EBARA

EBARA 300㎜ CMP
F☆REX300E
セクション 1. システム構成
ｾｸｼｮﾝ1.目次
Ⅰ . ＣＭＰ装置製作範囲
1-1．装置製作範囲
1-2．工事範囲
1-3．付属品
1-4．図書類
Ⅱ . 装置仕様
2-1．ｼｽﾃﾑ概要
2-1-1 基本仕様
2-1-2 ｳｪﾊﾌﾟﾛｾｽﾜｰｸﾌﾛｰ
2-2．詳細仕様
2-2-1 装置本体
2-2-2 ﾛｰﾀﾞ / ｱﾝﾛｰﾀﾞ
2-2-3 ﾊﾝﾄﾞﾘﾝｸﾞﾕﾆｯﾄ
2-2-4 ﾎﾟﾘｯｼｬ
2-2-5 ｽﾗﾘｰ供給ﾗｲﾝ
2-2-6 ﾘﾆｱ搬送ﾕﾆｯﾄ
2-2-7 洗浄ﾕﾆｯﾄ
2-2-8 電源
2-2-9 制御仕様
2-2-10 安全対策
2-2-11 ﾕｰﾃｨﾘﾃｨ
2-2-12 ﾌｯﾄﾌﾟﾘﾝﾄ
2-2-13 ｱｸｾｻﾘｰ
Ⅲ . 検査
Ⅳ . 品質保証
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EBARA CORPORATION
Ⅰ.CMP装置製作範囲
1-1. 装置製作範囲
名称
CMP装置
機名
F☆REX300E
台数
備考
1 別置き制御盤及び分電盤含む
1-2. 工事範囲
項目
1） 現場搬入 ※1
仕様
貴社御指定場所車上渡し
2） 据付け、ﾚﾍﾞﾙ調整
当社工事範囲
3） ﾕｰﾃｨﾘﾃｨ接続 ※2
装置内接続 :当社工事範囲
オプション/特別仕様
当社工事範囲
1次側接続 :貴社工事範囲
装置間接続 :貴社工事範囲
装置間接続 :当社工事範囲
ｾｸｼｮﾝ3.2 No.18参照
4）立上げ、調整
当社工事範囲
5) ｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝ・ﾒﾝﾃﾅﾝｽﾄﾚｰﾆﾝｸﾞ
無し
有り
1-3. 付属品
項目
1） 標準装置設置用部品
2） 立上げ用消耗部品
3） 治具
仕様
１式
１式
無し
オプション/特別仕様
ｾｸｼｮﾝ3.2 No.15,16,17参照
１式
1-4. 図書類
項目
1） 検査成績書
2） 取扱説明書 （普通紙）
標準仕様
1部
CD-ROM 1ｾｯﾄ
オプション/特別仕様
電源端子締付けﾄﾙｸﾁｪｯｸｼｰﾄ
※1 ｸﾘｰﾝﾙｰﾑ搬入時、装置洗浄の為のｱﾙｺｰﾙ、ﾍﾞﾝｺｯﾄ等は御支給下さい。
※2 貴社設備に施す工事（穴あけ、ｹｶﾞｷ等）については当社所掌外とさせて頂きます。
※３ CMP装置の回転摺動部、機械的負荷の加わる部位等は定期的なﾒﾝﾃﾅﾝｽが必要です。
当社での推奨交換部品、交換周期とその費用（部品代、交換作業時間、人工）について別途
ご相談させていただきます。定期点検及び定期交換部品の周期起点は装置運転開始日とします。
※４ 工事及びｵﾌﾟｼｮﾝ仕様/特別仕様の費用は、CMP装置本体価格に含まれておりません。
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EBARA CORPORATION
Ⅱ.装置仕様
2-1.ｼｽﾃﾑ概要
2-1-1. 基本仕様
項 目
仕様
オプション/特別仕様
装置概要
1） 機名
F☆REX300E
2） ｳｪﾊ規格
2-1） ｳｪﾊｻｲｽﾞ
径 (mm)
φ300±0.2
厚さ (mm)
0.775±0.025
2-2） 位置決め形状
ﾉｯﾁ形状 (mm)
2-3） 母材
ﾉｯﾁ専用
+0.25
0
+5°
角度:90°-/+1°
深さ:1
ｼﾘｺﾝ
3） 対象膜
※１
4） ﾎﾟﾘｯｼﾝｸﾞｸﾛｽ
※１
5） ﾎﾟﾘｯｼﾝｸﾞｽﾗﾘｰ
※１
6） 処理単位
枚葉
7） 装置外形寸法(W×D×H㎜)
1500×600×1900
8） 装置ﾒﾝﾃｽﾍﾟｰｽ(W×D×H㎜)
3900×4995×3250
9） 装置本体重量(kg)
6900
10） 分電盤外形寸法(W×D×H㎜)
1500×600×1900
11） 分電盤重量(kg)
482
12） 分電盤ﾒﾝﾃｽﾍﾟｰｽ(W×D×H㎜)
1500×1400×1900
1 ｾｸｼｮﾝ3.2 No.26参照
ﾒﾝﾃｽﾍﾟｰｽは扉前面に800 mm
13） 分電盤ﾚｲｱｳﾄ
装置背面中央より20ｍ 以内
14） ﾕﾆｯﾄ数
14
15） ﾕﾆｯﾄ数内訳
L/UL:ﾛｰﾀﾞ/ｱﾝﾛｰﾀﾞﾕﾆｯﾄ
×1
W/S: ｳｪﾊｽﾃｰｼｮﾝ
×1
