から流 体の流 量を測定しま
す。微小な加工技術で発熱効率を高めたほか、筺体内のセンサーに流体を円滑に呼び込む設
計により高速、高感度の計測を可能にしました。
技
術
概
要
MEMS技術などにより世界最小の熱式質量流量
センサーを実現
当社の熱式流量センサーは流量検出素子基板と流路筺体
で構成されています。流量検出素子基板はガラスエポキシ基
板に流量検出素子を固定しています。流量検出素子はシリコ
ンウエーハー上に白金薄膜による上下流一対の流量検出発
熱・測温素子と流体測温素子を設けています。流量検出発熱・
測 温 素 子 は そ の 電 流による発 熱 が 効 果 的に出 来るよう
MEMS技術で裏側に空洞を形成した絶縁薄膜上に形成され
ています。加えて、流路筺体は外部からの流体をセンサー表
面に効率よく、乱れの発生のない形で導入するための部材で
あり、
センサーへの被測定流体の高効率導入を可能とするも
のを開発し、世界最小サイズを実現しています。
流体
温度検出素子
機
器
・
装
置
1msecの高速で0.1ml以下の流量が測定可能
被測定流体は上下流発熱・測温素子上を直交して流れる、
上下発熱測温素子は抵抗値の和、従って両素子の平均温度
が流量値変化（流入流体温度一定で）
に対しては一定値に、流
体温度変化に対しては全流量測定範囲で温度によるセン
サー出力誤差が最低になるよう別途の駆動電子回路からの
電流で制御されています。流体流量に応じて上流発熱・測温
素子の温度（抵抗値）
が低下し、下流発熱・測温素子の温度（抵
抗値）
が上昇し、両素子の電圧が変化し、
この電圧の差を検出
することによって流体の流量を測定しています。
このことにより、1msecの高速で0.1ml以下の流量も測
定することが可能になります。
流路筐体
上流側
発熱・測温素
子i
下流側
発熱・測温素子 i
センサー保持基板
センサー駆動・信号検出電子回路基板
センサー駆動方式のブロックおよび流量スイッチ応用例
ココに注目
●独自性及び他社との比較
現在のMEMS技術による質量流量セン
サーはすべて、発熱用センサーを中央に、
上下流に測温センサー配置した方式を採
用しているのに対して、本センサーは対象
検出流量域を可能な限り低く、流量検出応
答速度を速く、必要なリード配線を少なく
するなどの目的で、発熱・測温を兼用素子
とし、上下流測温素子間をできる限り狭く
しています。そのことにより、他社では実現
できない最小検出流量を毎分0.1ml以下,
応答速度を1mSec以内、
センサー占有面
8mm×17mmを実現しています。
■
●応用分野
会社概要・基本情報
所 在 地 〒610-0311
京都府京田辺市草内当ノ木1-3
Ｕ Ｒ Ｌ http://www.kofloc.co.jp/
Ｔ Ｅ Ｌ 0774-62-4411
Ｆ Ａ Ｘ 0774-68-2811
●顧客に与えるメリット
従来の巻き線式質量流量計、面積式流
従来の巻き線式流量計、差圧式流量計
量計および差圧流量計の適用分野に広く
に対して小型、高速応答さらにコストメリッ
応用でき、さらには、従来圧力センサーが トが高い流量計測制御デバイスとして活用
用いられていた漏れ試験、および吸着移送
できます。
に適用することによって、各作業時間の大
幅な削減が可能となっています。特に高速
チップマウンターでは小型電子機器のプリ
ント基板に実装する部品の小型化に伴い、
従来の圧力センサーでは難しくなっている
ため、高速、高感度の流量スイッチとしての
活用が進められています。
■
従業員数
213名
資 本 金 40,000万円
設 立 1974年7月
代表者名 代表取締役社長
小島 久寿
業務概要
流体の微少流量域の計測・制御技術を専門的に開発し
理化学機器、一般産業用流体計測機器、
流量・圧力制御用バルブ及び配管部品、窒素・酸素・オ
ゾンガス発生装置、及び各要素機器技術の集積応用に
よるエンジニアリング装置の製造・販売。
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