ML Series 超音波レベル計

ML Series
超音波レベル計

非接触型マイクロ測定のレベル/距離

± 0.0002” (±0.005 mm) の精度

材料との接触はありません。
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小型サイズのため、どこにでも適合します。

シングルまたはマルチ・チャネル
概要
Measurement Specialties社のML Series Precision Micromeasurement System（精密マイクロ測定システム）は、 以
前は超音波センサが使用できなかったアプリケーションに適合するために、小型センサ技術を達成しました。センサのサ
イズが小さくなったことにより、自動試料採取装置、ロボットによる試料採取装置、滴定設備、マイクロサンプリング装置
および試験管立てで使用できます。ML system は ± 0.0075” (± 0.19 mm) の精度で、高速、マルチポイント、非接触の
超音波測定を行います。ML system は、一個で1 ～ 24個のトランスデューサを収納するモジュール設計に基づいてい
ます。 ML System はそのシリアルポートを使って完全にプログラムが可能です。4-20 mA、0-10 VDC または RS-232
の出力の選択が可能です。超音波は利用可能な他のシステムに比べて多くの利点があります。測定は液体の色や色
の欠如に影響されません。その液体との物理的接触がないために試料の乱れが発生しません。
機能
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アプリケーション
測定範囲: 0.5 ～ 5” (12.7 ～ 127mm)、より長い
範囲の場合はメーカにご相談下さい。
容器 /パイプの開口部（直径）はφ3.2 mmの小ささで
す。 
非接触の超音波が試料媒体の汚染を排除する
一方で、高いシステムの処理能力（スループット）
を維持します。 
校正も特別の取付けも必要がありません。 
PC 適合型です。 
測定は液体の色、密度、不透明性に影響を受けま
せん。 
高速応答時間はプログラムが可能です。 
標準精度 ±0.0075” (±0.19 mm) 
より高い精度 ±0.0005” (±0.01 mm) 
高精度 ±0.0002” (±0.005 mm) 
ML Series
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接着用途 
自動試料採取装置
ボトル充填
サイズ分析
ドラム缶/トート袋のレベル 
充填確認
マシンの逃げ（振れ）
材料の厚み 
ロボットアームの位置
形状/プロファイリング 
バルブ/ツールの位置 
ウエハーの集計 
ウエハーのプロファイリング 
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ML Series
性能仕様
パラメータ
通常数値
パラメータ
通常数値
測定
レンジ
0.5 ～ 5” (12.7 ～ 127mm)、より長い
レンジの場合はメーカにご相談下さい。
入力電力
115/230 VAC, 50/60 Hz, 24 VDC,
12VDC
精度
±0.1% FS(室温)
±0.01mm以上をご希望の場合は
お問合わせ下さい。
出力
0-10 V, 4-20 mA, および RS-23 の選択。
(選択表を参照下さい)
RS-232 と各チャネルのアラーム設定ポイント
(ML-11/ML-04/ML-08)
繰り返し性
レンジの±0.05%
チャネル
設定ポイント/
サンプル
シングル、最大32
サンプル速度
プログラム可能
外径 0.25”(6.35mm), 0.312”(7.93mm);
選択表を参照。
温度
補償
フル作動レンジに対して自動温度補償
(オプショナル)
センササイズ
温度
レンジ
センサ: -29 ～ 71°C
エレクトロニクス: -29 ～71°C
プログラム可能
センサ
材質
Epoxy, 316LSS
ケーブル長
3m (10 ft.) 標準、より長いケーブルも可能。
機械的寸法 単位 inches [mm]
図 1: ML series elements の電子モジュール
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機械的寸法 単位 inches [mm]
図 2: ML series elements multi-channel continuous level electronic module（マルチ・チャネル連続レベル電子モジュール）
図 3: ML series elements sensors.
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アプリケーション
図 4: ML series elementsのアプリケーション; a) 半導体ウエハーの輪郭、均一性、平面性、湾曲、反り（Semiconductor
wafer profile, evenness, flatness, bow, warpage）; b) 厚み測定（Thickness measurement）; c) 光学とコンタクト
およびレンズの厚みと曲率のオンライン検査（Optics and contacts and lens thickness and curvature on-line
inspection）
発注の仕方
エレクトロニクス（electronics）、センサ(sensor) 、ケーブル(cable) および 温度センサ（temperature sensors）は別途販
売されます。それぞれの部品番号を明記して下さい。
A. Electronics
Channels
Input Voltage
Output
Enclosure
Display
Part Number
ML-01
1
ML-11
1
24 VDC
RS-232/Strobe
24 VDC
RS-232/4-20 mA
Nema 1
No
17608
Nema 1
Yes
17621
ML-11
1
24 VDC
RS-232/0-10 V
Nema 1
Yes
17622
ML-11
1
ML-11
1
24 VDC
RS-232/Strobe
Nema 1
Yes
17623
24 VDC
RS-232/4-20 mA
Nema 1
No
17624
ML-11
1
24 VDC
RS-232/0-10 V
Nema 1
No
17625
ML-04
4
24 VDC
RS-232/Strobe
None
No
18304
ML-08
8
24 VDC
RS-232/Strobe
None
No
18308
B. Sensor
Outer
Diameter
0.25”
0.25”
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Sensor Housing
Connection
Part Number
Epoxy
Quick Disconnect
098-10001
Epoxy
SMA
098-10060
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発注の仕方
C. Cable
Cable Type
Part Number
Quick disconnect to SMB connection
CBL-Q1A0S2-XX
SMA to SMB connection
CBL-A2A0S2-XX
* 標準は 10 feet、特注のケーブル長のオプションは 2, 5, 10 および 20 feetがあります。部品番号のXXの個所を要求の
feet 数に置き換えて下さい。
D. Temperature Sensor (必要に応じて)
Part
Part Number
Temperature sensor
076-10005-XX
* 2, 5 、または10 feetを明記して下さい。部品番号のXXの個所を要求の feet 数に置き換えて下さい。
技術問題問合せ先
North America
Europe
Asia
Measurement Specialties, Inc.
1000 Lucas Way
Hampton, VA 23666
Tel: 1-800-745-8008
Fax: 1-757-766-4297
Sales: [email protected]
MEAS Deutschland GmbH
Hauert 13
44227 Dortmund
Germany
Sales & Customer Service: +49 (0)231 9740 21
Technical Support: +44 (0)138 38700 01
Email: [email protected]
Measurement Specialties (China) Ltd.
No. 26 Langshan Road,
High-Tech Park (North)
Nanshan District, Shenzhen 518057
Tel: +86 755 3330 5068
Email: [email protected]
本書の情報は慎重に検討された正確な内容であると確信しています。; 然しながら、正確さを欠いた場合の責任はとれません。さらに、本書の情報は装置の購入者
にメーカの特許権の下にあるライセンスを伝達するものではありません。Measurement Specialties, Inc. はこの中に記載された製品に関して通知なしに変更を行う権
利を留保します。Measurement Specialties, Inc. はその製品の特定目的の適合性に関していかなる製品保証も、紹介も補償も行いません。さらに、Measurement
Specialties, Inc. は製品や回路のアプリケーションや使用により発生したいかなる損害賠償も引受けません。特に、無制限の結果的損害または付随的損害を含むい
かなる損害賠償も拒否します。代表的なパラメータは異なるアプリケーションの中では必ず変動します。すべての操作パラメータは、ユーザの技術専門家がユーザの
アプリケーションごとに責任をもって確認しなければなりません。Measurement Specialties, Inc. は特許権の下にあるいかなるライセンスも、その他の権利も与えるこ
とはありません。
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