Ｔ/U :ﾊﾝﾄﾞﾘﾝｸﾞﾛﾎﾞｯﾄ
×2
P
×2
:ﾎﾟﾘｯｼﾝｸﾞﾕﾆｯﾄ
1洗 :1次洗浄
×2 ｳｪﾊ表裏面洗浄
2洗 :2次洗浄
×2 ｳｪﾊ表面洗浄＋ｽﾋﾟﾝ乾燥
LTP :ﾘﾆｱﾄﾗﾝｽﾎﾟｰﾀ
×2
F/U :ﾌｨﾙﾀﾕﾆｯﾄ
×2
※１ 御打合せにて決定させて頂きます。
※２ 4545 (FOUP含む)
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Ⅱ.装置仕様
2-1.ｼｽﾃﾑ概要
2-1-1. 基本仕様
CR1-R : 1次洗浄機Ｒ
1
自立盤
(Nano,ME-20)
DR-R :ﾄﾞﾚｯｻＲ
ITM(Nano9010 bXLS)
CL2-R : 2次洗浄機Ｒ
RB-D : 搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ﾃｰﾌﾞﾙ R
(2側）
ﾄｯﾌﾟﾘﾝｸﾞ R
4 ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ
LTP : ﾘﾆｱ
ﾄﾗﾝｽﾎﾟｰﾀｰ
電源供給
ﾕﾆｯﾄ
ﾃｰﾌﾞﾙ L
(1側）
ﾄｯﾌﾟﾘﾝｸﾞL
(装置外付け)
W/S : ｳｪﾊｽﾃｰｼｮﾝ
DR-L : ﾄﾞﾚｯｻＬ
RB-W : 搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
CL2-L : 2次洗浄機Ｌ
CL1-L : 1次洗浄機Ｌ
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EBARA CORPORATION
Ⅱ.装置仕様
2-1-2. ｳｴﾊ ﾌﾟﾛｾｽ ﾜｰｸﾌﾛｰ
2ｶｾｯﾄﾊﾟﾗﾚﾙﾓｰﾄﾞ:
1段ﾎﾟﾘｯｼｭ+ 2段洗浄
ｶｾｯﾄ1,2はＬ側
ｶｾｯﾄ3,4はR側のみ搬送
L,R側交差搬送は不可
1ｶｾｯﾄｼﾘｱﾙﾓｰﾄﾞ:
2段ﾎﾟﾘｯｼｭ + 2段洗浄
L→R側
ロボット-Dアーム
ロボット-W上アーム
ロボット-W下アーム
リニアトランスポーター
全てのｶｾｯﾄからﾌﾟﾛｾｽ順またはﾚｼﾋﾟの設定により搬送
（各ｶｾｯﾄ処理終了後に次のｶｾｯﾄへ移行）
※いずれのﾓｰﾄﾞ運転においても、異なる運転形態の同時実行は出来ません。
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EBARA CORPORATION
Ⅱ.装置仕様
2-2 詳細仕様
項 目
仕様
オプション/特別仕様
1. 装置本体
1） 筐体
1-1) 本体構成
ﾛｰﾄﾞｱﾝﾛｰﾄﾞ部・洗浄部／ﾎﾟﾘｯｼｬ部Ｒ側／
ﾎﾟﾘｯｼｬ部Ｌ側にてﾌﾚｰﾑを分割（3分割）
1-2） 材料
ﾎﾟﾘｯｼｬ側ﾍﾞｰｽ･ﾌﾚｰﾑ
洗浄側ﾍﾞｰｽ・ﾌﾚｰﾑ
外装ｶﾊﾞｰ
ﾀﾞｸﾄ・洗浄槽
ﾄﾞﾚﾝﾊﾟﾝ
1-3) 塗装
:
:
:
:
:
鋼材＋塗装
鋼材＋塗装
ｱﾙﾐ＋塗装
PVC
PVC
1-5) 扉
ﾗｲﾄｸﾞﾚｰ、ﾌﾞﾙｰ、ﾎﾜｲﾄ
ﾗｯﾁ式 ＋ﾈｼﾞ止め
1
※ﾎﾟﾘ部扉ﾈｼﾞ撤去
ｾｸｼｮﾝ3.2 No.24参照
1 ※ﾎﾟﾘ部側面下段扉位置の上方修正ｼﾑ
追加
ﾋﾝｼﾞ部取り外し可
1-6) 地震固定金具
無し
1-4) ﾊﾟﾈﾙの脱着
耐震固定ブラケット ※1
※貴社設備への取付は、当社所掌外とさせて頂きます
2） 筐体内洗浄、搬送部気流
2-1) 気流ｻｲｸﾙ
ﾌｨﾙﾀﾌｧﾝﾕﾆｯﾄ（ﾛｰﾄﾞｱﾝﾛｰﾄﾞ,洗浄ｴﾘｱ）
（ULPAﾌｨﾙﾀ補集効率:0.15μｍの粒子に
対して99.9999%以上）
2-2) 局所排気部
全洗浄ﾕﾆｯﾄ
2-3) ｸﾘｰﾝｴｱ供給源
ﾌｨﾙﾀｰﾕﾆｯﾄ
3） 筐体内ﾎﾟﾘｯｼﾝｸﾞ部気流
3-1) 局所排気部
場所 : ﾀｰﾝﾃｰﾌﾞﾙ周辺
3-2) ｸﾘｰﾝｴｱ供給元
搬送 / 洗浄ｴﾘｱ
4） 配管
4-1) 材料
純水
継手
: PFA and PTFE
: 日本ﾋﾟﾗｰ社製ｽｰﾊﾟｰﾌｨｯﾃｨﾝｸﾞ
ｽﾗﾘｰ
継手
: PFA and PTFE
: 日本ﾋﾟﾗｰ社製ｽｰﾊﾟｰﾌｨｯﾃｨﾝｸﾞ
排液
: PVC
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EBARA CORPORATION
Ⅱ.装置仕様
2-2 詳細仕様
項 目
仕様
オプション/特別仕様
2. ﾛｰﾀﾞ/ｱﾝﾛｰﾀﾞ
1) ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ
ﾒｰｶ
: ASYST
型 式 : 300FL series ISO port
ｷｬﾘｱIDﾘｰﾀﾞ ASSYST
RF-TAG Reader/Writer
ｾｸｼｮﾝ3.2 No.11参照
2） FOUP
御打ち合わせによる
ﾒｰｶ
:
型式:
品番:
図番:
3） FOUP内ｳｴﾊ数
25枚
4） ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄﾞ数
4ﾎﾟｰﾄ
5） FOUP設置姿勢
ｳｪﾊ水平
ｳｪﾊﾊﾟﾀｰﾝ面上向き
6） ｳｪﾊ管理方法
7） ﾀﾞﾐｰｳｴﾊｽﾃｰｼｮﾝ
8） FOUP水平回転機構
9） FOUP有無確認機構
10）ｳｪﾊｾﾝｼﾝｸﾞ
① ｾﾝｼﾝｸﾞ方法
② ｾﾝｻｰ数
③ ｽｷｬﾝｽﾄﾛｰｸ
ﾓﾉｷｬﾘｱ方式
ｳｪﾊ 4枚 設置可能 (ｳｪﾊｽﾃｰｼｮﾝ下部）
無
有
光通信センサー上下スキャニング
投受光一対/ステージ
25枚
※1 装置立ち上げ用としてFOUP各4個 貸し出し願います。 現地立上げ終了時返却します。
※２ キャリア載置部設計のため、キャリア図面の提出をお願い致します。
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Ⅱ.装置仕様
2-2 詳細仕様
項 目
仕様
オプション/特別仕様
3. ﾊﾝﾄﾞﾘﾝｸﾞﾕﾆｯﾄ
1） ﾛﾎﾞｯﾄ数
1-1) ﾌｨﾝｶﾞｰ構成
2台（ﾛﾎﾞｯﾄＤry×1台、ﾛﾎﾞｯﾄWet×1台）
ｾｸｼｮﾝ3.2 No.6参照
2種類
ﾛﾎﾞｯﾄD : ﾄﾞﾗｲﾊﾝﾄﾞ×1本
ﾛﾎﾞｯﾄW : ｳｴｯﾄﾊﾝﾄﾞ×2本
FOUPｱｸｾｽ用
ﾎｰﾙﾄﾞ方式 : 落とし込み方式
材料 : ｱﾙﾐﾅｾﾗﾐｯｸ＋ﾃﾌﾛﾝｺｰﾃｨﾝｸﾞ
その他のﾕﾆｯﾄへの
ｱｸｾｽ用
ﾎｰﾙﾄﾞ方式 : 落とし込み方式
材料 : ｱﾙﾐ合金＋ﾃﾌﾛﾝｺｰﾃｨﾝｸﾞ
2) ｳｪﾊｽﾃｰｼｮﾝ
2-1) ｽﾃｰｼｮﾝの数
ﾄﾞﾗｲ ｳｪﾊ用 上下 2段
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EBARA CORPORATION
Ⅱ.装置仕様
2-2 詳細仕様
項 目
仕様
オプション/特別仕様
4. ﾎﾟﾘｯｼｬ
1） 構成
ﾄｯﾌﾟﾘﾝｸﾞﾕﾆｯﾄ ×2
ﾀｰﾝﾃｰﾌﾞﾙﾕﾆｯﾄ ×2
ﾄﾞﾚｯｻﾕﾆｯﾄ ×2
2）トップリングユニット
2-1) ポリッシング動作
定位置
2-2) ポリッシングの向き
ｳｪﾊのﾎﾟﾘｯｼﾝｸﾞ面が鉛直, 方向下向き
2-3) トップリングの数
2個
2-4) タイプ
ノーマル
2-5) 材質
ステンレス鋼/セラミックス
2-6) 回転数
10∼110min
2-7) 駆動源
2-8) 面圧
(アーム圧力)
2-9) バックサイド圧力
-1 ※１
0.75kW サーボモータ（減速機付）
100∼500hPa
※１
（最大加圧力: 3534N)
50∼500hPa
※１
2-10) ウェハホールド方式
ウェハホールド時
真空吸着
ウェハリリース時
純水＋N2
2-11) 死水対策
時限通水
・TCM(L/R側)
・R-ECM(L側）
・ﾃｰﾌﾞﾙ上放射温度計
・ｾｸｼｮﾝ3.2 No.13参照
3） ﾀｰﾝﾃｰﾌﾞﾙﾕﾆｯﾄ
3-1) ﾃｰﾌﾞﾙ数
2
3-2) ﾃｰﾌﾞﾙ直径
740 mm
3-3) 材料
SiC
3-4) 回転数
10-110 min-1 ※1
3-5) 駆動源
5.2kW ｻｰﾎﾞﾓｰﾀ（ﾀﾞｲﾚｸﾄﾄﾞﾗｲﾌﾞ） 3-6) ﾊﾟｯﾄﾞ張替
直貼式
3-6) ｽﾗﾘｰﾗｲﾝ数
3系統×2ﾃｰﾌﾞﾙ
3-7) 温調
ｼﾞｬｹｯﾄ通水式
3-8) ｽﾗﾘｰﾉｽﾞﾙ
ｵｰﾄﾀｰﾝﾉｽﾞﾙ
3-9) ｱﾄﾏｲｻﾞｰ
無し
4系統×2ﾃｰﾌﾞﾙ
ｾｸｼｮﾝ3.2 No.1参照
※1 ﾌﾟﾛｾｽ条件によって範囲が変わります。
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EBARA CORPORATION
Ⅱ.装置仕様
2-2 詳細仕様
項 目
4） ﾄﾞﾚｯｼﾝｸﾞﾕﾆｯﾄ
4-1) 方式
4-2) ﾄﾞﾚｯｼﾝｸﾞ本体直径
4-3) 回転数
4-4) 駆動源
4-5) ﾄﾞﾚｯｼﾝｸﾞ加圧力
4-6) ﾄﾞﾚｯｼﾝｸﾞ純水供給
4-7) ｾﾙﾌｸﾘｰﾆﾝｸﾞ
4-8) ﾄﾞﾚｯｼﾝｸﾞﾍｯﾄﾞの揺動
4-9) 死水対策
5. ｽﾗﾘｰ供給ﾗｲﾝ
1) 供給
2) 供給ﾗｲﾝ数
仕様
ﾀﾞｲﾔﾓﾝﾄﾞﾌﾟﾚｰﾄ
（ﾍﾟﾚｯﾄﾀｲﾌﾟ、ﾍﾟﾚｯﾄ36個で構成）
φ360mm
オプション/特別仕様
L側：#100ｲﾚｷﾞｭﾗｰ
1 R側：ﾘｼﾞｯﾄ型全面ﾊｰﾄﾞﾌﾞﾗｼ
-1
10-110 min
※１
0.4kW ｻｰﾎﾞﾓｰﾀ（減速機付）
100∼400N
1.0 ∼1.5 L/min。ﾊﾟｯﾄﾞ乾燥防止兼用。
ﾄﾞﾚｯｻ洗浄漕へ0.8L/minで供給
ﾄﾞﾚｯｻへは0.5L/minでｽﾌﾟﾚｰﾉｽﾞﾙを使
用。
固定 (揺動はしない)
時限通水
砥液流量計ｻﾝﾌﾟﾘﾝｸﾞｽｲｯﾁ(4系統）
切替えバルブ
ﾀｰﾝﾃｰﾌﾞﾙ用 3 系統×2 ﾃｰﾌﾞﾙ
ﾘﾀｰﾝﾗｲﾝ有
3) 容量
流量:
50∼500ml/min
(参考値)
※1 ﾌﾟﾛｾｽ条件によって範囲が変わります。
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4系統×2ﾃｰﾌﾞﾙ
砥液流量計(4系統）
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Ⅱ.装置仕様
2-2 詳細仕様
項 目
6. ﾘﾆｱ搬送ﾕﾆｯﾄ
1) 構成
2) 反転機
2-1) ｳｪﾊﾎｰﾙﾄﾞ方式
2-2) ｳｪﾊﾎｰﾙﾄﾞ部材料
2-3) 純水による洗浄
1) 洗浄方法
2) 純水供給
3) ﾘﾌﾀｰﾕﾆｯﾄ
3-1) 純水による洗浄
1) 洗浄方法
2) 純水供給
4) ﾘﾆｱｽﾃｰｼﾞﾕﾆｯﾄ
4-1) ｳｪﾊﾎｰﾙﾄﾞ部材料
4-2) ｳｪﾊの数
5) ﾌﾟｯｼｬﾕﾆｯﾄ
5-1) ﾄｯﾌﾟﾘﾝｸﾞとｳｪﾊ表面の洗浄
1) 洗浄方法
2) 純水供給
仕様
反転機
ﾘﾌﾀｰﾕﾆｯﾄ
ﾘﾆｱｽﾃｰｼﾞ
ﾌﾟｯｼｬﾕﾆｯﾄ
オプション/特別仕様
×2
×2
×4
×2
ｸﾜｶﾞﾀｱｰﾑ開閉 : ﾛｰﾗ溝ﾁｬｯｸ方式
PCTFE
ｽﾌﾟﾚｰﾉｽﾞﾙ
ｳｪﾊ表面（1ﾕﾆｯﾄあたり）1 L/min ※１
死水対策 ：時限通水
ｽﾌﾟﾚｰﾉｽﾞﾙ
ｳｪﾊ表面（1ﾕﾆｯﾄあたり）2 L/min ※１
ｳｪﾊ裏面（1ﾕﾆｯﾄあたり）2 L/min ※１
死水対策 : 時限通水
PCTFE
4
ｽﾌﾟﾚｰﾉｽﾞﾙ
1ﾕﾆｯﾄあたり 2 L/min ※１
死水対策 ：時限通水
5-2) ｳｪﾊ吸着面の洗浄
1) 洗浄方法
2) 純水供給
ｽﾌﾟﾚｰﾉｽﾞﾙ
1ﾕﾆｯﾄあたり 1L/min ※１
死水対策 ：時限通水
※１ ﾉｽﾞﾙ単体での定格流量となります。
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EBARA CORPORATION
Ⅱ.装置仕様
2-2 詳細仕様
項 目
仕様
オプション/特別仕様
7. 洗浄ﾕﾆｯﾄ
1） 構成
1-1) ﾕﾆｯﾄ数
4ﾕﾆｯﾄ
1-2) 処理方式
ｲﾝﾗｲﾝ
1-3) 槽構造
ｶｯﾌﾟ構造
1-4) 洗浄機間ｳｴｰﾊ搬送方式
ｳｪﾊ搬送ﾕﾆｯﾄから洗浄機
に対し水平ｱｸｾｽ
2） 1次洗浄
ｳｪﾊ上下面洗浄
2-1) 上面洗浄
ﾛｰﾙ洗浄
ﾛｰﾙ方式＆純水洗浄
薬液洗浄及び純水洗浄
ﾛｰﾙ直径
φ38 mm∼40 mm（湿潤時）
ﾛｰﾙ材質
PVA
ﾛｰﾙ回転数
50∼200 min-1※1
押当調整
0.1㎜刻み
ｳｪﾊ純水供給量
0.5∼0.6 L/min
ｽﾎﾟﾝｼﾞ純水供給量
0.4∼0.5 L/min
ｾﾙﾌｸﾘ-ﾆﾝｸﾞ
有り：ｲﾝﾅ-ﾘﾝｽ仕様、押付板（石英板）
死水対策
時限通水
薬液洗浄
2-2) 下面洗浄
ﾛｰﾙ洗浄
無し
有り
ﾛｰﾙ方式＆純水洗浄
ｾｸｼｮﾝ3.2 No20参照
薬液洗浄及び純水洗浄
ﾛｰﾙ直径
φ38 mm∼40 mm（湿潤時）
ﾛｰﾙ材質
ﾎﾟﾘｴｽﾃﾙ
ﾛｰﾙ回転数
50∼200 min-1※1
押当調整
0.1 mm刻み
ｳｴﾊ純水供給
0.8∼1.0 L/min
ｽﾎﾟﾝｼﾞ純水供給
0.4∼0.5 L/min
ｾﾙﾌｸﾘ-ﾆﾝｸﾞ
有り：ｲﾝﾅ-ﾘﾝｽ仕様
死水対策
時限通水
薬液洗浄
無し
無し
2-4) ｳｪﾊ保持
回転ﾛｰﾗにて周辺保持
ｳｪﾊ回転数
50∼150 min-1※1
接触部材
ｳﾚﾀﾝｺﾞﾑ
ﾓﾆﾀｰ
ﾉｽﾞﾙ(ｸｼ型）
有り
2-3) ｽﾎﾟﾝｼﾞﾍﾞﾍﾞﾙ洗浄
2-5) 排気制御
従動軸通水ﾀｲﾌﾟ、槽内ﾘﾝｽ閉止
ﾏﾆｭｱﾙﾀﾞﾝﾊﾟｰ
排気圧力ｲﾝｼﾞｹｰﾀｰ
※1 ﾕﾆｯﾄの単体運転が可能な範囲であり、ﾌﾟﾛｾｽ条件によっては制限されます。
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EBARA CORPORATION
Ⅱ.装置仕様
2-2 詳細仕様
項 目
3） 2次洗浄
仕様
オプション/特別仕様
ｳｪﾊ上下面洗浄＋ｽﾋﾟﾝ乾燥
3-1) 上面洗浄
揺動ﾍﾟﾝｼﾙ方式及び純水洗浄
ﾍﾟﾝｼﾙ洗浄
ﾍﾟﾝｼﾙ直径
φ28 mm（湿潤時）
ﾍﾟﾝｼﾙ高さ
34.5 mm±0.5 (ﾎﾙﾀﾞ取付＋湿潤時）
ﾍﾟﾝｼﾙ材料
PVA
ﾍﾟﾝｼﾙ回転数
50∼180 min-1
押当調整
0.1 mm刻み
純水供給量
0.5∼0.6 L/min
ｾﾙﾌｸﾘｰﾆﾝｸﾞ
有り：ﾉｽﾞﾙ仕様、桶ﾀｲﾌﾟ
死水対策
時限通水
薬液洗浄
3-2) 下面洗浄
無し
純水洗浄
純水
ｳｪﾊ純水供給
1.0∼1.1 L/min
死水対策
時限通水
薬液洗浄
3-3) ｳｪﾊ保持
無し
周辺保持
ｳｪﾊ回転数
100∼2500 min-1 ※１
接触部材
PCTFE
3-4) 排気制御
ﾓﾆﾀｰ
ﾏﾆｭｱﾙﾀﾞﾝﾊﾟｰ
排気圧力ｲﾝｼﾞｹｰﾀー
-1
※1 設定は1min から可能ですが、安定回転数の目安です。
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Ⅱ.装置仕様
2-2 詳細仕様
項 目
仕様
オプション/特別仕様
8. 電源
1) ﾌﾞﾚｰｶ、ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟ電源
1-1) ﾌﾞﾚｰｶ
ﾓｼﾞｭｰﾙ毎に独立
1-2) ﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟ
VMEﾊﾞｽ、ﾎﾞｰﾄﾞｺﾝﾋﾟｭｰﾀ及び
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｺﾝﾋﾟｭｰﾀ（60s）
2) 制御/主ｺﾝﾄﾛｰﾗ
2-1) ﾊｰﾄﾞ
VMEﾊﾞｽ、ﾎﾞｰﾄﾞｺﾝﾋﾟｭｰﾀ
ME-20
ﾒｲﾝCPU : 68系 32ﾋﾞｯﾄ
EPM外部制御対応
1
ｾｸｼｮﾝ3.2 No.19 , 21,23参照
2-2) O/S ｿﾌﾄｳｴｱ
・OS-9/C言語記述
2-3) ﾓｼﾞｭｰﾙとI/O接続
省配線ｼｽﾃﾑ
ｾｸｼｮﾝ3.2 No.7,8,9参照
ｼﾘｱﾙ通信
3) 操作部
3-1) 方式
押しﾎﾞﾀﾝｽｲｯﾁ･ﾀｯﾁｽｸﾘｰﾝﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｰ
3-2) 位置
装置前面及び背面 (前面は別置き)
9. 制御仕様
1) 全体ﾚｼﾋﾟ
ﾕﾆｯﾄﾚｼﾋﾟ
ﾕﾆｯﾄﾚｼﾋﾟにより構成
ﾚｼﾋﾟのｱｯﾌﾟ/ﾀﾞｳﾝﾛｰﾄﾞ機能
ﾎﾟﾘｯｼﾝｸﾞﾚｼﾋﾟ
洗浄1ﾚｼﾋﾟ
洗浄2ﾚｼﾋﾟ
2) 最大保持ﾚｼﾋﾟ数
全体ﾚｼﾋﾟ
: 500
ﾕﾆｯﾄﾚｼﾋﾟ
3) 1ﾚｼﾋﾟ最大ｽﾃｯﾌﾟ数
ﾎﾟﾘｯｼﾝｸﾞﾚｼﾋﾟ
: 500
洗浄ﾚｼﾋﾟ
: 各50
ﾎﾟﾘｯｼﾝｸﾞﾚｼﾋﾟ
: 16
洗浄1ﾚｼﾋﾟ
: 8
洗浄2ﾚｼﾋﾟ
: 8
4) ﾚｼﾋﾟ設定可能ﾊﾟﾗﾒｰﾀ
ﾎﾟﾘｯｼﾝｸﾞ : 57
1次洗浄 : 17、2次洗浄 :14
5) ﾚｼﾋﾟﾃﾞｰﾀﾊﾞｯｸｱｯﾌﾟ
ﾌﾛｯﾋﾟｰﾃﾞｨｽｸおよび MO
6) ﾚｼﾋﾟ設定
ｳｴﾊ毎にﾚｼﾋﾟ設定可能
7) 上位通信
無し
8) ﾌﾟﾛｾｽｲﾝﾀｰﾛｯｸ
ﾄｯﾌﾟﾘﾝｸﾞ押付荷重
有り
ｾｸｼｮﾝ3.2 No.4,10,12参照
ﾄｯﾌﾟﾘﾝｸﾞ回転速度
BSP圧力
ﾃｰﾌﾞﾙ回転速度
ﾄﾞﾚｯｻ回転速度
ﾄﾞﾚｯｻ押付荷重
純水元圧低下
Ｎ2元圧低下
ｽﾗﾘｰ供給圧力低下
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Ⅱ.装置仕様
2-2 詳細仕様
項 目
仕様
オプション/特別仕様
10. 安全対策 1.液漏れｾﾝｻｰの設置
ｾｸｼｮﾝ3.2 No.14参照
液漏れの危険のあるﾄｯﾌﾟﾘﾝｸﾞﾍｯﾄﾞ 、ﾀｰﾝﾃｰﾌﾞﾙ、ﾎﾟﾘｯｼｬ部ﾄﾞﾚﾝﾊﾟﾝ、
洗浄部ﾄﾞﾚﾝﾊﾟﾝに液漏れｾﾝｻを 設置する。液漏れ検知の際は、故障
表示と同時に純水供給ﾊﾞﾙﾌﾞを閉とし、装置は運転停止となる。
2.非常停止ﾎﾞﾀﾝ
非常停止ﾎﾞﾀﾝはＣＭＰ装置の周囲 に設置されている。非常停止ﾎﾞﾀﾝ
が押されると、電源が遮断され、ＣＭＰ装置は停止する。
3.ﾄｯﾌﾟﾘﾝｸﾞ及びﾄﾞﾚｯｻの安全位置保持
非常停止時、ﾄｯﾌﾟﾘﾝｸﾞ及びﾄﾞﾚｯｻは上昇位置に保持され、
ﾀｰﾝﾃｰﾌﾞﾙは停止する。
（但し、圧縮空気は供給されているものとします。またｳｴﾊはｸﾛｽ上に
残る可能性が有ります。）
4.運転時、ﾎﾟﾘｯｼﾝｸﾞ部、洗浄・搬送部の扉を開くと装置は故障停止する。
5.扉がどれか一つでも開いていると自動運転ｽﾀｰﾄできない。
6.稼動部へのｶﾊﾞｰ設置
稼動部はﾊﾟﾈﾙでｶﾊﾞｰし、装置外部には露出させない。
7.高電圧部へのｶﾊﾞｰ設置
24Ｖを超える電圧部には保護ｶﾊﾞｰ を設置する。
8.ﾀｲﾑｵｰﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾛｯｸ
各ﾕﾆｯﾄの動作ｻｲｸﾙの動作時間が設定時間をｵｰﾊﾞｰした場合、ﾀｲﾑ
ｵｰﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾛｯｸが作動する。
9.危険・警告ｽﾃｯｶｰ表示
必要箇所（筐体及び内部）に危険性を警告するための表示を行う。
10.排気ｾﾝｻ
排気圧が所定の値を下回った場合、ｱﾗｰﾑを表示しCMP装置は
運転停止となる。
11.SEMI規格
本装置はSEMI S2-0200安全規格に準拠して設計されています。
-18-
EBARA CORPORATION
Ⅱ.装置仕様
2-2 詳細仕様
項 目
仕様
オプション/特別仕様
11. ﾕｰﾃｨﾘﾃｨ
200VAC，3phase，50/60Hz
（制御盤より供給されるものとします。）
1) 電 源
1-1) 定格容量
1-2) Ｆｕｌｌ ｌｏａｄ
52 kVA
150A
1-3) MCB size
150AT
2) 純 水
ﾎﾟﾘｯｼｬｴﾘｱ
2-1) 最大流量
14 L/min
2-2) 定常流量
3 L/min
※1
洗浄ｴﾘｱ
2-3) 最大流量
7 L/min
2-4) 定常流量
全体合計
4 L/min
2-5) 最大流量
21 L/min
2-6) 定常流量
7 L/min
2-7) 圧力
Min 0.15 MPa
2-8) 取合
PVC 呼び25（洗浄用、ﾎﾟﾘｯｼｬ用各1ﾎﾟｰﾄ）
※1
※1
Max 0.2MPa
3) ｽﾗﾘｰ
3-1) 圧力
3-2) 取合
Min0.15∼Max0.3MPa
PFA-3/8 × 6系統 OD9.53xID6.33
PFA-3/8 × 8系統
4) 洗浄用薬液
4-1) 圧力
Min0.15∼Max0.3MPa
4-2) 流量
Min 3.0 L/min 供給可能なこと
4-3) 取合
PFA-3/8 ×最大8系統 OD9.53xID6.33
5) 冷却水（ﾀｰﾝﾃｰﾌﾞﾙ用）
5-1) 流量
10 Ｌ / min (ﾃｰﾌﾞﾙあたり5 L/min )
5-2) 入口圧力
Min 0.2MPa
Max 0.3MPa
5-3) 出口圧力
Max 0.05MPa
5-4) 温度
18 -22℃
5-5) 取合
Rc 3/8 x 2(行き/戻り) x2(ﾃｰﾌﾞﾙ)
6) 圧縮空気
6-1) 圧力
Min 0.6MPa
Max 0.8MPa
6-2) 最大流量
78 L/min（ANR）
6-3) 定常流量
6-4) 取合
24 L/min（ANR）
3/8 Swagelok x 1
※1
定常値の測定条件は下記となります。
POS：120sec、ﾄﾞﾚｽ：5sec、T/R洗浄：2sec、R/R：60sec、P/SD：1ｽｷｬﾝ-2secﾘﾝｽ-30secSD
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EBARA CORPORATION
Ⅱ.装置仕様
2-2 詳細仕様
項 目
仕様
オプション/特別仕様
11. ﾕｰﾃｨﾘﾃｨｰ
7) N2
1 ｾｸｼｮﾝ3.2 No.25参照
7-1) 圧力
Min 0.4MPa
Max 0.6MPa
7-2) 最大流量
94 L/min（ANR）
7-3) 定常流量
32 L/min（ANR） ※1
7-4) 取合
3/8 Swagelok x 1
8) 真空
8-1) 圧力
Min -83kPa
Max -90kPa
8-2) 最大流量
7 L/min×2
8-3) 定常流量
1.5 L/min×2
8-4) 取合
3/8 Swagelok x 2
※1
9) 廃液
洗浄ﾕﾆｯﾄ (4箇所)
9-1) 最大流量
4.7 L/min(各洗浄ﾕﾆｯﾄ)
9-2) 取合
20A TSx4
ｽﾗﾘｰ廃液
9-3) 最大流量
22 L/min (11 L/min ：１ﾃｰﾌﾞﾙにつき)
9-4) 取合
50A TS x 2
ﾄﾞﾚﾝﾊﾟﾝﾄﾞﾚﾝ
9-5) 最大流量
0 L/min (漏液発生のときのみ排水)
9-6) 取合
13A TS×2（洗浄部） Rc1/2 ﾒｽ×2（ﾎﾟﾘｯｼｬ-部）
Rc3/8×4(左右一次、二次洗浄機)
ｹﾐｶﾙﾎﾞｯｸｽﾄﾞﾚﾝ
9-7) 最大流量
0 L/min (漏液発生のときのみ排水)
9-8) 取合
Rc1/2 ﾒｽ×2
洗浄ﾛﾎﾞｯﾄ防水ﾊﾟﾝﾄﾞﾚﾝ
9-9) 最大流量
1.0 L/min
9-10) 取合
13A TS×1
10) 排 気
排気 A (各洗浄ﾕﾆｯﾄ)
10-1) 最小圧力
-300Pa
10-2) 排気容量
6.0 m /min （1次洗浄機：1m /min×2
3
3
2次洗浄機：2m3/min×2)
10-3) 取合
PVC Pipe O.D.：60 (50A相当)
排気 B (ﾎﾟﾘｯｼﾝｸﾞｴﾘｱ）
1 ｾｸｼｮﾝ3.2 No.22参照
10-4) 最小圧力
-300Pa
10-5) 排気容量
11.0 m3/min（5.5 m3/min×2）
10-6) 取合
PVC Pipe O.D.：140 (125A相当)
※1
定常値の測定条件は下記となります。
POS：120sec、ﾄﾞﾚｽ：5sec、T/R洗浄：2sec、R/R：60sec、P/SD：1ｽｷｬﾝ-2secﾘﾝｽ-30secSD
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EBARA CORPORATION
Ⅱ.装置仕様
2-2 詳細仕様
12. フットプリント
ﾒﾝﾃﾅﾝｽ・ｽﾍﾟｰｽ（900mm）を含んだ設置面積を示します。
900
Polisher
1400
800
Cleaner
3900
FOUP
2100
900
分
電
盤
1500
Max.20m
4095
1
450
900
自立盤
400
4995
装置外形寸法(W*D*Hmm）：2100*4095*2750
498
装置ﾒﾝﾃﾅﾝｽｽﾍﾟｰｽ(W*D*Hmm）：3900*4995*3250
搬入時装置分割寸法
600
電源供給ﾕﾆｯﾄ
制御盤
膜測(Nano) 500
本装置は右図の寸法にて
分割されます。
高さ 1900
1500
搬送ｼｽﾃﾑのｶﾊﾞｰと
ｼﾘﾝﾀﾞｰが飛び出します
475
（寸法単位：mm）
1050
洗浄部
ﾎﾟﾘｯｼｭ部
2100
1050
1
自立盤
400
470
2158
2250
92
高さ 2750
590
1845
高さ 2440
498
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EBARACORPORATION
Ⅱ．装置仕様 : F☆REX 300E
１３． アクセサリー
項目
名称
数量
現地固定用部品
耐震固定金具
1式
荷重分散板
1式
装置外ｽﾃｯﾌﾟ
1式
#100ｲﾚｷﾞｭﾗｰｱｸﾘﾙｺｰﾄﾄﾞﾚｯｻ
1個
客先引渡し消耗品1
ﾒﾝﾃﾅﾝｽ用品
1 P35参照願います
−22−
オプション/特別仕様
Ⅲ．検査
①
②
③
ｿﾌﾄｳｪｱの確認及び1000枚搬送終了後出荷することとします。
ﾌﾟﾛｾｽ性能の確認は貴社へ装置を搬入し、立上げ終了後、貴社立会いのもと行うこととします。
立上げ及びﾌﾟﾛｾｽ性能確認のためのｳｪﾊ、ｷｬﾘｱ及びﾎﾟﾘｯｼﾝｸﾞｽﾗﾘｰは貴社にて用意していただきます。
下記に検査項目を示します。
検査内容
項目
設定値および精度
1 １．ﾘﾃｰﾅー押付荷重
5kPa以上100kPaで設定値の±0.3kPa以内
1 ２．ｾﾝﾀｰｴｱﾊﾞｯｸ、ﾘｯﾌﾟﾙｴｱﾊﾞｯｸ
各ﾗｲﾝ、5kPa以上50kPaで設定値の±0.15kPa以内
ｱｳﾀｰｴｱﾊﾞｯｸ、ｴｯｼﾞｴｱﾊﾞｯｸ圧力
３．ﾄﾞﾚｯｻ荷重
100 N以上400 N以下は設定値の±5%以内
４．ﾀｰﾝﾃｰﾌﾞﾙ回転速度
10 min-1以上70 min-1以下は設定値の±1 min-1以内
70 min-1越えて110 min-1以下は設定値の±2%以内
５．ﾄｯﾌﾟﾘﾝｸﾞ回転速度
-1
-1
-1
10 min 以上70 min 以下は設定値の±1 min 以内
-1
-1
70 min を越えて110 min 以下は設定値の±2%以内
６.ﾄﾞﾚｯｻ回転速度
-1
-1
-1
10 min 以上70 min 以下は設定値の±1 min 以内
-1
-1
70 min を越えて1１0 min 以下は設定値の±2%以内
７.砥液供給流量
ﾕｰｽﾎﾟｲﾝﾄで設定流量に対し±10%以内(設定流量は都度決定)
８．洗浄側装置内部ﾀﾞｳﾝﾌﾛｰ
ﾛｰﾄﾞ･ｱﾝﾛｰﾄﾞ扉開口時装置外部から内部への気流が確保できること
（一次洗浄ﾓｼﾞｭｰﾙは除く）
ﾎﾟﾘｯｼｬ部ｼｬｯﾀｰ開口時洗浄側からﾎﾟﾘｯｼｬ側への気流が確保できること
ﾎﾟﾘｯｼｬ側ﾒﾝﾃﾅﾝｽ扉開口時装置外部から内部への気流が確保できること
９．1次洗浄ﾓｼﾞｭｰﾙｳｪﾊ回転速度 50 min-1を越えて150 min-1以下は設定値の±3 min-1以内
１０．1次洗浄ﾓｼﾞｭｰﾙ表面ﾛｰﾙ
回転速度
１１．1次洗浄ﾓｼﾞｭｰﾙ裏面ﾛｰﾙ
回転速度
50 min-1を越えて200 min-1以下は設定値の±3 min-1以内
-1
-1
50 min を越えて200 min-1以下は設定値の±3 min 以内
１２．２次洗浄ﾓｼﾞｭｰﾙｳｪﾊ回転速度 100 min-1を越えて2500 min-1以下は設定値の±2 %以内
-1
-1
-1
１３．２次洗浄ﾓｼﾞｭｰﾙｳｪﾊ
ﾍﾟﾝｼﾙｽﾎﾟﾝｼﾞ回転速度
50 min を越えて180 min 以下は設定値の±1 min 以内
１４．1000枚搬送ﾃｽﾄ
2ｶｾｯﾄﾊﾟﾗﾚﾙ900枚、ｼﾘｱﾙ100枚搬送運転にてﾄﾗﾌﾞﾙないこと
1 ※ ﾚｼﾋﾟに関しては、P37,38参照願います
貴社納入後、検査を実施し検査成績書として提出いたします。
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EBARA CORPORATION
Ⅳ．品質保証
機械的性能とﾌﾟﾛｾｽ性能の確認が終了した時点で当社技術員が、提示致します
納品完了引渡書に御確認印を賜りたくお願い致します。ご確認印を頂いた上で御検収頂けるものとします。
尚、残件がある場合は、特記事項欄に明記し必ず完了させて頂くことをお約束致します。
さらに貴工場納入日により装置検収月の月末までの間、火災等で当社ＣＭＰ装置本体に損害が及んだ
場合、保険で対応致します。ただし、地震等の天災で損害が及んだ場合には保険の対象とはなりません
ので御承知置き下さい。
１．保証期間
本装置の保証期間は、御検収後12ケ月間と致します。但し、工場出荷後18ヶ月を越えない
ものと致します。
尚、保証期間中において、本装置が所定の保守がなされ、所定条件で運転されたにもかかわらず本装置
に不具合が発生し、本不具合が弊社の責に帰することが明らかな時は、無償にて修理または交換し、正
常な状態に修復致します。
２．保証範囲外
1) 所定の保守、所定条件の運転がなされなかった時に発生した場合。
2) 消耗品、定期交換を必要とする部品等の部品費及び交換費用。
3) 本装置の不具合により発生した製造品等の損失及び付帯して発生した他設備の二次的損失。
4) 故障の原因が、使用される砥液、薬液の性状による場合
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